標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 38447-2020 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，主要針對微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）中的結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行共振疲勞測試的方法進(jìn)行了詳細(xì)規(guī)定。該標(biāo)準(zhǔn)旨在為MEMS器件的研發(fā)、生產(chǎn)和質(zhì)量控制提供一套科學(xué)合理的測試流程和技術(shù)要求。

標(biāo)準(zhǔn)首先明確了適用范圍，指出其適用于各種類型的MEMS結(jié)構(gòu)件，在特定條件下通過振動激勵(lì)方式來評估這些結(jié)構(gòu)件在長時(shí)間工作下的耐久性能。接著，對術(shù)語和定義部分做了清晰界定，確保了行業(yè)內(nèi)對于相關(guān)概念的理解一致性。

隨后，《GB/T 38447-2020》詳細(xì)描述了試驗(yàn)所需設(shè)備及環(huán)境條件的要求，包括但不限于振動臺、信號發(fā)生器等關(guān)鍵儀器的技術(shù)參數(shù)以及溫度、濕度等外部因素的控制標(biāo)準(zhǔn)。此外，還特別強(qiáng)調(diào)了樣品準(zhǔn)備的重要性，并給出了具體的操作指南，以保證每次試驗(yàn)結(jié)果的有效性和可重復(fù)性。

關(guān)于試驗(yàn)程序，《GB/T 38447-2020》提出了詳細(xì)的步驟說明，從初始設(shè)置到數(shù)據(jù)采集再到最后的數(shù)據(jù)分析，每一步都給出了明確指導(dǎo)。特別是對于如何確定試驗(yàn)頻率、振幅以及持續(xù)時(shí)間等方面提供了詳盡的規(guī)定，這有助于研究人員根據(jù)實(shí)際需要調(diào)整參數(shù)設(shè)置，從而獲得更加準(zhǔn)確可靠的測試結(jié)果。

最后，本標(biāo)準(zhǔn)還包括了記錄與報(bào)告格式方面的建議，強(qiáng)調(diào)了完整記錄實(shí)驗(yàn)過程及其結(jié)果的重要性，以便于后續(xù)的數(shù)據(jù)處理與分析。同時(shí)，也鼓勵(lì)用戶根據(jù)自身情況適當(dāng)調(diào)整某些細(xì)節(jié)，但必須保證不偏離基本原則和要求。


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....

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  • 2020-07-01 實(shí)施
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文檔簡介

ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38447—2020

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—Fatiguetestingmethodof

MEMSstructureusingresonantvibration

2020-03-06發(fā)布2020-07-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T38447—2020

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

試驗(yàn)方法

4…………………1

總則

4.1…………………1

試驗(yàn)設(shè)備

4.2……………1

試驗(yàn)環(huán)境

4.3……………2

樣品要求

4.4……………2

試驗(yàn)條件

4.5……………3

試驗(yàn)步驟

4.6……………3

試驗(yàn)報(bào)告

4.7……………4

附錄資料性附錄集成激振和檢測結(jié)構(gòu)靜電器件的試驗(yàn)示例

A()……5

附錄資料性附錄外部驅(qū)動和集成應(yīng)變結(jié)構(gòu)檢測位移器件的試驗(yàn)示例

B()()………8

附錄資料性附錄基于帕里斯定律和韋伯分布的脆性材料疲勞壽命理論

C()(Paris)(Weibull)

表達(dá)式

……………10

附錄資料性附錄分析示例

D()…………13

參考文獻(xiàn)

……………………15

GB/T38447—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京大學(xué)中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心北京智芯傳感科技有限公司沈陽國儀檢測技術(shù)

:、、、

有限公司浙江博亞精密機(jī)械有限公司中北大學(xué)北京必創(chuàng)科技股份有限公司

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人張威張亞婷于振毅陸學(xué)貴朱悅石云波李海斌程逸軒周浩楠陳得民

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T38447—2020

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)的試驗(yàn)方法包括設(shè)備試驗(yàn)環(huán)境樣品要求試驗(yàn)條件和

MEMS,、、、

試驗(yàn)步驟

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于結(jié)構(gòu)的共振疲勞試驗(yàn)

MEMS。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

機(jī)械振動沖擊與狀態(tài)監(jiān)測詞匯

GB/T2298、

金屬材料力學(xué)性能試驗(yàn)術(shù)語

GB/T10623

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語

GB/T26111(MEMS)

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T2298、GB/T10623、GB/T26111。

31

.

載荷比loadratio

周期加載中最大值和最小值的代數(shù)比

。

32

.

瞬時(shí)破壞強(qiáng)度instantaneousfailurestrength

靜態(tài)試驗(yàn)或共振振動試驗(yàn)在快速幅值增長過程中的破壞強(qiáng)度

。

33

.

參考強(qiáng)度referencestrength

靜態(tài)強(qiáng)度或瞬時(shí)破壞強(qiáng)度

。

4試驗(yàn)方法

41總則

.

通過對樣品施加預(yù)期振動幅值的共振振動進(jìn)行疲勞試驗(yàn)當(dāng)樣品失效或達(dá)到預(yù)定的試驗(yàn)時(shí)間或次

。

數(shù)時(shí)試驗(yàn)結(jié)束

,。

42試驗(yàn)設(shè)備

.

421

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