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微電子工藝基礎(chǔ)西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院戴顯英2019.5緒論、微電子技術(shù)發(fā)展歷史一些關(guān)鍵的半導(dǎo)體、微電子技術(shù)(工藝)1918年柴可拉斯基晶體生長技術(shù)-CZ法/直拉法,Czochralski,S單晶生長、微電子技術(shù)發(fā)展歷史1925年布里吉曼晶體生長技術(shù),BridgmanGaAs及化合物半導(dǎo)體晶體生長1947年第一只晶體管(點(diǎn)接觸式),Bardeen、Brattain及Shockley,三人同獲1956年諾貝爾物理獎、微電子技術(shù)發(fā)展歷史肖克利(WilliamShockley)巴j(JOhnBardeen)布拉坦Walterbrattain)191019891908-19911902-1987、微電子技術(shù)發(fā)展歷史eplasticwedgeoldfolmetalba20、微電子技術(shù)發(fā)展歷史■1949pn結(jié),Shockley1952Ⅲ-V族化合物半導(dǎo)體,Welker■1952擴(kuò)散,Pfan,高溫深結(jié)■1954第一個硅晶體管,Teal,貝爾實(shí)驗室■1957光刻膠,Andrus,光刻成本占35%■1957氧化物掩蔽層,Frosch和Derrick,可阻止大部分雜質(zhì)的擴(kuò)散、微電子技術(shù)發(fā)展歷史ⅳssCⅦD(化學(xué)氣相淀積)外延晶體生長技術(shù)一薄膜Shefa1、Kokorish及Krasilov,改善器件性能、制造新穎器件1957異質(zhì)結(jié)雙極晶體管(HBT),Kroemer(2000年諾貝爾物理獎)■1958離子注入,Shockley,低溫淺結(jié)、精確控制摻雜數(shù)目■1958第一個(混合)集成電路,Kiby(2000年諾貝爾物理獎),由Ge單晶制作-1
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