研究報(bào)告：垂直賽道標(biāo)桿，CMP環(huán)節(jié)一體化龍頭供應(yīng)商1華海清科：國(guó)內(nèi)CMP龍頭方案商1.1國(guó)產(chǎn)CMP方案領(lǐng)軍者華海清科主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)，主要產(chǎn)品為化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備。CMP是先進(jìn)集成電路制造前道工序、先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)必需的關(guān)鍵制程工藝，公司所生產(chǎn)CMP設(shè)備可廣泛應(yīng)用于12英寸和8英寸的集成電路大生產(chǎn)線，產(chǎn)品總體技術(shù)性能已達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。公司推出了國(guó)內(nèi)首臺(tái)擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的12英寸CMP設(shè)備并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)銷售，是目前國(guó)內(nèi)唯一一家為集成電路制造商提供12英寸CMP商業(yè)機(jī)型的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商；公司所產(chǎn)主流機(jī)型已成功填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，打破了國(guó)際巨頭在此領(lǐng)域數(shù)十年的壟斷，有效降低了國(guó)內(nèi)下游客戶采購(gòu)成本及對(duì)國(guó)外設(shè)備的依賴，支撐國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。公司自成立至今，一直專注于CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)，堅(jiān)持自主研發(fā)和持續(xù)創(chuàng)新，獨(dú)立開(kāi)發(fā)并推出了Universal-200Plus、Universal-300Plus、Universal-300Dual、Universal-300X等主打產(chǎn)品。公司核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)先后承擔(dān)、聯(lián)合承擔(dān)了兩項(xiàng)“國(guó)家科技重大專項(xiàng)（02專項(xiàng)）”及三項(xiàng)國(guó)家級(jí)重大項(xiàng)目/課題，針對(duì)納米級(jí)拋光、納米顆粒超潔凈清洗、納米精度膜厚在線檢測(cè)、大數(shù)據(jù)分析及智能化控制等CMP設(shè)備核心關(guān)鍵技術(shù)取得了有效突破和系統(tǒng)布局。公司研制的CMP設(shè)備產(chǎn)品全面覆蓋集成電路制造過(guò)程中的非金屬介質(zhì)CMP、金屬薄膜CMP、硅CMP等拋光工藝并取得量產(chǎn)應(yīng)用，高端CMP設(shè)備的工藝技術(shù)水平已在14nm制程驗(yàn)證中，形成了硬件+技術(shù)服務(wù)的全方位體系。1.2收入連續(xù)高增，盈利能力出色受益于公司技術(shù)積累與設(shè)備市場(chǎng)持續(xù)景氣，公司業(yè)績(jī)?cè)鰟?shì)強(qiáng)勁。2019-2021年，公司營(yíng)業(yè)收入從2.11億元增長(zhǎng)至8.05億元，年復(fù)合增速達(dá)95.34%。盈利能力方面，公司2019-2021年毛利率31.27%、38.17%和44.73%，毛利率逐年明顯提高，主要得益于隨著公司技術(shù)水平、市場(chǎng)地位的提升，公司的議價(jià)能力有所提高，平均單價(jià)有所上升，公司的規(guī)模經(jīng)濟(jì)效應(yīng)開(kāi)始顯現(xiàn)，平均成本有所降低。同時(shí)，公司的產(chǎn)品開(kāi)始進(jìn)入先進(jìn)制程設(shè)備市場(chǎng)，設(shè)備市場(chǎng)價(jià)格較高，進(jìn)而提高了毛利率。