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文檔簡介

傳感器原理與應(yīng)用第2章電阻式傳感器第2章電阻式傳感器

電阻式傳感器是將被測非電量轉(zhuǎn)換成電阻值變化的器件或裝置。

由于構(gòu)成電阻的材料種類很多,如導(dǎo)體、半導(dǎo)體、電解質(zhì)等,引起電阻變化的物理原因也很多,如材料的應(yīng)變或應(yīng)力變化、溫度變化等,這就產(chǎn)生了各種各樣的電阻式傳感器。被測量電阻式傳感器電阻第2章電阻式傳感器電阻式傳感器包括:①熱電阻;②熱敏電阻;③光敏電阻;④濕敏電阻;⑤氣敏電阻;⑥磁敏電阻;⑦壓敏電阻;⑧電位器式傳感器;⑨電阻應(yīng)變式傳感器;⑩壓阻式傳感器。第2章電阻式傳感器

2.1電阻應(yīng)變式傳感器2.2壓阻式傳感器2.1電阻應(yīng)變式傳感器應(yīng)變式傳感器是利用電阻應(yīng)變效應(yīng)做成的傳感器。由電阻應(yīng)變片和測量電路兩部分組成。應(yīng)變式傳感器的核心元件是電阻應(yīng)變片(計(jì))。電阻應(yīng)變片彈性元件信號(hào)調(diào)節(jié)電路2.1.1電阻應(yīng)變片的基本原理與結(jié)構(gòu)2.1.2電阻應(yīng)變片的主要參數(shù)及工作特性2.1.3電阻應(yīng)變片的測量電路2.1.4電阻應(yīng)變式傳感器應(yīng)用舉例

2.1電阻應(yīng)變式傳感器1.金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)長為L、截面積為A、電阻率為r的金屬或半導(dǎo)體絲,電阻為若導(dǎo)線沿著軸線方向受到力的作用而產(chǎn)生變形,則其電阻值也隨之發(fā)生變化,這一現(xiàn)象稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。2.1.1電阻應(yīng)變片的基本原理與結(jié)構(gòu)將式(2.1)兩邊微分得

經(jīng)推導(dǎo)可得2.1.1電阻應(yīng)變片的基本原理與結(jié)構(gòu)2.1.1電阻應(yīng)變片的基本原理與結(jié)構(gòu)

KS稱為電阻應(yīng)變敏感材料的靈敏系數(shù),即

KS表示當(dāng)發(fā)生應(yīng)變時(shí),其電阻變化率與其應(yīng)變的比值。KS的大小由兩個(gè)因素引起,第一項(xiàng)是由幾何尺寸的改變所引起的,第二項(xiàng)是受力后材料的電阻率r發(fā)生變化而引起的(稱壓阻效應(yīng))。2.1.1電阻應(yīng)變片的基本原理與結(jié)構(gòu)

對(duì)金屬來說,第二項(xiàng)很小,可忽略不計(jì),KS的第一項(xiàng)起主要作用,m=0.25~0.5,故KS≈1.5~2。對(duì)半導(dǎo)體而言,第二項(xiàng)取值為50~100,第一項(xiàng)可忽略不計(jì)??梢姡雽?dǎo)體的靈敏系數(shù)要比金屬大得多。

制造金屬電阻應(yīng)變片的幾種材料的性能如表2.1所示。2.1.1電阻應(yīng)變片的基本原理與結(jié)構(gòu)2.電阻應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)

圖中,l稱為應(yīng)變片的標(biāo)距,或稱工作基長;b稱為應(yīng)變片的基寬,或稱工作寬度;l×b稱為應(yīng)變片的使用面積。2.1.1電阻應(yīng)變片的基本原理與結(jié)構(gòu)

電阻絲較細(xì),直徑一般在0.015~0.06mm,兩端焊有較粗的低阻鍍錫銅絲(直徑為0.1~0.2mm)作為引線,以便與測量電路連接。應(yīng)變片的規(guī)格一般是以使用面積和電阻來表示的,如PJ-120型金屬電阻應(yīng)變片的規(guī)格為13mm×5mm,120W。2.1.1電阻應(yīng)變片的基本原理與結(jié)構(gòu)

應(yīng)變片的分類:①從尺寸上,長的有幾百mm,短的僅0.2mm;②從結(jié)構(gòu)形式上,有單片、雙片、應(yīng)變花和各種特殊形狀的圖案;③從使用環(huán)境上,有高溫、低溫、水、核輻射、高壓、磁場等;④從安裝形式上,有粘貼、非粘貼、焊接、火焰噴涂等。2.1.1電阻應(yīng)變片的基本原理與結(jié)構(gòu)

主要的分類方法是根據(jù)敏感元件材料的不同,將應(yīng)變片分為金屬式和半導(dǎo)體式兩大類。從敏感元件的形態(tài)又可進(jìn)一步分成不同類型。2.1.1電阻應(yīng)變片的基本原理與結(jié)構(gòu)

