總則1.0.1為貫徹執(zhí)行國家技術(shù)經(jīng)濟(jì)政策，保障人身和公共安全，保證硅材料工程項(xiàng)目建設(shè)質(zhì)量和系統(tǒng)運(yùn)行正常，節(jié)約資源，保護(hù)環(huán)境，強(qiáng)化政府監(jiān)管，加強(qiáng)企業(yè)管理，依據(jù)國家有關(guān)法律、法規(guī)，制定本規(guī)范。1.0.2新建、擴(kuò)建和改建硅材料工程項(xiàng)目的規(guī)劃、建設(shè)和運(yùn)行管理應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范及其他有關(guān)強(qiáng)制性規(guī)范。1.0.3硅材料工程項(xiàng)目的規(guī)劃、建設(shè)、運(yùn)行管理的原則應(yīng)遵循技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全生產(chǎn)、節(jié)約資源和保護(hù)環(huán)境的原則。1.0.4硅材料工程項(xiàng)目的評(píng)價(jià)應(yīng)按國家法規(guī)進(jìn)行環(huán)境影響評(píng)價(jià)、安全評(píng)價(jià)和職業(yè)病危害防護(hù)評(píng)價(jià)。1.0.5硅材料工程項(xiàng)目的勞動(dòng)安全衛(wèi)生設(shè)施、安全設(shè)施、環(huán)保設(shè)施和職業(yè)病防護(hù)設(shè)施應(yīng)與主體工程同時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí)施工、同時(shí)投入使用。1.0.6硅材料工程項(xiàng)目的鍋爐、壓力容器和壓力管道等特種設(shè)備應(yīng)符合國家有關(guān)特種設(shè)備安全法律法規(guī)的要求。1.0.7硅材料工程項(xiàng)目的正式生產(chǎn)應(yīng)在竣工驗(yàn)收和試生產(chǎn)合格后進(jìn)行，且多晶硅工程項(xiàng)目還應(yīng)取得安全生產(chǎn)許可證。1.0.8硅材料生產(chǎn)運(yùn)營企業(yè)應(yīng)建立硅材料工程項(xiàng)目安全評(píng)估和風(fēng)險(xiǎn)管理制度。發(fā)現(xiàn)硅材料工程項(xiàng)目安全隱患，應(yīng)采取措施消除隱患。1.0.9本規(guī)范是硅材料工程項(xiàng)目的規(guī)劃、建設(shè)、運(yùn)行管理等過程技術(shù)和管理的基本要求，當(dāng)采用的技術(shù)措施與本規(guī)范的規(guī)定不一致時(shí)，應(yīng)進(jìn)行合規(guī)性判定。1.0.10硅材料工程項(xiàng)目除應(yīng)遵守本規(guī)范外，尚應(yīng)遵守現(xiàn)行有關(guān)規(guī)范的規(guī)定。2基本規(guī)定2.0.1硅材料工程項(xiàng)目應(yīng)符合國家產(chǎn)業(yè)政策，符合當(dāng)?shù)爻擎?zhèn)總體規(guī)劃、工業(yè)園區(qū)或化工園區(qū)規(guī)劃等要求。2.0.2硅材料工程項(xiàng)目的廠址選擇應(yīng)全面論證和評(píng)價(jià)廠址對(duì)當(dāng)?shù)亟?jīng)濟(jì)、社會(huì)和環(huán)境的影響，并應(yīng)滿足防災(zāi)、安全、環(huán)保及衛(wèi)生防護(hù)的要求。配套的居住區(qū)應(yīng)與廠區(qū)用地同時(shí)選擇，并應(yīng)依托當(dāng)?shù)爻擎?zhèn)的居住設(shè)施。2.0.3硅材料工程項(xiàng)目的廠址應(yīng)位于城鎮(zhèn)、居民區(qū)、工業(yè)園區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，不應(yīng)選在窩風(fēng)地段及全年靜風(fēng)頻率較高區(qū)域，但工業(yè)園區(qū)條件不允許的選址除外。2.0.4硅材料工程項(xiàng)目存在危險(xiǎn)的重要設(shè)施及存在危險(xiǎn)的施工、運(yùn)行維護(hù)、搶修等場所應(yīng)有規(guī)范的、明顯的安全警示標(biāo)志。2.0.5硅材料工程建設(shè)中材料和設(shè)備的選擇應(yīng)滿足安全、節(jié)能與環(huán)保的要求，嚴(yán)禁使用國家明確禁止或淘汰的材料和設(shè)備。2.0.6硅材料工程項(xiàng)目的廠址標(biāo)高應(yīng)高于防洪標(biāo)準(zhǔn)，若低于防洪標(biāo)高時(shí)廠區(qū)應(yīng)有防洪設(shè)施，并應(yīng)在初期工程中一次建成。當(dāng)廠址位于內(nèi)澇地區(qū)，并有排澇設(shè)施時(shí)，廠址標(biāo)高應(yīng)高于設(shè)計(jì)內(nèi)澇水位0.5m以上。2.0.7硅材料工程項(xiàng)目應(yīng)設(shè)置生產(chǎn)廢氣回收處理設(shè)施，廢氣排放量和排放濃度應(yīng)符合現(xiàn)行國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)及當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護(hù)有關(guān)規(guī)定。2.0.8硅材料工程項(xiàng)目的生產(chǎn)區(qū)內(nèi)雨水和廢水應(yīng)分流排放，生產(chǎn)廢水應(yīng)經(jīng)匯集后處理，符合現(xiàn)行國家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護(hù)有關(guān)規(guī)定方可排放。2.0.9硅材料工程項(xiàng)目的防噪聲、防振、防暑、防寒設(shè)計(jì)應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，對(duì)產(chǎn)生超標(biāo)準(zhǔn)噪聲的設(shè)備應(yīng)采取隔聲、吸聲、消聲、減振等措施。2.0.10硅材料工廠關(guān)閉、拆除時(shí)，必要時(shí)應(yīng)對(duì)土壤進(jìn)行修復(fù)。3工業(yè)硅3.1工藝與裝備3.1.1工業(yè)硅應(yīng)在礦熱爐中采用碳熱還原法生產(chǎn)。3.1.2受料槽的進(jìn)料口應(yīng)設(shè)置安全防護(hù)格柵。