開路不良改善報告報告單位：HDI制造部

報告人：劉

劍

杰

報告日期：2014.12.11

一.團隊組織

二.改善計畫三.現(xiàn)況把握

四.目標設定五.改善措施

六.改善實施七.真因證實八.改善對策

九.效果追蹤十.標準化報告大綱一.團隊組織制程楊鋼1.改善對策提出與執(zhí)行，技術支持2.生產(chǎn)參數(shù)改善及設計資料優(yōu)化3.改善效果追蹤與確認4.標準作業(yè)規(guī)格的制訂TeamLeader

劉劍杰李波林/魏健波線路1.數(shù)據(jù)收集與報告整理2.製作異常確認與反饋3.改善對策執(zhí)行4.改善效果追蹤與確認設備維護曾增鑫1.設備異常處理2.設備保養(yǎng)與維修3.設備改造呂俊偉1.設備及藥水、干膜特性評估，優(yōu)化生產(chǎn)參數(shù)整合二.改善計劃三.現(xiàn)況把握『1—5月份開路報廢推移圖』KeyMessage:1.從1—5月份開路報廢數(shù)據(jù)看，1月份開路報廢較少，2月份開始上升，5月份開路報廢有上升趨勢，開路報廢率達到2.23%2.以上數(shù)據(jù)統(tǒng)計為1—5月份，報廢數(shù)據(jù)來料MRB三.現(xiàn)況把握『全廠開路報廢分析』KeyMessage:1.開路報廢前三大分別為內(nèi)開、貼膜不良、曝光臟點，佔據(jù)開路不良的80.16%；2.以MRB的1—5月份開路報廢數(shù)據(jù)繪製，全廠線路開路報廢1.8998%三.現(xiàn)況把握『1—5月份開路報廢各不良項目推移圖』KeyMessage:1.從1—5月份開路報廢數(shù)據(jù)看，從1月份到5月份，貼膜、曝光臟點報廢上升最快，上升幅度分別為200%和530%，兩個不良項目報廢率上升0.92%，是開路不良上升的主要原因2.以上數(shù)據(jù)統(tǒng)計為1—5月份，報廢數(shù)據(jù)來源MRB三.現(xiàn)況把握『5月份線路內(nèi)開報廢BY料號』KeyMessage:從5月份開路報廢數(shù)據(jù)看，內(nèi)開前五大料號分別為H612VA11029、H208UA01196、H408VE02063、H104IA01229、H210VF052362.以上數(shù)據(jù)統(tǒng)計為5月份，報廢數(shù)據(jù)來源MRB三.現(xiàn)況把握『5月份線路曝光臟點報廢BY料號』KeyMessage:從5月份開路報廢數(shù)據(jù)看，內(nèi)開前五大料號分別為H612VA11029、H308VC32061、H210VF05236、H108VC32051、08UA011962.以上數(shù)據(jù)統(tǒng)計為5月份，報廢數(shù)據(jù)來源MRB三.現(xiàn)況把握『5月份線路貼膜不良報廢BY料號』KeyMessage:從5月份開路報廢數(shù)據(jù)看，內(nèi)開前五大料號分別為H208UA01196、

H612VA11029、H408VE02063、H104IA01229、H210VF05236從開路三大報廢前五大料號看，內(nèi)開及貼膜不良五大料號完全一樣，曝光臟點H208UA01196、H612VA11029、H210VF05236這三大料號相同，新增H308VC32061、H108VC32051兩個料號，建議重點分析七大料號設計特性，確認是否可從設計上改善以上數(shù)據(jù)統(tǒng)計為5月份，報廢數(shù)據(jù)來源MRB掉PAD拐角處開路報廢並排線開路報廢貼膜不良三.現(xiàn)況把握『各種開路及開路高風險照片分類』蝕刻后刮傷干膜刮傷三.現(xiàn)況把握『各種開路及開路高風險照片分類』四.改善目標KeyMessage:必達目標:改善幅度20%;挑戰(zhàn)目標:改善幅度40%改善數(shù)據(jù)以MRB報廢數(shù)據(jù)為準五.改善措施前處理壓膜曝光DESAOI1.前處理保養(yǎng)週期變更，增加每週一次保養(yǎng)，主要對水洗槽、酸洗槽等槽體酸鹼洗，滾輪清潔，保養(yǎng)時間4小時/次

2.酸洗槽前進板處實心滾輪改為葉片式滾輪，降低板面紮傷3.工程師將管制重點對前處理人員做教育訓練，提升人員能力，減少板面異常41.壓膜滾輪清潔落實，每班滾輪點檢落實，粘塵紙更換落實2.保養(yǎng)動作落實，每班固定保養(yǎng)45.鐘，工程師每班稽核3.針對保養(yǎng)死角制程負責對線路全員做教育訓練，且不定時進行稽核