1)金屬應(yīng)變片(1)金屬絲式應(yīng)變片

最早采用圓弧(U)形,制作簡單但橫向效應(yīng)較大。直角(H)形兩端用較粗的鍍銀銅線焊接,橫向效應(yīng)相對(duì)較小,但制作工藝復(fù)雜,將逐漸被橫向效應(yīng)小、其他方面性能更優(yōu)越的箔式應(yīng)變片所代替。2.巨1.幫1電阻歇應(yīng)變掩片的疾基本染原理滔與結(jié)鋪構(gòu)(2)箔式磁應(yīng)變炊片它是德利用習(xí)照相會(huì)制版池或光關(guān)刻腐危蝕法母將電印阻箔陰材在繞絕緣金基底憤上制舊成各送種圖詳形的轎應(yīng)變雨片(厚度猶一般膨在0.踐00他3~0.保01效m刪m)。2.鐵1.絹1電阻鑼應(yīng)變輩片的寇基本峽原理撥與結(jié)腿構(gòu)箔式傾應(yīng)變餐片與朽金屬咱絲式養(yǎng)應(yīng)變躍片相頁比有撞如下鋤特點(diǎn)①敏忌感柵控尺寸夸準(zhǔn)確略、線遭條均裝勻,治大批賣量生親產(chǎn)時(shí)起電阻質(zhì)值離蠢散程曾度小缺。可滔根據(jù)醫(yī)不同稍測量史要求今制成厲任意脅形狀振。②可制藥成基泄長很滅小的侵應(yīng)變橡片。③敏寨感柵粥彎頭易橫向彼效應(yīng)吸可忽慚略。2.竭1.睡1電阻自應(yīng)變細(xì)片的毅基本石原理存與結(jié)浮構(gòu)④箔小式應(yīng)嘴變片白敏感下柵截株面為私長方簽形,慕表面熔積大途,散拌熱性攤能好弊,在鴿相同啄斷面告積情袋況下雖能通逮過較霞大的坦工作斜電流勝,從緊而能瓜增大周輸出停信號(hào)濫。⑤疲太勞壽滲命長有,機(jī)咱械滯鹿后小干,蠕慈變小茶。⑥便券于批王量生殿產(chǎn),斜而且革生產(chǎn)因效率自高。2.御1.貸1電阻掉應(yīng)變蜻片的牧基本兩原理頸與結(jié)治構(gòu)(3)薄膜衰式應(yīng)繼變片它是采伸用真鄙空濺勝射或治真空弄沉積娛等鍍米膜技炮術(shù)將呀應(yīng)變扶電阻辰材料斷鍍在唯基底宗材料殖上而記形成燈的(厚度祥在零欲點(diǎn)幾nm到幾蠅百nm)。這鋸類應(yīng)脆變片界的顯裙著特緒點(diǎn)是晝靈敏劈燕系數(shù)似大,茂允許蠅的電飲流密睡度大輕,工承作溫污度范可圍廣(-19芳7~31星7揀℃),也喂可用可于核蒸輻射補(bǔ)等特賽殊情轟況下稼,易青實(shí)現(xiàn)萬工業(yè)戰(zhàn)化批持量生秩產(chǎn)。2.封1.則1電阻紐奉應(yīng)變湯片的昨基本喇原理儉與結(jié)帽構(gòu)2)半導(dǎo)憲體應(yīng)苗變片(1)體型筍半導(dǎo)忍體應(yīng)跑變片欲。2.隆1.默1電阻叔應(yīng)變辟片的甜基本孟原理垂與結(jié)不構(gòu)(2)薄膜紫型半融導(dǎo)體企應(yīng)變疊片。(3)擴(kuò)散態(tài)型半裹導(dǎo)體惰應(yīng)變寨片。(4)外延任型半奪導(dǎo)體瓶應(yīng)變驚片。2.劃1.印1電阻魂應(yīng)變距片的姐基本從原理木與結(jié)耕構(gòu)半導(dǎo)扔體應(yīng)轟變片這有如粗下優(yōu)點(diǎn)①靈敏癥度高倒。②體積挎小,慘耗電常省。③具有勇兩種湊符號(hào)臥的應(yīng)響力效鄰應(yīng)(即在殺拉伸暴時(shí)P型硅沈應(yīng)變脊片的猛靈敏浙系數(shù)賺為正縮慧值,N型硅片的為葵負(fù)值)。主要磚缺點(diǎn)是受慮溫度聰?shù)挠肮ロ懘筢?、非將線性屢嚴(yán)重過。2.眉1.貼1電阻場應(yīng)變廢片的面基本商原理灘與結(jié)泛構(gòu)3.電阻趁應(yīng)變頓片的脖工作只原理彈性蒙元件紡變形應(yīng)變侄片變代形電阻轉(zhuǎn)改變FeeDR力f(F)的形季式與輩彈性禽元件博有關(guān)荷。2.文1.柳1電阻現(xiàn)應(yīng)變濃片的凳基本廚原理兆與結(jié)渾構(gòu)4.電阻潛應(yīng)變夏片的橋特點(diǎn)(1)優(yōu)點(diǎn)①測肅量精末度高釘,測勉量應(yīng)弓變的棋誤差恥小于1獵%。②測在量范深圍廣隊(duì),應(yīng)螺變測塑量范廉圍一壟般可休由數(shù)品個(gè)me至數(shù)司千個(gè)me。從彈性初變形一直候可測宅至塑性簽變形。變純形范奸圍從1陽%~20振%。③分泡辨力般高,巡壽通常愉可達(dá)1me。2.部1.飼1電阻深應(yīng)變速片的日基本丙原理嚴(yán)與結(jié)促構(gòu)④頻灰率響爹應(yīng)特刷性好晴,可里測幾歡十甚睬至上糠百kH鍋z的動(dòng)優(yōu)態(tài)過征程。⑤尺寸竊小(超小道型應(yīng)框變片貞的敏崖感柵盡尺寸舒為0.劍2東mm族×2趟.5咳m濕m)、重襪量輕棕、結(jié)似構(gòu)簡澇單,畫測試裙時(shí)對(duì)靈試件天的工根作狀店態(tài)及狠應(yīng)力歷分布天基本唉上沒飼有影嘉響,到適合深動(dòng)、織靜態(tài)捏測量被。2.神1.標(biāo)1電阻皮應(yīng)變饑片的漫基本察原理密與結(jié)搏構(gòu)⑥環(huán)境撒適應(yīng)睜性強(qiáng)湊,可騎在高惕溫、斷低溫蠶、高扛壓、債高速薦、水脫下、適強(qiáng)烈趕振動(dòng)收、強(qiáng)月磁場謀、核啟輻射鼠及化勻?qū)W腐望蝕等徑各種頓惡劣評(píng)環(huán)境辮條件輛下使嗎用。⑦便于懂實(shí)現(xiàn)幅多點(diǎn)右測量刊及遠(yuǎn)吐距離腫傳送喝。2.批1.棚1電阻家應(yīng)變更片的烤基本躁原理縣與結(jié)建構(gòu)(2)缺點(diǎn)①在府大應(yīng)險(xiǎn)變狀汁態(tài)下艦具有偶較大息的非受線性早,半軋導(dǎo)體擾應(yīng)變校片的區(qū)非線販性更童為顯纖著。②應(yīng)迫變片個(gè)的輸濟(jì)出信覺號(hào)較雀微弱伍,故利其抗診干擾勇能力獄較差蛇,因注此,完對(duì)信逗號(hào)連畢接導(dǎo)耽線要梳認(rèn)真葵屏蔽鍵。2.膽1.系1電阻閱應(yīng)變擺片的膝基本神原理風(fēng)與結(jié)仿構(gòu)③雖晃然應(yīng)傅變片昆尺寸牌較小測,但猴測出端的仍援是應(yīng)苦變片綱敏感流柵范跡圍內(nèi)套的平均筑應(yīng)變,不瞧能完勞全顯互示應(yīng)貌力場劇中應(yīng)照力梯治度的梢變化烏。④應(yīng)宿變片支的溫酒度系紅數(shù)較味大。2.絹1電阻村應(yīng)變態(tài)式傳習(xí)感器2.醉1.待1電阻卸應(yīng)變成片的蓬基本績原理遮與結(jié)扇構(gòu)2.表1.江2電阻榨應(yīng)變所片的碗主要賤參數(shù)擇及工持作特串性2.魂1.址3電阻滑應(yīng)變分片的辣測量等電路2.惜1.茫4電阻即應(yīng)變薄式傳仰感器秩舉例√2.屑1.蛾2電阻俗應(yīng)變高片的組主要卻參數(shù)碑及工落作特柔性1.電阻鹽應(yīng)變張片的淚主要功參數(shù)(1)電阻撈值是指碼應(yīng)變驗(yàn)片在寒安裝賺前及餡室溫晉下測績定的柱電阻運(yùn)值,負(fù)也稱牲為初始邁電阻釣值。有60W、90W、12多0W、25注0W、35迷0W、60蔬0W和10僻00W等,12脫0W和35駱0W應(yīng)用遺較多秀。2.震1.筒2電阻值應(yīng)變宰片的課主要斤參數(shù)散及工琴作特寸性(2)幾何料尺寸標(biāo)距(或工劑作基瀉長)l相對(duì)烘于工境作寬辣度(或基嬸寬)b較小棵時(shí)橫會(huì)向效血應(yīng)較研大,嚴(yán)所以必通常盡量副用l值較沈大的冒應(yīng)變膚片。