第五章電子圖像成像理論第一頁，共34頁。像管光陰極發(fā)出的電子圖像是通過電子光學(xué)系統(tǒng)的作用聚焦成像到輸出像面上并完成電子圖像的能量增強(qiáng)。電子光學(xué)系統(tǒng)也稱為電子透鏡。電子光學(xué)理論中，研究電子束聚焦成像和偏轉(zhuǎn)，起電子透鏡和電子棱鏡作用的分支稱為弱流細(xì)束電子光學(xué)，由于其分析聚焦成像方式同幾何光學(xué)相似，故也稱之為幾何電子光學(xué)。第二頁，共34頁。它的主要研究?jī)?nèi)容包括：解決電子光學(xué)系統(tǒng)中場(chǎng)的分布(等價(jià)于幾何光學(xué)中的折射率分布)問題；研究電子的運(yùn)動(dòng)規(guī)律和運(yùn)動(dòng)軌跡；討論理想成像和各類特殊類型的電子透鏡等及其像差理論。第三頁，共34頁。討論和研究弱流細(xì)束電子光學(xué)條件如下：①所研究的場(chǎng)為靜場(chǎng)，即場(chǎng)與時(shí)問無關(guān)或隨時(shí)問變化甚慢，亦即靜場(chǎng)只是空間坐標(biāo)的函數(shù)；②在真空中；③忽略電子束本身的空間電荷(或電流)分布對(duì)場(chǎng)的影響；④電子速度遠(yuǎn)小于光速，即不考慮相對(duì)論修正。第四頁，共34頁。5.1電子光學(xué)的基本方程

解釋各種電子光學(xué)現(xiàn)象及進(jìn)行電子光學(xué)系統(tǒng)的計(jì)算和設(shè)計(jì)，必須了解電子在電磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)規(guī)律。要研究電子在由電子光學(xué)系統(tǒng)確定的電、磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)規(guī)律，又必須知道電、磁場(chǎng)的具體分布，以求得電子光學(xué)折射率的分布，從而決定該系統(tǒng)的電子光學(xué)折射性質(zhì)和聚焦成像性質(zhì)。第五頁，共34頁。電子光學(xué)系統(tǒng)中的場(chǎng)分布具有比較復(fù)雜的形式，是與空間坐標(biāo)有關(guān)的非均勻場(chǎng)。求解電、磁場(chǎng)的場(chǎng)分布問題，在數(shù)學(xué)上歸結(jié)為用電動(dòng)力學(xué)和數(shù)學(xué)物理方法求解場(chǎng)所滿足的偏微分方程的邊值問題。但獲得解析解的情況是有限的，大多數(shù)情況是應(yīng)用計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)值計(jì)算或?qū)嶒?yàn)方法來確定場(chǎng)的分布。第六頁，共34頁。電磁場(chǎng)理論是以麥克斯韋方程為基礎(chǔ)的，即：第七頁，共34頁。當(dāng)所討論的空間沒有空間電荷和空間電流存在時(shí)，上面二式化為可見，靜電和靜磁現(xiàn)象是彼此獨(dú)立的，可分別討論。第八頁，共34頁。