1.臺面、A/W、底片框清潔動作落實，粘塵紙更換落實

2.能量測試每班完成3.保養(yǎng)動作落實，每班固定保養(yǎng)45.鐘，工程師每班稽核4.請保養(yǎng)組提供保養(yǎng)死角，并對曝光人員做保養(yǎng)教育訓練，提升保養(yǎng)效果5.制定固定開路報廢標準提供到抽測掃描人員，避免報廢缺陷下放至AOI6.制程協(xié)助對無塵室所有粘塵機粘塵效果測試，將異常機臺匯總給工務維修，後續(xù)保養(yǎng)組每天測試7.針對現(xiàn)況分析中的良率差的七大料號，無塵室做重點管控1.針對不同干膜顯影速度按SOP作業(yè)，工程師不定時稽核2.收板及搬運注意板面刮傷，06012等類似厚板改手動收板1.每日統(tǒng)計AOI一次良率，將良率低於65%的知會到工程師，劉廠每日檢討原因2.每日品?；薃OI漏失數(shù)據(jù)，AOI工程師針對漏失進行改善3.優(yōu)化AOI流程，降低漏失產(chǎn)生4.針對良率低的H208UA01196、H612VA11029、H408VE02063、H104IA01229、H210VF05236、H308VC32061、H108VC32051等幾大料號每天BYLOT分析良率六.對策實施—AOI漏失改善AOI課新流程OK退洗粘塵DES修板AOINGVRS補線檢修OK放置區(qū)檢修OK待補線待補線放置區(qū)異常板NGNGOKOKOKOK粘塵打報廢擦線OKOK待轉(zhuǎn)板放置區(qū)出貨對不能修的打報廢標示現(xiàn)報廢標示只準打孔破,任何線路上的開短路VRS人員只能做修補標示,不許打報廢！對不能補的打報廢標示檢測對板子上的報廢標示進行確認,并對MRB判過的板子進行抽檢！NGKeyMessage:變更后，VRS人員除孔破可判報廢外，其它報廢由補線及修補人員判定，并增加一崗位對報廢板做確認，降低誤判及漏失六.對策實施—抽測品質(zhì)判定KeyMessage:制定抽測判定標準，降低人員誤判將報廢性質(zhì)的固定開路或缺口下放六.對策實施—前處理改善KeyMessage:前處理增加一次4小時周保養(yǎng)，提升板面清洗品質(zhì)，改善貼膜不良六.對策實施---粘塵機粘塵效果確認KeyMessage:1.曝光機確認時間為6月7日，壓膜機確認時間為6月9日，6月9日下午設備維修后再次確認已全部OK.驗證方法:用鉛筆在裸銅板正反面並排畫上米字記號。然後經(jīng)過粘塵機，觀察粘塵紙卷上是否有黑色印跡，若有說明粘塵機有粘塵作用，反之則粘塵機粘塵效果失效.針對無塵室各粘塵機臺進行確認結(jié)果如下：有明顯黑色印跡---OK有輕微黑色印跡沒有黑色印跡---NG需設備調(diào)整六.對策實施---DES顯破點測試KeyMessage:1.經(jīng)對兩廠DES顯破點測試發(fā)現(xiàn)，在SOP規(guī)定的線速及噴壓下，顯破點都明顯提前了，易造成貼膜不良，制程已對顯破點做調(diào)整6月9日對A2&A3兩廠DES顯破點進行確認，結(jié)果如下：六.對策實施---粘塵機前端粘塵失效確認KeyMessage:1.通過對比可知，經(jīng)過手動將進板前端粘塵一次的板子，曝光臟點及貼膜不良要比正常生產(chǎn)的板子少1.26%，不良下降24.8%驗證方法:1.選取同一料號在同一機臺連續(xù)壓膜，同一機臺連續(xù)曝光，一批正常做，一批進板前端用粘塵滾輪手動粘塵一次，對比兩批板的曝光臟點及貼膜不良數(shù).驗證1：AOI一次良率曝光臟點及貼膜不良對比及不良圖片六.對策實施---粘塵機前端粘塵失效確認KeyMessage:1.經(jīng)過三次粘塵后發(fā)現(xiàn)第一次異物較多，在20個異物以上，調(diào)頭再粘后有7個點，第三次再粘有2個點，主要為膜屑、myalr絲、其它雜物，第二次及第三次粘塵異物主要分佈在粘塵紙的兩端驗證方法:2.選一批板第一次正常過粘塵機，第二次調(diào)頭再過粘塵機，第三次正常過粘塵機，確認三次過粘塵機后粘塵紙上的異物點數(shù)驗證2：粘塵紙上異物數(shù)量對比：1無塵紙+酒精擦拭效果班保養(yǎng)后第一次換干膜第二次換干膜夾持滾輪切刀、刀槽保養(yǎng)后對比六.對策實施---壓膜機換膜前後保養(yǎng)效果確認無塵紙+酒精擦拭效果班保養(yǎng)后第一次換干膜驗證方法:1.