3.1.3轉(zhuǎn)運(yùn)站內(nèi)移動(dòng)帶式輸送機(jī)走行范圍和料槽倉頂移動(dòng)卸料設(shè)備走行范圍應(yīng)設(shè)置安全欄桿；倉頂面落料口應(yīng)設(shè)安全箅條，未被設(shè)備遮蓋的孔洞應(yīng)設(shè)鋼蓋板或欄桿。3.1.4工業(yè)硅生產(chǎn)原料的加工處理應(yīng)采用高效節(jié)能的預(yù)處理系統(tǒng)，配料和上料采用自動(dòng)化控制操作系統(tǒng)；原料加工處理、配料、上料等粉塵產(chǎn)生部位，配備除塵及回收處理裝置。3.1.5工業(yè)硅礦熱爐應(yīng)配套機(jī)械化加料或加料搗爐機(jī)操作系統(tǒng)，配備干法布袋除塵或其他先進(jìn)的煙氣除塵裝置；應(yīng)根據(jù)二氧化硫許可排放濃度和許可排放量確定是否設(shè)置脫硫裝置，根據(jù)環(huán)境評(píng)價(jià)結(jié)論適時(shí)增加脫硝系統(tǒng)。3.1.6工業(yè)硅冶煉生產(chǎn)，所有排氣筒高度不應(yīng)低于15m。3.1.7工業(yè)硅礦熱爐車間吊運(yùn)熔融液態(tài)工業(yè)硅時(shí)應(yīng)采用鑄造起重機(jī)。3.1.8吊運(yùn)裝有熔融工業(yè)硅的罐體和包體，應(yīng)與鄰近設(shè)備或建（構(gòu)）筑物保持大于1.5m的凈空距離。3.1.9采用礦熱爐冶煉工業(yè)硅時(shí)，倒拔電極時(shí)，應(yīng)先松開銅瓦，不得帶電操作。3.1.10新建、擴(kuò)建和改建工業(yè)硅礦熱爐應(yīng)采用矮煙罩半封閉型，容量大于等于25000kVA，必須同步配套余熱綜合利用設(shè)施。3.1.11使用中的熔融工業(yè)硅包體每年應(yīng)至少對(duì)耳軸作一次無損探傷檢查。耳軸出現(xiàn)內(nèi)裂紋、殼體焊縫開裂、變形、耳軸磨損超過原軸直徑的10%、機(jī)械失靈、內(nèi)襯損壞超過規(guī)定，均應(yīng)報(bào)修或報(bào)廢。3.2輔助設(shè)施3.2.1間冷開式或直冷開式循環(huán)水系統(tǒng)的排污水應(yīng)收集并采用壓力排放，排放管上應(yīng)設(shè)置計(jì)量儀表。3.2.2在協(xié)作條件較差的地區(qū)，新建工業(yè)硅生產(chǎn)企業(yè)如需要在企業(yè)內(nèi)設(shè)置機(jī)修設(shè)施，應(yīng)按以下規(guī)定和能耗指標(biāo)控制建設(shè)規(guī)模，應(yīng)體現(xiàn)“專業(yè)化協(xié)作”原則。1企業(yè)不得為機(jī)修建設(shè)鑄、鍛、熱處理和電鍍等高能耗車間。2加工備件自給率應(yīng)控制在25%以內(nèi)，并限于應(yīng)急不需熱處理的易損件、簡易件或修復(fù)件等。3機(jī)修設(shè)施應(yīng)主要承擔(dān)機(jī)械設(shè)備的日常維修工作，設(shè)備的定修和年修等計(jì)劃檢修工作仍應(yīng)依靠外部協(xié)作解決。3.2.3直接承受濺渣、熱烘烤、設(shè)備和物料沖擊或受酸、堿、油等侵蝕的設(shè)備基礎(chǔ)應(yīng)采取相應(yīng)的防護(hù)措施；有可能直接接觸跑漏工業(yè)硅熔體或熔渣的基礎(chǔ)和地坪應(yīng)設(shè)置防護(hù)層，并應(yīng)采取防止積水的措施。3.2.4電爐基礎(chǔ)及附屬設(shè)施的下列部位應(yīng)設(shè)置隔熱保護(hù)措施：1電爐周邊廠房梁、柱受熱部位；2電爐硅包車軌道基礎(chǔ)及其通過地段的地坪；3扒渣區(qū)、工業(yè)硅熔體澆鑄區(qū)基礎(chǔ)及地坪；3.2.5存放、運(yùn)輸液體金屬和熔渣的場所，不應(yīng)設(shè)置積水的溝、坑等。其他設(shè)置地面溝或坑的場所，應(yīng)有防滲漏措施，且車間地面標(biāo)高應(yīng)高出廠區(qū)地面標(biāo)高0.3m及以上。3.2.6工業(yè)硅電爐冷卻水系統(tǒng)應(yīng)保障30min的事故供水時(shí)間，供水流量應(yīng)不小于正常用水量的1/3。3.2.7工業(yè)硅項(xiàng)目中應(yīng)按一級(jí)負(fù)荷供電設(shè)計(jì)的設(shè)施有工業(yè)硅電爐冷卻水供水系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)、出硅車牽引系統(tǒng)、吊運(yùn)熔融工業(yè)硅鑄造起重機(jī)。3.2.8工業(yè)硅生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)同步建設(shè)爐渣、煙塵固體廢棄物回收設(shè)施。3.3能源消耗與綜合利用3.3.1現(xiàn)有工業(yè)硅企業(yè)單位產(chǎn)品綜合能耗限額限定值應(yīng)不大于3500kgce/t，新建或改擴(kuò)建的工業(yè)硅企業(yè)單位產(chǎn)品綜合能耗限額準(zhǔn)入值應(yīng)不大于2800kgce/t.3.3.2工業(yè)硅生產(chǎn)水重復(fù)利用率應(yīng)達(dá)到95％以上；爐渣應(yīng)回收綜合利用，利用率100%；礦熱爐煙氣余熱應(yīng)回收利用，余熱綜合利用設(shè)施應(yīng)與主工藝系統(tǒng)同步建設(shè)、同時(shí)投入使用。礦熱爐煙氣微硅粉應(yīng)回收綜合利用，回收利用率100%。4多晶硅4.1一般規(guī)定4.1.1多晶硅工程項(xiàng)目的安全設(shè)施設(shè)計(jì)專篇應(yīng)符合危險(xiǎn)化學(xué)品建設(shè)項(xiàng)目要求。4.1.2多晶硅工程項(xiàng)目應(yīng)在基礎(chǔ)設(shè)計(jì)階段開展危險(xiǎn)與可操作性分析，且要求“兩重點(diǎn)一重大”裝置每3年開展一次危險(xiǎn)與可操作性分析，其他裝置每5年開展一次危險(xiǎn)與可操作性分析。4.1.3太陽能級(jí)多晶硅和電子級(jí)多晶硅的質(zhì)量應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體多晶硅質(zhì)量還應(yīng)滿足以統(tǒng)計(jì)過程控制（SPC）體現(xiàn)的產(chǎn)品穩(wěn)定度等行業(yè)通用標(biāo)準(zhǔn)。4.2廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃4.2.1多晶硅工程項(xiàng)目應(yīng)符合國家產(chǎn)業(yè)政策、用地政策及行業(yè)發(fā)展規(guī)劃。