ICS7104099

Q34..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T33826—2017

玻璃襯底上納米薄膜厚度

測(cè)量觸針式輪廓儀法

Measurementofnanofilmthicknessonglasssubstrate—Profilometricmethod

2017-05-31發(fā)布2017-12-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國(guó)

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

玻璃襯底上納米薄膜厚度

測(cè)量觸針式輪廓儀法

GB/T33826—2017

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20176

*

書號(hào)

:155066·1-56567

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T33826—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)科學(xué)院提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)納米材料分技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC279/SC1)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院漳州旗濱玻璃有限公司宣城晶瑞新材料有限

:、、

公司冶金工業(yè)信息標(biāo)準(zhǔn)研究院

、。

本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位中國(guó)建材檢驗(yàn)認(rèn)證集團(tuán)股份有限公司中國(guó)建材檢驗(yàn)認(rèn)證集團(tuán)陜西有限公

:、()

司廣東中科華大工程技術(shù)檢測(cè)有限公司哈爾濱量具刃具集團(tuán)有限責(zé)任公司量?jī)x研究所

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人孟政劉靜候英蘭徐勇戴石鋒汪洪梁慧超張繼軍張慶華代錚張衛(wèi)星

:、、、、、、、、、、、

趙晉武郎巖梅

、。

Ⅰ

GB/T33826—2017

玻璃襯底上納米薄膜厚度

測(cè)量觸針式輪廓儀法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用觸針式輪廓儀法測(cè)量玻璃襯底上納米薄膜厚度的原理儀器要求試驗(yàn)環(huán)境要求

、、、、

步驟及測(cè)試報(bào)告等

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于玻璃襯底上厚度在范圍內(nèi)的納米薄膜厚度測(cè)量且薄膜與襯底之

10nm~1000nm,

間存在或可刻蝕出臺(tái)階其他硬質(zhì)平面襯底可參考本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行

。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

硅片平坦表面的表面粗糙度測(cè)量方法

GB/T29505

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

掩模mask

選擇性地阻擋輻照或物質(zhì)穿透的掩蔽模板

。

32

.

化學(xué)蝕刻chemicaletching

利用表面材料在特定介質(zhì)或特定環(huán)境下與腐蝕液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而移除的技術(shù)

。

4原理

通過(guò)覆蓋掩?；蛘呋瘜W(xué)蝕刻等手段在薄膜表面與玻璃襯底表面之間形成一個(gè)臺(tái)階如圖所示

,1。

觸針式輪廓儀的觸針沿被測(cè)表面從運(yùn)動(dòng)到或從運(yùn)動(dòng)到同時(shí)采集表面輪廓數(shù)據(jù)根據(jù)采集