標準解讀

《JJF 1932-2021 橢偏儀校準規(guī)范》是由國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布的一項計量技術規(guī)范，主要針對橢偏儀的校準工作提供了具體的技術指導。該標準適用于各種類型和用途的橢偏儀，包括但不限于用于薄膜厚度測量、折射率測定等領域內(nèi)的設備。

根據(jù)《JJF 1932-2021》，首先明確了橢偏儀的基本概念及其工作原理，指出橢偏儀是一種基于光波在不同介質(zhì)界面上反射或透射時相位變化來分析樣品光學性質(zhì)（如厚度、折射率等）的儀器。接著，對進行校準時所需滿足的環(huán)境條件進行了規(guī)定，比如溫度控制范圍、濕度要求等，以確保測試結果的準確性和可靠性。

對于校準項目，《JJF 1932-2021》詳細列舉了多項關鍵參數(shù)，包括但不限于波長準確性、角度分辨率、重復性誤差等，并為每一項參數(shù)設定了具體的允許偏差范圍。此外，還提供了詳細的校準方法說明，涵蓋了從準備階段到實際操作步驟再到數(shù)據(jù)處理與報告編制的全過程，旨在通過標準化流程保證校準工作的科學性和一致性。


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....

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  • 2021-12-08 頒布
  • 2022-06-08 實施
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JJF 1932-2021橢偏儀校準規(guī)范_第1頁
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文檔簡介

中華人民共和國國家計量技術規(guī)范

JJF1932—2021

橢偏儀校準規(guī)范

CalibrationSpecificationforEllipsometers

2021-12-08發(fā)布2022-06-08實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1932—2021

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歸口單位全國光學計量技術委員會

:

主要起草單位中國計量科學研究院

:

中國兵器工業(yè)第二〇五研究所

參加起草單位中國電子科技集團公司第四十一研究所

:

上海市計量測試技術研究院

陜西省計量科學研究院

本規(guī)范委托全國光學計量技術委員會負責解釋

JJF1932—2021

本規(guī)范主要起草人

:

劉文德中國計量科學研究院

()

陳赤中國計量科學研究院

()

王雷中國兵器工業(yè)第二〇五研究所

()

參加起草人

:

孫權社中國電子科技集團公司第四十一研究所

()

葉軍安上海市計量測試技術研究院

()

李奕陜西省計量科學研究院

()

JJF1932—2021

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術語和計量單位

3………………………(1)

概述

4……………………(2)

計量特性

5………………(3)

波長示值誤差

5.1………………………(3)

光譜帶寬

5.2……………(3)

入射角示值誤差

5.3……………………(3)

橢偏角測量重復性

5.4…………………(3)

波片延遲量示值誤差

5.5………………(3)

橢偏角示值誤差

5.6……………………(3)

校準條件

6………………(3)

環(huán)境條件

6.1……………(3)

測量標準及其他設備

6.2………………(3)

校準項目和校準方法

7…………………(4)

校準前檢查

7.1…………(4)

波長示值誤差

7.2………………………(4)

光譜帶寬

7.3……………(4)

橢偏角測量重復性

7.4…………………(4)

入射角示值誤差

7.5……………………(4)

波片延遲量示值誤差

7.6………………(5)

橢偏角的示值誤差

7.7…………………(6)

校準結果表達

8…………(6)

復校時間間隔

9…………(7)

附錄校準證書內(nèi)頁格式供參考

A()………………(8)

附錄校準原始記錄格式供參考

B()………………(10)

附錄不確定度評定示例

C……………(12)

附錄硅表面氧化硅的橢偏光學模型

D………………(15)

附錄波片調(diào)節(jié)示例

E…………………(16)

Ⅰ

JJF1932—2021

引言

通用計量術語及定義測量不確定評定與表示和

JJF1001《》、JJF1059.1《》

國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則共同構成支撐本規(guī)范編訂的基礎性系列規(guī)范

JJF1071《》。

本規(guī)范為首次發(fā)布

。

Ⅱ

JJF1932—2021

橢偏儀校準規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于波長范圍在內(nèi)的橢偏儀的校準

250nm~2000nm。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

偏光儀校準規(guī)范

JJF1497

光學薄膜折射率和厚度測試儀檢定規(guī)程

GJB/J5463

用于集成計量的橢偏儀設備特性指南

SEMIE141-0705(Guideforspecificationof

ellipsometerequipmentforuseinintegratedmetrology)

橢偏術手冊

HandbookofEllipsometry,,HGTompkinsandEAIrene(eds.),

WilliamAndrewPublishing,2005

橢偏術和偏振光

EllipsometryandPolarizedLight,,RMAAzzamandNMBashara,

North-HollandPhysicsPublishing,1977

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術語和計量單位

入射面

3.1planeofincidence

入射光束和反射光束張成的面

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