ICS31030

L90-

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T32643—2016

平板顯示器基板玻璃表面波紋度的

測(cè)量方法

Flatpaneldisplaysglasssubstratessurfacewavinessmeasurementmethod

2016-04-25發(fā)布2016-11-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T32643—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)與全國(guó)工業(yè)玻璃和特種玻璃標(biāo)

(SAC/TC203)

準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)共同歸口

(SAC/TC447)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位彩虹集團(tuán)公司中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人黃寧歌裴會(huì)川王香李霜楊萬(wàn)來(lái)

:、、、、。

Ⅰ

GB/T32643—2016

平板顯示器基板玻璃表面波紋度的

測(cè)量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用觸針式表面粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量平板顯示器基板玻璃表面波紋度的測(cè)量方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量平板顯示器用基板玻璃的表面波紋度

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的測(cè)量方法

GB/T32642—2016

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T32642—2016。

31

.

2CR濾波器2CRfilter

時(shí)間常數(shù)相等的組回路串聯(lián)連接的濾波器在截止波長(zhǎng)下的標(biāo)準(zhǔn)傳輸率是

2R-C。75%。

32

.

高斯濾波器Gaussianphasecorrectfilter

將高斯分布作為權(quán)函數(shù)將截面曲線中演算積分后的曲線規(guī)定為相位補(bǔ)償濾波紋度曲線在截止波

,,

長(zhǎng)下的傳輸率是

50%。

33

.

預(yù)行程和后行程pre-travelandpost-travel

()()

L

p

為避免由于截止濾光器的瞬態(tài)反應(yīng)而引起的剖面圖失真從示蹤長(zhǎng)度上減除的部分

,。

注建議在示蹤長(zhǎng)度開(kāi)始階段和沒(méi)有后行程的情況下用濾波器的預(yù)行程應(yīng)為截止長(zhǎng)波長(zhǎng)λ的倍建議在

:,2CRL2;

使用相位校正濾波器時(shí)預(yù)行程和后行程都應(yīng)該與截止長(zhǎng)波長(zhǎng)λ相同

,L。

34

.

測(cè)定長(zhǎng)度evaluationlength

L

e

一種扣除預(yù)行程和后行程后的跡線長(zhǎng)度測(cè)量樣品的長(zhǎng)度應(yīng)包含波紋度的剖面曲線長(zhǎng)度

。。

35

.

截止長(zhǎng)波長(zhǎng)longwavelengthcut-off

λ

L

排除自然因素當(dāng)示蹤輪廓曲線通過(guò)消除波紋因素影響的高通波長(zhǎng)濾波器后振幅衰減率成為