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H62..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T39158—2020

平面顯示用高純銅旋轉(zhuǎn)管靶

Highpuritycopperrotatabletubetargetforflatpaneldisplay

2020-11-19發(fā)布2021-10-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T39158—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位有研億金新材料有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院寧波江豐電子材料股份有

:、、

限公司沈陽(yáng)有色金屬加工有限公司

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人曾浩羅俊鋒韓知為賀昕董艷霞陳明熊曉東曹歡歡萬(wàn)小勇林若虛

:、、、、、、、、、、

袁海軍劉曉張健郭姍姍

、、、。

Ⅰ

GB/T39158—2020

平面顯示用高純銅旋轉(zhuǎn)管靶

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了平面顯示用高純銅旋轉(zhuǎn)管靶的術(shù)語(yǔ)和定義分類技術(shù)要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)

、、、、、

志包裝運(yùn)輸貯存質(zhì)量證明書(shū)及訂貨單或合同內(nèi)容

、、、、()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于平面顯示用各種規(guī)格的高純銅旋轉(zhuǎn)管靶產(chǎn)品

4N、4N5、5N。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差

GB/T1804—2000

銅及銅合金化學(xué)分析方法第部分電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法

GBT5121.2727:

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

金屬材料中氫氧氮碳和硫分析方法通則

GB/T14265、、、

銅及銅合金平均晶粒度測(cè)定方法

YS/T347

高純銅化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素含量的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法

YS/T922

銅及銅合金管材超聲波縱波探傷方法

YS/T1000—2014

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

旋轉(zhuǎn)管靶rotatabletubetarget

一種平板顯示領(lǐng)域用的管狀靶材

。

注主要用于電子薄膜沉積

:。

32

.

表面粗糙度surfaceroughness

Ra

加工表面具有的較小間距和微小峰谷的不平度輪廓的平均算術(shù)偏差值Ra即在一定測(cè)量長(zhǎng)度l

。,

范圍內(nèi)輪廓上各點(diǎn)至中線距離絕對(duì)值的平均算術(shù)偏差用下式表示

,y。:

1

Ra=1|y|x

ld

∫0

4分類

產(chǎn)品的牌號(hào)按純度分三個(gè)牌號(hào)產(chǎn)品的規(guī)格可分為??

RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N。155×438、155×

???不同牌號(hào)對(duì)應(yīng)的規(guī)格見(jiàn)表

888、155×1091、155×888、167×2490。