選擇一臺壓膜機在每次換膜時擦拭切刀及夾持滾輪對良率的影響1六.對策實施---壓膜機換膜前後保養(yǎng)效果確認4#壓膜機保養(yǎng)前後批次缺點數(shù)（曝光臟點+貼膜不良）狀況KeyMessage:1.從上數(shù)據(jù)看，離保養(yǎng)夾持滾輪及切刀時間越長，缺點越多，保養(yǎng)對良率影響較大1六.對策實施---壓膜機換膜前後保養(yǎng)效果確認壓膜機保養(yǎng)前後批次缺點數(shù)（曝光臟點+貼膜不良）狀況—BY料號對比1六.對策實施---壓膜機換膜前後保養(yǎng)效果確認壓膜機保養(yǎng)前後批次缺點數(shù)（曝光臟點+貼膜不良）狀況—BY料號對比KeyMessage:1.從上兩個料號保養(yǎng)前後開路缺點數(shù)對比，保養(yǎng)之後缺點數(shù)明顯減少，且缺點數(shù)隨壓板數(shù)量增加六.對策實施---壓膜機夾持滾輪檢查KeyMessage:1.6月16日對壓膜機夾持滾輪檢查，發(fā)現(xiàn)2#、3#壓膜機夾持滾輪有破損現(xiàn)象，已通知設備更換.6月16日針對無塵室各壓膜機夾持滾輪進行檢查結(jié)果如下：六.對策實施---壓膜機夾持滾輪檢查KeyMessage:1.6月16日對壓膜機夾持滾輪檢查，發(fā)現(xiàn)2#、3#壓膜機夾持滾輪有破損現(xiàn)象，已通知設備更換.6月16日針對無塵室各壓膜機夾持滾輪進行檢查結(jié)果如下：凹坑刮痕殘銅六.對策實施---壓膜機夾持滾輪檢查KeyMessage:1.6月16日對曝光機下壓狀況進行檢查，A2除2#、6#粘塵滾輪下壓異常外，其餘機臺OK，A3所有曝光機粘塵滾輪下壓正常，但11#曝光機進板大於10CM下壓滾輪才下壓，6月17日下午會請設備對所有粘塵機下壓狀況進行調(diào)整6月16日針對無塵室各曝光機粘塵機粘進板粘塵滾輪下壓狀況進行檢查結(jié)果如下：A22#曝光機第二組滾輪下壓不一致A26#曝光機第二組滾輪下壓不一致線路無塵室粘塵機其餘曝光機下壓正常六.對策實施---壓膜機夾持滾輪檢查KeyMessage:1.6月16日對曝光機下壓狀況進行檢查，A2除1#、2#壓膜機，3#曝光機的粘塵滾輪有破損外，其餘機臺OK,A3還未檢查，17日下午調(diào)整粘塵滾輪下壓時一并檢查，并請設備備料對需更換的滾輪進行更換6月16日針對無塵室各曝光機粘塵機粘粘塵滾輪狀況進行檢查結(jié)果如下：3#曝光機粘塵滾輪破損嚴重1#壓膜機粘塵滾輪破損A2線路無塵室粘塵機粘塵滾輪2#壓膜機粘塵滾輪破損六.對策實施---設備整改匯總—A3六.對策實施---設備整改匯總—A2KeyMessage:1.截止到19日，設備已對粘塵機進板下壓做調(diào)整，但粘塵滾輪破損現(xiàn)無庫存跟換，預計要到7月份才可以完成，壓膜機夾持滾輪破損的還有3臺機未更換，需到7月份才可完成，粘塵機下壓異常待設備維修六.對策實施---前處理待料對開路影響經(jīng)對前處理吸水海綿檢查發(fā)現(xiàn)，待料半小時以上吸水海綿就有發(fā)乾現(xiàn)象，用水擠壓無水流出，先針對待料后重新開機吸水海綿發(fā)干對良率的影響做確認。方法：選取前處理各線在待料1小時后的料號批次，與同一料號同一層別在正常生產(chǎn)狀況下對比一次良率中，曝光臟點及貼膜不良數(shù)：六.對策實施---藥水濃度及溫度對顯破點影響KeyMessage:1.從兩次測試看，顯影槽溫度對顯破點影響較大，顯影槽藥水濃度如在規(guī)格內(nèi)則對顯破點影響不大2.6月11日用溫度計測A3DES1#溫度發(fā)現(xiàn)，實測溫度與顯示溫度差異2—3度，而從實驗看，顯影槽溫度對顯破點影響較大，後續(xù)要求每天用溫度計實測一次顯影槽溫度并與顯示溫度做對比，發(fā)現(xiàn)異常通知設備維護六.對策實施---前處理進料異常KeyMessage:1.對內(nèi)層切片孔未切除板做前處理測試，發(fā)現(xiàn)正常走前處理去除不了氧化，且切片處易藏藥水，溶液對壓膜滾輪造成損傷2.後續(xù)進料發(fā)現(xiàn)內(nèi)層切片孔未切除及鉚釘孔未鉆孔的一律退回前站處理，避免板面清洗不淨及污染滾輪6月19日在前處理進料發(fā)現(xiàn)，電鍍轉(zhuǎn)給線路的板子部份板內(nèi)層切片孔未切掉，氧化嚴重且藏有藥水，走前處理后無法去除。