大宗氣體及特殊氣體大宗氣體及特殊氣體57/5757/57/大宗氣體及特殊氣體大宗氣體及特殊氣體GAS系統(tǒng)基礎(chǔ)知識概述HOOK-UP專業(yè)認(rèn)知廠務(wù)系統(tǒng)HOOKUP定義HOOKUP乃是藉由連接以傳輸U(kuò)TILITIES使機(jī)臺達(dá)到預(yù)期的功能。HOOKUP是將廠務(wù)提供的UTILITIES(如水,電,氣,化學(xué)品等),經(jīng)由預(yù)留之UTILITIES連接點(PORTORSTICK),藉由管路及電纜線連接至機(jī)臺及其附屬設(shè)備(SUBUNITS)。機(jī)臺使用這些UTILITIES,達(dá)成其所被付予的制程需求并將機(jī)臺使用后,所產(chǎn)生之可回收水或廢棄物(如廢水,廢氣等),經(jīng)由管路連接至系統(tǒng)預(yù)留接點,再傳送到廠務(wù)回收系統(tǒng)或廢水廢氣處理系統(tǒng)。HOOKUP項目主要包括∶CAD，MOVEIN，COREDRILL，SEISMIC，VACUUM，GAS，CHEMICAL，D.I,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC,DRAIN.GASHOOK-UP專業(yè)知識的基本認(rèn)識在半導(dǎo)體廠，所謂氣體管路的Hook-up（配管銜接）以BuckGas（一般性氣體如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言，自供氣源之氣體存貯槽出口點經(jīng)主管線（MainPiping）至次主管線（Sub-MainPiping）之TakeOff點稱為一次配（SP1Hook-up），自TakeOff出口點至機(jī)臺（Tool）或設(shè)備（Equipment）的入口點，謂之二次配（SP2Hook-up）。以SpecialtyGas（特殊性氣體如：腐蝕性、毒性、易燃性、加熱氣體等之氣體）而言其供氣源為氣柜（GasCabinet）。自G/C出口點至VMB（ValveMainfoldBox.多功能閥箱）或VMP（ValveMainfoldPanel多功能閥盤）之一次測（Primary）入口點，稱為一次配（SP1Hook-up），由VMB或VMPStick之二次側(cè)（Secondary）出口點至機(jī)臺入口點謂之二次配（SP2Hook-up）。 GAS簡單知識基本掌握第一章氣體概述由于制程上的需要，在半導(dǎo)體工廠使用了許多種類的氣體，一般我們皆依氣體特性來區(qū)分，可分為一般氣體（BULKGAS）與特殊氣體（SPECIALTYGAS）兩大類。前者為使用量較大之氣體，如N2、CDA等，因用量較大，一般氣體常以大宗氣體稱之。后者為使用量較小之氣體?一般指用量小,極少用量便會對人體造成生命威脅的氣體，如SiH4、NF3等1.1BulkGas介紹半導(dǎo)體廠所使用的大宗氣體，一般有：CDA、GN2、PN2、PAr、PO2、PH2、PHe等七種。大宗氣體的制造：CDA/IA(CleanDryAir/InstrumentAir)：CDA之來源取之于大氣經(jīng)壓縮機(jī)壓縮后除濕，再經(jīng)過濾器或活性炭吸附去除粉塵及炭氫化合物以供給無塵室CDA/IA(CleanDryAir)。GN2(Nitrogen)：利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)過觸媒轉(zhuǎn)化器，將CO反應(yīng)成CO2，將H2反應(yīng)成H2O，再由分子篩吸附CO2、H2O，再經(jīng)分溜分離O2&CnHm。N2=-195.6℃，O2=-183℃。PN2(Nitrogen)：將GN2經(jīng)由純化器(Purifier)純化處理，產(chǎn)生高純度的氮?dú)狻Ｒ话阋簯B(tài)氮?dú)饧兌燃s為99.9999﹪，含小數(shù)點后共6個9。經(jīng)純化器純化過的氮?dú)饧兌燃s為99.9999999﹪，含小數(shù)點后共9個9。PO2(Oxygen)：利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得99.0﹪以上純度之氧，再除去N2、Ar、CnHm。另外可由水電解方式解離H2＆O2，產(chǎn)品液化后易于運(yùn)送儲存。PAr(Argon)：利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得99.0﹪以上純度之氬氣，因氬氣在空氣中含量僅0.93﹪，生產(chǎn)成本相對較高。PH2(Hydrogen)：利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得99.0﹪以上純度之氫氣。另外可由水電解方式解離H2＆O2，制程廉價但危險性高易觸發(fā)爆炸，液化后易于運(yùn)送儲存。PHe(Helium)：由稀有富含氦氣之天然氣中提煉，其主要產(chǎn)地為美國及俄羅斯。利用壓縮機(jī)壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，易由分溜獲得。Helium=-268.9℃，Methane=-161.4℃。2．大宗氣體在半導(dǎo)體廠的用途：CDA：CDA主要供給FAB內(nèi)氣動設(shè)備動力氣源及吹凈(purge)，LocalScrubber助燃。