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H64..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T893—2013

電子薄膜用高純鈦濺射靶材

High-puritysputteringtitaniumtargetusedinelectronicfilm

2013-10-17發(fā)布2014-03-01實(shí)施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T893—2013

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位有研億金新材料股份有限公司寧波江豐電子材料有限公司

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人何金江董亭義袁海軍羅俊鋒滕海濤喻潔賀昕錢紅兵周辰劉丹

:、、、、、、、、、、

陸靈芝王學(xué)澤熊曉東

、、。

Ⅰ

YS/T893—2013

電子薄膜用高純鈦濺射靶材

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜用高純鈦濺射靶材的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存及

、、、、、

質(zhì)量證明與合同訂單等內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜制造用的各類鈦濺射靶材

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB/T1031(GPS)

海綿鈦鈦及鈦合金化學(xué)分析方法氧量氮量的測定

GB/T4698.7、、

海綿鈦鈦及鈦合金化學(xué)分析方法碳量的測定

GB/T4698.14、

海綿鈦鈦及鈦合金化學(xué)分析方法氫量的測定

GB/T4698.15、

金屬平均晶粒度測定方法

GB/T6394

變形金屬超聲檢驗(yàn)方法

GJB1580A

濺射靶材背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法

YS/T837-

高純鈦化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定輝光放電質(zhì)譜法

YS/T891

高純鈦化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

YS/T892

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

靶材target

在濺射沉積技術(shù)中的陰極部分該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子原子或離子的形

。、

式脫離陰極而在陽極表面沉積

。

32

.

靶坯targetblank

陰極上用作濺射材料的部分

。

33

.

背板backingplate

用來支撐或固定靶材的部分靶坯與背板可以通過焊接如釬焊擴(kuò)散焊等機(jī)械復(fù)合粘接等方

。(、)、、

式連接

。

4要求

41產(chǎn)品分類

.

411產(chǎn)品按照結(jié)構(gòu)形式分為單體和復(fù)合兩種