但虹在應(yīng)炒變變堵化梯迫度大眼的場侄合(如應(yīng)力潮集中溉處),則埋應(yīng)該耍使用l小的掠應(yīng)變拼片。選目前評(píng)最小樹標(biāo)距遙可做止到0.愚2蛾mm,最溝大可絹達(dá)30父0治mm以上額。b值小匹時(shí)應(yīng)衣變片學(xué)的整楚體尺痰寸可世減小陳,但拿散熱貓性能姥變差燭。2.頑1.昆2電阻癢應(yīng)變枕片的跳主要押參數(shù)累及工齒作特序性(3)靈敏勉系數(shù)應(yīng)變辟片靈誰敏系從數(shù)(以下斗用K表示)的定冒義為皮:將恨應(yīng)變懸片安隙裝在較處于單向德應(yīng)力跟狀態(tài)的試翅件表界面,釋試件給由泊母松比μ=0.回28功5的鋼上構(gòu)成裝。使繩其靈憶敏軸斑線與獸應(yīng)力田方向受平行賴時(shí),室應(yīng)變冠片電起阻值雹的相掉對(duì)變燥化與叉沿軸飄向的蒸應(yīng)變蔥之比秩值。束即2.陽1.料2電阻稈應(yīng)變音片的惡主要首參數(shù)畫及工夾作特宇性因一妥般應(yīng)積變片打粘貼揭到試怖件上膊后不臟能取坑下再績用,雅故只攏能在兇每批勢產(chǎn)品賣中提羞取一愈定百盒分比(如5饑%)的產(chǎn)疤品進(jìn)寒行測存定,薄取其邪平均崇值作縮慧為這居一批徒產(chǎn)品磚的靈孩敏系耳數(shù)。刊這就靠是產(chǎn)峽品包址裝盒菜上注刮明的蹦靈敏退系數(shù)布,或甘稱“標(biāo)稱異靈敏茫系數(shù)”。2.涼1.褲2電阻隙應(yīng)變嚇片的岡主要糞參數(shù)撈及工綠作特綁性例2.括1如果堅(jiān)將10馳0W的電驚阻應(yīng)默變片眠貼在帖彈性施試件磚上,兔試件干受力樂橫截隨面積S=0.舒5×離10-4m2,彈性欄模量E=2×廢1011N/m2,若行有F=5×割104N的拉覽力引削起應(yīng)限變片申電阻震變化恭為1W。試綢求該噸應(yīng)變件片的厭靈敏拋系數(shù)誓。2.授1.僚2電阻證應(yīng)變炒片的攪主要拿參數(shù)每及工鋼作特窯性(4)絕緣爽電阻(5)允許鉗電流(6)應(yīng)變專極限(7)疲勞兄壽命是指鴨粘貼純在試泡件表太面上恥的應(yīng)公變片著,在督恒定翅幅值搖的交變鼠應(yīng)力作用未下,遼可以趨連續(xù)濫工作飛而不任產(chǎn)生疲勞率損壞的循懶環(huán)次方數(shù)。2.摧1.軌2電阻掙應(yīng)變抽片的芬主要晚參數(shù)國及工紋作特季性(8)機(jī)械澤滯后(9)零漂宏和蠕凡變(10)線性息度2.這1.清2電阻及應(yīng)變庸片的邪主要蓮參數(shù)壇及工館作特琴性2.橫向棵效應(yīng)應(yīng)變膀片由盈于圓采弧處期感受苦橫向敗應(yīng)變黨而使著電阻鼠變化士率減啦小并否使應(yīng)扔變片務(wù)靈敏所系數(shù)碎降低聞的現(xiàn)恰象稱傍為應(yīng)搜變片寧的橫向辯效應(yīng)。原絞因在常于圓就弧段虧感受瓣到的捉軸向冤應(yīng)變張從ex到-mex。lqexey=-mex2.盲1.霉2電阻聚應(yīng)變藏片的劃主要順參數(shù)攀及工萬作特輛性應(yīng)變熱片的擔(dān)粘貼應(yīng)變旨片通青常是塌用粘客合劑跡粘貼敞到試積件上珠的,叔在做習(xí)應(yīng)變受測量規(guī)時(shí),尿通過諷粘合稼劑所屬形成值的膠翻層將怕試件淚上的股應(yīng)變耳傳遞蛋到應(yīng)甲變片概的敏姜感柵亭上去冷。因磨此,嫁粘合喚劑的迅選擇媽和粘鉛貼質(zhì)撓量的錢好壞貢直接脾關(guān)系愛到應(yīng)完變片器的工方作情蒼況,層影響果測量講結(jié)果跨的準(zhǔn)魄確性語。2.牧1.域2電阻黨應(yīng)變危片的膝主要默參數(shù)峽及工歷作特菜性3.溫度快效應(yīng)抱及其僅補(bǔ)償(1鉤)溫度杯效應(yīng)吸把應(yīng)射變片額安裝對(duì)在自到由膨景脹的俊試件趙上,惠即使婆試件捆不受災(zāi)任何祥外力蜂作用娃,如顏果環(huán)破境溫家度發(fā)旋生變竄化,都應(yīng)變甲片的餅電阻環(huán)也將進(jìn)發(fā)生春變化灘,這蓋種現(xiàn)河象稱爪為應(yīng)糠變片罷的溫度拴效應(yīng)。由供溫度虹變化厚引起真的應(yīng)社變輸愈出稱拜為熱輸翅出,它您是虛啞假應(yīng)跌變,含在測伏量中熔須設(shè)程法予柳以消章除。2.忠1.鑼2電阻賀應(yīng)變茂片的竿主要耐參數(shù)士及工川作特蓮性產(chǎn)生惕溫度載誤差耳的原勉因主要求有兩舅個(gè)①敏你感柵刑金屬騙絲本統(tǒng)身的史電阻因隨溫誦度變駐化。蠻電阻動(dòng)與溫把度的辜關(guān)系錦可由遷下式急表示若由逗于電餡阻值持隨溫河度變提化引帝起的艱應(yīng)變治誤差氧記作De1,則時(shí)由式(2.填6)、(2.礙7)可得2.旦1.京2電阻支應(yīng)變枕片的斜主要洽參數(shù)封及工準(zhǔn)作特所性②由源于敏答感柵匪材料鄙的線住膨脹棟系數(shù)bs與試摘件材燭料的挨線膨筒脹系勉數(shù)bg不同義引起唇附加第變形鴉而使廚電阻裝變化期,表柳示為若由網(wǎng)于bs與bg不同恨而使啟電阻準(zhǔn)變化適造成苦的應(yīng)溝變誤接差記葡作De2,則2.追1.商2電阻窮應(yīng)變媽片的偉主要接參數(shù)岸及工蠢作特澇性由于統(tǒng)溫度甘效應(yīng)翁而造套成的發(fā)附加鈔應(yīng)變(熱輸賊出)為(2匪)溫度汪補(bǔ)償度溫度磚補(bǔ)償爺就是委消除予熱輸況出對(duì)回應(yīng)變蔽測量送的影買響。翼通常逮有橋喬路補(bǔ)束償法篩、應(yīng)續(xù)變片騎自補(bǔ)衛(wèi)償法宵和熱端敏電姨阻補(bǔ)付償法領(lǐng)。2.康1.賭2電阻飛應(yīng)變洽片的吹主要任參數(shù)涌及工陰作特欲性①橋翠路補(bǔ)頃償工作浮應(yīng)變態(tài)片R1與補(bǔ)償線應(yīng)變?nèi)浩琑2參數(shù)交相同霧。R1粘貼牧在試頑件上賺,R2粘貼查在和慘試件眠材料昨相同乘、處葬于同壤一溫摧度的究補(bǔ)償霉塊上抓。測凳量時(shí)松,使登二者僑接入告電橋桑的相萄鄰臂壞上。2.例1.輕2電阻鐮?wèi)?yīng)變沈片的柏主要杰參數(shù)豪及工躺作特握性有時(shí)者可將奶補(bǔ)償顯片亦班貼在迫被測開試件滴上,掩使其蟲既能設(shè)起到稼溫度循補(bǔ)償毛作用伶,又牧能提踢高靈肝敏度慚、補(bǔ)猛償非掀線性盲。例誘如,運(yùn)構(gòu)件紹作純彎它曲變喇形時(shí)。R1MMR2非純輸彎曲虎變形泰也近喪似適羅用。2.拘1.肅2電阻佩應(yīng)變吉片的騾主要換參數(shù)螞及工碑作特司性②應(yīng)厭變片便自補(bǔ)識(shí)償法論。通貿(mào)過選辛配敏鐮感柵電材料氏及其籍結(jié)構(gòu)絮參數(shù)涼,使役其自縱身具在有溫戒度補(bǔ)范償作幕用(稱為溫度確自補(bǔ)脆償應(yīng)蔬變片)。i.單絲殘自補(bǔ)促償應(yīng)胡變片進(jìn)。由賄式(2.帥11)可知際,自補(bǔ)晉償條件涂如下2.希1.醉2電阻西應(yīng)變執(zhí)片的盟主要白參數(shù)含及工役作特渣性ii.雙金滅屬敏征感柵寇自補(bǔ)介償應(yīng)孤變片浴。也響稱組合愈式自咬補(bǔ)償偏應(yīng)變韻片。它凡是利曠用兩瓦種電阻慨溫度毅系數(shù)微符號(hào)如相反的電響阻絲頃材料低,將餃二者喪串聯(lián)綢繞制曉成敏壺感柵庭。若娛兩段剛敏感飼柵R1和R2的DR1T=-DR2T,就匯可實(shí)菊現(xiàn)溫頸度補(bǔ)抄償。R1與R2的關(guān)滔系可穗由下訊式?jīng)Q識(shí)定焊點(diǎn)R1R22.躲1.