IA主要供給廠務(wù)系統(tǒng)氣動設(shè)備動力氣源及吹凈。N2：主要供給部分氣動設(shè)備氣源或供給吹凈、稀釋、惰性氣體環(huán)境及化學(xué)品輸送壓力來源。O2：供給ETCH制程氧化劑所需及CPCVD制程中供給氧化制程用，供給O3Generator所需之氧氣供應(yīng)及其它制程所需。Ar：供給Sputter制程，離子濺鍍熱傳導(dǎo)介質(zhì)，Chamber稀釋及惰性氣體環(huán)境。H2：供給爐管設(shè)備燃燒造成濕氧環(huán)境，POLY制程中做H2BAKE之用，W-PLUG制程中作為WF6之還原反應(yīng)氣體及其它制程所需。He：供給化學(xué)品輸送壓力介質(zhì)及制程芯片冷卻。3.BULKGAS的供應(yīng)系統(tǒng)Methods:--OOO--He-OOO-OH2O-ArOOO2OON2OCDACompressorBundleTrailerContainerStoragetankProducedon-siteGASTYPEBulkGasSupplySystembeforeFabBulkGasSupplySysteminFab大宗氣體(BULKGAS)雖然不像特殊氣體(SPECIALITYGAS)，有的具有強(qiáng)烈的毒性、腐蝕性。但是我們使用大宗氣體時，仍然要注意安全。GN2、PN2、PAr、PHe具有窒息性的危險，這些氣體無臭、無色、無味，如大量泄出而相對致空氣中含氧量（一般為21﹪）減少至16﹪以下時，即有頭痛與惡心現(xiàn)象。當(dāng)氧氣含量少至10﹪時，將使人陷入意識不清狀態(tài)，6﹪以下瞬間昏倒，無法呼吸，6分鐘以內(nèi)即死亡。PH2因泄漏或混入時，其本身之濃度只要在H2之爆炸范圍(4%－75%)內(nèi)（如對空氣），只要一有火源，此氣體乃會因相混而燃燒。PO2會使物質(zhì)易于氧化產(chǎn)生燃燒，造成火災(zāi)的不幸事件。因此，身在半導(dǎo)體工廠工作的我們，在設(shè)計上、施工中，如何避免泄漏、如何防患，則是我們努力的工作之一。1.2特殊氣體特性及系統(tǒng)簡介半導(dǎo)體廠所使用的特殊氣體種類繁多，約有四五十種，依危險性可區(qū)分為以下數(shù)類：*易燃性氣體FlammableGas*毒性氣體ToxicGas*腐蝕性氣體CorrosiveGas*低壓性/保溫氣體HeatGas*惰性氣體InertGas1.特殊氣體特性簡介*易燃性氣體:燃點低,一泄漏與其他氣體相混,便易引起爆炸及燃燒如SIH4,PH3,H2,….*毒性氣體:反應(yīng)性極強(qiáng),強(qiáng)烈危害人體功能,如CO,NO,CLF3,….*腐蝕性氣體:易與水份起反應(yīng)而產(chǎn)生酸性物質(zhì),有刺鼻,腐蝕,破壞人體的危險性如NH3,SIF4,CL2,….*低壓性/保溫氣體:屬粘稠性液態(tài)氣體,需包加熱線及保溫棉,將管內(nèi)的溫度升高以使其氣化,才能充分供應(yīng)氣體,如WF6,BCL3,DCS,….*惰性氣體:又稱窒息性氣體,當(dāng)泄漏出的量使空氣中含氧量減少至16%~6%以下時,便會影響人體,甚至死亡,如SF6,C4F8,N2O,….2.供應(yīng)系統(tǒng)簡介*GC（GasCabinet）氣瓶柜*GR（GasRack）氣瓶架*BSGSSystem（BulkSepcialgassupplysystem）特殊氣體大量供應(yīng)系統(tǒng)*Y-Cylinder,Bundle集束鋼瓶*Trailer槽車*VDB主閥箱/VDP主閥盤（ValveDistributionBox/Panel）*VMB閥箱/VMP閥盤(ValveManifoldBox/Panel)SpecialtyGasSupplySystemSpecialtyGasSupplySystem-Equipmentineveryfloor我們不排除這些氣體會對我們有不良影響。身在半導(dǎo)體工廠的我們，在設(shè)計上、施工中，如何避免泄漏、如何防患，則是我們努力的工作之一。第二章一次配管和二次配管半導(dǎo)體廠的氣體管路，我們一般區(qū)分為一次配管（SP1）及二次配管（SP2，又稱Hookup）。SP1：為由氣體的起始流出點（Gasyard/Gascabinet）至無塵室中的TakeoffValve或VMB（Valvemanifoldbox）/VMP（Valvemanifoldpanel）。SP2：為由TakeoffValve或VMB/VMP開始至生產(chǎn)機(jī)臺設(shè)備處為止（Hookup）。所使用管材以1/4”、3/8”、1/2”、3/4”為主。Piping之設(shè)計應(yīng)配合氣體類型考量，一般分為BulkGas及SpecialityGas兩大類。2.1Material介紹了解半導(dǎo)體氣體工程的配管，和管路設(shè)計，必須先了解材料（Material）材料區(qū)分：TUBE&PIPE（管件）FITTINGS（配件）VALVE（閥件）REGULATOR（調(diào)壓閥）CHECKVALVE（逆止閥）FILTER（過濾器）VACUUMGENERATOR（真空產(chǎn)生器）其他選料依據(jù)：?氣體種類,氣體特性*影響材料使用的等級–AP/BA/EP/V+V/….?業(yè)主需求及預(yù)算*有無指定廠牌或規(guī)格?依機(jī)臺所需用量及本身接點選定料件尺寸*影響材料使用的尺寸–?”/?”/15A/…….?