前處理來料發(fā)現(xiàn)內(nèi)層切片孔未切掉，銅面氧化嚴重，且有長長的淚痕走前處理5#后氧化未去除，且淚痕也去除不了切片處孔內(nèi)藏有藥水六.對策實施---前處理進料異常KeyMessage:對前處理進料異常，將異常現(xiàn)象給前處理進料人員做教育訓練，并嚴格卡關進料品質(zhì)，避免板面不良對開路的影響6月19日在前處理進料發(fā)現(xiàn)部份板存在內(nèi)層切片未切除，板面藥水殘留，板面凹陷等現(xiàn)象。七.真因證實---前處理待料對開路影響（A3)七.真因證實---前處理待料對開路影響（A3)KeyMessage:1.現(xiàn)對A3四條前處理待料前後良率做對比，發(fā)現(xiàn)待料后第一批板子的良率比正常生產(chǎn)時良率都要低，後續(xù)要求待料后需先潤濕吸水海綿再生產(chǎn)七.真因證實---前處理待料對開路影響（A2)KeyMessage:1.A2前處理測試待料后開線第一批板子玉正常生產(chǎn)板子良率對比發(fā)現(xiàn)，待料后的板子良率也是必正常生產(chǎn)的板子良率低，後續(xù)要求待料后需先潤濕吸水海綿再生產(chǎn)七.真因證實---前處理進料異常KeyMessage:1.19日對所有曝光機內(nèi)壓力做測試，發(fā)現(xiàn)只有9#與10#曝光機是正壓，其它曝光機都是負壓，查9#與10#曝光機回風墻有隔離，其它曝光機回風墻都沒有做隔離區(qū)6月19日對無塵室曝光機內(nèi)壓力做測試，發(fā)現(xiàn)除9#與10#曝光機是正壓外，其它機臺都是負壓。9#&10#曝光機測試時貼條是往機臺外吹的，標示機臺內(nèi)壓力大於無塵室壓力，機臺內(nèi)是正壓其它曝光機測試時貼條是往機臺內(nèi)吹的，標示機臺內(nèi)壓力小於無塵室壓力，機臺內(nèi)是負壓，空氣中的灰塵易飛往機臺內(nèi)七.真因證實---回風墻封閉效果確認KeyMessage:1.以上數(shù)據(jù)為5月25日—6月10日半個月各曝光機臺生產(chǎn)C32061內(nèi)三一次良率對比2.從上圖看，回風墻封閉的兩臺機9#&10#一次良率要比其他機臺要好，8#良率最差（以上數(shù)據(jù)存在不同人員操作機臺誤差）七.真因證實---回風墻封閉效果確認KeyMessage:1.以上數(shù)據(jù)為5月25日—6月10日半個月各曝光機臺生產(chǎn)C29117內(nèi)三一次良率對比2.從上圖看，回風墻封閉的兩臺機9#&10#一次良率要比其他機臺要好一點，8#機良率最差（以上數(shù)據(jù)存在不同人員操作機臺誤差）七.真因證實---換膜后對壓膜機做保養(yǎng)效果確認KeyMessage:1.上圖為F03516內(nèi)二壓膜后對壓膜機保養(yǎng)與不保養(yǎng)的一次良率對比2.從上表看，換膜后對壓膜機保養(yǎng)，曝光臟點及貼膜不良異常有較大下降，保養(yǎng)后不良點下降幅度50%七.真因證實---換膜后對壓膜機做保養(yǎng)效果確認KeyMessage:1.上圖為E02056外層壓膜后對壓膜機保養(yǎng)與不保養(yǎng)的一次良率對比2.從上表看，換膜后對壓膜機保養(yǎng)，曝光臟點及貼膜不良異常有較大下降七.真因證實---C32051內(nèi)二LDI與ORC曝光良率對比KeyMessage:1.C32051內(nèi)二改LDI曝光后，曝光臟點及貼膜不良下降明顯，改LDI曝光后生產(chǎn)3批平均每批報廢4個，ORC曝光平均每批有36個報廢2.以上數(shù)據(jù)來自IPQC單X報廢七.真因證實---顯影速度對良率的影響KeyMessage:1.以上數(shù)據(jù)為A2線路1738干膜在不同顯影速度下曝光臟點及貼膜不良數(shù)一次良率對比狀況2.從數(shù)據(jù)看，1738干膜顯影速度4.5m/min比4.0m/min良率要好建議後續(xù)1738干膜顯影速度改為4.5m/min七.真因證實---前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)破損對良率的影響KeyMessage:1.