在國家法律法規(guī)、規(guī)章及規(guī)劃確定或省級(jí)以上人民政府批準(zhǔn)的永久基本農(nóng)田保護(hù)區(qū)、飲用水水源保護(hù)區(qū)、自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)、生態(tài)保護(hù)紅線和生態(tài)環(huán)境敏感區(qū)、脆弱區(qū)等法律、法規(guī)規(guī)定禁止建設(shè)工業(yè)企業(yè)的區(qū)域不得建設(shè)多晶硅工程項(xiàng)目。上述區(qū)域內(nèi)的現(xiàn)有企業(yè)應(yīng)控制規(guī)模，對(duì)生態(tài)環(huán)境造成影響的應(yīng)采取措施，逐步遷出。4.2.2廠區(qū)總平面設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)要求，應(yīng)根據(jù)場地和氣象條件布置，廠區(qū)總平面布置應(yīng)滿足節(jié)能環(huán)保的要求，并應(yīng)保持生產(chǎn)系統(tǒng)流程和人流、物流的順暢。車間布置應(yīng)符合下列規(guī)定：1）三氯氫硅合成、氯硅烷精餾、四氯化硅冷氫化以及還原尾氣分離回收等生產(chǎn)裝置在滿足生產(chǎn)、操作、安裝及檢修的條件下，應(yīng)采用框架結(jié)構(gòu)或露天布置；2）液氯庫、氯硅烷罐區(qū)、氫氣罐區(qū)等應(yīng)設(shè)置安全的裝卸場地、裝卸通道和裝卸設(shè)施并符合國家現(xiàn)行石油化工企業(yè)防火規(guī)范相關(guān)規(guī)定；對(duì)于構(gòu)成重大危險(xiǎn)源的裝置與廠外周邊區(qū)域的防火間距應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定；3）原輔材料及產(chǎn)品應(yīng)根據(jù)性質(zhì)分類儲(chǔ)存，并應(yīng)布置在便于運(yùn)輸?shù)牡囟危?）循環(huán)水站應(yīng)遠(yuǎn)離無組織排放的粉塵或可溶性化學(xué)物質(zhì)的地段；5）三廢處理站應(yīng)遠(yuǎn)離生活區(qū)，應(yīng)符合安全衛(wèi)生要求；6）中央控制室應(yīng)獨(dú)立布置，并位于爆炸危險(xiǎn)區(qū)域外，應(yīng)根據(jù)爆炸風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估確定是否需要抗爆設(shè)計(jì)。7）辦公樓、食堂等生產(chǎn)行政管理設(shè)施應(yīng)與生產(chǎn)區(qū)分開布置，并布置在廠區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)。4.2.3廠區(qū)內(nèi)或附近應(yīng)設(shè)置四氯化硅等多晶硅生產(chǎn)副產(chǎn)物綜合利用或處理設(shè)施，應(yīng)進(jìn)行無害化處理。4.2.4多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的建（構(gòu)）筑物的防火間距應(yīng)符合國家現(xiàn)行工程建設(shè)規(guī)范《建筑防火通用規(guī)范》規(guī)定。建（構(gòu)）筑物的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類、耐火等級(jí)不應(yīng)低于表4.2.4的規(guī)定。表4.2.4建（構(gòu)）筑物的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類、耐火等級(jí)建（構(gòu)）筑物名稱火災(zāi)危險(xiǎn)性分類耐火等級(jí)三氯氫硅合成裝置甲二級(jí)氫化裝置甲二級(jí)精餾裝置甲二級(jí)還原廠房甲二級(jí)整理廠房丁二級(jí)氯硅烷罐區(qū)甲二級(jí)硅烷氣合成裝置甲二級(jí)顆粒硅裝置甲二級(jí)顆粒硅后處理裝置乙二級(jí)還原尾氣分離回收裝置甲二級(jí)工藝廢料廢液處理裝置甲二級(jí)制氫站甲二級(jí)壓縮空氣站、制氮站、冷凍站、脫鹽水站戊二級(jí)污水處理站戊二級(jí)尾氣淋洗裝置甲二級(jí)硅粉庫乙二級(jí)硅烷罐區(qū)甲二級(jí)硅烷充裝站甲二級(jí)4.2.5硅烷充裝站的總平面布置應(yīng)符合下列規(guī)定：1硅烷充裝站應(yīng)布置在獨(dú)立的敞開式或半敞開式建筑，不得建在地下室或半地下室；2當(dāng)采用開敞式建筑結(jié)構(gòu)形式時(shí)，硅烷充裝站立柱和墻面遮擋部分面積不得大于建筑外圍面積的25%；3四周有障礙物時(shí)，硅烷充裝站與障礙物的距離應(yīng)大于障礙物高度的2倍。4.2.6硅烷充裝站安全出口的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1硅烷充裝站不得少于兩個(gè)安全出口；2硅烷充裝站內(nèi)任何地點(diǎn)到最近安全出口的逃生距離不得大于25m。4.3工藝與裝備4.3.1多晶硅生產(chǎn)工藝應(yīng)采用三氯氫硅氫還原法或硅烷流化床法。4.3.2多晶硅生產(chǎn)應(yīng)采用物料閉路循環(huán)、能量綜合利用的工藝。4.3.3多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢液應(yīng)配套廢液回收裝置。4.3.4含氟廢液應(yīng)采取單獨(dú)處理措施，其他含酸廢水應(yīng)集中處理，達(dá)標(biāo)排放。含油廢水處置應(yīng)滿足現(xiàn)行環(huán)保法律法規(guī)要求，禁止無組織排放。4.3.5多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢硅粉、廢吸附劑、廢催化劑和含氯硅烷的廢液等應(yīng)進(jìn)行無害化處理。4.3.6多晶硅生產(chǎn)過程中含有氯硅烷、氯化氫、氮?dú)?、氫氣、一氧化氮、二氧化氮等廢氣應(yīng)根據(jù)組分分類處理，富含氯硅烷的廢氣應(yīng)回收氯硅烷后淋洗處理。4.3.7硅烷尾氣排氣系統(tǒng)的管道應(yīng)經(jīng)過脫脂處理，嚴(yán)禁使用含有油脂的管道。4.3.8介質(zhì)為氯硅烷、硅烷、氯化氫、氫氣和氮?dú)獾仍O(shè)備、管道、管件以及閥門在使用前應(yīng)進(jìn)行潔凈處理，保持干燥、無油和無塵，且其材料選型、安裝和使用應(yīng)滿足高純介質(zhì)輸配送潔凈技術(shù)要求。4.3.9介質(zhì)為氯硅烷、硅烷、氯化氫、氫氣和氮?dú)獾忍间摴艿兰捌涓郊?、閥門等在安裝前應(yīng)進(jìn)行酸洗鈍化，不銹鋼管道及其附件、閥門等應(yīng)進(jìn)行脫脂處理。4.3.10在涉及氯硅烷腐蝕的區(qū)域，不銹鋼的設(shè)備和管道應(yīng)按照表面色的規(guī)定進(jìn)行防腐涂色。