依機(jī)臺所需壓力及流量不同選擇材料型式*選用壓力范圍適合或流量符合之閥件?視盤面組裝選擇料件接頭型式*VCR/SWG/Welding/Flange…..TUBE&PIPE管件：?1.定義:*Pipe:,以公稱內(nèi)徑(ID)配合壁厚作為量度之尺寸.*Tube:以外徑(OD)及壁厚作為量度之尺寸.*規(guī)格:6M/stickor4M/stickor100M/roll2.常用材質(zhì):SS304/SS304L&SS316/SS316L&VIM+VAR&HC-22…3.表面處理等級:BA–BrightAnneal表面研磨EP–ElectroPolish表面研磨+電解研磨?4.等級:*BulkGas一般使用316LBA或316LEP等級*SpecialtyGas:易燃性/惰性氣體–316LEP毒性–雙套管(304AP+316LEP)/單管316LEP腐蝕性氣體–VIM+VAR低壓性氣體--316LEP+HeaterLine+WarmCoverFITTINGS配件：?1.材質(zhì)同管件?2.常用種類:a.Nut+Gland+Gasketb.Elbow,Tee,Reducerc.Cap,Plugd.Connectore.others…?3.型式及規(guī)格:一般可分為VCR/SWG/WELDING/螺牙接頭/FLANGE尺寸從1/8“~1”(VCR/SWG)及1/4“~300A(WELD/FLANGE)皆有,又分短接頭SCM(micro)or長接頭SCL(long)&SCF(以Kitz作說明):ProductNameSizeSizeforothersideTypeSpecificationMaterialSCM40EEPLESCM：表示BANKEN公司對FITTING的分類，是屬于短接頭型式。4：表示尺寸為1/4”。0：表示另一端尺寸同前，為1/4”。E：表示此料件型式為ELBOW。EP：表示料件表面處理等極為EP。LE：表示此料件為VIM+VAR等級的EP?4.常用廠牌:KITZ/HAM-LET/IHARA/SWAGELOK/FUJIKIN….?5.另外大部分FITTING又分為三種不同規(guī)格，分別為一般Type；UnionType及ReducingType。一般型即為平時所見之焊接型式，Union型為對接型式（即直接以GLAND+NUT鎖緊），Reducing型類似一般型，唯其兩端（三端）尺寸不同。一般組盤所用接頭有兩種，分別為VCR及SWG，其中VCR需鎖緊1/8圈，SWG需鎖緊11/4圈(1/4”以下需鎖緊3/4圈)，方能有效鎖緊。大部分的氣體使用之GASKET為Ni材質(zhì)，CO對Ni具侵蝕性*CO&O3–GasketmustbeSUS.。VALVE閥件：?1.材質(zhì)同管件?2.常用種類:*手動閥(ManualValve)a.BallValve球閥b.BellowsValve波紋管閥c.DiaphragmValve膜片閥*氣動閥(AirValve)*逆止閥(CheckValve)CHECKVALVE選取主要依據(jù)其尺寸及兩端接頭型式?jīng)Q定。CrackingPressure為CheckValve使氣體通過之最小壓力。通常選用3psig以下之型式。NH3必需使用特殊之CheckValve，*NH3–CheckvalvemustbeAFLAStype.。*其他?3.常用廠牌:KITZ/OHNO/IHARA/MOTOYAMA/NUPRO….?4.備注:*高壓閥/低壓閥--依使用場所不同來選擇*兩通閥/三通閥/四通閥/…..:依需求來選擇,注意流向選擇REGULATOR調(diào)壓閥：?1.材質(zhì)同管件?2.Seat材質(zhì):PCTFE,SS316L,Kel-F81…*N2O–SeatmaterialmustbeVespel.?3.常用種類:*高壓/低壓/一般壓力*2P無表頭/3Por4P單表頭或雙表頭*VCR/SWG/Flange?4.REGULATOR一般分高壓與低壓選取，但尚有高流量型式可供選取，另外可依表頭（Gauge）需求加以搭配。?(以KITZ為例)*BulkGas一般使用316LBA或316LEP等級/VCR或SWG1/4”-R25系列3/8”-R35系列1/2”-RH1系列*SpecialtyGas:毒性/易燃性/惰性氣體–316LEP-L25orR25系列腐蝕性氣體–VIM+VAR-L25SVA系列低壓性氣體–需選擇可調(diào)負(fù)壓的type-L96SSA系列(-30”Hg~0~30psi)aboutPressureGauge&Transducer?1.常用種類區(qū)別:*PressureGauge(PG)壓力表頭,指針式,C122*PressureSwitch(PS)壓力開關(guān),指針式,帶傳輸線,IPS122*DigitalPressureGauge(PID)電子式壓力表頭*PressureTransducer(PT)壓力傳送器?2.使用于:盤面及管路上?3.壓力范圍大致可分為:*高壓(0~3000psi)*低壓(-30”Hg~0~30psi)(-30”Hg~0~160psi)?4.常用電源:24VDC,4~20mADCFILTER過濾器：?1.功能:過濾氣體中的微粒子(Particle)?2.過濾等級選擇,即濾徑尺寸(particlesize),可分為:*0.01um/0.03um/0.003um?3.中心濾片(Medium)材質(zhì):PTFE/SS316L/NI*CO–濾片材質(zhì)為PTFE?4.