上圖為A3線路前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)使用情況，6月20日檢查發(fā)現(xiàn)燒焦后更換新的，但使用兩天后又有輕微燒焦，且燒焦部位有粘性前處理乾燥段過濾網(wǎng)破損更換新過濾網(wǎng)兩天后又有燒焦現(xiàn)象七.真因證實---前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)破損對良率的影響KeyMessage:1.上圖為A3線路前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)更換前後C29123外層一次良率曝光臟點及貼膜不良數(shù)對比，更換前平均每批22個不良點，更換后平均每批13個不良點，更換后不良點數(shù)下降幅度45%第1批第2批第3批第4批第5批第6批第7批第8批第9批第10批七.真因證實---前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)破損對良率的影響KeyMessage:1.上圖為A3線路前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)更換前後C29117外層一次良率曝光臟點及貼膜不良數(shù)對比，更換前平均每批20個不良點，更換后平均每批9個不良點，更換后不良點數(shù)有下降2.前處理1#需設備改善，以免烘乾段過濾網(wǎng)經(jīng)常被燒壞，改善前每天點檢一次過濾網(wǎng)破損狀況第1批第2批第3批第4批第5批第6批七.真因證實---ORC曝光臺保養(yǎng)前後良率對比KeyMessage:1.6月23日對ORC曝光機曝光平臺檢查，發(fā)現(xiàn)平臺周邊都很多灰塵，已保養(yǎng)組確認很長時間未拆開后蓋對曝光臺進行保養(yǎng)，6月24日—25日保養(yǎng)組集中人力對ORC曝光臺進行全面保養(yǎng)，已降低平臺灰塵對曝光品質(zhì)的影響七.真因證實---ORC曝光臺保養(yǎng)前後良率對比KeyMessage:1.以上數(shù)據(jù)為ORC曝光機曝光臺保養(yǎng)前後一次良率中曝光臟點及貼膜不良數(shù)對比，從數(shù)據(jù)中看，保養(yǎng)后一次良率曝光臟點及貼膜不良數(shù)有下降趨勢，後續(xù)再多跟進生產(chǎn)批次，確認保養(yǎng)效果七.真因證實---ORC曝光臺保養(yǎng)前後良率對比KeyMessage:1.以上數(shù)據(jù)為ORC曝光機曝光臺保養(yǎng)前後一次良率中曝光臟點及貼膜不良數(shù)對比，從數(shù)據(jù)中看，保養(yǎng)后一次良率曝光臟點及貼膜不良數(shù)有下降趨勢2.因保養(yǎng)后生產(chǎn)時間不足，AOI一次良率出來的數(shù)據(jù)只有F03530批次較多，後續(xù)再多跟進生產(chǎn)批次，確認其它料號的良率狀況八.效果確認---DES各段速度測試匯總7月1日測試后設備已對實際值與顯示值差異較大的設備做調(diào)整，現(xiàn)已全部OK八.效果確認---設備整改結(jié)果匯總以上為7月3日A2新增設備問題，7月5日將6#曝光機滾輪變形維修OK，其它還未維修八.效果確認---設備整改結(jié)果匯總1.上表為7月份對干膜蓋孔能力測試后根據(jù)封孔狀況定義的干膜使用規(guī)則2.0704周對1333干膜蓋孔能力測試，孔徑大於3.5mm時1333干膜則會出現(xiàn)孔破，附件為1333干膜蓋孔能力測試報告八.效果確認---設備整改結(jié)果匯總曝光機冷風管過濾網(wǎng)原定7月30日完成更換，現(xiàn)配件請購中，未完成，壓膜機過濾器原定7月30日完成更換，現(xiàn)配件請購中，未完成八.效果確認—蝕刻壓力變更對貼膜不良的影響1.上圖為蝕刻壓力從2.3kg/cm2變更為1.2kg/cm2對A01196貼膜不良對比2.從數(shù)據(jù)看，蝕刻壓力變更后，A01196貼膜不良比率下降幅度較大，下降幅度為70%KEY:1.全檢壓膜后板子150pnl，其中6pnl有膜下異物；2.全檢60pnl有5個板面凹陷2.膜下異物已做切片，待分析層別是微蝕前還是微蝕后膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物KEY:切片分析異物位於VCP銅層之上，為壓膜時膜屑反粘造成

