內燃機 搖臂滾輪銷、活塞銷類金剛石涂層（DLC）工藝規(guī)范-征求意見稿_第1頁
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3內燃機搖臂滾輪銷、活塞銷類金剛石涂層（DLC）工藝規(guī)范本文件規(guī)定了內燃機搖臂滾輪銷、活塞銷類金剛石涂層（DLC）的術語和定義、涂GB/T3163-2007真空技術GB/T25898-2010儀器化納米壓入試驗方法薄膜的壓入硬度和彈性GB/T31563-2015金屬覆蓋JB/T7707-1995離子鍍硬膜厚度試驗方JB/T8945-2010真空濺射ISO22462:2020金屬和其他無機涂層類金剛石涂層diamond-like類金剛石涂層是含有大量sp3鍵亞穩(wěn)態(tài)的含氫非晶碳hydrogenatedamorphou離子清洗是利用等離子體對基片表面進行轟擊44真空鍍膜設備4.2真空鍍膜機4.3爐架4.4水冷設備4.5供氣系統(tǒng)5.1涂層結構為打底層金屬和MeC或者打底層金屬與a-C:H:Me的復合過渡層；過渡層2為a-C:H:Me，其中C含量由內向5.2涂層厚度55.3結合強度5.4涂層硬度5.5基片硬度變化5.6殘余磁性5.7粗糙度5.8摩擦系數(shù)5.9外觀產品工作面應無色差、脫膜、凹陷、銹蝕、水印、臟污、燒傷、凸起、缺口、毛刺、涂層過程中放電異常產生的燒蝕痕跡，或磕碰、銹蝕等其他原因導致的損傷應符66.1.2檢查來料數(shù)量、外觀是否存噴淋沖洗→超聲浸泡清洗→漂洗→超聲精細清洗→漂洗→漂洗涂層前爐內真空度低于5mPa，DLC涂層過程中反應壓為0.37涂層過程分為金屬打底層沉積、過渡層1沉積、過渡層2沉積和a-C:H層沉積，其中打底層和過渡層128345），硬度按照GB/T25898-2010規(guī)定測量97.9.4

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