此外，2019年以來(lái)公司的管理費(fèi)用率、銷售費(fèi)用率逐年降低。收入結(jié)構(gòu)方面，CMP設(shè)備的銷售收入為公司主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的最主要來(lái)源，2019-2021年CMP設(shè)備占公司主營(yíng)業(yè)務(wù)收入比例分別為92.39%、91.55%、86.19%。已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用并實(shí)現(xiàn)銷售的產(chǎn)品包括CMP300系列和200系列。2019-2021年，CMP300系列設(shè)備銷量從12臺(tái)增長(zhǎng)至35臺(tái)，CMP200系列設(shè)備也實(shí)現(xiàn)銷售收入。公司CMP300系列和CMP200系列產(chǎn)品的銷售單價(jià)總體呈增長(zhǎng)趨勢(shì)，主要緣于公司技術(shù)水平提高，市場(chǎng)地位增強(qiáng)。配套材料及技術(shù)服務(wù)部分營(yíng)業(yè)收入從2018年的約400萬(wàn)元增長(zhǎng)至2021年的1.11億元。公司于2019年下半年起開(kāi)始積極開(kāi)拓關(guān)鍵耗材銷售、維保和晶圓再生等新業(yè)務(wù)，配套材料及技術(shù)服務(wù)的營(yíng)業(yè)收入增長(zhǎng)較快。存貨大幅增長(zhǎng)，發(fā)出商品增多預(yù)示銷售強(qiáng)勁。華海清科

2019-2022Q1的存貨分別為2.32億元、5.22億元、14.90億元和16.90億元，呈現(xiàn)快速增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。公司的存貨主要由原材料、在產(chǎn)品、庫(kù)存商品和發(fā)出商品組成。其中，發(fā)出產(chǎn)品占據(jù)較大的比重，各期均超過(guò)45%，2022Q1達(dá)8.28億元，主要由于CMP設(shè)備設(shè)備驗(yàn)證周期較長(zhǎng)，而發(fā)出商品增加說(shuō)明商品訂購(gòu)、驗(yàn)證量高速增長(zhǎng)，預(yù)示公司銷售增速?gòu)?qiáng)勁。合同負(fù)債持續(xù)增長(zhǎng)，在手訂單充足。華海清科

2020-2022Q1的合同負(fù)債分別為1.64億元、7.79億元和8.36億元，呈現(xiàn)持續(xù)增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，為后續(xù)業(yè)績(jī)釋放奠定基礎(chǔ)。分業(yè)務(wù)的毛利率方面，近年來(lái)公司核心業(yè)務(wù)CMP設(shè)備毛利率提升明顯，由2019年的30.16%提升至2021年的42.78%，公司產(chǎn)品獲得市場(chǎng)認(rèn)可后又推出新的高端型號(hào)設(shè)備，所銷售的設(shè)備平均單價(jià)有所提升，并且生產(chǎn)規(guī)模增大后原材料單價(jià)小幅下降、生產(chǎn)效率提升，單臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)成本有所下降。公司所銷售的耗材以通用耗材為主，其主要是保持環(huán)、氣膜等。2020年，部分客戶通用耗材采購(gòu)訂單規(guī)模較大，公司與其簽訂了年度訂單給予優(yōu)惠價(jià)格，導(dǎo)致耗材銷售毛利率較2019年有所下降。公司提供的技術(shù)服務(wù)及其他業(yè)務(wù)涉及的類型較多，毛利率差異較大。2019年公司向客戶提供OCD測(cè)量?jī)x開(kāi)發(fā)服務(wù)、整機(jī)集成測(cè)試服務(wù)等技術(shù)服務(wù)以及2臺(tái)單片清洗機(jī)，主要系公司成熟技術(shù)的衍生服務(wù)及產(chǎn)品，為客戶定制，毛利率較高。2020年公司主要向部分CMP設(shè)備客戶提供了7分區(qū)拋光頭維保服務(wù)，該項(xiàng)業(yè)務(wù)技術(shù)難度高，且僅公司獨(dú)家提供，故毛利率較高。2021年，拋光頭維保服務(wù)的毛利率因規(guī)模效應(yīng)進(jìn)一步提高。