卸2電阻冠應(yīng)變聽片的飼主要郊參數(shù)折及工度作特糖性也可心采用莊兩種留電阻樣溫度愚系數(shù)玻符號(hào)湊相同騾的絲堅(jiān)材。R1是工作性臂,R2與外欲接串界聯(lián)電怠阻R5(溫度扁系數(shù)華很小)組成補(bǔ)償百臂。滿糾足下踏面條喇件即該可R11UUo23R2R1R2R5R3R4123452.敞1.雁2電阻劇應(yīng)變蘭片的傭主要琴參數(shù)俊及工站作特得性缺點(diǎn)歡是,郵當(dāng)工犧作柵常感受億應(yīng)變梳時(shí),植補(bǔ)償撥柵會(huì)錦抵消酒工作巨柵的驅(qū)有效喝應(yīng)變梨,使愛電橋酒輸出騰靈敏煩度降丙低。菌并且換,必木須每熄片都足接成軟半橋穴電路熱,外走接一廳個(gè)高綿精度休電阻R5,在道測量己點(diǎn)很悼多的扭情況蟲下比嘗較麻互煩。R11UUo23R2R1R2R5R3R4123452.鼻1.思2電阻雕應(yīng)變晨片的貴主要叔參數(shù)罷及工域作特贈(zèng)性③熱殿敏電北阻補(bǔ)圈償法珠。熱工敏電紙阻RT處在莊與應(yīng)盟變片R1相同柱的溫克度條融件下廚,當(dāng)波溫度爐升高嶼時(shí),R1阻值催增加旬,RT的阻割值下風(fēng)降,仆最終來使電畜橋的狹輸出竹不變丘。R1R2R3R4R5RTUoUi++--2.肥1.殃2電阻沈應(yīng)變死片的隔主要豪參數(shù)怎及工趣作特邁性④輔貧助測做溫元毫件微排型計(jì)例算機(jī)防補(bǔ)償北法。館在傳擱感器戲內(nèi)靠定近敏駝感測方量元杠件處約安裝拆一個(gè)妹測溫減元件鉤。常摘用的賓測溫翻元件話有半斯導(dǎo)體候熱敏賀電阻稱以及PN結(jié)二哭極管魔等。婦計(jì)算回機(jī)在胃處理洽傳感滴器數(shù)吧據(jù)時(shí)公消除茶溫度亭變化翅的影臂響。傳感器測溫元件多路開關(guān)A/DI/OCPU放大器2.椒1.泥2電阻猴應(yīng)變輩片的鄭主要逢參數(shù)僻及工文作特紗性4.應(yīng)變竟片的要?jiǎng)討B(tài)書特性動(dòng)態(tài)限情況夕下,應(yīng)變隸以波縫動(dòng)形暑式在呀材料漠中傳則播,傳枕播速禍度為艦聲速(鋼材棕聲速程約50照00繡m/s)。應(yīng)行變波爐由試奇件經(jīng)爭膠層浩和基畜片傳毅到敏音感柵臘的時(shí)柿間約2×街10-7s,可柜忽略爛不計(jì)匯。但放是,季應(yīng)變黑波沿別應(yīng)變在片長拉度方贊向傳蝴播經(jīng)分過敏焰感柵搜需要那比較骨長的饞時(shí)間殲,應(yīng)啦當(dāng)考移慮其緩影響觀。2.庭1.仆2電阻碎應(yīng)變刷片的束主要增參數(shù)姨及工蘆作特股性(1店)對(duì)正有弦應(yīng)等變波局的響別應(yīng)鋼當(dāng)阻測量言按正鬼弦規(guī)尋律變跨化的火應(yīng)變摔波時(shí)骨,應(yīng)捷變片敬的輸高出所否反映慕的是腹在應(yīng)根變片河敏感顆柵長埋度內(nèi)善感受魔到的至應(yīng)變談量的鐮平均撒值,獨(dú)從而疫帶來景一定器的誤岸差?;ㄟ@種楚誤差亮將隨潤應(yīng)變晃片基粉長的速增加嘴而加慘大,嘴當(dāng)基虎片一見定時(shí)僚將隨照頻率透的增庭加而證加大員。2.快1.達(dá)2電阻匹應(yīng)變城片的社主要布參數(shù)齊及工書作特楊性如圖旬所示鬧,顯災(zāi)然,啊當(dāng)應(yīng)洪變片別兩端環(huán)坐標(biāo)攪滿足辯下面炊條件坡時(shí),活其輸督出最靜大應(yīng)變片應(yīng)變波llx1ee0xOx22.保1.草2電阻皆應(yīng)變明片的壞主要赴參數(shù)什及工抹作特指性此時(shí)思應(yīng)變雹片在令其基平長l內(nèi)測類得的填平均祥應(yīng)變ep達(dá)到跑最大浪值。俊其值草為故可米得(幅值)測量縮慧誤差葡為2.闊1.紹2電阻條應(yīng)變池片的掃主要覺參數(shù)對(duì)及工越作特艇性當(dāng)l/l較大閉時(shí)由上倍式可控知,胃測量爐誤差e與比汗值l/l有關(guān)約,如訪圖所案示。當(dāng)l/l=10~20,其誤培差e小于1.勢6~0.討4忘%。05101520510152025e/%2.價(jià)1.捉2電阻裕應(yīng)變衰片的機(jī)主要齊參數(shù)挨及工燥作特伐性為了片求在勇一定邀測量滾誤差皺下應(yīng)評(píng)變片五的最念高測摧量頻等率f,令l/l=n,根刪據(jù)l=u/f,得當(dāng)n確定意時(shí)測垂量誤攔差也紐奉確定恥,反鎖之亦軍然對(duì)于矩鋼材滋,u=50沒00融m/s,若稅要e=1車%,對(duì)l=1弊mm的應(yīng)臨變片猶,其繳允許逢的最蛋高工剝作頻愉率為2.顆1.誼2電阻碑應(yīng)變夕片的忽主要紙參數(shù)刑及工顫作特胸性(2)對(duì)階脾躍波穴的響床應(yīng)圖(a)所示松的階奔躍波熱沿敏冒感柵劈燕軸向湯傳播田時(shí),練理論決響應(yīng)庸特性移如圖(b)所示北,實(shí)占際波援形如憑圖(c)所示因。如恒以輸瞧出最叨大值趴的10鋒%上升憑到90釀%的這句段時(shí)恭間為災(zāi)上升呼時(shí)間犁,則2.訂1.血2電阻睛應(yīng)變棟片的亭主要演參數(shù)病及工道作特銅性對(duì)方陷波的照最高旨測量方頻率芒經(jīng)驗(yàn)烏公式噴為例如情,l=20炎m鈴m,u=50路00克m/s時(shí),tk=3.蛋2×把10-6s,則f=11端0kH刃z。2.吸1電阻疾應(yīng)變察式傳銳感器2.石1.邁1電阻駛應(yīng)變沾片的落基本棍原理蘋與結(jié)績構(gòu)2.組1.圣2電阻春應(yīng)變奇片的鹽主要租參數(shù)惑及工護(hù)作特已性2.途1.偽3電阻氣應(yīng)變刷片的承測量序電路2.考1.詢4電阻崖應(yīng)變霉式傳圓感器麻應(yīng)用脂舉例√√電阻番應(yīng)變閣片工裙作時(shí)喂,其狐電阻猾變化鼻很微禍小。船例如礦,1片K=2、初熔始電邁阻12允0W的應(yīng)攝變片鄭,受崇到10夸00me的應(yīng)病變時(shí),嗎其電臥阻變賣化僅0.淹24W。常僚用電環(huán)橋電梯路來吊精確滅地測欄量這唇個(gè)微敵小的銹電阻甘變化亡。2.秋1.彎3電阻炒應(yīng)變情片的衫測量難電路2.由1.孩3電阻商應(yīng)變竟片的徑測量殲電路1.直流帳電橋(1)平衡維電橋圖中R1為應(yīng)訪變片擔(dān)。假遵定電且壓源處內(nèi)阻喘為零辨。若Rg為檢危流計(jì)膜內(nèi)阻納,則2.唱1.依3電阻瘦應(yīng)變拴片的怪測量壟電路Ig=0時(shí),憐電橋額平衡,平衡派條件為2.紗1.固3電阻希應(yīng)變剖片的籌測量敢電路如果辟在測界量前亞電橋蹈平衡議,在慨測量棚中應(yīng)摩變片賤阻值戒發(fā)生動(dòng)改變凈后通氣過調(diào)工節(jié)其閉他橋違臂的燦阻值疲使電溫橋恢躺復(fù)平團(tuán)衡,亦從而盼確定應(yīng)變參片阻爽值的改瓦變量脖,則控稱為零讀餃法。2.唐1.做3電阻啞應(yīng)變償片的雹測量裝電路例如蔥,應(yīng)變清片阻架值由R1變?yōu)镽1+DR1,檢麗流計(jì)慣中有敢電流慈流過搭。此氏時(shí)可顧調(diào)節(jié)哈其他刮橋臂盤的電層阻值是,比減如調(diào)比節(jié)R2,使塊其值刺變?yōu)镽2+DR2后電幣橋重蠢新平使衡,晶則有R1+DR1R2+DR22.蟻1.秀3電阻刪應(yīng)變杜片的赤測量揭電路當(dāng)恒癥定R3、R4時(shí),融根據(jù)DR2的值比可求中得DR1。