標準解讀

《YS/T 978-2014 單晶爐碳/碳復合材料導流筒》是中國有色金屬行業(yè)標準之一，該標準主要針對用于單晶硅生長設備中的碳/碳復合材料導流筒提出了具體的技術要求和試驗方法。碳/碳復合材料因其優(yōu)異的耐高溫性能、良好的熱穩(wěn)定性和較低的熱膨脹系數(shù)，在半導體制造領域尤其是單晶硅拉制過程中被廣泛采用作為關鍵部件之一。

根據此標準，首先定義了術語與定義部分，明確了“碳/碳復合材料”、“導流筒”的概念及其應用背景。接著，在技術要求章節(jié)中詳細規(guī)定了導流筒的尺寸公差、外觀質量、密度、彎曲強度等物理機械性能指標；同時，還對材料的灰分含量、電阻率以及抗氧化性等方面設定了相應的限制條件。此外，標準也列出了導流筒在使用前應滿足的安全性能要求，比如最高使用溫度下不應產生有害氣體或物質。

對于如何驗證這些技術參數(shù)是否符合規(guī)定，標準內提供了詳細的檢驗規(guī)則及抽樣方案，并且介紹了幾種常見的測試方法，包括但不限于密度測定法、彎曲強度測試、電阻率測量等。值得注意的是，在進行各項檢測時需嚴格按照指定的操作步驟執(zhí)行以確保結果準確性。


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  • 2014-10-14 頒布
  • 2015-04-01 實施
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文檔簡介

ICS29045

H83.

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T978—2014

單晶爐碳/碳復合材料導流筒

Carbon/carboncompositesguideshieldofsinglecrystalfurnace

2014-10-14發(fā)布2015-04-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T978—2014

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準主要起草單位湖南金博復合材料科技有限公司西安隆基硅材料股份有限公司

:、。

本標準主要起草人廖寄喬李軍譚周建邰衛(wèi)平李定武王躍軍龔玉良周銳陳英李丙菊

:、、、、、、、、、、

石磊

。

Ⅰ

YS/T978—2014

單晶爐碳/碳復合材料導流筒

1范圍

本標準規(guī)定了直拉單晶爐用碳碳復合材料導流筒的要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸

/、、、、、、

儲存質量證明書和訂貨單或合同內容

、()。

本標準適用于直拉單晶爐用碳碳復合材料導流筒

/。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差

GB/T1804

計數(shù)抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

閃光法測量熱擴散系數(shù)或導熱系數(shù)

GB/T22588

炭素材料體積密度測定方法

GB/T24528

感耦等離子體原子發(fā)射光譜方法通則

JY/T015

三向纖維增強復合材料彎曲性能試驗方法

QJ2099

碳碳復合材料灰分含量測試方法

QJ2509/

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

導流筒guideshield

位于單晶爐內坩堝的上方起著引導氣體流動屏蔽熱量形成單晶生長溫度梯度具有導流保溫作

,、、,

用的錐筒形物體

。

4要求

41產品分類

.

411碳碳復合材料導流筒按其錐體小端內徑分成不同的規(guī)格其常見的規(guī)格代號有

../,235(20in/

等圖為導流筒示意圖規(guī)格代號中后面括號內的表示該

6.5in)、265(22in/8in),1。235“20in/6.5in”

導流筒用于熱場的單晶爐中拉的單晶棒較為合適

20in6.5in。

412根據碳碳復合材料導流筒中灰分含量碳碳復合材料導流筒按純度等級分為一級和二級

..

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