1.3清華大學(xué)股權(quán)劃轉(zhuǎn)后，實(shí)控人將變?yōu)樗拇▏?guó)資委目前清華大學(xué)為公司實(shí)控人。全資孫公司清控創(chuàng)投為公司第一大股東，持股比例37.58%。清津德厚等三家員工持股平臺(tái)為公司第二大股東，持股比例12.22%。公司董事長(zhǎng)路新春為第三大股東，持股比例7.93%。清華大學(xué)于2021年12月10日與四川省能源投資集團(tuán)有限責(zé)任公司簽署《國(guó)有產(chǎn)權(quán)無(wú)償劃轉(zhuǎn)協(xié)議》，擬通過(guò)無(wú)償劃轉(zhuǎn)方式將所持清華控股100%股權(quán)劃轉(zhuǎn)給四川能投，劃轉(zhuǎn)基準(zhǔn)日為2021年12月31日。截至2022年4月28日，上述股權(quán)無(wú)償劃轉(zhuǎn)事項(xiàng)已獲國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局反壟斷局批準(zhǔn)，并已向教育部、四川省國(guó)資委申報(bào)，均在審批過(guò)程中。若本次無(wú)償劃轉(zhuǎn)完成，四川能投將成為公司的間接控股股東，四川省國(guó)資委將成為公司的實(shí)際控制人。1.4高管團(tuán)隊(duì)經(jīng)驗(yàn)豐富公司高管團(tuán)隊(duì)主要由來(lái)自清華大學(xué)的核心技術(shù)人員組成。路新春，公司董事長(zhǎng)、首席科學(xué)家，中國(guó)國(guó)籍，于中國(guó)科學(xué)院金屬研究所獲博士學(xué)位。1994年4月至2012年12月，在清華大學(xué)精密儀器與機(jī)械學(xué)系任教，2013年1月至今任清華大學(xué)機(jī)械工程系教授、首席研究員，2020年9月辦理離崗創(chuàng)業(yè)。2013年4月至2019年10月，任本公司董事長(zhǎng)、總經(jīng)理；2019年11月至今，任本公司董事長(zhǎng)、首席科學(xué)家。新春為公司首席科學(xué)家，公司技術(shù)、產(chǎn)品研發(fā)帶頭人，累計(jì)獲已授權(quán)國(guó)家發(fā)明專利超過(guò)100項(xiàng)，牽頭起草1項(xiàng)企業(yè)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)。截至2021年12月31日，國(guó)際科技論文檢索平臺(tái)Clarivate查詢結(jié)果顯示，路新春發(fā)表CMP相關(guān)SCI論文87篇，每篇文章平均被引用超過(guò)10次，位居全球CMP設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)專家前三名；國(guó)際專利檢索平臺(tái)Patsnap查詢結(jié)果顯示，路新春作為專利發(fā)明人獲得授權(quán)專利152項(xiàng)，位居全球CMP設(shè)備技術(shù)發(fā)明人第一名。王同慶，公司副總經(jīng)理，中國(guó)國(guó)籍，清華大學(xué)機(jī)械工程博士。2014年1月至今歷任清華大學(xué)機(jī)械工程系助理研究員、副研究員，2020年9月辦理離崗創(chuàng)業(yè)。2013年4月至今歷任本公司研發(fā)總監(jiān)、總經(jīng)理助理、副總經(jīng)理。王同慶主要負(fù)責(zé)組織公司產(chǎn)品研發(fā)過(guò)程中的機(jī)械、電氣、軟件及工藝調(diào)試等開(kāi)發(fā)工作，已發(fā)表CMP相關(guān)SCI論文30余篇，作為發(fā)明人獲得公司授權(quán)專利77項(xiàng)，參與起草1項(xiàng)企業(yè)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)。趙德文，公司副總經(jīng)理，中國(guó)國(guó)籍，清華大學(xué)機(jī)械工程博士。2015年4月至今歷任清華大學(xué)機(jī)械工程系助理研究員、副研究員，2020年9月辦理離崗創(chuàng)業(yè)。2014年1月至今歷任本公司總經(jīng)理助理、技術(shù)總監(jiān)、副總經(jīng)理。