R2稱為調(diào)節(jié)脆臂。R3、R4稱為比例辣臂,改梯變它禾們的懂比值調(diào),可雄改變DR1的測單量范券圍。平衡腿電橋罵通常的用在膚靜態(tài)算應(yīng)變舊測量殖中。2.消1.籃3電阻炮應(yīng)變息片的腰測量靜電路(2)不平民衡電隊(duì)橋法(偏轉(zhuǎn)圖法)不平框衡電依橋法您用在抬動(dòng)態(tài)狐應(yīng)變爪測量屑中。其刮輸出煩量可腸以是流電流仗或電卵壓。將式(2.糠21)中的R1換成R1+DR1,就哲可得孫到Ig與DR1的關(guān)元系式常。此笑時(shí)為艇電流勿輸出衡。下畫面討中論電煮壓輸圖出。R1+DR12.癥1.涌3電阻仙應(yīng)變振片的枯測量斃電路如圖逃,R1為應(yīng)噴變片輩,R2、R3、R4為固倚定電船阻。攻未承冷受應(yīng)豈變時(shí)費(fèi),R1R4=R2R3,電吳橋平梨衡,Uo=0。承還受應(yīng)誤變后腸,阻略值變假為R1+DR1,電優(yōu)橋的初不平凱衡輸診出為2.競1.蜻3電阻祝應(yīng)變嫁片的曾測量島電路設(shè)R2/R1=n,又翻因DR1<<R1(分母宿上忽筐略DR時(shí)一漆定要稱在通理分之諷后),R1R4=R2R3,上動(dòng)式簡卸化為2.更1.敵3電阻鉆應(yīng)變碗片的存測量陸電路電橋竹的電織壓靈價(jià)敏度(相對(duì)慣靈敏罩度)為①Su與U成正沃比,U越高君,Su越高蠅。但脂是U的提匠高受柜到應(yīng)帆變片詞允許閘工作攀電流載的限斧制,販通常甲為1~5策V。2.飼1.美3電阻旋應(yīng)變柄片的和測量嶺電路②Su與n有關(guān)絲式。在U一定山時(shí),剪由靈饞敏度諸取極嫌值的補(bǔ)條件鵝,可慢求得n=1時(shí)Su最大數(shù)。即脾在U一定是、R1=R2、R3=R4時(shí),Su最大浪。通印常這萬種情剖況稱限為電橋題的第節(jié)一種本對(duì)稱差形式。此微時(shí)2.象1.斤3電阻春應(yīng)變遼片的喜測量惜電路而R1=R3,R2=R4則稱仔為電朵橋的第二嚼種對(duì)昏稱形蒜式。第尿一種鵲對(duì)稱膽形式陵有較作高的租靈敏崖度,隨第二稱種對(duì)美稱形均式線拍性較輔好。等臂鞭電橋是其休中的朗一個(gè)挺特例闖。2.壤1.攪3電阻零應(yīng)變嶺片的慢測量奧電路(3)電橋地電路拜的非甚線性滴誤差寶補(bǔ)償以上疤都是沖基于DR1<<R1,所寬以得滅到的框是線萄性關(guān)幕系。昨但當(dāng)秧應(yīng)變喉片感法受較趟大應(yīng)間變時(shí)歐,分母個(gè)上的DR1/R1項(xiàng)就仙不能婦忽略,此麗時(shí)得礦到的邀為非阻線性雀關(guān)系挎,從軟而造絲式成非框線性超誤差中。在擋補(bǔ)償足非線總性誤霸差時(shí)貢常用勵(lì)的措敗施如筐下2.展1.塑3電阻顛應(yīng)變房誠片的旦測量克電路①采清用差趟動(dòng)電姿橋。胸在電梅橋的象相鄰翅兩臂蚊接入遼兩個(gè)幼參數(shù)穗相同紐奉的應(yīng)憂變片否,測復(fù)量時(shí)閥一個(gè)復(fù)受拉碼應(yīng)力洗,一豈個(gè)受況壓應(yīng)魂力,榆電阻陷變化媽量符沿號(hào)相議反,破數(shù)值群相等縣,即超構(gòu)成半橋藍(lán)差動(dòng)乞電路。此守時(shí)2.煮1.華3電阻貞應(yīng)變晴片的判測量睛電路假設(shè)則無救需近諒似即癥有2.嚼1.畜3電阻順應(yīng)變敵片的豆測量雞電路可見柏,差請(qǐng)動(dòng)電染橋法斗不僅拋補(bǔ)償何了非鍬線性么誤差址,且鼠電壓凱靈敏少度提立高了1倍。聾另外釘還能造起到辯溫度處補(bǔ)償準(zhǔn)的作楊用。2.乖1.獄3電阻笨應(yīng)變后片的譜測量鉆電路全橋痰差動(dòng)態(tài)電路周不僅岡補(bǔ)償觸了非惠線性扔誤差板,且里電壓臨靈敏種度比見半橋碰差動(dòng)補(bǔ)電路侮補(bǔ)償灰時(shí)又蓮提高妹了1倍。壇也能睜起到肯溫度件補(bǔ)償芽的作交用。在四粥臂都凝接入沉相同集應(yīng)變嗎片,喚相對(duì)零兩個(gè)慚受拉艦應(yīng)力棵,另越兩個(gè)籌受壓純應(yīng)力蒜,構(gòu)查成全橋悉差動(dòng)書電路。若陣滿足DR1=-DR2=-DR3=DR4,則2.崖1.繞3電阻耕應(yīng)變捆片的匹測量煩電路②采丘用恒儉流源漂電橋痰設(shè)供洗電電辨流恒建定為I,則零根據(jù)糟分流濤原理破,初艷始時(shí)志電路便的輸出出電當(dāng)壓為設(shè)電兄橋初唱始時(shí)勝處于五平衡客狀態(tài)取,且R1=R2=R3=R4=R。當(dāng)侵電阻R1變?yōu)镽+DR時(shí),桃電橋卸輸出傘電壓艇為R+DR2.貫1.篩3電阻配應(yīng)變瘋片的紛測量泳電路可見惑,與嶼恒壓懷源時(shí)檔相比煉,非額線性態(tài)誤差崗減小扣。采要用半材導(dǎo)體杯應(yīng)變逮片時(shí)渣電橋厲一般鑄采用從恒流煙源供帆電。采用恒壓近源時(shí)2.役1.刺3電阻栗應(yīng)變曉片的炎測量傍電路2.交流勉電橋在交惜流電盞源供嫂電時(shí)屠,需膚要考蘇慮分濕布電稱容的堵影響翠,此坐時(shí)橋婦臂已位不是峰純電腐阻性餅的,到其電擴(kuò)源電柄壓、辣輸出瓶電壓寧及各爆橋臂攻阻抗肉均應(yīng)誓該用菊復(fù)數(shù)完表示嬌。輸嶼出電赴壓為2.專1.邀3電阻秤應(yīng)變?yōu)钠乃y量互電路所以追平衡戒條件烈為設(shè)電宵橋各癥臂的墓阻抗圍為則交傍流電襯橋的匪平衡歸條件徑為2.策1.鞏3電阻眾應(yīng)變晚片的憂測量熔電路例2.末2采用雀四片駕相同慎的金書屬絲棟應(yīng)變紐奉片(K=2),將丸其貼晝在實(shí)桿心圓接柱形茶測力雷彈性赤元件耳上。艘如圖筐所示殘,已妹知F、r、E和m。FF(1)畫出怒應(yīng)變味片在樂圓柱軋上粘騾貼位寶置及歐相應(yīng)固測量祥橋路懼原理手圖;(2)求各魄應(yīng)變?yōu)V片的寸應(yīng)變德、電臨阻相框?qū)ψ冐溁康福?3)若供紡橋電啞壓U=6炕V,求粉橋路吸輸出袍電壓Uo;(4)此種講測量倍方式訊能否綢補(bǔ)償懷環(huán)境容溫度修對(duì)測蜜量的狀影響嘴?說排明原研因。2.其1.畏3電阻兵應(yīng)變漫片的歐測量尸電路解(1)按題掙意采繡用四倦個(gè)相南同應(yīng)胡變片終,粘軌貼位卵置如佛圖所勸示。R1、R3沿軸時(shí)線方柄向,巖在力F作用雨下產(chǎn)磁生正浙的應(yīng)戚變,R2、R4沿圓羊周方便向,喜產(chǎn)生叨負(fù)的田應(yīng)變蕉。2.干1.腐3電阻邁應(yīng)變雕片的竹測量號(hào)電路四個(gè)臨應(yīng)變卸片接下入橋父路位問置如絡(luò)圖所纖示,努組成加全橋聽測量厚電路稼,可樣提高舅輸出遮電壓刑靈敏蜜度。2.免1.它3電阻章應(yīng)變述片的筑測量澤電路(2)計(jì)算斜應(yīng)變稀和電攝阻相區(qū)對(duì)變需化量2.軌1.祥3電阻刻應(yīng)變猛片的陪測量趣電路(3)求橋小路輸置出電桃壓2.藏1.全3電阻色應(yīng)變屠片的霜測量假電路2.把1.斬3電阻能應(yīng)變騙片的傍測量曬電路(4)可以張補(bǔ)償滋環(huán)境壩溫度猾的影擋響,隸因?yàn)樗?.唇1電阻陣應(yīng)變涌式傳滑感器2.愈1.腔1電阻使應(yīng)變時(shí)片的孕基本蟻原理改與結(jié)慈構(gòu)2.燒1.孟2電阻勵(lì)應(yīng)變件片的晃主要皆參數(shù)筒及工市作特切性2.涂1.閥3電阻鋤應(yīng)變按片的自測量熱電路2.色1.壯4電阻跡應(yīng)變消式傳信感器拆應(yīng)用半舉例√√√2.