真空測量常用真空計真空測是是真空技術(shù)中的一個重要組成部分用于測量真空度的儀器叫真空計。真空計的種類很多，根據(jù)真空計的刻度方法，可分為絕對真空計和相對真空計。絕對真空計:通過對氣體壓強進行測量，經(jīng)過計算后，能反映真空度的真空計，叫絕對真空計，如:U型管真空計、壓縮式真空計等。U型管真空計:利用U型管兩端的液面差，來測量壓強的典空計叫U型管真空計。壓縮式真空計:又稱麥克勞真空計。利用波意耳定律，將定量待測的氣體，用水銀或油壓縮到極小體積，然后比較它的開管與閉管之間的液柱差，通過計算求得壓強的一種絕對真空計。相對真空計:通過對與壓強有關(guān)的物理盆進行側(cè)量，但不能通過計算來進行刻度，只能與絕對真空計進行比較才能刻度的真空計，叫相對真空計，如:彈性式真空表、薄膜式真空計、電阻真空計、熱偶真空計和電離真空計等。：彈性式真空表:利用彈性元件隨壓強變化所產(chǎn)生的變形，測量真空度的真空計。電阻真空計和熱偶真空計:利用氣體分子的熱傳導(dǎo)作用，測量真空度的真空計。電離真空計:利用氣體分子在低壓強下的電離現(xiàn)象，測量真空度的真空計。常用真空計的分類和測量范圍見下圖：類別其空計洌 1*范陰 （托）10身10*10110°；]0上IO"*310~410-510-e1。71111 1 1_ 1 1 」—1 」—1L__L-絕對真空計汞V型管真空玷油U型信真空計1 一一_— -1原的式夏空計相對1真空計弗性式真空表薄我式真空計hbhw?mhvwmsb??ifa電弱式其空計醐偶式翼空計電寓真空計（三）絕對真空計與相對真空計的比較（1） 絕對真空計的優(yōu)點，是結(jié)構(gòu)簡單福、造價低、測量精度高，其測量值與被測氣體種類無關(guān)（可凝性蒸氣除外）。其缺點是操作不便，不能連續(xù)測量，用水銀作介質(zhì)時，水銀蒸氣對環(huán)境有污染。（2） 相對真空計的優(yōu)點，是能連續(xù)測量真空度，并便于自動記錄和用于自動控制。其缺點，是測量精度受氣體種類和環(huán)境溫度的影響較大，測量精度不如絕對真空計高。真空熱處理爐常用的真空計有彈性式真空表、熱偶真空計、電阻真空計、電離真空計等相對真空計?，F(xiàn)將常用的真空計工作原理簡介如下：（一）彈性式真空表:真空表內(nèi)，有一由鈹青鋼或不銹鋼等彈性材料制成的扁平截面彈簧彎管，管的一端與被測真空系統(tǒng)相連，另一端封死，并通過連桿齒輪與指針相連。當(dāng)彈簧管內(nèi)氣體壓強增高時，彈簧管的截面形狀向圓形變化，并使彈簧管向外擴張，帶動指針偏轉(zhuǎn)。反之，當(dāng)管內(nèi)氣體壓強降低時，指針朝相反方向旋轉(zhuǎn)。此種真空表，其真空度的測魷范困為960托~1托。（二）熱偶真空計:熱偶真空計由測量真空度的敏感元件、熱偶規(guī)炸和測量儀器組成。規(guī)管見圖.測量儀器，由測蚤熱電勢的毫伏計和規(guī)管加熱絲穩(wěn)壓電源兩部分組成。熱偶規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。熱偶規(guī)管外殼為玻璃管，內(nèi)部有加熱絲1和熱偶絲2。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時，由于溫差效應(yīng)，在回路中有熱電勢產(chǎn)生。如加熱絲電壓保持恒定，則熱偶絲的熱電勢取決于加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強有關(guān)。如壓力降低時，氣體的導(dǎo)熱率減小，被氣體傳走的熱量減小，加熱絲的溫度隨之升高，熱偶絲的熱電勢增加，反之，氣體壓強增高時，氣體的導(dǎo)熱率增加，被氣體帶走的熱量增加，加熱絲的溫度降低，熱電偶的熱電勢減小。用毫伏表測量熱電倆回路中的熱電勢，即可測出被測真空系統(tǒng)真空度的大小。（三）電阻真空計：電阻真空計又稱皮拉尼真空計，由電阻規(guī)管和測量儀器兩部分組成。電阻規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。規(guī)管的外殼為玻璃殼或金屬殼，殼內(nèi)裝有電阻絲。電阻絲常用電阻溢度系數(shù)較大的鎢、鉑、鎳等金屬絲。電阻絲溫度升高時，其電阻值增加。反之，溫度降低時，電阻值減小。電路系統(tǒng)保持電阻絲兩端的電壓恒定。如被測真空系統(tǒng)的氣體壓強降低時，氣體的導(dǎo)熱率相應(yīng)減小，被氣體傳走的熱M減小，規(guī)管內(nèi)電阻絲溫度升高，其電阻RP相應(yīng)增加。反之，氣體壓強增高，Rp相應(yīng)減小。其測量電路為惠斯登電橋。規(guī)管的電阻絲為電橋的一臂，RZR4是固定電阻，R3是可變電阻。電橋平衡的條件是Rp*R4=R2*R3。當(dāng)Rp變化時，電橋失去平衡，不平衡電流值由微安表讀出，即可測出真空度的變化。（四） 電離真空計：電離真空計是測量高真空的主要真空計。在低壓強氣體中，氣體分子被電離所生成的正離子數(shù)與氣體的壓強，即氣體分子的密度成正比。利用此原理制成的真空計叫電離真空計。按照產(chǎn)生離子方法的不同，利用由熱陰極發(fā)射電子，使氣體分子電離的原理制成的真空計叫熱陰極電離真空計。利用在強電場和強磁場作用下，由冷陰極放電作用使氣體分子電離的原理制成的真空計，叫冷陰極電離真空計?，F(xiàn)將熱陰極電離真空計的工作原理簡介如下，熱陰極電離真空計，由熱陰極電離規(guī)管和測量儀器組成。測量儀器由規(guī)管工作電源，發(fā)射電流穩(wěn)壓裝置和離子流測量放大器等部分組成。熱陰板電離規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。熱陰極電離規(guī)管是一個三極管，管內(nèi)有陰極、柵極和收集極。收集極電位，相對于陰極為負電位，柵極電位，相對于陰極為正電位。當(dāng)電離規(guī)管通電加熱后，陰極發(fā)射出電子。此電子在到達柵極過程中，同氣體分子碰撞發(fā)生電離，產(chǎn)生正離子和電子。當(dāng)發(fā)射電流一定時，正離子的數(shù)目與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集后，經(jīng)測量電路放大就可由指示電表讀出被測系統(tǒng)真空度。（五） 復(fù)合真空計:一般低真空測量和高真空測量不能用一種真空計來完成，因而采用復(fù)合真空計。目前，應(yīng)用最廣的是電離與熱偶式復(fù)合真空計。它的測量范圍為10-1~5*10-8托。10-1~10-3托低真空由熱偶真空計測量，10-