ICS7104099

Q34..

中華人民共和國國家標準

GB/T33826—2017

玻璃襯底上納米薄膜厚度

測量觸針式輪廓儀法

Measurementofnanofilmthicknessonglasssubstrate—Profilometricmethod

2017-05-31發(fā)布2017-12-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

玻璃襯底上納米薄膜厚度

測量觸針式輪廓儀法

GB/T33826—2017

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20176

*

書號

:155066·1-56567

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T33826—2017

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國科學(xué)院提出

。

本標準由全國納米技術(shù)標準化技術(shù)委員會納米材料分技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC279/SC1)。

本標準主要起草單位中國建筑材料科學(xué)研究總院漳州旗濱玻璃有限公司宣城晶瑞新材料有限

:、、

公司冶金工業(yè)信息標準研究院

、。

本標準參加起草單位中國建材檢驗認證集團股份有限公司中國建材檢驗認證集團陜西有限公

:、()

司廣東中科華大工程技術(shù)檢測有限公司哈爾濱量具刃具集團有限責任公司量儀研究所

、、。

本標準主要起草人孟政劉靜候英蘭徐勇戴石鋒汪洪梁慧超張繼軍張慶華代錚張衛(wèi)星

:、、、、、、、、、、、

趙晉武郎巖梅

、。

Ⅰ

GB/T33826—2017

玻璃襯底上納米薄膜厚度

測量觸針式輪廓儀法

1范圍

本標準規(guī)定了用觸針式輪廓儀法測量玻璃襯底上納米薄膜厚度的原理儀器要求試驗環(huán)境要求

、、、、

步驟及測試報告等

。

本標準適用于玻璃襯底上厚度在范圍內(nèi)的納米薄膜厚度測量且薄膜與襯底之

10nm~1000nm,

間存在或可刻蝕出臺階其他硬質(zhì)平面襯底可參考本標準執(zhí)行

。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

硅片平坦表面的表面粗糙度測量方法

GB/T29505

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

掩模mask

選擇性地阻擋輻照或物質(zhì)穿透的掩蔽模板

。

32

.

化學(xué)蝕刻chemicaletching

利用表面材料在特定介質(zhì)或特定環(huán)境下與腐蝕液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而移除的技術(shù)

。

4原理

通過覆蓋掩?；蛘呋瘜W(xué)蝕刻等手段在薄膜表面與玻璃襯底表面之間形成一個臺階如圖所示

,1。

觸針式輪廓儀的觸針沿被測表面從運動到或從運動到同時采集表面輪廓數(shù)據(jù)根據(jù)采集