4.3.11介質(zhì)為氯硅烷、氯化氫和氫氣的管道應(yīng)采用氣體進(jìn)行壓力試驗(yàn)和泄漏性試驗(yàn)。氣壓試驗(yàn)時(shí)應(yīng)分段進(jìn)行。4.3.12氫氣和硅烷氣管道應(yīng)采用無縫鋼管，硅烷氣流速應(yīng)不大于10m/s，氫氣流速應(yīng)符合表4.3.12的規(guī)定。表4.3.12碳素鋼管中氫氣最大流速設(shè)計(jì)壓力（MPa）最大流速（m/s）＞3.0100.1~3.015<0.1按允許壓力降確定注：氫氣設(shè)計(jì)壓力為0.1~3.0MPa，在不銹鋼管中最大流速為25m/s。4.3.13罐區(qū)內(nèi)貯罐數(shù)量、容量和安全距離等應(yīng)按照石油化工儲(chǔ)運(yùn)系統(tǒng)罐區(qū)要求設(shè)置。二氯二氫硅、硅烷等儲(chǔ)罐應(yīng)按照液化烴儲(chǔ)罐要求設(shè)置。4.3.14氯硅烷罐區(qū)應(yīng)按照該罐區(qū)單個(gè)最大容積儲(chǔ)罐配配置備用儲(chǔ)罐；提純塔區(qū)應(yīng)按照該區(qū)域單個(gè)塔最大持液量配置備用儲(chǔ)罐。4.3.15存儲(chǔ)硅烷液體的容器區(qū)域應(yīng)與其他危險(xiǎn)品分開。4.3.16硅烷氣體管道改、擴(kuò)建工程施工前應(yīng)將管道內(nèi)的硅烷氣用高純氮?dú)庵脫Q合格，且應(yīng)將管道系統(tǒng)抽真空處理，被置換出的氣體應(yīng)經(jīng)過尾氣處理裝置處理，達(dá)標(biāo)后排放。4.3.17硅烷充裝站內(nèi)的硅烷系統(tǒng)應(yīng)采用獨(dú)立的惰性氣體管道進(jìn)行吹掃。4.3.18工藝生產(chǎn)系統(tǒng)內(nèi)的設(shè)備應(yīng)按照下列要求進(jìn)行設(shè)計(jì)與制造：1與氯硅烷、硅烷、氫氣、氯化氫接觸的S30408不銹鋼冷成型封頭，成型后應(yīng)進(jìn)行固溶處理。2對(duì)于氯硅烷、硅烷、氫氣、氯化氫與水（蒸汽）介質(zhì)換熱器，換熱管與管板的連接應(yīng)采用強(qiáng)度焊。3對(duì)于氯硅烷介質(zhì)換熱器，應(yīng)提出下列檢驗(yàn)要求：1）換熱管與管板的焊接應(yīng)采用兩道焊，每道焊縫結(jié)束后都應(yīng)進(jìn)行表面無損檢測(cè)；2）表面檢測(cè)合格后，殼程應(yīng)進(jìn)行氣密性試驗(yàn)，應(yīng)檢驗(yàn)管頭焊縫的密封性；3）應(yīng)進(jìn)行氦（氨）檢漏試驗(yàn)，應(yīng)檢驗(yàn)管頭焊縫的密封性。4）換熱器殼程介質(zhì)為氯硅烷、氯化氫或氫氣時(shí)，殼程應(yīng)進(jìn)行氣壓試驗(yàn)。4.3.19多晶硅工程項(xiàng)目應(yīng)設(shè)置數(shù)據(jù)采集與監(jiān)控管理信息化系統(tǒng)。4.3.20對(duì)多晶硅項(xiàng)目涉及的危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)進(jìn)行下列管理：1應(yīng)對(duì)項(xiàng)目涉及的危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)、經(jīng)營、儲(chǔ)存和使用裝置、設(shè)施或者場所進(jìn)行重大危險(xiǎn)源辨識(shí)；2一級(jí)、二級(jí)重大危險(xiǎn)源應(yīng)設(shè)置緊急停車系統(tǒng)；3對(duì)重大危險(xiǎn)源中的毒性氣體、劇毒液體和易燃?xì)怏w等重點(diǎn)設(shè)施，應(yīng)設(shè)置緊急切斷裝置；4涉及毒性氣體、液化氣體、劇毒液體的一級(jí)、二級(jí)重大危險(xiǎn)源，應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的安全儀表系統(tǒng)（SIS）。4.3.21三氯氫硅合成、氯硅烷精餾、還原、四氯化硅氫化、還原尾氣分離回收、制氫站、氯硅烷罐區(qū)、硅烷制備，顆粒硅制備，顆粒硅后處理，硅烷氣儲(chǔ)存及充裝等裝置區(qū)內(nèi)，應(yīng)根據(jù)物料的危害特性和工況條件設(shè)置儀表檢測(cè)報(bào)警、自動(dòng)連鎖保護(hù)系統(tǒng)、消防應(yīng)急聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)和緊急停車裝置。4.3.22可燃?xì)怏w和有毒氣報(bào)警信號(hào)應(yīng)發(fā)送至現(xiàn)場報(bào)警器和有人值守的控制室或現(xiàn)場操作室的指示報(bào)警設(shè)備，并應(yīng)進(jìn)行聲光報(bào)警；4.3.23對(duì)于氫氣的泄漏檢測(cè)應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w檢測(cè)報(bào)警儀，對(duì)于氯硅烷的泄漏檢測(cè)應(yīng)選用氯化氫有毒氣體檢測(cè)報(bào)警儀。4.3.24室內(nèi)硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用火焰探測(cè)器或感溫探測(cè)器?；鹧嫣綔y(cè)器或感溫探測(cè)器應(yīng)與報(bào)警系統(tǒng)和硅烷氣源的緊急切斷閥聯(lián)動(dòng)。4.3.25硅烷和硅烷混合物氣瓶和散裝源應(yīng)設(shè)置常閉自動(dòng)切斷閥。4.3.26多晶硅工廠各介質(zhì)對(duì)應(yīng)的電氣防爆等級(jí)應(yīng)符合表4.3.26的規(guī)定。表4.3.26各介質(zhì)的電氣防爆等級(jí)劃分介質(zhì)電氣防爆等級(jí)導(dǎo)熱油ⅡAT1氫氣ⅡCT2三氯氫硅ⅡCT4二氯二氫硅ⅡCT4一氯三氫硅ⅡCT4硅烷ⅡCT44.3.27多晶硅工廠內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危險(xiǎn)的設(shè)備和管道應(yīng)采取靜電接地措施，每組專設(shè)的靜電接地體的接地電阻值應(yīng)小于100Ω。4.3.28多晶硅工廠的主要房間空氣潔凈等級(jí)不應(yīng)低于表4.3.28的規(guī)定。