趙德文主要負(fù)責(zé)組織公司產(chǎn)品研發(fā)過(guò)程中拋光、清洗、減薄等重點(diǎn)技術(shù)與產(chǎn)品的研發(fā)，已發(fā)表CMP相關(guān)論文30余篇，其中SCI收錄20余篇，獲得2項(xiàng)國(guó)際學(xué)術(shù)獎(jiǎng)，作為發(fā)明人獲得公司授權(quán)專利95項(xiàng)，參與起草1項(xiàng)企業(yè)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)。沈攀，公司副總經(jīng)理，中國(guó)國(guó)籍，中國(guó)地質(zhì)大學(xué)（北京）機(jī)械設(shè)計(jì)及理論專業(yè)碩士。2009年6月至2013年8月任清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室工程師。2013年8月至今任本公司副總經(jīng)理。沈攀主要負(fù)責(zé)晶圓傳輸及拋光修整技術(shù)研發(fā)，參與起草1項(xiàng)企業(yè)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，作為發(fā)明人獲得公司授權(quán)專利60項(xiàng)。1.5保持研發(fā)高投入，專利儲(chǔ)備雄厚華海清科專注研發(fā)，重視技術(shù)積累，過(guò)去數(shù)年間研發(fā)營(yíng)收占比均維持在13%以上。半導(dǎo)體專用設(shè)備的技術(shù)復(fù)雜，客戶對(duì)設(shè)備的技術(shù)參數(shù)、運(yùn)行的穩(wěn)定性有苛刻的要求，因此常年高研發(fā)投入積累是產(chǎn)品推陳出新和公司維持競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的基礎(chǔ)。2019-2021年，公司研發(fā)費(fèi)用分別為0.45億元、0.51億元和1.14億元，公司研發(fā)投入逐年上升。2021年公司研發(fā)費(fèi)用率也維持在較高水平，為14.17%。高水平的持續(xù)投入保障了公司產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力，為公司的業(yè)績(jī)的成長(zhǎng)打下基礎(chǔ)。高比例的技術(shù)人才儲(chǔ)備和強(qiáng)大的核心管理團(tuán)隊(duì)保障研發(fā)高效進(jìn)行。截至2021年12月31日，公司擁有研發(fā)人員224人，占公司員工人數(shù)的比例為32.37%。公司核心技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)以路新春博士為核心，近年來(lái)公司核心技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)穩(wěn)定，具有較強(qiáng)的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)優(yōu)勢(shì)。公司專利儲(chǔ)備雄厚，產(chǎn)品獲得先進(jìn)廠商認(rèn)可。截至2021年12月31日，公司擁有國(guó)內(nèi)外授權(quán)專利209項(xiàng)，其中發(fā)明專利114項(xiàng)、實(shí)用新型專利95項(xiàng)，擁有軟件著作權(quán)7項(xiàng)；公司CMP設(shè)備已累計(jì)出貨超140臺(tái)，未發(fā)出產(chǎn)品的在手訂單超70臺(tái)，設(shè)備已廣泛應(yīng)用于中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)、英特爾、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、廈門聯(lián)芯、廣州粵芯、上海積塔等國(guó)內(nèi)外先進(jìn)集成電路制造商的大生產(chǎn)線中。公司研發(fā)實(shí)力突出，承擔(dān)了多項(xiàng)重大科研項(xiàng)目與課題，形成了一系列重要科研成果。公司獨(dú)立承擔(dān)國(guó)家科技02重大專項(xiàng)“28-14nm拋光設(shè)備及工藝、配套材料產(chǎn)業(yè)化——CMP拋光系統(tǒng)研發(fā)與整機(jī)系統(tǒng)集成”，經(jīng)過(guò)自主研發(fā)逐步形成了