茅1.穴4電阻豎應(yīng)變貌式傳底感器幣應(yīng)用扛舉例電阻僵應(yīng)變衫片除諸直接壁用來當(dāng)測定秀試件艙的應(yīng)蒜變和含應(yīng)力啄外,飾還廣塘泛用段作傳影感元鳴件制恨成各直種應(yīng)拔變式熄傳感艇器,才用來森測定坦其他挽物理枕量,矛如力剪、壓訴力、陪加速兔度等傅。應(yīng)變構(gòu)式傳喊感器剩的基擾本構(gòu)參成通弟常可頸分為腿兩部健分,盆即彈性祖敏感親元件和應(yīng)變剪片。彈藝性敏碗感元免件在壇被測悠物理漏量的攏作用士下,館產(chǎn)生鼓一個(gè)萌與它迅成正齒比的鍵應(yīng)變綢,然陸后用劫應(yīng)變涂片作封為轉(zhuǎn)神換元厚件將景應(yīng)變午轉(zhuǎn)換督為電否阻變缸化。2.捉1.爪4電阻臺(tái)應(yīng)變越式傳泄感器納應(yīng)用翁舉例不僅社對(duì)于奧應(yīng)變逼式傳罰感器刃,對(duì)謙其他歐一些紡類型帝的傳笑感器章,彈性鏈敏感濟(jì)元件斗在傳弊感器則技術(shù)淹中也墳占有扔極為牢重要其的地間位。在愉傳感隊(duì)器工星作過栽程中潤,一惜般是簽由彈恰性敏期感元皆件把營各種核形式窄的物頁理量濱轉(zhuǎn)換撿成變小形,價(jià)再由孕轉(zhuǎn)換華元件涉轉(zhuǎn)換抽成電趁量,趴其質(zhì)斯量的乎優(yōu)劣寬直接罷影響障傳感帖器的佛性能波及精顛度。2.嫌1.層4電阻盡應(yīng)變餓式傳之感器瞞應(yīng)用采舉例彈性酸敏感駝元件按的材殼料主美要是爽合金暖結(jié)構(gòu)扁鋼。粱例如權(quán)中碳乏鉻鎳抗鉬鋼載、中肝碳鉻悄錳硅竊鋼、新析出劉硬化漏型不應(yīng)銹鋼臨、高管速工懷具鋼掌和彈菠簧鋼潛等。2.她1.娘4電阻鉆應(yīng)變何式傳鞠感器循應(yīng)用湯舉例1.應(yīng)變甚式測蠢力與盞稱重京傳感喂器應(yīng)變歲式測斬力傳爆感器補(bǔ)由彈穴性體北、應(yīng)骨變片探和外碌殼組扁成。板彈性唐體是佛測力石傳感腔器的逐基礎(chǔ)沖,應(yīng)桿變片飾是傳國感器固的核傻心。舒根據(jù)擔(dān)彈性朝體結(jié)織構(gòu)形沿式的抱不同沿可分地為柱式稻、輪橫輻式翅、梁浴式、葡環(huán)式等。2.伏1.親4電阻喇應(yīng)變批式傳疫感器結(jié)應(yīng)用厲舉例(1)柱式犧傳感樸器柱式辯傳感倉器是公稱重(或測悲力)傳感飛器應(yīng)幻玉用較患普遍書的一嗽種形助式。程它分郊為柱形和圓筒先形兩種港。圓呈筒或坦圓柱清在外班力F作用世下產(chǎn)躲生的府應(yīng)變形為2.焦1.筍4電阻辯應(yīng)變網(wǎng)式傳伶感器轎應(yīng)用怎舉例一般娛將應(yīng)濁變片框?qū)ΨQ坑地貼鋼在應(yīng)之力均著勻的蘋圓柱眾表面寨的中抖間部錦分,藏如左憤圖所察示,怒并連絡(luò)接成駛右圖耽所示施的橋披路。所示陸連接者方式踩是為忍了消耳除彎亭矩的脅影響好、提高梢靈敏仇度和濤補(bǔ)償樂溫度揉的影戰(zhàn)響(參見繡例2.犁2)。2.家1.轟4電阻墾應(yīng)變蘿式傳靜感器互應(yīng)用罷舉例筒式頸結(jié)構(gòu)例可改識(shí)善應(yīng)鏈力分幼布,炮在筒憶壁上批還能垂開孔悔,如州圖所怖示,慕從而先使應(yīng)漁力與蜓載荷昂在端玩面的靜分布帳無關(guān)需,并搭可減態(tài)小偏穗心載社荷、通非均火布載哲荷的折影響息,使迅引起就的誤眉差更加小。2.儀1.蘇4電阻坐應(yīng)變件式傳植感器閘應(yīng)用撲舉例(2)懸臂根梁式啊傳感鳥器懸臂吹梁式夕傳感召器是覽一種號(hào)低外載形、臣高精礙度、廉抗偏仁、抗發(fā)側(cè)性禽能優(yōu)字越的拔稱重祥測力驢傳感爽器。懸臂蹈梁有皺兩種哀,一疑種為等截反面梁,另守一種扎為等強(qiáng)煩度梁。2.循1.蘆4電阻橡應(yīng)變僵式傳占感器妄應(yīng)用耍舉例等截初面梁的橫香截面習(xí)處處島相等撈。當(dāng)療外力F作用否在梁五的自向由端街時(shí),筐在固渣定端渴產(chǎn)生朝的應(yīng)哪變最傍大,抵粘貼介應(yīng)變地片處名的應(yīng)秀變?yōu)長R2R1lbhF可以順著幻玉梁的梯長度擇方向爐分別腥貼上R1、R2和R3、R4四個(gè)妖電阻乓應(yīng)變搭片(R3、R4在下旦面),組玻成差挖動(dòng)全徒橋。2.屈1.乘4電阻經(jīng)應(yīng)變誦式傳繪感器殺應(yīng)用酷舉例等強(qiáng)下度梁的特朗點(diǎn)是碰:橫截彎面沿諸梁長忘度方臉向按擊一定段規(guī)律穗變化,當(dāng)信集中格力F作用窮在自燃由端沾時(shí),營距作卵用點(diǎn)洪任何胞距離繼之截賣面上脆的應(yīng)蔥變相牙等,殘為LFhR2R1b0bx這種居梁的欠優(yōu)點(diǎn)御是在里長度布方向裹上粘暴貼應(yīng)真變片扶的要維求不祥嚴(yán)格簽。2.附1.鵲4電阻粒應(yīng)變多式傳貫感器河應(yīng)用路舉例懸臂俯梁式識(shí)傳感魔器具篇有結(jié)紛構(gòu)簡讓單、乏應(yīng)變駕片容奏易粘巴貼,科靈敏慌度高廢等特早點(diǎn),部一般鹽可測0.箭5況kg以下叮的載市荷,費(fèi)最小為可測輝幾十帶克重捏。懸估臂梁系式傳牢感器炮也可住達(dá)到撕很大堂的量卷程,著如工紐奉字鋼現(xiàn)懸臂拿梁結(jié)渡構(gòu)傳雹感器冶,量茂程為0.糊2~30瞧t,精壁度可吧達(dá)0.軋02樸%F.罩S.。2.融1.咐4電阻嗓應(yīng)變舟式傳調(diào)感器各應(yīng)用鳳舉例除等磨截面固梁和冰等強(qiáng)包度梁制傳感漂器外嫁,還乖有剪輸切梁弱式傳怕感器偉,兩鳳端固尿定梁糟傳感蹄器等奶等。乳如圖謠所示少,為撐幾種土梁式殿傳感金器外課形。2.幅1.壁4電阻昂應(yīng)變吳式傳龜感器從應(yīng)用甲舉例如圖嫁所示衰,是俗引進(jìn)別美國HB雨M公司矛技術(shù)孩和生釀產(chǎn)線鞏生產(chǎn)何的SB泥3懸臂懷梁式切傳感刻器。2.質(zhì)1.鐮4電阻響應(yīng)變毀式傳磨感器僵應(yīng)用搬舉例案例塘:電筆子稱2.隱1.送4電阻握應(yīng)變仗式傳杯感器令應(yīng)用裝舉例(4)環(huán)式感傳感屋器常用注于測匙幾十kg以上床的大貼載荷濃。與視柱式格相比勒,它雙的特炊點(diǎn)是頭應(yīng)力他分布站變化銷大,弄且有弟正有擔(dān)負(fù),棵便于膜接成浸差動(dòng)孔電橋障。(a摔)拉力勞環(huán)R1R2R3R4R1R2R3R4(b)推力損環(huán)2.紛1.適4電阻紅應(yīng)變浮式傳旗感器挖應(yīng)用互舉例2.應(yīng)變歌式壓飼力傳培感器它由祝電阻侮應(yīng)變子片、猾彈性良元件承、外廈殼及吸補(bǔ)償灣電阻壟組成都。一漸般用讀于測日量較夠大的怠壓力咱,廣描泛用蛾于測什量管押道內(nèi)泉部壓蛙力,采內(nèi)燃乘機(jī)燃雁氣的鞠壓力襪、壓拆差和壞噴射郊?jí)毫Ω?,發(fā)寇動(dòng)機(jī)盤和導(dǎo)卡彈試略驗(yàn)中睡的脈斜動(dòng)壓薪力,虎以及協(xié)各種呀領(lǐng)域緞中的芒流體拋壓力機(jī)等。2.喘1.穩(wěn)4電阻享應(yīng)變專式傳省感器餡應(yīng)用柱舉例(1)筒式久壓力都傳感僵器如圖惹所示越,一糊端盲叛孔,禿另一念端有赤法蘭行與被澆測系講統(tǒng)連管接。斗當(dāng)應(yīng)辣變管斬內(nèi)腔嫁與被災(zāi)測壓井力相難通時(shí)覽,圓材筒部化分周向蝴應(yīng)變?yōu)楣ぷ骼K片貼部在薄雹壁筒艦上,怠溫度伙補(bǔ)償東片貼型在實(shí)狼心部膽分。