流量考量(flowrate):分一般流量及大流量30slpm/100slpm/300slpm/1500slpm….?5.Connectingtype:VCRorSWGorWelding?6.注意:一般常用濾片材質(zhì)(以Mykrolis為例)*BulkGas–PTFE*SpecialtyGas:毒性/易燃性/惰性氣體–PTFE系列腐蝕性氣體–PTFE,noSS316LforCO-PTFEtype>10.8>10.86.2>10.8抓取率好很好很好Nickel(Ni)很差好很好SS316L(M)N/A不好好PTFE(F)抗腐蝕效果防漏性過濾效果VACUUMGENERATOR真空產(chǎn)生器：裝于G/C/G/R/VMB/VMP作為Vent抽氣使用VACUUMGENERATOR的選取主要在于其接頭的尺寸及型式。Ventout1/2”GN2in?”其他：（1）氬氣：純度99.999以上，每個鋼瓶6立方公尺或7立方公尺，通常一瓶每組可使用2~3天。（2）C型鋼：制作支撐架用，有高低腳、雙并、有孔等型式。（3）電工管夾：將管材固定于C型鋼上，最大可使用至5/8”之管子。（4）管束：分單立、雙立、P型等型式，固定管子用。（5）牙條：吊掛、固定型鋼用。（6）型鋼墊片：配合牙條、吊掛型鋼用。（7）彈簧螺帽：置于型鋼槽內(nèi)，鎖螺絲或牙條用。<符號認(rèn)識:>2.2一次配管2.2一次配管（SPI）BULKGASSPI名詞：MAIN主管SUBMAIN副主管TAKEOFFVALVE一次配與二次配連接的閥ISOLATIONVALVE隔離閥BOTTOMVALVE末端閥·1SCOPESP1：為由氣體的起始流出點（Gasyard）至無塵室中的TakeoffValve·2管路形式BulkGas在SubFab中的供應(yīng)系統(tǒng)按其形狀可以分為魚骨式和回路式兩種。魚骨式：MAIN和SubMain以魚骨的形狀分布回路式：MAIN和SubMain構(gòu)成回路形式這兩種BULKGAS的供應(yīng)形式各有自己的優(yōu)缺點，魚骨式成本比較低，但是由于氣體在SubMain但方向供應(yīng)的距離比較長，容易產(chǎn)生較大的壓降，末端部分的TAKEOFFVALVE容易產(chǎn)生壓力不足的情況；回路式使用MAIN從兩端向SUBMAIN供氣的方式，很大程度上降低了壓降帶來的不良影響，但是由于延長了MAIN的長度，成本比較高。實際上，不管魚骨式還是回路式，通過科學(xué)的計算，選擇適當(dāng)?shù)膲毫凸軓?，都可以滿足廠務(wù)的需求，選擇哪種方式，主要看業(yè)主的需要和選擇。·3閥件的選擇*該圖為各種閥件在供應(yīng)系統(tǒng)中的應(yīng)用位置*選擇的依據(jù)：閥的類型：根據(jù)氣體的種類PurgePort：根據(jù)管路焊接時ArPurge（防止管路內(nèi)部焊道氧化）的需求*各位置閥的選擇IsolationValve(OnMain/Submain)Weldingwith2purgeportBottomValve(OnMain/Submain)Weldingwith2purgeportTakeoffValve3/4",15AorlargerSize:useweldingwithoutletpurgeportvalve1/2"orsmallersize:useinletweldingoutletVCR(SWG)withNoportvalveWealsecanchooseVCR(SWG)valveastakeoffvalewithnopurgeportfollowingsupplyingstatusSPECIALTYGASSPI名詞：GC—GasCabinet氣瓶柜GR—GasRack氣瓶架VMB—ValveManifoldBoxVMP—ValveManifoldPanelVDB—ValveDistributionBoxVDP—ValveDistributionPanel·1SCOPE為由氣體的起始流出點（GC/R）至無塵室中的VMB/P·2氣體設(shè)備的設(shè)計●設(shè)計流程介紹:1.客戶提出需求2.設(shè)計建議案提出:a)Key-PointIntroductionb)FlowSheetDrawingc)MaterialQ’tyList3.箱體,盤面發(fā)包組立:a)MaterialChosenb)PanelLayoutDrawingc)BoxStructDrawing●GasCabinet/GasRack設(shè)計:功能設(shè)計可分為單鋼/雙鋼(2Process)/三鋼(2Process+1N2)氣瓶柜內(nèi)的鋼瓶數(shù)設(shè)計可分為三種：分別為單鋼、雙鋼、三鋼。單鋼的設(shè)計通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒炇业取Ｖ瞥躺形从辛慨a(chǎn)，氣體使用量小，現(xiàn)場可隨時協(xié)調(diào)停機(jī)進(jìn)行鋼瓶之更換，其優(yōu)點節(jié)省空間、成本低、但需透過日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷制程造成損失。雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠，制程不允許停機(jī)情況，當(dāng)一支鋼瓶使用完后，另一支鋼瓶standby會自動轉(zhuǎn)為供氣，此兩種形式最大的差別是在purge管路的純化氮?dú)馐且凿撈炕驈S務(wù)端供應(yīng)，當(dāng)purge用的PN2統(tǒng)一由廠務(wù)端來供應(yīng)時，所有特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一個供應(yīng)源，會有較高的風(fēng)險值；萬一中央供應(yīng)系統(tǒng)的PN2中斷，警報系統(tǒng)又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時使用purge，此時極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生，相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來purge增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應(yīng)變方式。三鋼氣柜成本不會差很多安全性會是最好的，只要空間允許應(yīng)最優(yōu)先選擇。2．操作性設(shè)計：一般氣瓶柜都設(shè)計有兩個特殊氣體鋼瓶，需自動切換的功能以達(dá)到連續(xù)供應(yīng)不斷氣的目的，氣態(tài)氣體通常以壓力感應(yīng)器來計算鋼瓶的剩余量，若是液態(tài)蒸氣壓氣體則以電子磅秤來偵測剩余量，當(dāng)一瓶用完時會切換到另一瓶。操作上一般可分為全自動、半自動、手動三種方式通常換鋼瓶時會執(zhí)行下列幾種Purge：(a)Pre-purge(換鋼瓶前)首先將鋼瓶閥關(guān)閉，測試是否有關(guān)緊，用真空產(chǎn)生器將特殊氣體抽出，再用PN2來稀釋管壁內(nèi)的特殊氣體，重復(fù)執(zhí)行充吹的動作將管壁內(nèi)的特殊氣體稀釋干凈，此時即可更換鋼瓶。(b)Post-purge(換鋼瓶后)通常以PN2來進(jìn)行保壓測試，測試鋼瓶接頭是否銜接良好，再利用PN2重復(fù)執(zhí)行充吹的動作來將鋼瓶接頭清潔干凈。(c)Processpurge(用特殊氣體)直接用特殊氣體來Purge管壁，主要的目的是要將PN2完全的清除讓供氣的品質(zhì)更好，不會因更換鋼瓶而供應(yīng)品質(zhì)受到影響。(d)Hipressureleaktest(高壓測漏)通常高壓燃燒性氣體會建議使用高壓測漏，因為經(jīng)過高壓測漏更能確保鋼瓶接頭銜接沒問題。一般鋼瓶更換時機(jī)大約是剩余10%的殘留量，但實際上應(yīng)以制程的需求來決定，這樣才會得到最佳的更換時間。再者，鋼瓶都有使用期限，操過使用期限因為部分特殊氣體會對鋼瓶造成為腐蝕，污染氣源。為到達(dá)上述1-4項的功能，其管件的設(shè)計就會比較復(fù)雜，建議顧客盡量使用自動的供應(yīng)系統(tǒng)，若使用手動的方式進(jìn)行，人員操作需要非常的小心謹(jǐn)慎，只要任何一項步驟有疏失極可能影響供應(yīng)的品質(zhì)，嚴(yán)重時有可能造成人員傷亡。即使是氣瓶架也應(yīng)該采用自動的供應(yīng)系統(tǒng)，雖然沒危險性，人員操作不當(dāng)極有可能造成污染，畢竟要人員重復(fù)動作可能幾十次，不但需要耗很多的時間，人員也要集中很多精神來執(zhí)行，風(fēng)險等級也相對提高。3.氣瓶柜管路設(shè)計：認(rèn)識氣瓶柜盤面上的一些設(shè)計，以下逐一介紹盤面上重要主件：氣動閥氣源：一般以GN2來進(jìn)行控制，不建議使用CDA，因GN2的供應(yīng)系統(tǒng)比較穩(wěn)定，不會因停電或運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備故障而中斷，此氣源是用于自動或半自動的氣動閥件開關(guān)。手動控制閥：主要用于第二到防護(hù)作為第二次確認(rèn)用，一般于供應(yīng)氣體的出口端。逆止閥：防止特氣倒灌到清潔用的PN2系統(tǒng)和抽氣用的GN2系統(tǒng)。調(diào)壓閥：用于調(diào)整供應(yīng)系統(tǒng)的供應(yīng)壓力。壓力傳送器：是防護(hù)系統(tǒng)中非常重要的零件，透過它我們可以判斷管路是否泄漏，相關(guān)閥件是否正常開關(guān)，同時亦可檢知鋼瓶的剩余量。真空產(chǎn)生器：利用GN2快速流動產(chǎn)生吸力，將管路中的氣體抽出，以到達(dá)抽氣的目的。氣體過濾器：一般在鋼瓶出口端會裝比較粗的過濾器，在出端會裝比較細(xì)的過濾器，有效過濾氣體中的粒子，過濾器較不易purge所以一般不建議裝在常purge的管路中。過流量偵測器：對管路異常流量進(jìn)行偵測，若是操過設(shè)定值，即判斷管路上可能大量泄漏，進(jìn)而關(guān)閉供應(yīng)系統(tǒng)停止供氣。限流孔：是一種簡易又有效的過流量控制裝置，用以限制大量氣體流過，一般使用于vent處，其主要功用大量的特殊氣體排出，區(qū)域性的廢氣處理機(jī)無法處理的情況發(fā)生。氣瓶柜在管路設(shè)計上應(yīng)該特別注意的事項如下：不相容的氣體purge管路不可相連在一起。不相容的氣體不能裝在同一個氣瓶柜內(nèi)，即使各自獨(dú)立的供應(yīng)系統(tǒng)也嚴(yán)重禁止。管路大小應(yīng)依實際制程所需的壓力流量來設(shè)計。鋼瓶接頭型號應(yīng)事先由業(yè)主告知我們以免有接頭無法接上的問題。小鋼瓶會使用可調(diào)整的支撐架。