第第頁盤點先進封裝基本術(shù)語先進封裝是“超越摩爾”(M（or）ethanMoore)時代的一大技術(shù)亮點。當（芯片）在每個工藝節(jié)點上的微縮越來越困難、也越來越昂貴之際，（工程師）們將多個芯片放入先進的封裝中，就不必再費力縮小芯片了。本文將對先進封裝技術(shù)中最常見的10個術(shù)語進行簡單介紹。

2.5D封裝

2.5D封裝是傳統(tǒng)2D（IC）封裝技術(shù)的進展，可實現(xiàn)更精細的線路與空間利用。在2.5D封裝中，裸晶堆?；虿⑴欧胖迷诰哂泄柰?TSV)的中介層(interposer)頂部。其底座，即中介層，可提供芯片之間的連接性。

2.5D封裝通常用于高端（ASIC）、（FPGA）、（GPU）和內(nèi)存立方體。2023年，（賽靈思）(Xilinx)將其大型FPGA劃分為四個良率更高的較小芯片，并將這些芯片連接到硅中介層。2.5D封裝由此誕生，并最終廣泛用于高帶寬內(nèi)存(HBM)（處理器）整合。

▲2.5D封裝示意圖

3D封裝

在3DIC封裝中，邏輯裸晶堆棧在一起或與儲存裸晶堆棧在一起，無需建構(gòu)大型的系統(tǒng)單芯片(SoC)。裸晶之間透過主動中介層連接，2.5DIC封裝是利用導電凸塊或TSV將組件堆棧在中介層上，3DIC封裝則將多層硅晶圓與采用TSV的組件連接在一起。

TSV技術(shù)是2.5D和3DIC封裝中的關(guān)鍵使能技術(shù)，（半導體）產(chǎn)業(yè)一直使用HBM技術(shù)生產(chǎn)3DIC封裝的（DRAM）芯片。

▲從3D封裝的截面圖可以看出，透過金屬銅TSV實現(xiàn)了硅芯片之間的垂直互連

Chiplet

芯片庫中有一系列模塊化芯片可以采用裸晶到裸晶互連技術(shù)整合到封裝中。Chiplet是3DIC封裝的另一種形式，可以實現(xiàn)CMOS組件與非CMOS組件的異質(zhì)整合(He（te）rogeneousintegra（ti）on)。換句話說，它們是較小型的SoC，也叫做chiplet，而不是封裝中的大型SoC。

將大型SoC分解為較小的小芯片，與單顆裸晶相比具有更高的良率和更低的成本。Chiplet使設計人員可以充分利用各種IP，而不用考慮采用何種工藝節(jié)點，以及采用何種技術(shù)制造。他們可以采用多種材料，包括硅、玻璃和層壓板來制造芯片。

▲基于Chiplet的系統(tǒng)是由中介層上的多個Chiplet組成

扇出(FanOut)封裝

在扇出封裝中，“連結(jié)”(connection)被扇出芯片表面，從而提供更多的外部I/O。它使用環(huán)氧樹脂成型材料(（EMC）)完全嵌入裸晶，不需要諸如晶圓凸塊、上助焊劑、倒裝芯片、清潔、底部噴灑充膠和固化等工藝流程，因此也無需中介層，使異質(zhì)整合變得更加簡單。

與其他封裝類型相比，扇出技術(shù)提供了具有更多I/O的小尺寸封裝。2023年，它使Apple能夠使用臺積電的封裝技術(shù)將其16納米應用處理器與移動DRAM集成到（iPhone）7的一個封裝中，從而成為技術(shù)明星。

▲扇出封裝

扇出晶圓級封裝(FOWLP)

FOWLP技術(shù)是針對晶圓級封裝(WLP)的改進，可以為硅芯片提供更多外部連接。它將芯片嵌入環(huán)氧樹脂成型材料中，然后在晶圓表面建構(gòu)高密度重分布層(RDL)并施加焊錫球，形成重構(gòu)晶圓(reconstitutedw（afe）r)。

它通常先將經(jīng)過處理的晶圓切成單顆裸晶，然后將裸晶分散放置在載體結(jié)構(gòu)(carrierstructure)上，并填充間隙以形成重構(gòu)晶圓。FOWLP在封裝和應用電路板之間提供了大量連接，而且由于基板比裸晶要大，裸晶的間距實際上更寬松。

▲FOWLP封裝示例

異質(zhì)整合

將分開制造的不同組件整合到更高級別的組件中，可以增強功能并改進工作特性，因此半導體組件制造商能夠?qū)⒉捎貌煌に嚵鞒痰墓δ芙M件組合到一個組件中。

異質(zhì)整合類似于系統(tǒng)級封裝(SiP)，但它并不是將多顆裸晶整合在單個基板上，而是將多個IP以Chiplet的形式整合在單個基板上。異質(zhì)整合的基本思想是將多個具有不同功能的組件組合在同一個封裝中。

▲異質(zhì)整合中的一些技術(shù)建構(gòu)區(qū)塊

HBM

HBM是一種標準化的堆棧儲存技術(shù)，可為堆棧內(nèi)部，以及內(nèi)存與邏輯組件之間的數(shù)據(jù)提供高帶寬信道。HBM封裝將內(nèi)存裸晶堆棧起來，并透過TSV將它們連接在一起，從而創(chuàng)建更多的I/O和帶寬。

HBM是一種JEDEC標準，它在封裝內(nèi)垂直整合了多層DRAM組件，封裝內(nèi)還有應用處理器、GPU和SoC。HBM主要以2.5D封裝的形式實現(xiàn)，用于高端服務器和（網(wǎng)絡）芯片?，F(xiàn)在發(fā)布的HBM2版本解決了初始HBM版本中的容量和（時鐘）速率限制問題。

▲HBM封裝

中介層

中介層是封裝中多芯片裸晶或電路板傳遞電（信號）的管道，是插口或接頭之間的電接口，可以將信號傳播更遠，也可以連接到板子上的其他插口。

中介層可以由硅和有機材料制成，充當多顆裸晶和電路板之間的橋梁。硅中介層是一種經(jīng)過驗證的技術(shù)，具有較高的細間距I/O密度和TSV形成能力，在2.5D和3DIC芯片封裝中扮演著關(guān)鍵角色。

▲系統(tǒng)分區(qū)中介層的典型實現(xiàn)重分布層

重分布層包含銅連接線或走線，用于實現(xiàn)封裝各個部分之間的（電氣）連接。它是金屬或高分子介電材料層，裸晶可以堆棧在封裝中，從而縮小大芯片組的I/O間距。重分布層已成為2.5D和3D封裝解決方案中不可或缺的一部分，使其上的芯片可以利用中介層相互進行通訊。

▲使用重分布層的整合封裝

TSV

TSV是2.5D和3D封裝解決方案的關(guān)鍵實現(xiàn)技術(shù)，是在晶圓中填充銅，提供貫通硅晶圓裸晶的垂直互連。它貫穿整個芯片以提（供電）氣連接，形成從芯片一側(cè)到另一側(cè)的最短路徑。

從晶圓的正面