2.視1.搏4電阻辨應(yīng)變顧式傳應(yīng)感器吼應(yīng)用刑舉例(2)膜片阻式壓活力傳私感器其彈尸性敏緊感元頭件為擺一周私邊固祝定的慎圓形繼金屬夏平膜季片。量當(dāng)膜喪片一牲側(cè)受降壓力p作用晌時(shí),躺另一閘側(cè)(應(yīng)變證片粘器貼面)上的徑向佳應(yīng)變er和切向筑應(yīng)變et為式中旗,r為平惕膜片嫁工作稠部分炊半徑邁,h為平徑膜片甜厚度咸,x為計(jì)址算點(diǎn)殲離圓遙心的攔徑向霉距離棚。2.后1.未4電阻炊應(yīng)變釘式傳傘感器別應(yīng)用身舉例由上核式可慨畫出月應(yīng)力多分布竿規(guī)律療如圖轟所示瓣。中叛間(x=0)處最大練;切殲向應(yīng)似變?nèi)问钦F(xiàn)的;詳徑向蠶應(yīng)變血分布磨有正爭有負(fù)怒,在x/r=0.迷57冷7時(shí)為理零值濕。2.穿1.兵4電阻暑應(yīng)變賤式傳擦感器神應(yīng)用弄舉例由圖示應(yīng)力祖分布仁規(guī)律巷,可樸找出喝貼片歇方法言。一般錄在圓指片中敘心處耀沿切腿向貼饒兩片頁,在覽邊緣懸處沿牽徑向津貼兩栗片,森如右踐圖所蘭示。府也可襖以在鹿半徑宵為0.西57萬7r的兩誕側(cè)沿旱徑向考各貼飯兩片稱。2.本1.煉4電阻依應(yīng)變朽式傳呈感器芹應(yīng)用怨舉例膜片編式壓航力傳絞感器模的一青種敏筋感元崇件結(jié)兵構(gòu)2.達(dá)1.凈4電阻旦應(yīng)變環(huán)式傳筐感器壇應(yīng)用算舉例(3)組合能式壓漿力傳訪感器如圖寨所示渾,通黎常用股于測攀量小干壓力滲。膜覆片、蒼波紋執(zhí)管、眨膜盒候等彈脊性敏療感元煙件感棗受壓裕力后浩,推再動(dòng)推若桿使叫梁變清形。算電阻冤應(yīng)變白片粘朽貼于侄梁的找根部掘感受朗應(yīng)變挨。p應(yīng)變片pp2.褲1.卸4電阻石應(yīng)變篩式傳意感器層應(yīng)用曬舉例因?yàn)闊冶叟铝罕茸o(hù)膜片輩、膜匠盒等瞎的剛斜度高隸,所厘以這黨種組肅合可掌以克稅服后唐者穩(wěn)與定性僻差、困滯后栽大的樓缺點(diǎn)界。p應(yīng)變片pp2.持1.繁4電阻暈應(yīng)變顧式傳凳感器臭應(yīng)用分舉例3.應(yīng)變詞式位粱移傳粉感器應(yīng)變成式位朗移傳滿感器圓是把薯被測由位移殼量變摘換為假彈性推元件鼓的應(yīng)司變,爹通過添測量何應(yīng)變蔽間接掌求得泉位移清。按彈悲性元抬件結(jié)汪構(gòu)形撕式的攜不同冒,應(yīng)絡(luò)變式淚位移枯傳感事器可歐分為彈簧壩組合緞式、梁式、弓形等幾遍類。2.害1.仙4電阻田應(yīng)變勾式傳灶感器問應(yīng)用鉗舉例以彈盈簧組疑合式玩位移義傳感老器為板例,魄梁彎漢曲產(chǎn)近生的叔應(yīng)變寫與測支桿的雅位移逝呈線修性關(guān)調(diào)系。桑測桿但位移鄰包括系懸臂禍梁端抽部位梨移量y1和彈互簧伸曲長量y2兩部烈分,孕即y=y(tǒng)1+y2。根貢據(jù)應(yīng)還變量魄的讀竊數(shù)值筋,可抽求得典位移y。2.絕1.說4電阻車應(yīng)變?yōu)┦絺髌鄹衅髹`應(yīng)用蟲舉例4.應(yīng)變風(fēng)式加潑速度普傳感肆器在懸餡臂梁1的自塔由端粒固定嶺一質(zhì)屑量塊3。當(dāng)牙殼體4與待蒼測物甚一起來作加賞速運(yùn)查動(dòng)時(shí)巨,梁波在質(zhì)表量塊旺慣性盞力的王作用饞下發(fā)渡生變見形,脹使粘撿貼于筆其上扭的應(yīng)涉變片2阻值臺(tái)變化赤。檢浙測阻雀值的編變化志可求堪得待芬測物取的加重速度廣。14232.僻1.汁4電阻奏應(yīng)變吳式傳混感器館應(yīng)用自舉例5.振動(dòng)垂式汽羽車防招盜繼蠶電器它能唐在盜抓竊者逃發(fā)動(dòng)布汽車根時(shí)自臺(tái)動(dòng)切漏斷火隆花塞仁電路壓,同檢時(shí)電此喇叭纏發(fā)出耍刺耳業(yè)的長脅鳴聲否。2.疫1.查4電阻受應(yīng)變訴式傳脾感器書應(yīng)用煩舉例案例淋:橋梁亞固有衰頻率征測量郵。2.塘1電阻膊應(yīng)變浸式傳是感器2.扣1.斤1電阻昨應(yīng)變中片的菊基本幣原理調(diào)與結(jié)亡構(gòu)2.屢1.擁2電阻隨應(yīng)變智片的辟主要密參數(shù)教及工躲作特疾性2.欄1.遠(yuǎn)3電阻痛應(yīng)變頃片的殘測量踩電路2.脾1.釣4電阻賀應(yīng)變股式傳花感器助舉例√√√√第2章臭電濕阻式聽傳感棵器2.訂1電阻穗應(yīng)變屑式傳閑感器2.鄙2壓阻衛(wèi)式傳盞感器√2.土2壓阻丹式傳故感器壓阻零效應(yīng)——固體千受到伐作用疲力后膽電阻清率發(fā)景生變庫化的魂現(xiàn)象串。壓阻臟式傳聞感器趴有下爪面兩距種類旗型①利慈用半槐導(dǎo)體稠材料理做成團(tuán)的粘鋸貼式勺應(yīng)變?yōu)┢?;②在之半?dǎo)疾體材泥料的婚基片朱上用瞧集成加電路葵工藝貝制成湊擴(kuò)散悟電阻夏,稱凱擴(kuò)散絞型壓方阻式為傳感涌器。2.蔽2壓阻天式傳袍感器壓阻軌式傳駛感器鋤的優(yōu)點(diǎn)如下①靈敏據(jù)度非會(huì)常高縮慧,有現(xiàn)時(shí)傳胞感器漂輸出斥不需粥放大牛就可荷直接維用于餐測量景;②分掩辨力據(jù)高,墊例如瞎,可娛測出10~20即P寄a的微光小壓漆力變置化;③體當(dāng)積小象。2.公2壓阻捐式傳偽感器④測嘩量元程件的燒有效耳面積叮可做首得很拋小,勝故頻邪率響削應(yīng)高愁;可保測量蓬低頻落加速芬度和水直線俗加速冤度。壓阻得式傳臟感器瀉的主度要缺點(diǎn)是溫憲度誤絞差大球,需茂進(jìn)行灰溫度冰補(bǔ)償奇或恒緣瑞溫使較用。2.吊2壓阻瞧式傳止感器2.屆2.明1基本蘋工作亮原理2.叢2.務(wù)2溫度班誤差默及其體補(bǔ)償2.盯2.麻3壓阻桿式傳面感器斗應(yīng)用錦舉例2.儀2.程1基本狠工作刻原理根據(jù)敵式(2.予3)得式中眨的(1+2m)項(xiàng),趙對(duì)半艷導(dǎo)體謝材料腫,其塔值很劃小,索可忽閥略不拘計(jì),腎上式僵近似嶄為式中俯的Dr/r為2.僻2.蘇1基本揚(yáng)工作絞原理式中捐,pL為單向辦受力時(shí)沿飛受力懂方向花的壓阻談系數(shù);s為應(yīng)純力;E為彈性蒙模量。N型硅pL=(40古~8渡0)×1獨(dú)0-11m2/N,E=1趙.3津0×構(gòu)1011N/m2,則KS=pLE=5傳0~豈10棋0。所死以,稻可以榆忽略(1+2m)項(xiàng)。2.配2.鹿1基本騎工作束原理壓阻靜效應(yīng)節(jié)是因槽為在場外力讀作用厭下,長原子粱點(diǎn)陣蜘排列桌發(fā)生殖變化蒼,導(dǎo)解致載求流子烈遷移繞率及檢濃度險(xiǎn)發(fā)生付變化盆形成芝的。位由于營半導(dǎo)組體(如單偶晶硅)是各向隱異性孟材料,因舉此它讀的壓牛阻系腿數(shù)不僵僅與劉摻雜脫濃度胸、溫慚度和犁材料何類型農(nóng)有關(guān)己,還疲與晶腿向有柿關(guān)。泥所謂晶向,就研是晶羅面的淹法線棍方向自。晶向醒的表震示方泳法有截距懸法和法線偉法。2.桿2.刮1基本愉工作臣原理(1)截距錯(cuò)法設(shè)單處晶硅稀的晶秩軸坐呀標(biāo)系偽為Ox東yz,則葉晶面糊方程欲為1/r、1/s、1/t為截距的倒數(shù),用r、s、t的最小公倍數(shù)分別相乘,獲得三個(gè)沒有公約數(shù)的整數(shù)a、b、c,稱為密勒指數(shù),用以表示晶向,記作<abc>。某數(shù)(如a)為負(fù)數(shù)則記作。(abc)表示晶面,{abc}表示晶面簇。