表4.3.28主要房間空氣潔凈等級(jí)工段房間名稱空氣潔凈度等級(jí)備注還原還原爐室三級(jí)過濾生產(chǎn)太陽能級(jí)多晶硅8生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅后處理中間庫7—硅棒破碎室7不回風(fēng)硅料分揀室7除塵腐蝕清洗室6，局部5排氣含酸處理硅料包裝室7生產(chǎn)太陽能級(jí)多晶硅6生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅輔助硅芯拉制室8電磁屏蔽（拉制法）配件清洗室8石墨件和硅芯的清洗石墨煅燒室8一烘干室8—分析檢測(cè)磷硼檢測(cè)室8—物測(cè)室7電磁屏蔽天平室7—光度分析室8—樣品處理室7—質(zhì)譜分析室6電磁屏蔽紅外分析室8氣相分析室84.3.29腐蝕清洗工序應(yīng)符合下列規(guī)定：1腐蝕清洗室內(nèi)應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料進(jìn)出口，并應(yīng)與人員出入口分開；2供酸室應(yīng)與腐蝕清洗室分開布置，供酸室應(yīng)布置在便于酸桶運(yùn)輸?shù)牡胤?，并?yīng)采取防護(hù)措施；3腐蝕清洗設(shè)備內(nèi)酸腐蝕部位應(yīng)設(shè)置強(qiáng)制排風(fēng)，廢氣應(yīng)處理達(dá)標(biāo)后再排放。4.3.30潔凈室與周圍區(qū)域的壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：1不同等級(jí)的潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa；2潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa；3潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。4.3.31空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)量應(yīng)取下列兩項(xiàng)中的較大值：1補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新風(fēng)量之和；2保證供給室內(nèi)每人每小時(shí)的新風(fēng)量，潔凈區(qū)不應(yīng)小于40m3，非潔凈區(qū)不應(yīng)小于30m3。4.3.32嚴(yán)寒地區(qū)還原車間的管道夾層采用熱風(fēng)采暖時(shí)，不應(yīng)回風(fēng)。4.3.33還原車間應(yīng)獨(dú)立設(shè)置直流空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)，不應(yīng)回風(fēng)。4.3.34可能發(fā)生物料泄漏的裝置區(qū)及儲(chǔ)罐區(qū)應(yīng)設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其服務(wù)半徑不應(yīng)大于15m。4.3.35多晶硅工廠應(yīng)根據(jù)各建構(gòu)筑物火災(zāi)類別、危險(xiǎn)等級(jí)設(shè)置相應(yīng)的手提式、推車式磷酸銨鹽干粉滅火器，并應(yīng)設(shè)置滅火砂和滅火毯。4.3.36硅烷發(fā)生火災(zāi)時(shí)，在沒有關(guān)閉氣源之前，嚴(yán)禁撲滅硅烷火焰。4.3.37硅粉加料系統(tǒng)、硅料破碎系統(tǒng)、產(chǎn)品后處理系統(tǒng)及顆粒硅破碎、研磨、篩分及分選系統(tǒng)等易產(chǎn)生粉塵的生產(chǎn)過程應(yīng)設(shè)置收塵凈化系統(tǒng)和勞動(dòng)保護(hù)裝置，并設(shè)置醒目的警示標(biāo)識(shí)和中文警示標(biāo)志。4.3.38硅烷充裝站應(yīng)采用快開式推桿鎖；疏散門應(yīng)采用平開門，且向疏散方向開啟。4.3.39還原爐室為甲類火險(xiǎn)且有防爆要求，廠房內(nèi)不應(yīng)設(shè)置辦公室、休息室。其他輔助房及衛(wèi)生間等需要布置時(shí)，應(yīng)布置在還原爐室端墻貼鄰一側(cè)，并應(yīng)采用耐火極限不低于3.0h的不燃體防爆防護(hù)墻與還原爐室分隔。當(dāng)防爆防護(hù)墻兼作防火墻時(shí)，耐火極限應(yīng)為4.0h。4.3.40變壓器室、調(diào)功器室、高壓啟動(dòng)室、爐體清洗檢修間、爐體冷卻水系統(tǒng)等輔助房間，應(yīng)與還原爐室布置在不同的隔間或防火分區(qū)內(nèi)，并應(yīng)用防火墻、防爆防護(hù)墻、防火樓板分隔，平面布置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定。4.3.41還原爐室應(yīng)采用泄爆墻及帶有通風(fēng)設(shè)施的泄壓屋面，在外墻設(shè)置泄壓面時(shí)應(yīng)對(duì)室外貼鄰的匯流排等易燃易爆設(shè)施設(shè)置保護(hù)性的防爆防護(hù)半高隔墻。4.3.42還原廠房應(yīng)采用封閉樓梯間，直通還原爐室的封閉樓梯間應(yīng)設(shè)置具有防爆防護(hù)功能的前室。4.3.43還原爐室防爆防護(hù)墻上開的門應(yīng)為防爆門，防爆門的耐火極限不應(yīng)低于0.90h，當(dāng)防爆墻兼作防火墻時(shí)，防爆門的耐火極限不應(yīng)低于1.20h，通向疏散通道和疏散樓梯的防爆門開啟方向應(yīng)朝向疏散方向。4.3.44制氫裝置房間與其他輔助房間應(yīng)采用防爆防護(hù)墻分隔，制氫裝置房間的屋面或墻面應(yīng)設(shè)置泄壓面；4.3.45多晶硅廠房設(shè)計(jì)應(yīng)說明結(jié)構(gòu)用途，在設(shè)計(jì)使用年限內(nèi)未經(jīng)技術(shù)鑒定或設(shè)計(jì)許可，不得改變結(jié)構(gòu)用途和使用環(huán)境。4.3.46硅芯拉制爐、單晶爐和還原爐電極的循環(huán)水系統(tǒng)應(yīng)采取相應(yīng)的安全保護(hù)措施。4.3.47多晶硅工廠裝置區(qū)、儲(chǔ)罐區(qū)應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的穩(wěn)高壓消防給水系統(tǒng)，其壓力應(yīng)為0.5MPa～1.2MPa。其他場所應(yīng)設(shè)置低壓消防給水系統(tǒng)。4.3.48涉及易燃、易爆、有毒、腐蝕性介質(zhì)的裝置在維修或拆除前，多晶硅企業(yè)應(yīng)組織相關(guān)部門和單位進(jìn)行裝置交付安全確認(rèn)，在確認(rèn)安全的條件下方可把裝置交付給作業(yè)單位施工。4.3.49涉及氯硅烷介質(zhì)的設(shè)備維修或拆除前應(yīng)置換干凈，拆除后應(yīng)進(jìn)行蒸汽或水清洗等安全措施，方可進(jìn)行存放或處置。