閥件材質(zhì)應(yīng)依氣體特性來選擇。如有考慮擴(kuò)充性可在出口端加裝一個預(yù)留擴(kuò)充閥。4.安全防護(hù)設(shè)施：氣瓶柜防護(hù)設(shè)計，包括外箱的防火與防爆設(shè)計、抽風(fēng)孔、火焰?zhèn)蓽y器、消防灑水頭、毒氣偵測器、緊急遮斷開關(guān)、過流量偵測器、溫度偵測器、煙霧偵測器、vent限流孔、遠(yuǎn)端遮斷等。其中消防灑水頭在氣瓶柜內(nèi)的溫度操過65℃時，玻璃會自動破裂灑水，但要注意有些腐蝕性氣體會與水產(chǎn)生強(qiáng)烈反映，建議不安裝消防灑水頭。在氣體房內(nèi)也需裝煙霧偵測器及灑水頭，以防止氣瓶柜以外的地方有火災(zāi)，所有系統(tǒng)應(yīng)該與中央監(jiān)控系統(tǒng)連線，并與廣播系統(tǒng)連線，一有警報立即疏散相關(guān)人員，由廠區(qū)緊急應(yīng)變小組來進(jìn)行處理，以免發(fā)生危險。這些相關(guān)防護(hù)設(shè)備在規(guī)劃時應(yīng)特別考慮其擺放位置及其實用，如緊急遮斷按鈕除氣柜上需要外，在氣體房外或中央監(jiān)控系統(tǒng)亦需架設(shè)，避免氣體外泄人員無法進(jìn)入關(guān)閉源頭的鋼瓶；此外警報警示燈與警報聲響亦需在氣體房外面明顯的位置架設(shè)，以利人員緊急處理時的識別，并規(guī)劃相關(guān)防護(hù)器具，如更換鋼瓶時所使用的空氣面罩。為防止地震會在氣瓶柜的底部打上膨脹螺絲固定，使其在地震時不至于位移，地震儀的安裝通常有三個感應(yīng)器，分別裝于廠區(qū)的三個角落，可避免當(dāng)有外力的干擾時(如施工)即造成誤動作，一般執(zhí)行地震切斷系統(tǒng)功能，通常會設(shè)定兩個地震儀動作才會執(zhí)行此功能，且設(shè)定地震等級為五級。另一項比較特殊的就是緊急的廢氣處理設(shè)備適用于燃燒性氣體，一般時抽風(fēng)量只有一半，當(dāng)特殊氣體外泄時，抽風(fēng)量會全數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)，需與偵測器配合使用，但受空間限制一般以吸附一瓶特殊氣的量作為設(shè)計，因為其體積非常大。但因價格昂貴目前尚未普及。5.依氣體特性來設(shè)計盤面功能:forexample:smicfab2安全功能:ShutBoy鋼瓶閥,UV/IR火焰?zhèn)蓽y器,Sprinker灑水頭,EMO緊急停氣按鈕,DPS/DPG泄漏偵測器……GCFLOWSHEETDRAWINGVMB/VMP的設(shè)計：VMB內(nèi)氣體種類配置的設(shè)計基本上有兩種方式：一種以供應(yīng)機(jī)臺為主，另一種以氣體種類進(jìn)行分類，前者較少用也比較不好，雖然它有空間上的優(yōu)點，但不相容氣體裝于同一個箱子內(nèi)萬一泄漏或人員誤動作極有可能激烈反應(yīng)嚴(yán)重甚至爆炸，相對偵測器的點數(shù)會增加，造成成本的負(fù)擔(dān)，未來擴(kuò)充性也較差，后者的設(shè)計是目前最普遍采用的方式，雖然無法集中，操作可能比較不方便，但氣體偵測點少，安全性高，VMB設(shè)計及操作容易，擴(kuò)充性佳。基本上VMB與氣瓶柜的設(shè)計是大同小異的，只要?dú)馄抗裼械墓δ茉赩MB亦可以做，但由于經(jīng)費(fèi)的問題一般功能不會做那么好，以手動為主加一個氣動閥可做緊急遮斷用。一般VMB不常會去操作或動到所以發(fā)生泄漏的機(jī)率比較低，設(shè)計一般以節(jié)省成本為主。VMB一般是以業(yè)主實際上的需求來設(shè)計2、3、4、5或其他點數(shù)的數(shù)目，同時供應(yīng)數(shù)臺機(jī)臺，亦可加調(diào)壓閥做二次調(diào)壓讓壓力更加的穩(wěn)定，設(shè)定上下警報訊號做更有效的供應(yīng)控制。*Function&Future:1.2sticks~10sticksProcessLines–forcustomer2.依操作方式可分為“自動”及“手動”3.With1Pn2purgelineand1vacuumline來潔凈管路及相關(guān)閥件(vacuumline可省略而經(jīng)由機(jī)臺pump來抽氣)4.依制程需求可再次調(diào)壓5.Mainline擴(kuò)充閥/Stick擴(kuò)充閥,視需求可供未來擴(kuò)充6.VMB之電控箱藉由GIS集中控制,并與廠務(wù)中控系統(tǒng)銜接*VMB/VMP之Safety:1.ProcessLine供氣狀況經(jīng)PLC(option)與中控系統(tǒng)連線,如有緊急狀況可自動切斷氣源2.所有閥件接點及焊道均在箱內(nèi),可經(jīng)由Damper抽風(fēng)功能來減少氣體外漏之危險3．VMBforFlammableorPyrophoricgaseshasUVDetector(option)4.LocalShutDownButton(forVMB)5.防爆鋼絲玻璃6.配置門鎖以防不當(dāng)操作2.3二次配管（SPII/Hookup）·1SCOPE為由TakeoffValve或VMB/VMP開始至生產(chǎn)機(jī)臺設(shè)備處為止（Hookup）·2Hookup配管之設(shè)計：類型：草圖：依業(yè)主提供之基本資料（廠務(wù)需求單，機(jī)臺、VMB/P、TAKE-OFF、LAYOUT圖面等），簡單繪制之圖面。