標(biāo)準(zhǔn)解讀

《JJG 661-2004 平面等傾干涉儀》是中國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程之一，主要針對(duì)平面等傾干涉儀的計(jì)量性能、檢定條件、檢定項(xiàng)目及方法進(jìn)行了規(guī)定。該標(biāo)準(zhǔn)適用于新制造、使用中以及修理后的平面等傾干涉儀的首次檢定和后續(xù)檢定。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，平面等傾干涉儀用于測(cè)量光學(xué)表面平整度或曲率半徑，其工作原理基于光波的干涉現(xiàn)象，通過(guò)分析由待測(cè)表面反射回來(lái)的光線與參考面反射光線之間的相位差來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)物形貌的高精度檢測(cè)。

在進(jìn)行檢定時(shí)，需要滿足一定的環(huán)境條件，比如溫度、濕度等應(yīng)控制在一個(gè)適宜范圍內(nèi)，以減少外界因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。此外，對(duì)于光源的選擇也有明確要求，通常采用單色性好且穩(wěn)定性高的激光作為光源。

檢定過(guò)程中主要包括外觀檢查、功能測(cè)試等多個(gè)方面。其中，外觀檢查主要是評(píng)估儀器的整體結(jié)構(gòu)完整性及其各部件的狀態(tài)；而功能測(cè)試則側(cè)重于驗(yàn)證設(shè)備能否正常工作，并達(dá)到預(yù)期的技術(shù)指標(biāo)，如分辨率、重復(fù)性誤差等。

對(duì)于具體的檢定項(xiàng)目，標(biāo)準(zhǔn)中列出了詳細(xì)的操作步驟和技術(shù)參數(shù)范圍，確保了不同實(shí)驗(yàn)室之間能夠獲得可比性強(qiáng)的數(shù)據(jù)。同時(shí)，還提供了如何處理不合格情況下的指導(dǎo)原則，幫助使用者及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并采取相應(yīng)措施。

該標(biāo)準(zhǔn)為平面等傾干涉儀的質(zhì)量控制提供了重要依據(jù)，有助于保證此類精密測(cè)量工具在科學(xué)研究、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域中的可靠應(yīng)用。


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  • 2004-09-21 頒布
  • 2005-03-21 實(shí)施
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JJG 661-2004平面等傾干涉儀_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程

JJG661—2004

平面等傾干涉儀

FlatnessInterferometerwithIsoclinicCircleFringe

2004-09-21發(fā)布2005-03-21實(shí)施

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中華人民共和國(guó)

國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程

平面等傾干涉儀

JJG661—2004

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

*

中國(guó)質(zhì)檢出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100013)

北京市西城區(qū)復(fù)外三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

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年月第版

200521

*

書號(hào)

:155026·J-1857

版權(quán)專有侵權(quán)必究

JJG661—2004

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平面等傾干涉儀檢定規(guī)程??????????????

?JJG661—2004?

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VerificationReulationofFlatness代替JJG661—1990?

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InterferometerwithIsoclinicCircleFringe

本規(guī)程經(jīng)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局于年月日批準(zhǔn)并自

20040921,

年月日施行

20050321。

歸口單位:全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

起草單位:中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

本規(guī)程委托全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJG661—2004

本規(guī)程起草人:

冉慶中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

陳永康中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

張成悌中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

曹箭中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

JJG661—2004

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻(xiàn)………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計(jì)量性能要求…………

4(1)

測(cè)微目鏡的示值誤差極差及回程誤差……………

4.1(1)

工作臺(tái)移動(dòng)的直線度………………

4.2(2)

工作臺(tái)移動(dòng)的示值誤差及回程誤差………………

4.3(2)

鋼球支架的工作性能………………

4.4(2)

標(biāo)準(zhǔn)干涉環(huán)直徑測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)偏差…………………

4.5(2)

干涉環(huán)小數(shù)干涉級(jí)測(cè)量的重復(fù)性…………………

4.6(2)

通用技術(shù)要求…………

5(3)

外觀…………………

5.1(3)

各部分相互作用……………………

5.2(3)

計(jì)量器具控制…………

6(3)

檢定條件……………

6.1(3)

檢定項(xiàng)目……………

6.2(4)

檢定方法……………

6.3(4)

檢定結(jié)果的處理……………………

6.4(6)

附錄等傾干涉儀測(cè)量平面度測(cè)量結(jié)果的不確定度評(píng)定…………

A(7)

附錄檢定證書和檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁(yè)格式………

B(10)

JJG661—2004

平面等傾干涉儀檢定規(guī)程

1范圍

本規(guī)程適用于平面等傾干涉儀的首次檢定后續(xù)檢定和使用中的檢驗(yàn)

、。

2引用文獻(xiàn)

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義

JJF1001—1998

測(cè)量不確定度評(píng)定與表示

JJF1059—1999

測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定

JJF1094—2002

使用本規(guī)程時(shí)應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本

,。

3概述

平面等傾干涉儀是一種用于平面量值傳遞的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量器具主要用于檢定尺寸較大

,

的平晶各種尺寸的長(zhǎng)平晶和標(biāo)準(zhǔn)平尺等的平面度

、。

儀器工作原理如圖所示

1。

圖工作原理圖

1

平晶球支承平晶半反射鏡測(cè)微鼓輪觀察者目鏡組

1—;2—;3—;4—();5—;6—;7—

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