4.3.50多晶硅企業(yè)應(yīng)設(shè)置專門的設(shè)備清洗、干燥、維修場地，清洗、干燥過程中產(chǎn)生的廢水、廢氣、廢渣應(yīng)集中收集處理，達(dá)標(biāo)排放。4.4輔助設(shè)施4.4.1氮?dú)庹驹O(shè)計(jì)的供氣量、供氣壓力應(yīng)滿足生產(chǎn)線事故狀態(tài)下氮?dú)馐褂靡蟆⒌獨(dú)饧兌葢?yīng)大于99.999%，露點(diǎn)應(yīng)小于或等于-65℃。4.4.2制氫站應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，并設(shè)置純化系統(tǒng)。氫氣純度應(yīng)大于99.999%，露點(diǎn)應(yīng)小于或等于-65℃。4.4.3電器可控硅和還原爐電極的循環(huán)冷卻水應(yīng)采用脫鹽水，硅芯、石墨件、硅料清洗應(yīng)采用超純水。超純水水質(zhì)要求應(yīng)符合下列規(guī)定：1太陽能級(jí)多晶硅生產(chǎn)用超純水水質(zhì)指標(biāo)不低于表中EW規(guī)定。2電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)用超純水水質(zhì)指標(biāo)不低于表中SW規(guī)定。表4.4.3多晶硅用超純水的水質(zhì)要求指標(biāo)名稱EWSW電阻率MΩ·cm（25℃）18以上(95N)不低于1718.2全硅≤μg/L20.5＞1μm微粒數(shù)≤個(gè)/mL0.010.01細(xì)菌個(gè)數(shù)≤個(gè)/mL0.010.001銅≤μg/L0.20.02鋅≤μg/L0.20.02鎳≤μg/L0.10.02鈉≤μg/L0.50.02鉀≤μg/L0.50.02氯≤μg/L10.05硝酸根≤μg/L10.05磷酸根≤μg/L10.05硫酸根≤μg/L10.05總有機(jī)碳≤μg/L2024.5能源消耗與綜合利用4.5.1多晶硅工廠各個(gè)工序的能耗指標(biāo)應(yīng)符合國家產(chǎn)業(yè)政策要求。4.5.2還原爐、動(dòng)力設(shè)備及電力設(shè)備應(yīng)選用高效率、低能耗的節(jié)能設(shè)備。4.5.3多晶硅生產(chǎn)應(yīng)優(yōu)化工藝、采暖、通風(fēng)、空調(diào)參數(shù)及換熱網(wǎng)絡(luò)，應(yīng)實(shí)現(xiàn)各種能量的綜合利用。5硅片5.1廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃5.1.1廠區(qū)總平面設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)要求，應(yīng)根據(jù)場地和氣象條件布置。廠區(qū)總平面布置應(yīng)滿足節(jié)能環(huán)保的要求，并應(yīng)保持生產(chǎn)系統(tǒng)流程和人流、物流的順暢。車間布置應(yīng)符合下列規(guī)定：1廠區(qū)選址應(yīng)避免地震活動(dòng)斷裂帶，遠(yuǎn)離震動(dòng)源。2單晶硅原料清洗、切片后包裝處理及檢測(cè)分析等有潔凈等級(jí)要求的生產(chǎn)單元應(yīng)遠(yuǎn)離有害氣體和固體塵埃釋放源的區(qū)域；3原輔材料及產(chǎn)品應(yīng)根據(jù)性質(zhì)分類儲(chǔ)存，并應(yīng)布置在便于運(yùn)輸?shù)牡囟危?.2工藝與裝備5.2.1硅片工廠的主要生產(chǎn)房間潔凈度等級(jí)不應(yīng)低于表5.2.1的規(guī)定.表5.2.1主要生產(chǎn)房間潔凈度等級(jí)房間名稱空氣潔凈度等級(jí)備注單晶生長區(qū)9配料區(qū)8清洗檢測(cè)區(qū)域8原料清洗區(qū)域8后期加工區(qū)域7電子級(jí)硅片太陽能級(jí)多晶硅片按多晶鑄錠和切片廠房的工藝區(qū)域劃分。5.2.3建（構(gòu)）筑物的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類、耐火等級(jí)不應(yīng)低于表5.2.3的規(guī)定。表5.2.3建（構(gòu)）筑物的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類、耐火等級(jí)建（構(gòu)）筑物名稱火災(zāi)危險(xiǎn)性分類耐火等級(jí)鑄錠車間丁二級(jí)單晶車間丁二級(jí)機(jī)加車間丁二級(jí)切片車間丁二級(jí)磨片車間丁二級(jí)拋光片車間丁二級(jí)清洗車間丁二級(jí)污水處理站戊二級(jí)5.2.4鑄錠爐和單晶爐應(yīng)設(shè)防爆措施。5.2.5廠房內(nèi)會(huì)緩慢反應(yīng)而產(chǎn)生氫氣的污水，應(yīng)單獨(dú)用水池收集，并采取有效的防泄爆措施。5.2.6放置于地面的主要工藝設(shè)備基礎(chǔ)應(yīng)與地坪斷縫處理，并采取隔振措施。5.2.7硅片生產(chǎn)過程中使用的切削液、拋光液、化學(xué)氣體等化學(xué)品的輸送管道應(yīng)按照國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置管道識(shí)別色，以免在維修時(shí)誤操作造成危害。5.2.8硅片生產(chǎn)過程中使用過的切削液、拋光液、化學(xué)氣體等化學(xué)品應(yīng)通過專用回收系統(tǒng)回收后再進(jìn)行處理。5.2.9硅片酸堿工作區(qū)應(yīng)設(shè)置緊急噴淋裝置和洗眼器。5.3輔助設(shè)施5.3.1廢水收集池、處理池、廢水處理房間等產(chǎn)生氫氣較多的房間或場所，排除氫氣與空氣混合物時(shí)，建筑物全面排風(fēng)系統(tǒng)室內(nèi)吸風(fēng)口的布置應(yīng)符合下列規(guī)定：1吸風(fēng)口上緣至頂棚平面或屋頂?shù)木嚯x不應(yīng)大于0.1m，建筑物留有通風(fēng)氣口；2爆炸危險(xiǎn)性氣體排出的死角處應(yīng)設(shè)置導(dǎo)流設(shè)施。3排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)自動(dòng)和手動(dòng)控制開關(guān)，設(shè)有帶報(bào)警功能的氫氣濃度檢測(cè)儀，且空氣中氫氣濃度超過允許限值時(shí)，應(yīng)能自動(dòng)開啟排風(fēng)機(jī)。排風(fēng)機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)和故障報(bào)警、氫氣濃度檢測(cè)儀的報(bào)警，應(yīng)納入消防控制系統(tǒng)。