異物平面圖切片圖切片圖切片圖切片圖KEY:前處理烘乾段風刀管道拆下確認管道內(nèi)壁附有黑色異物，部份已脫落，易導致膜下異物

烘乾段風刀管道確認KEY:在前處理烘乾段空氣過濾器內(nèi)新覆蓋增加過濾網(wǎng)，機臺正常運轉(zhuǎn)下確認是否有異物從此處進入機臺內(nèi)。

前處理烘乾段空氣過濾器改裝前改裝后++KEY:加裝濾網(wǎng)后一段時間拿UV燈照射濾網(wǎng)及過濾器內(nèi)、外處均有異物。

濾網(wǎng)效果確認1壓膜不良確認項匯總項目問題點確認人備註1.來料板面異物或膜屑導致開短路：全檢壓膜后板子150pnl，其中6pnl有膜下異物呂俊偉2.板面凹陷，刮傷，導致貼膜不良：全檢11029料號60pnl有5各點呂俊偉

3.預熱機滾輪破損孟強4.壓膜機夾持滾輪破損孟強5.壓膜機後蓋破損，不能有效隔絕外部環(huán)境孟強6.板子預熱后溫度不足，業(yè)界干膜管控50-55度：每天由工程師測試預熱后板面溫度孟強

7.粘塵機除靜電裝置是否有效需確認：待找到靜電測試儀后測試孟強8.前處理烘乾風刀管道異物：目前前處理1#線拆下確認管道有大量黑色異物呂俊偉

八.效果確認—AOI漏失改善KeyMessage:1.附件為AOI漏失改善報告33週工作事項序號內(nèi)容完成時間1統(tǒng)計其它廠商使用設備及藥水8月12日2A2線路1#&2#壓膜機簡易封閉裝置8月13日3A2前處理2#自動噴水裝置8月14日4A3線路無塵室回風牆封閉效果確認8月13日52線路前處理變形吸水海綿滾輪軸心更換8月15日其它廠商使用設備及藥水廠家項目前處理壓膜機華通設備臺化至勝藥水清英超粗化

方正設備臺化伯東藥水外層sps+金剛砂（內(nèi)層超粗化）

聯(lián)能設備臺化伯東藥水中粗化&超粗化

深南設備宇宙思沃藥水超粗化（美格）

美維設備

藥水中粗化&超粗化（板明）

A2線路1#&2#壓膜機簡易封閉裝置A2線路1#&2#壓膜機簡易封閉裝置A2前處理2#自動噴水裝置前處理省水省電模式下待料,傳動停止.重新生產(chǎn)後吸水海綿滾輪噴灑15秒.改善前（人員手動添加，存在漏加風險）改善后（待料后開線自動添加15sec）A2前處理2#自動噴水裝置A3線路無塵室回風牆封閉效果確認1.8月11日—15日將無塵室回風墻做封閉改善，降低曝光臟點。2.上圖是7月6日—19日（改善前）03530內(nèi)一良率與8月17日—20日（改善后）11#ORC曝光機一次良率對比3.從上圖看，改善前03530內(nèi)一曝光臟點及貼膜不良平均28個/批，改善后曝光臟點及貼膜不良16個/批，下降幅度43%34週工作事項序號內(nèi)容完成時間1加大研磨機刷磨量由0.05mm加大至0.08mm8月26日2加大前處理微蝕量由0.7um加大至1.0um8月27日3靜電測試8月29日4SPS槽提升Cu2+濃度8月30日SPS槽提升Cu2+濃度Spec:Cu2+<=50g/l35週工作事項序號內(nèi)容完成時間效果確認1加大研磨機刷磨量由0.05mm加大至0.08mm8月28日9月10日2加大前處理微蝕量由0.7um加大至1.0um8月29日9月11日3靜電測試9月3日

4內(nèi)一中粗化測試9月3日

5A2線路3#&4#壓膜機簡易封閉裝置9月2日9月11日A2線路3#&4#壓膜機簡易封閉裝置靜電測試流程前處理貼膜比對項次/項目烘乾后貼膜前收板機分板機貼膜前暫存機粘塵機粘塵前粘塵后預熱前預熱后貼膜前PE膜與干膜分離處貼膜后翻板機翻板前翻板機翻板后收板機DES3#7107220042-150000264#110-202-500001#1343-30-300000012#-2-1000-40000內(nèi)一中粗化測試微蝕量由0.7um加大至1.0um微蝕量由0.7um加大至1.0um(E02081內(nèi)一)0.7um:內(nèi)二一次良率曝光臟點1.18%,貼膜不良0.47%,1.0um:內(nèi)二一次良率曝光臟點0.76%,貼膜不良0.67%,內(nèi)一中粗化測試37週工作事項序號內(nèi)容完成時間效果確認1內(nèi)一中粗化測試9月10日9月15日2烘乾段後異物分析9月15日