2.請(qǐng)2.別1基本季工作晚原理例如,圖(a)截距為-2、-2、4,截距的倒數(shù)分別為-1/2、-1/2、1/4,密勒指數(shù)為。圖(b)截距為1、1、1,截距的倒數(shù)也為1、1、1,密勒指數(shù)為。圖(c)中ABCD面,截距為1、∞、∞,截距倒數(shù)為1、0、0,所以密勒指數(shù)為。2.與2.箏1基本膽工作條原理(2)法線藝法如圖磨所示捆,通聽過坐折標(biāo)原蓄點(diǎn)O,作刃平面灘的法早線OP,與x、y、z軸的黎夾角廳分別罩為a、b、g。平患面方筍程為co贈(zèng)sa、co朗sb、co取sg為法貞線的鴿方向胡余弦字,p為法窯線的希大小(即長匠度)。2.物2.腦1基本餅工作趣原理密勒術(shù)指數(shù)碗與方我向余茶弦的滴關(guān)系砌如下2.翠2.禁1基本躁工作縱原理為了話求取滅任意續(xù)晶向豈的壓大阻系介數(shù)p,必賽須先潤了解啊晶軸慎坐標(biāo)承系內(nèi)窩各向意壓阻尊系數(shù)刪。將檔半導(dǎo)罪體材減料沿威三個(gè)課晶軸寄方向鑰取一翻微單余元,怎如圖桂所示春。當(dāng)受嬸到作娃用力編,微哪單元幣上的嗽應(yīng)力陵分量斜有9個(gè)(用上倚、右剩、前蘿面上匙的應(yīng)擺力表裳示,拿相對(duì)泄面上銀應(yīng)力板大小哄和性微質(zhì)相偉同)。因似剪切孔應(yīng)力四總是進(jìn)兩兩截相等察,即2.布2.煩1基本莖工作墊原理因此趴應(yīng)力盼分量納中僅鞋有6個(gè)獨(dú)皮立分專量,饒即有應(yīng)倍力就掩會(huì)產(chǎn)牢生電縮慧阻率姻變化皆,每額個(gè)獨(dú)有立應(yīng)婆力分凳量可貫在6個(gè)相新應(yīng)方括向產(chǎn)生6個(gè)獨(dú)糞立電曲阻率考變化確,若怪電阻隨率變思化率Dr/r用符胖號(hào)d表示帝,則膚相應(yīng)鄙為d1、d2、d3、d4、d5、d6,電歪阻率基的變柜化率還與應(yīng)授力之懇間的袖關(guān)系球可寫厲成下協(xié)面矩赤陣方寸程2.北2.軍1基本田工作邀原理矩陣按中的超壓阻荒系數(shù)緣瑞有如灰下特頓點(diǎn)(1)剪切罪應(yīng)力幸不可登能產(chǎn)區(qū)生正向善壓阻肌效應(yīng),矩希陣中觀右上照塊內(nèi)屋各分超量應(yīng)賣為零矛,即2.蜜2.替1基本避工作癢原理(2)正向捷應(yīng)力攔不可伍能產(chǎn)鈴生剪切笛壓阻朽效應(yīng),矩備陣中久左下朱塊內(nèi)大各分錯(cuò)量應(yīng)搶為零訴,即2.似2.晶1基本脈工作槍原理(3)剪切四應(yīng)力循只能莫在剪爽切應(yīng)怠力平殼面內(nèi)刷產(chǎn)生挺壓阻攻效應(yīng)潛,因脹此,首右下乒塊內(nèi)膝只剩徑下p44、p55、p66三項(xiàng)弟,而箱其余2.駛2.宴1基本奸工作昏原理(4)單晶膀硅是株正立綿方晶艇體,瞇考慮繳到正腳立方眨體的襪對(duì)稱愈性,噸則①正向(縱向)壓阻欄效應(yīng)應(yīng)相僚等,雅故2.倡2.賞1基本千工作愉原理②橫向串壓阻李效應(yīng)應(yīng)相暖等,獸故2.艦2.份1基本麥工作掛原理③剪切奶壓阻偉效應(yīng)應(yīng)相電等,覺故2.叛2.個(gè)1基本鐘工作量原理由此臟可以??闯錾伲?dú)余立的蟻壓阻飾系數(shù)餓分量秤只有臟三個(gè)真,p11稱為縱向殖壓阻揪系數(shù);p12稱為橫向?qū)鹤鑳x系數(shù);p44稱為剪切雀壓阻泳系數(shù)。必左須強(qiáng)妖調(diào)的膀是,上列駛矩陣檔是相姻對(duì)于央晶軸很坐標(biāo)伙系推峽導(dǎo)得盟出的,因慎此,p11、p12、p44是相濫對(duì)于盲三個(gè)估晶軸國方向韻而言扭的三蚊個(gè)獨(dú)沿立分謙量。2.農(nóng)

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