5.3.2對(duì)可能突然放散大量有毒氣體、爆炸危險(xiǎn)性氣體或粉塵的場所，應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)計(jì)要求設(shè)置事故通風(fēng)系統(tǒng)。事故排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)自動(dòng)和手動(dòng)控制開關(guān)，室內(nèi)及靠近外門的外墻上均應(yīng)分別設(shè)置手動(dòng)開關(guān)。5.3.3生產(chǎn)過程中易燃廢液容器應(yīng)配備局部排氣裝置或完全封閉。5.3.4加工生產(chǎn)的廢水應(yīng)收集并遵循清污分流、污污分流的原則。暫存系統(tǒng)應(yīng)通風(fēng)良好，避免微量氫氣聚集。廠房內(nèi)的污水，應(yīng)單獨(dú)用水池收集，二次利用。硅粉應(yīng)回收利用。5.3.5單晶爐和鑄錠爐的循環(huán)水系統(tǒng)應(yīng)采取相應(yīng)的保障措施。單晶爐和鑄錠爐的輔助冷卻設(shè)備裝置的用電負(fù)荷應(yīng)采用一級(jí)負(fù)荷或配置相應(yīng)量的發(fā)電機(jī)和柴油水泵。5.3.6廢水收集池、處理池、廢水處理房間等產(chǎn)生氫氣較多的房間或場所，應(yīng)按照防爆配電設(shè)計(jì)。條文說明1總則1.0.1在硅材料工程建設(shè)和運(yùn)行過程中，為保障人身健康和生命財(cái)產(chǎn)安全、國家安全、生態(tài)環(huán)境安全、滿足社會(huì)經(jīng)濟(jì)管理基本要求，強(qiáng)化政府有關(guān)部門監(jiān)管執(zhí)法的“技術(shù)底線”，依據(jù)國家相關(guān)法律、法規(guī)，制定本規(guī)范。1.0.2硅材料工程包括工業(yè)硅、多晶硅和硅片，從工業(yè)硅冶煉到下游多晶硅、硅片項(xiàng)目建設(shè)等一系列環(huán)節(jié)，相關(guān)法律法規(guī)體系已日趨完善，工業(yè)硅、多晶硅、硅片等工程項(xiàng)目的規(guī)劃、建設(shè)、生產(chǎn)運(yùn)營與管理、環(huán)境保護(hù)、安全事故預(yù)防與處理及相關(guān)管理活動(dòng)受《中華人民共和國安全生產(chǎn)法》、《中華人民共和國環(huán)境保護(hù)法》、《中華人民共和國節(jié)約能源法》等法律法規(guī)的約束。項(xiàng)目建設(shè)條件和生產(chǎn)布局，生產(chǎn)規(guī)模與技術(shù)設(shè)備，資源回收利用及能耗，環(huán)境保護(hù)，產(chǎn)品質(zhì)量，安全、衛(wèi)生和社會(huì)責(zé)任，監(jiān)督與管理，依據(jù)工信部發(fā)布的鐵合金相關(guān)條款和《光伏制造行業(yè)規(guī)范條件》（2018年版本或更新版），規(guī)定了工業(yè)硅、多晶硅、硅片等環(huán)節(jié)的具體要求及法律法規(guī)。1.0.3硅材料工程項(xiàng)目的建設(shè)應(yīng)遵循的主要原則：技術(shù)先進(jìn)和經(jīng)濟(jì)合理。硅材料工程建設(shè)應(yīng)采用先進(jìn)、成熟的生產(chǎn)工藝，不得采用落后或淘汰的生產(chǎn)工藝。硅材料產(chǎn)品是參與國際市場競爭、經(jīng)濟(jì)合理性是決定企業(yè)是否能夠生存的關(guān)鍵。先進(jìn)、成熟工藝也是解決硅材料生產(chǎn)安全、環(huán)保、能耗問題的關(guān)鍵前提。安全生產(chǎn)。硅材料生產(chǎn)過程涉及易燃、易爆、易致毒、易腐蝕物料以及生產(chǎn)過程中涉及高溫、高壓等特點(diǎn)，硅材料的生產(chǎn)涉及廣大人民群眾生命安全和國家財(cái)產(chǎn)安全。硅材料工程項(xiàng)目安全事故具有意外性、突發(fā)性，通常表現(xiàn)為爆炸、火災(zāi)、中毒等易造成重大經(jīng)濟(jì)損失和人員傷亡。所以，安全生產(chǎn)既是保證企業(yè)生存與發(fā)展的基礎(chǔ)，更是社會(huì)穩(wěn)定和經(jīng)濟(jì)發(fā)展的前提。節(jié)約資源和保護(hù)環(huán)境。在工程建設(shè)中，節(jié)能和環(huán)保是應(yīng)采取的技術(shù)措施。建設(shè)過程中應(yīng)考慮采用先進(jìn)工藝生產(chǎn)技術(shù)、選用高效節(jié)能裝備，采取物料能源綜合利用技術(shù)手段、減少產(chǎn)生的污水、廢氣、廢渣、噪音等對(duì)周邊環(huán)境的影響，避免對(duì)區(qū)域環(huán)境造成污染和破壞，實(shí)現(xiàn)清潔生產(chǎn)。1.0.4依據(jù)《中華人民共和國環(huán)境保護(hù)法》，編制有關(guān)開發(fā)利用規(guī)劃，建設(shè)對(duì)環(huán)境有影響的項(xiàng)目，應(yīng)當(dāng)依法進(jìn)行環(huán)境影響評(píng)價(jià)。未依法進(jìn)行環(huán)境影響評(píng)價(jià)的開發(fā)利用規(guī)劃，不得組織實(shí)施；未依法進(jìn)行環(huán)境影響評(píng)價(jià)的建設(shè)項(xiàng)目，不得開工建設(shè)。依據(jù)《中華人民共和國環(huán)境影響評(píng)價(jià)法》，在中華人民共和國領(lǐng)域和中華人民共和國管轄的其他海域內(nèi)建設(shè)對(duì)環(huán)境有影響的項(xiàng)目，應(yīng)當(dāng)進(jìn)行環(huán)境影響評(píng)價(jià)。環(huán)境影響評(píng)價(jià)是指對(duì)規(guī)劃和建設(shè)項(xiàng)目實(shí)施后可能造成的環(huán)境影響進(jìn)行分析、預(yù)測(cè)和評(píng)估，提出預(yù)防或者減輕不良環(huán)境影響的對(duì)策和措施，進(jìn)行跟蹤監(jiān)測(cè)的方法與制度。通俗說就是分析項(xiàng)目建成投產(chǎn)后可能對(duì)環(huán)境產(chǎn)生的影響，并提出污染防治對(duì)策和措施。硅材料工程項(xiàng)目的建設(shè)及生產(chǎn)過程中，與周邊環(huán)境關(guān)系密切，通過環(huán)境影響評(píng)價(jià)可明確硅材料工程項(xiàng)目相關(guān)方的環(huán)境責(zé)任及規(guī)定應(yīng)采取的行動(dòng)，可為硅材料工程建設(shè)項(xiàng)目設(shè)計(jì)提出環(huán)保要求和建議，同時(shí)，也可為該區(qū)域環(huán)境管理者提供對(duì)硅材料工程建設(shè)項(xiàng)目實(shí)施有效管理的科學(xué)依據(jù)。