3A21#烘乾段清潔9月10日9月15日內(nèi)一中粗化測試鼓風馬達出風管道分接管吹乾進風管熱風生成機管道烘乾進風管烘乾風刀冷風風刀吹乾段進風彎管Keymessage：1.烘乾進風管及熱風生成機風管先使用清水沖洗.然後使用軸承和酒精布清潔內(nèi)壁.最後再用水沖洗.2.生產(chǎn)前空轉(zhuǎn)5min確保管道無殘留水份A21#烘乾段清潔烘乾段後異物分析建議事項進度壓膜機1#切刀使用9.3萬次時膜屑異常壓膜氣泡切刀缺口掉屑，且保養(yǎng)不乾淨Key:壓膜氣泡主要為壓膜滾輪上膜屑導致

另諮詢?nèi)樟耗C廠商切刀壽命，新刀建議10萬次，研磨刀5萬次（最多只能研磨4次），而廠內(nèi)新舊刀只定義10萬次，未定義研磨次數(shù)10/8日1#壓膜機更換新刀，使用一天狀況OK，無膜屑壓膜機2#3#4#機臺檢查結(jié)果Key:目前2#3#4#機臺最長壽命7.6萬次，檢查均無膜屑AOI掃描一次不良假點數(shù)跟進對比（E02087L4/L7）Key：保養(yǎng)后掃描lot6不良點1117點，假點數(shù)1064點

製作1900pnl后掃描lot3不良點578點，假點數(shù)531點前處理4#烘乾溫度改善前後曝光臟點和貼膜不良對比Keymessage：1.烘乾溫度改善前曝光臟點和貼膜不良平均不良率為1.42%，改善后為1.2%，下降0.22%，下降幅度15%

A3線路無塵室回風牆封閉效果確認1.8月11日—15日將無塵室回風墻做封閉改善，降低曝光臟點。2.上圖是7月6日—19日（改善前）03530內(nèi)一良率與8月17日—20日（改善后）11#ORC曝光機一次良率對比3.從上圖看，改善前03530內(nèi)一曝光臟點及貼膜不良平均28個/批，改善后曝光臟點及貼膜不良16個/批，下降幅度43%1硬度計測試結(jié)果1壓痕測試結(jié)果1壓痕測試結(jié)果1夾持滾輪3.目前廠內(nèi)因材質(zhì)異常需更換的夾持滾輪共29根,10/21A3更換5根

1.材質(zhì)異常夾持滾輪酒精檫拭後無粘性,生產(chǎn)過程中溫下無粘性2.透明發(fā)光夾持滾輪酒精檫拭後粘性強,生產(chǎn)過程中溫下弱粘性1壓痕測試結(jié)果1壓痕測試結(jié)果1本週工作1.材質(zhì)異常夾持滾輪更換進度2.幹膜型號,尺寸統(tǒng)一(目前樣品使用較多1738,量產(chǎn)如C29131,C29152等1738幹膜測試;尺寸方面外層,內(nèi)二幹膜尺寸選擇)3.壓膜滾輪新材質(zhì)協(xié)助設備測試4.A3線路前處理生產(chǎn)習慣更改,由壓膜機的干膜型號決定前處理生產(chǎn)料號改為前處理生產(chǎn)料號通知壓膜手架什麼膜,前處理收集720PNL集中生產(chǎn)1壓痕測試結(jié)果1硬度計測試結(jié)果1壓膜一次與二次良率對比1.測試方法：選用A01196L3/6層120Pnl和C29138L2/7層40pnl,每個料號一半壓膜採用正常壓膜參數(shù)壓膜一次，另一半正常參數(shù)壓膜一次后，壓膜壓力、速度、溫度等參數(shù)不改變的情況下再空壓一次2.測試結(jié)果：壓膜一次的兩個料號一次良率曝光臟點及貼膜不良總數(shù)93個strip,壓膜二次一次良率曝光臟點及貼膜不良總數(shù)28個strip，壓膜二次的不良數(shù)比壓膜一次的少65strip,不良率下降70%壓膜一次的二次良率曝光臟點及貼膜不良報廢11個strip,壓膜二次二次良率曝光臟點及貼膜不良報廢6個strip，壓膜二次報廢數(shù)比壓膜一次的少4strip，報廢率下降40%