從(5—3)式中的第一式可見，E是無旋場(chǎng)，因此可用電位函數(shù)V來描述，這說明在沒有空間電荷時(shí)V滿足拉普拉斯方程。第九頁，共34頁。而由(5-4)式的第二式可知B是無源場(chǎng)。因此可引入矢量磁位函數(shù)A，其定義為由電動(dòng)力學(xué)可知，矢量磁位函數(shù)A只是它的無源部分確定的，而其無旋部分可以任意選。為此，可令A(yù)的無旋部分為零而只有無源部分，亦即A滿足下述附加條件此即在沒有自由電流的靜磁場(chǎng)中矢量磁位函數(shù)A必須滿足的二階偏微分方程。第十頁，共34頁。5.2旋轉(zhuǎn)對(duì)稱場(chǎng)中的場(chǎng)方程5.2.1旋轉(zhuǎn)對(duì)稱靜電場(chǎng)如果電極系統(tǒng)對(duì)某一軸具有旋轉(zhuǎn)對(duì)稱狀，例如由同軸的雙圓筒組成的如圖5—l所示系統(tǒng)，在兩個(gè)圓筒上加上不同的電位，所形成的靜電場(chǎng)即為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱靜電場(chǎng)，或稱為軸對(duì)稱場(chǎng)。第十一頁，共34頁。在圓柱坐標(biāo)系中，拉普拉斯方程為第十二頁，共34頁。這類方程可通過第一類邊界條件(即陽極電位分布)求解。在沒有點(diǎn)電荷即沒有奇異點(diǎn)的空間里，V是解析函數(shù)，故可以將之展開為冪級(jí)數(shù)，如利用因r≠0而必須令各系數(shù)等于零的條件，最后可得到稱為謝爾赤公式第十三頁，共34頁。在大多數(shù)電子光學(xué)問題中，主要是考慮近軸的情況相應(yīng)的場(chǎng)強(qiáng)分量為第十四頁，共34頁。在近軸區(qū)，通常略去高次冪項(xiàng)，作用在電子上的電場(chǎng)力由此可知，電子所受的徑向力與r及φ’’(z)成正比，受力的方向由φ’’(z)的符號(hào)決定。若φ’’(z)＞0，則徑向力Fr的方向與r的方向相反，指向?qū)ΨQ軸，電子受到會(huì)聚作用；反之，φ’’(z)＜0，則電子所受到的徑向力是離軸的，電子受到發(fā)散作用。因此，φ’’(z)的正或負(fù)是判別旋轉(zhuǎn)對(duì)稱靜電場(chǎng)對(duì)電子是起會(huì)聚作用還是起發(fā)散作用的依據(jù)，也是靜電透鏡的本質(zhì)所在。第十五頁，共34頁。5.2.2旋轉(zhuǎn)對(duì)稱靜磁場(chǎng)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱靜磁場(chǎng)是電子光學(xué)系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用的磁場(chǎng)，而且是最早知道具有電子光學(xué)聚焦成像性能的場(chǎng)。由于矢量磁位A只是作為運(yùn)算工具而引入的輔助概念，故通常在圓柱坐標(biāo)系中，選擇拉普拉斯方程為第十六頁，共34頁。同靜電場(chǎng)情況類似，在r很小的近軸范圍內(nèi)，由此可知，在近軸區(qū)軸向磁場(chǎng)Bz(z，r)的大小就是B(z)，而與r無關(guān)；徑向磁場(chǎng)Br(z，r)的大小與離軸距離r成正比。另外，由于r很小，故Br<<Bz，這樣，近軸區(qū)的磁力線可近似地看做與z軸平行而類似于長(zhǎng)螺線管內(nèi)的縱向磁場(chǎng)。顯然，這種磁場(chǎng)對(duì)電子束具有聚焦的作用。第十七頁，共34頁。

磁場(chǎng)對(duì)電子的作用力由洛倫茲公式?jīng)Q定式中θ為電子在坐標(biāo)θ方向上的速度分量。可見磁場(chǎng)在r方向?qū)﹄娮拥淖饔昧εcr成正比，這是磁場(chǎng)使電子束能夠理想聚焦成像的條件。第十八頁，共34頁。第十九頁，共34頁。5.3.1電子在電磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)方程運(yùn)動(dòng)速度為v的電子在電、磁場(chǎng)同時(shí)存在的復(fù)合場(chǎng)中所受的作用力為第二十頁，共34頁。在直角坐標(biāo)系中第二十一頁，共34頁。這表明磁場(chǎng)所產(chǎn)生的力只能改變電子運(yùn)動(dòng)的方向而不能改變電子的能量，電子在電子光學(xué)系統(tǒng)中獲得能量來源于電場(chǎng)?？梢?，當(dāng)電子在靜電和靜磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)，電子的動(dòng)能和位能之和保持不變。第二十二頁，共34頁。這里的eV。即為以電子伏特表示的電子初能量的等效電位能。V。則等價(jià)于靜止的陰極電子獲得初始速度v。所需的加速電位，稱為初電位。第二十三頁，共34頁。第二十四頁，共34頁。5.3.2電子在電磁場(chǎng)中的軌跡方程

第二十五頁，共34頁。第二十六頁，共34頁。第二十七頁，共34頁。第二十八頁，共34頁。5.5.3旋轉(zhuǎn)對(duì)稱電磁場(chǎng)的

聚焦成像性能理想成像應(yīng)滿足：(l)物平面上某點(diǎn)發(fā)出的電子，在場(chǎng)的作用