深圳市奔強電路文件編號深圳市奔強電路文件編號BQ-WI-PR-08ShenzhenBenQiangCircuitCo.,Ltd.內(nèi)層蝕刻作業(yè)標準版頁本碼A0-1/6-部門姓名日期編制 濕區(qū)主管審核 生產(chǎn)經(jīng)理批準 副總經(jīng)理修訂履歷日期 版本 修 訂內(nèi)容編制審核批準5次，超過5次升級版本文件會簽欄分發(fā)單位序號份數(shù)簽字分發(fā)單位序號份數(shù)簽字品質(zhì)部01選購部10生產(chǎn)部02文控中心03財務(wù)部04行政部05工程部06設(shè)備部07打算部08市場部09分發(fā)序號：深圳市奔強電路深圳市奔強電路ShenzhenBenQiangCircuitCo.,Ltd.內(nèi)層蝕刻作業(yè)標準文件編號版頁本碼BQ-WI-PR-08A0-2/6-1.0目的：要求。2.0適用范圍：適用于內(nèi)層線路圖形轉(zhuǎn)移作業(yè)，內(nèi)層蝕刻退膜工藝。3.0職責：工藝部：負責工藝標準的制定及完善并監(jiān)視生產(chǎn)部的執(zhí)行狀況。修理部：負責對設(shè)備的定期檢測和維護。化驗室：負責按要求進展藥水化驗和準時通知相關(guān)人員對不合工藝要求的進展相應(yīng)調(diào)整。工藝流程及流程說明：DES入板 蝕刻 溢流水洗*3 清水洗 檢查 膨松 退膜 酸洗 水洗*3 清水洗 干板組合 出板流程說明蝕刻：利用蝕刻液把沒有被干膜掩蓋的銅蝕刻掉，從而保存下經(jīng)曝光顯影后的圖形。褪膜：以氫氧化鈉溶液去除圖形上的干膜，使線路銅露出來。開、關(guān)機作業(yè)合上電箱面板上總電源開關(guān)，扳到ON位置，觸摸屏上顯示相應(yīng)的開關(guān)畫面“畫面治理”畫面。在畫面治理中，依據(jù)需要選擇各功能鍵來切換所需的工作畫面或其它功能。此時可按“幫助”按鈕進入幫助畫面查看幫助信息，生疏此信息更利于把握機器的操作。把握按鈕〔蝕刻段、退膜段等開機畫面。能設(shè)置“有效”時表示相應(yīng)功能啟動，設(shè)置“無效”時，表示不使用該功能。參數(shù)設(shè)置好后，返回“畫面治理”。調(diào)整過濾器出水口處的球閥，將各水洗的噴淋壓力調(diào)整至所需值〔壓力表指示相應(yīng)數(shù)值。深圳市奔強電路深圳市奔強電路ShenzhenBenQiangCircuitCo.,Ltd.內(nèi)層蝕刻作業(yè)標準文件編號版頁本碼BQ-WI-PR-08A0-3/6-依據(jù)工藝流程，設(shè)定各電熱段溫控器工作溫度參數(shù)值。依據(jù)生產(chǎn)需要，調(diào)整傳送速度旋鈕,使速度把握在范圍內(nèi)。開機后檢查各個傳動狀況，及各噴淋系統(tǒng)噴淋狀況，各電器元件是否正常。關(guān)把握的功能鍵須進入觸屏主畫面按相應(yīng)功能按鈕才能停頓。關(guān)閉機器電源開關(guān)至OFF的位置，再關(guān)閉總電源關(guān)閉各水閥開關(guān)和總開關(guān)。非緊急狀況下，請勿使用緊急停頓按鈕，停機需按正常停機程序。6.0 開缸量/步驟/溶液更換標準6.1DES藥缸名稱 藥品名稱開缸量更換標準膨松缸500L NaOH20kg連續(xù)生產(chǎn)一次/7去膜液缸500L NaOH30kg連續(xù)生產(chǎn)一次/3酸缸90L 濃HSO2 44L1/37.0工藝維護與保養(yǎng)：日常維護保養(yǎng)參照《DES錄。保養(yǎng)的方法、步驟蝕刻缸、各水洗缸、各酸洗缸每月用氫氧化鈉及硫酸清洗一次。排掉各缸內(nèi)的溶液〔蝕刻藥水需用泵抽出以容器存儲，清洗完后再抽回蝕刻缸內(nèi)。以濃度為10%-15%的NaOH溶液噴淋清洗1—2小時后排掉溶液。