1ORC曝光機底片清潔刷異常1.查底片清潔刷，每曝光清潔20pnl清潔一次，清潔頻率正常，但清潔範圍有異常，每次清潔時從上圖1開始清潔，清潔毛刷走到2那個位置就停止清潔了，從2到3這一段底片沒有清潔，大於占底片長度的三分之一未清潔到，此異常已向設備反饋，因需要廠商進廠調(diào)整，現(xiàn)暫未進行調(diào)整底片框123毛刷未清潔區(qū)域毛刷清潔OK區(qū)域1同一批板壓膜前後順序良率對比1.測試方法：選用E01513外層120Pnl按正常參數(shù)壓膜，在板子上按壓膜順序編號（1—120），將這批板子分成四份，每份30pnl，1-30pnl為第一批，31-60pnl為第二批，61-90pnl為第三批，91-120pnl為第四批，對比這四批板子良率，確認壓膜前後順序?qū)α悸实挠绊?.測試結(jié)果：從一次良率看，前30pnl良率最差，貼膜不良&曝光臟點有6個不良點，后90pnl良率差異不大，第二批1個，第三、四批各2個從二次良率看，前30pnl貼膜不良&曝光臟點報廢1個，后三批無報廢

1A3線路各壓膜機二次良率對比1.數(shù)據(jù)來源：11月9日—11月12日1#--7#壓膜機所生產(chǎn)料號二次良率中曝光臟點&貼膜不良報廢率2.從數(shù)據(jù)看，7#壓膜機良率最差，貼膜不良&曝光臟點報廢率5.75%，2#報廢率4.35%，3#&4#連線報廢率3.13%，1#報廢率3.08%，5#&6#報廢率1.74%3.其中2#、7#為前處理與壓膜機未連線機臺，其它壓膜機都為前處理與壓膜機連線機臺前處理烘乾段1前處理4#參數(shù)修改后良率對比前處理4#11月15日修改參數(shù)：1.速度從3.5m/min改為3.0m/min2.烘乾溫度從80℃改為90℃從修改前後良率看，修改后良率有明顯提升，曝光臟點報廢從0.6%下降到0.3%，下降幅度50%，貼膜不良報廢從0.49%下降到0.19%，下降幅度61%1前處理4#參數(shù)修改后良率對比前處理4#11月15日修改參數(shù)：1.速度從3.5m/min改為3.0m/min2.烘乾溫度從80℃改為90℃從修改前後前處理每日產(chǎn)出看，修改前平均每天3182pnl,修改后3513pnl，修改前後產(chǎn)出影響不大，可滿足現(xiàn)有產(chǎn)量生產(chǎn)1壓膜一次與二次良率對比1.測試方法：將一批板子正常壓膜，壓完后將一半板子挑出再空壓一次，對比不同壓膜參數(shù)貼膜不良&曝光臟點不良數(shù)量2.測試結(jié)果：

11月27日—12月3日再測試三批板，現(xiàn)已測試10批，從測試結(jié)果看一次壓膜兩批板一次良率貼面不良&曝光臟點平均23strip/lot,二次壓膜平均不良6.7strip/lot，一次不良下降幅度71%，一次壓膜二次良率報廢平均6.4strip/lot,二次壓膜報廢平均2.1strip/lot，報廢率下降67%

1AOI改善措施八.效果確認—MRB開路報廢推移圖KeyMessage:從MRB數(shù)據(jù)看，開路報廢從5月份開始增加，5月份報廢率2.51%，6月整體報廢3.29%，7月份整體報廢率2.21%，比6月份下降32.8%，8月份報廢率1.5%，比7月份下降32%9月份MRB開路報廢1.49%，比8月份下降0.6%10月份重新定義新的改善目標為0.9%10月份報廢率1.26%，比9月份下降15.4%，11月份截止到11月27日報廢率1.39%，比10月份上升10%12月份截止到12月10日報廢率1.06%，1449周報廢率1.07%，1450周前6天報廢率1.23%八.效果確認—A2MRB&IPQC單X開路報廢推移圖八.效果確認—A3MRB&IPQC單X開路報廢推移圖1VRS后墊膠片改善前後良率對比1.數(shù)據(jù)選擇：從FA分析看，內(nèi)開報廢都是L2/7異常，VRS墊膠片改善從11月25日

開始，現(xiàn)選擇改善前11075L2/7層生產(chǎn)10批及改善后生產(chǎn)10批，對比棕化前刮傷造成的內(nèi)開報廢數(shù)2.對比結(jié)果：從上圖看，改善前平均每批棕化前刮傷報廢63strip,改善后平均每批棕化前刮傷報廢21strip，改善幅度66.7%1VRS后墊膠片改善前後良率對比1.測試方式，選擇11075L2/7層在VRS檢修后待轉(zhuǎn)棕化前，選擇兩批板子重掃AOI，確認VRS后刮傷數(shù)據(jù)2