施工圖：依據(jù)草圖協(xié)調(diào)Hookup事宜，經(jīng)確認(rèn)無誤后繪制而成。發(fā)至現(xiàn)場施工小組，即可依圖施工?？⒐D：施工完畢，現(xiàn)場負(fù)責(zé)人會將現(xiàn)場施工圖面收回。依現(xiàn)場施工修正之施工圖，繪制竣工圖。工作程序及方法：先期工作：以建立所需之BLOCK為主。對繪圖而言，底圖是重要且必需的參考依據(jù)，同時也希望業(yè)主能夠提供。至于如何做分區(qū)、界定，則與客戶廠務(wù)工程師協(xié)調(diào)后，再進(jìn)行底圖之分割及最后之圖檔管理。工作進(jìn)行中：以業(yè)主提供之Hookup圖面及資料，進(jìn)行統(tǒng)合及繪制草圖的工作。原則上草圖的統(tǒng)合，是由現(xiàn)場負(fù)責(zé)人負(fù)責(zé)－包括資料匯整、位置及水、氣、化、電的點數(shù)確認(rèn)，手繪草圖的工作等等。再與設(shè)計人員進(jìn)行實際的電腦繪圖工作。電腦繪圖完成之草圖，經(jīng)現(xiàn)場負(fù)責(zé)人確認(rèn)后，交予客戶相關(guān)之設(shè)備及廠務(wù)工程師。協(xié)調(diào)相關(guān)之廠商負(fù)責(zé)人及客戶相關(guān)之設(shè)備或廠務(wù)工程師，至現(xiàn)場實際套圖。為求圖面準(zhǔn)確性高，則希望業(yè)主提供做為參考之圖面及資料能愈詳細(xì)愈好，以做為最后確認(rèn)草圖的重要依據(jù)。若業(yè)主提供的圖面及資料有修改時，立即進(jìn)行修改以利完成工作任務(wù)。協(xié)調(diào)、修改后經(jīng)業(yè)主相關(guān)設(shè)備或廠務(wù)工程師確認(rèn)之圖面，即為施工圖，可發(fā)至現(xiàn)場施工。后期工作：現(xiàn)場施工小組依圖面施工，施工路徑與施工圖有異時，施工小組將在圖面上作修正。完工后，依現(xiàn)場施工小組修正之圖面，繪制竣工圖。現(xiàn)場負(fù)責(zé)人與設(shè)計人員依竣工圖至現(xiàn)場核對，修正后完成竣工圖面。Hookup工程，人員及設(shè)備之需求視現(xiàn)場實際需要而調(diào)配。例如人員工作量之負(fù)荷，是否進(jìn)駐現(xiàn)場，上下班情況等等，皆須配合業(yè)主之要求及預(yù)定Schedule之時程。一切以正確完成工作為原則?？蛻羲杼峁┲畧D面及資料（以下為參考資料，實際需求以工程為主）圖面：客戶廠區(qū)LAYOUT（最好各樓層皆有）GAS：TAKE-OFF，DP，VMB/PLAYOUTCHEMICAL：TEE-BOX，V-BOXLAYOUTWATERDPLAYOUTEXHAUSTLAYOUTELECTRICPOWERDISTRIBUTIONLAYOUTDATA：EQUIPMENTDETAILLIST（機(jī)臺設(shè)備詳細(xì)資料）（1）I.DNUMBER（2）TOOLNUMBER（3）INLETPOINT，SIZE，F(xiàn)LOW，PRESSURE各機(jī)臺使用之BULKGASTAKE-OFF點各機(jī)臺使用之VMB/P三．S．G氣體使用區(qū)域：四．B．G使用區(qū)域：CDA：T/FPHOTODIFFETCHCMPIMPGN2；T/FDIFFETCHCMPIMPLABPN2：T/FPHOTODIFFETCHCMPIMPHPCDA：PHOTO五．S．G適用機(jī)臺及制程：氣體種類適用機(jī)臺及制程5%H2/HEF2/KR/NEKR/NEAMTENDURA-SEEDLAYER(CU)(SPUTTER)SCANNERAR/H2/O2AMTENDURA-SPUTTERCO2NOVELLUSVECTOR-CU；DNSFC3000WETBENCH-STCLEAN、BCLEAN；DNSSCRUBBER-WAFERSCRUBBER、WAFERRECYCLEH2/CL2/HBRSIH4/WF6KE(Z-III)-STARTOXIDE；TELALPHA3031-GATEOXIDE、PAD/SACOXIDE；AMATECP(CU)-CUECP；NOVELLUSALTUS-WPLUGDEP；AMTRTP-RTA(IMP)HE/SF6/NF3CF4/SF6/HCLAMTPRODUCER-NOSI、PESN(COSIX、CU)、BD(CU)、BPTEOS、PETEOS、PEOX；AMTRTP-RTA(CVD)、RTA(IMP)；AMTENDURA-METALSPUTTER(CVD/TIN)；TELALPHA3031-LPTEOSN2OPH3/HEDCSAMTPRODUCER；AMTRTP；TELALPHA3031-LPNITRIDE、GATEOXIDE；NOVELLUSVECTOR-SIC(CU)、FSG(CU)NO/SIH4CL2TELALPHA3031-GATEOXIDEO2/DCS/NF3HBRKEZ(III)-FLOW/REFLOW、POLYCURING、PAD/SACOXIDE、STARTOXIDE；TELALPHA3031-GATEOXIDE；DNSFC3000-BCLEAN、STDCLEAN；NOVELLUSVECTOR-PEFSG、FSG(CU)、SIC(CU)、PEOX/PESN；AMTRTP-RTA(IMP)現(xiàn)場配管施工概說：Hookup配管的范圍：Bulkgas：由Takeoffvalve至機(jī)臺點。