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11周報11月——W2程維福—化學(xué)站一.重大事項概述提綱2三.本周自我總結(jié)二.異常處理心得3一、重大事項概述機臺:自動清洗櫥(ITO蝕刻機臺)警報信息:chuckmotionistimeout異常原因:機臺點位異常處理過程:1.到現(xiàn)場查看時發(fā)現(xiàn)機臺手臂在3#槽down端,且機臺已跳手動狀態(tài);2.手動取出片源,查看其中一籃片源已在溶液槽過泡2分鐘,另一籃片源無法取出,將取出的片源放入水槽進行沖洗后交付工藝進行判定,另一籃片源降溫排酸后,將其取出放入水槽進行沖洗后交付工藝判定;3.檢查發(fā)現(xiàn)手臂在Tank3夾取位置存在偏差;4.重新調(diào)節(jié)各槽及LD/ULD端的點位,測試OK;5.并檢查各個點位的位置正常后,將其切為自動模式,多次空run測試無誤后,交付工藝。4一、重大事項概述機臺:自動清洗櫥(ITO蝕刻機臺)警報信息:chuckmotionistimeout異常原因:固定chuckopen/close動作的螺絲有松動導(dǎo)致chuckmotionsensor感應(yīng)異常處理過程:1.在補酸升溫測溫完成后,將機臺切為自動時,發(fā)現(xiàn)無法切為自動模式;2.將Robot頂端蓋子拆掉進行檢查,做chuckopen/close動作,發(fā)現(xiàn)手臂在做open動作時,此點的chuckmotionsensor處于常亮狀態(tài);3.檢查發(fā)現(xiàn)固定chuckopen/close動作的螺絲有松動,將其重新緊固后,做chuckopen/close動作,測試OK;4.檢查各個點位的位置正常后,將其切為自動模式,多次空run測試無誤后,交付工藝。5一、重大事項概述日期:2014-11-22機臺:馗鼎等離子去膠機異常原因:壓力顯示異常處理過程:1.機臺在正常RUN貨時發(fā)現(xiàn)壓力顯示異常為0;
2.檢查發(fā)現(xiàn)壓力計損壞;3.更換新的壓力計,空run數(shù)次顯示無異常;4.測試OK交工藝。6日期:2014-11-22機臺:自動清洗櫥(BOE)警報信息:LD-1-2CSTDetectsensorerror異常原因:LD端sensor被酸腐蝕導(dǎo)致WPR取貨后LD端信號未消除處理過程:1.查看機臺各槽體內(nèi)當時均無片源;2.檢查發(fā)現(xiàn)LD端sensor處結(jié)晶嚴重,sensor被酸腐蝕導(dǎo)致無法正常感應(yīng)信號;3.將腐蝕的sensor拆下,更換新的sensor后測試信號感應(yīng)正常;4.將機臺切為自動模式,多次空run測試OK后交付工藝。一、重大事項概述7一、重大事項概述日期:2014-11-27機臺:刮邊機異常原因:生產(chǎn)操作不規(guī)范導(dǎo)致破片處理:1.生產(chǎn)反應(yīng)破片后到現(xiàn)場查看發(fā)現(xiàn)CST2側(cè)翻,12片4寸片源破片;2.將破片片源清理出機臺,模擬事故現(xiàn)場,并與生產(chǎn)領(lǐng)班確認后,確定異常發(fā)現(xiàn)原因為機臺報警后,產(chǎn)線人員進行復(fù)位后未把手臂上及作業(yè)臺上的片源取出,導(dǎo)致啟動后手臂在CST2-2位置作業(yè)時存在兩片片源,手臂卡住卡塞,導(dǎo)致卡塞倒下,片源破裂;3.由于在復(fù)位后手臂上片源未取下的情況下仍會取貨,存在隱患,故此機臺目前暫停作業(yè)。二、異常處理心得8馗鼎等離子去膠機也是站內(nèi)的重要機臺,作用是相當于生產(chǎn)設(shè)備的瓶頸機臺,因此及時的處理異常直接關(guān)系到片源產(chǎn)出。當發(fā)現(xiàn)壓力顯示異常時,要在盡量短的時間里判斷出最可能的原因,然后檢查相應(yīng)的零部件是否正常運作,如果發(fā)現(xiàn)問題,及時進行更換。
自動清洗櫥是重要的生產(chǎn)設(shè)備,對于BOE機臺及ITO蝕刻機臺尤其要注意,因為片源在BOE溶液或者ITO蝕刻液里過泡很有導(dǎo)致片源返工甚至報廢,因此發(fā)生異常時,首先要做的就是取出槽體內(nèi)片源并進行清洗,然后再檢查并處理機臺異常,處理問題時必須要仔細。
對于刮邊機異常,在進行機臺復(fù)位后務(wù)必取出氣缸及手臂上片源,規(guī)范生產(chǎn)操作,以嚴謹?shù)膽B(tài)度處理。三、本周自我總結(jié)9通過慢慢的實踐,現(xiàn)在逐漸對站內(nèi)機臺有了更深刻的認識,接觸到之前沒有見過的機臺異常,不僅增長了自己的見識,更重要的是自身得到了鍛煉,對這些機況的處理能夠更加的得心應(yīng)手,不至于在遇到事情的時候無從
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