加水至最高液位處,噴淋30分鐘后排掉廢液。以濃度為10%-15%的硫酸溶液噴淋清洗1—2小時后排掉溶液。加水至最高液位處,噴淋30分鐘后排掉溶液。查并清洗干凈。退膜缸每月用硫酸清洗一次深圳市奔強電路深圳市奔強電路ShenzhenBenQiangCircuitCo.,Ltd.內(nèi)層蝕刻作業(yè)標準文件編號版頁本碼BQ-WI-PR-08A0-4/6-排掉缸內(nèi)溶液。以濃度為10%-15%的硫酸溶液噴淋清洗2--3小時后排掉溶液。加水至最高液位處,噴淋30分鐘后排掉溶液。清洗過濾筒，拆下噴嘴、轉(zhuǎn)送輪檢查并清洗干凈。硫酸，然后再加水至液位。過程工藝操作把握要求:生產(chǎn)前檢查并調(diào)整各參數(shù)〔溫度、壓力、藥水濃度〕在工藝范圍內(nèi),〔或線路面〕板，按試首板時的放板方式，固定一面朝下放板。蝕刻段操作要求20PNL5/52校傳送速度，最終調(diào)至線條邊無殘銅、板面蝕刻干凈。退膜后交給QAMI生產(chǎn)中，轉(zhuǎn)換另一型號板依據(jù)制作說明的不同要求重調(diào)校傳送速度并試板檢查質(zhì)量OK才可批量生產(chǎn)。內(nèi)層有阻抗的板，需優(yōu)先保證阻抗線線寬在MI〔10%內(nèi)MI〔20%。2MI去膜段操作要求退膜后檢查板子不能有退膜不凈、板面氧化。品質(zhì)檢查工程蝕刻質(zhì)量檢查確保蝕刻干凈、無殘銅、無蝕刻過度。8.4.2.2100MI去膜質(zhì)量檢查板外表不允許有干膜殘留；深圳市奔強電路深圳市奔強電路ShenzhenBenQiangCircuitCo.,Ltd.內(nèi)層蝕刻作業(yè)標準文件編號版頁本碼BQ-WI-PR-08A0-5/6-板面無氧化等變色現(xiàn)象。去膜后目檢產(chǎn)品有無短路、開路、銅點、缺口、蝕刻不凈及蝕刻過度等缺陷。線寬\線距檢查：去膜后用100X放大鏡測量線寬\線距是否符合MI要求；批量板每40塊須抽測二塊板，避開批量問題發(fā)生。品質(zhì)特別處理問題描述蝕刻不凈、線路毛邊大蝕刻過度、線幼

處理措施1、檢查蝕刻速度是否過快，蝕刻壓力是否過小，蝕刻溫度是否過低2、檢查蝕刻噴嘴是否有堵塞3、檢查鹽酸的酸度及自動添加系統(tǒng)是否正常4OK壓力或?qū)嵭幸粋€蝕刻缸返蝕刻進展處理。1、檢查蝕刻速度是否過慢，蝕刻壓力是否過大，蝕刻溫度是否過高2、檢查鹽酸的酸度及自動添加系統(tǒng)是否正常3OK4QA1、檢查退膜速度是否過快，退膜壓力是否過小，退膜溫度是否過低2、檢查退膜藥水是否已到更換期退膜不凈 3、檢查藥水濃度是否在要求范圍內(nèi)4OK5、已生產(chǎn)的問題板可返退膜處理不合格品返工：已蝕刻干膜板返工處理要求：對自檢中覺察蝕刻不凈干膜缺陷板可重蝕刻；已蝕刻干膜板返工處理要求：對自檢中覺察無法修復修理的蝕刻不凈干膜缺陷板，退膜后送線路房重做線路重蝕刻；安全留意事項添加藥水時，須帶防護面罩、膠手套、雨鞋等防護用具。當藥水不留神濺到皮膚或眼睛時，需用大量清水沖洗，嚴峻的需馬上通知就醫(yī)。停水停電的應(yīng)急處理停水應(yīng)急措施當緊急停水時，須馬上停放板。利用水缸內(nèi)余留的水，把存留在機器里的板沖洗出來。對沖出的板需進展隔離檢查，有品質(zhì)特別，須修理或重工處理。深圳市奔強電路深圳市奔強電路ShenzhenBenQiangCircuitCo.,Ltd.內(nèi)層蝕刻作業(yè)標準文件編號版頁本碼BQ-WI-PR-08A0-6/6-當來水后，開機并檢查水洗壓力在范圍內(nèi)，方可顯影。停電應(yīng)急措施當緊急停電時，須馬上關(guān)閉機器總電源。進展返工處理。當來電，須五分鐘后電壓穩(wěn)定方可開機。設(shè)備的維護保養(yǎng)設(shè)備的