Specialtygas：由VMB/P各stick出口端至機(jī)臺點。Hookup配管常用的材料：tubeandfitting：一般常用尺寸為：1/4〞、3/8〞、1/2〞、3/4〞，常用材質(zhì)為：AP、BA、EP。DP盤（distributionpanel）：一般常用尺寸為：1/4〞、3/8〞1/2〞、3/4〞；組合閥件常見有：手動閥、調(diào)壓閥（regulator）；接頭形式有：VCR、swagelok、welding。確定機(jī)臺需求：設(shè)計人員依業(yè)主提供之機(jī)臺需求單，包含機(jī)臺名稱、位置、氣體需求數(shù)據(jù)、氣源點（takeoffvalve及VMB/P）編號，繪制草圖。核對現(xiàn)場及機(jī)臺：將legend圖與現(xiàn)場狀況核對，如氣源點、管路路徑、上洞點、盤面、門型架、地板開孔及附屬機(jī)臺位置等。待機(jī)臺定位后，需再確認(rèn)上述2-1項、機(jī)臺位置、門型架高度，及機(jī)臺上各接點氣體名稱、接頭尺寸、點數(shù)等（※在某些設(shè)備工程師為新進(jìn)人員或機(jī)臺為首次使用的情況下，經(jīng)常無法提供完整的機(jī)臺需求）。討論事項：管路在氣源點與機(jī)臺間是否安裝盤面、相同氣體之各接點（或pump）是否共享盤面、盤面高度及如何固定等問題，均需與業(yè)主事前充分討論，以免完工后再次修改。確認(rèn)legend圖及l(fā)ayout圖：將定稿之legend圖及l(fā)ayout圖，交業(yè)主審核無誤（或修改）后，再交工程人員備料施工。繪制竣工圖：現(xiàn)場完工后，設(shè)計人員需再次核對legend圖及l(fā)ayout圖與現(xiàn)場狀況是否相符，修正后繪制竣工圖一份送交業(yè)主、一份存查。HOOKUP配管施工確認(rèn)legend圖：自設(shè)計人員處取得legend圖，至現(xiàn)場確認(rèn)圖內(nèi)各項資料是否相符，如氣源點、管路路徑、上洞點等。備料：依legend圖計算所需材料，備妥待用。施工：規(guī)劃管路排列順序：依各氣源點與機(jī)臺的相關(guān)位置、盤面位置、配管路徑及機(jī)臺接點等，排列管路順序（能繪制立體圖者尤佳）。安裝盤面：在指定的高架地板下，依管路排列順序，將相同氣體的盤面集中擺設(shè)。安裝門型架：將指定的高架地板，依需求尺寸開孔后，安裝門型架。配管：所排列管路順序施工。注意事項：配管時使用彎管器或焊接elbow；彎管器使用幾倍彎；或部分使用彎管部分焊接elbow，均需事先了解。某些機(jī)臺的附屬機(jī)臺較為復(fù)雜，或擺設(shè)位置較遠(yuǎn)，施工前均需仔細(xì)確認(rèn)。

現(xiàn)場施工規(guī)范一高層1.３Ｆ盤底到高架地板標(biāo)高１７０ＭＭ。如現(xiàn)場無法架盤，盤底標(biāo)高５０ＭＭ。2.２Ｆ天花板往下６５０ＭＭ是ＨＯＯＫＵＰ高層；現(xiàn)場CABLERAY,管路爬高至天花板；不得穿越CABLETRAY。3．2FＶＭＢ／Ｐ上方彎管為ＶＭＢ／Ｐ底盤上平面向上３９０ＭＭ，彎長８０ＭＭ，高２０ＭＭ，角度＋-15度。4.1FSUPPORT上方１００處彎管，ＢＡＬＬＡＬＶＥ底端與ＰＣＷ末端相平。二氣體標(biāo)簽ＧＡＳ氣體標(biāo)簽有左右方向，不能混用（只有箭頭方向正確，是不合規(guī)范的）。氣體標(biāo)簽要貼正，貼牢管路標(biāo)示貼紙其方向、字體、種類需正確不可馬虎了事。黏貼樣式依業(yè)主要求不同的管徑選擇不同尺寸的管路標(biāo)示貼紙及粘貼距離。各式SWG及VCR接頭不可先行鎖緊，僅需稍加施力，以免破壞管材。管路施工，水平垂直誤差應(yīng)小于5%，如有不符，即需重新施作。附表則為管路支撐及標(biāo)示間距表。NOSIZEDISTANCE1<1/2＂2M215A3M3>50A4M三、材料類1、ＦＩＴＴＩＮＧ類施工損耗要≤2﹪。2、要按規(guī)定使用，不能亂用現(xiàn)場有疑問要與監(jiān)工聯(lián)系。3、組要用各組自己領(lǐng)的料，不得亂用別組的料。4、組要用各組自己領(lǐng)的料，不得亂用別組的料。5、場所用ＳＵＰＰＯＲＴ現(xiàn)只有兩種規(guī)格３００ＭＭ和６００ＭＭ。四、配管及焊接1．現(xiàn)場焊接的焊工要經(jīng)過認(rèn)證，有焊工證的才可進(jìn)行焊接動作。2.彎管要用５倍或１０倍彎管器，如現(xiàn)場有特殊情況.（不要隨意施工）。3.盤面要按圖架,管路到３Ｆ上洞要按圖上的上洞點上洞（不要隨意施工）。4.切管時不可進(jìn)刀過快。5.切管，倒角，修端面應(yīng)讓被修端向下。6.彎管的質(zhì)量必須平順，無劃傷，壓扁，嚴(yán)重變形等情況。7.禁止在焊道處作彎管動作。 現(xiàn)場測試部分 測試流程氣體管路的QC指的是要確保管路的外觀及管內(nèi)的各項測試都合乎客戶要求的標(biāo)準(zhǔn)并確保我們的產(chǎn)品的質(zhì)量達(dá)到一定的水平。測試前的確認(rèn)與檢查：圖面確認(rèn)當(dāng)管路施工完成時，QA、QC人員要確認(rèn)圖面是否有依照工程圖施工，以及施工氣體管路種類和數(shù)量是否正確，及takeoff使用是否正確。若不正確，應(yīng)立即要求下包廠商修改。外觀的確認(rèn)閥件使用是