依據(jù)《中華人民共和國安全生產(chǎn)法》，第二十九條礦山、金屬冶煉建設(shè)項(xiàng)目和用于生產(chǎn)、儲(chǔ)存、裝卸危險(xiǎn)物品的建設(shè)項(xiàng)目，應(yīng)當(dāng)按照國家有關(guān)規(guī)定進(jìn)行安全評(píng)價(jià)。其中，危險(xiǎn)物品是指易燃易爆物品、危險(xiǎn)化學(xué)品、放射性物品等能夠危及人身安全和財(cái)產(chǎn)安全的物品。安全評(píng)價(jià)是以實(shí)現(xiàn)工程、系統(tǒng)安全為目的，應(yīng)用安全系統(tǒng)工程原理和方法，對(duì)工程、系統(tǒng)中存在的危險(xiǎn)、有害因素進(jìn)行辨識(shí)與分析，判斷工程、系統(tǒng)發(fā)生事故和職業(yè)危害的可能性及其嚴(yán)重程度，從而為制定防范措施和管理決策提供科學(xué)依據(jù)。硅材料工程項(xiàng)目的建設(shè)具有一定的危險(xiǎn)性，通過安全評(píng)價(jià)可系統(tǒng)地從規(guī)劃、設(shè)計(jì)、制造、運(yùn)行、貯運(yùn)和維修等全過程進(jìn)行控制，建立硅材料系統(tǒng)安全的最優(yōu)方案，并為實(shí)現(xiàn)硅材料安全技術(shù)、安全管理的標(biāo)準(zhǔn)化和科學(xué)化創(chuàng)造條件。依據(jù)《中華人民共和國職業(yè)病防治法》第十七條，新建、擴(kuò)建、改建建設(shè)項(xiàng)目和技術(shù)改造、技術(shù)引進(jìn)項(xiàng)目（以下統(tǒng)稱建設(shè)項(xiàng)目）可能產(chǎn)生職業(yè)病危害的，建設(shè)單位在可行性論證階段應(yīng)當(dāng)進(jìn)行職業(yè)病危害預(yù)評(píng)價(jià)。1.0.5依據(jù)《中華人民共和國安全生產(chǎn)法》，生產(chǎn)經(jīng)營單位新建、改建、擴(kuò)建工程項(xiàng)目的安全設(shè)施，應(yīng)與主體工程同時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí)施工、同時(shí)投入生產(chǎn)和使用。依據(jù)《中華人民共和國環(huán)境保護(hù)法》，建設(shè)項(xiàng)目中防治污染的設(shè)施，應(yīng)當(dāng)與主體工程同時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí)施工、同時(shí)投產(chǎn)使用。《勞動(dòng)法》第六章第五十三條明確要求：“勞動(dòng)安全衛(wèi)生設(shè)施應(yīng)符合國家規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)。新建、改建、擴(kuò)建工程的勞動(dòng)安全衛(wèi)生設(shè)施應(yīng)與主體工程同時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí)施工、同時(shí)投入生產(chǎn)和使用。”《職業(yè)病防治法》第十六條規(guī)定：“建設(shè)項(xiàng)目的職業(yè)病防護(hù)設(shè)施所需要費(fèi)用應(yīng)當(dāng)納入建設(shè)項(xiàng)目工程預(yù)算，并與主體工程同時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí)施工、同時(shí)投入生產(chǎn)和使用?！睂?duì)硅材料工程來說，安全設(shè)施是指：用于預(yù)防生產(chǎn)和使用過程中的安全事故的設(shè)備、設(shè)施、裝置、建(構(gòu))筑物和其他技術(shù)措施。硅材料生產(chǎn)安全事故的發(fā)生，很多是由于生產(chǎn)經(jīng)營單位缺乏安全生產(chǎn)意識(shí)，在建設(shè)項(xiàng)目的設(shè)計(jì)和施工階段忽視生產(chǎn)和使用的安全要求，沒有配備應(yīng)有的安全設(shè)施，從而導(dǎo)致項(xiàng)目建成后，存在著嚴(yán)重的設(shè)計(jì)性安全隱患，而消除這些隱患往往需要付出巨大的代價(jià)，有些甚至不可能挽回，從而造成嚴(yán)重的資金浪費(fèi)并可能造成生產(chǎn)安全事故。重視安全設(shè)施的建設(shè)，做到安全設(shè)施與主體工程的“三同時(shí)”，對(duì)防止和減少生產(chǎn)安全事故，具有重要的意義。1.0.6硅材料生產(chǎn)過程中的壓力容器、反應(yīng)器、還原爐等特種設(shè)備，按《壓力容器》GB150、管殼式換熱器GB151、《固定式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSG21）和《中華人民共和國特種設(shè)備安全法》要求執(zhí)行。硅材料生產(chǎn)過程中的壓力管道等特種設(shè)備按《特種設(shè)備安全監(jiān)察條例》、《中華人民共和國特種設(shè)備安全法》和《壓力管道安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程-工業(yè)管道》TSGD0001要求執(zhí)行。1.0.7依據(jù)《建設(shè)工程質(zhì)量管理?xiàng)l例》，建設(shè)單位收到建設(shè)工程竣工報(bào)告后，應(yīng)當(dāng)組織設(shè)計(jì)、施工、工程監(jiān)理等有關(guān)單位進(jìn)行竣工驗(yàn)收。同時(shí)，應(yīng)按《建設(shè)工程質(zhì)量管理?xiàng)l例》規(guī)定的建設(shè)工程竣工驗(yàn)收條件和要求進(jìn)行驗(yàn)收。根據(jù)《中華人民共和國安全生產(chǎn)法》第二條，國家對(duì)礦山企業(yè)、建筑施工企業(yè)和危險(xiǎn)化學(xué)品、煙花爆竹、民用爆破器材生產(chǎn)企業(yè)(以下統(tǒng)稱企業(yè))實(shí)行安全生產(chǎn)許可制度。企業(yè)未取得安全生產(chǎn)許可證的，不得從事生產(chǎn)活動(dòng)。工業(yè)硅和硅片工程項(xiàng)目目前未強(qiáng)制要求取得安全許可證。多晶硅工程項(xiàng)目涉及危險(xiǎn)化學(xué)品，未取得安全生產(chǎn)許可證的，不得從事生產(chǎn)活動(dòng)。1.0.8依據(jù)《中華人民共和國安全法》、《爆炸危險(xiǎn)場所安全規(guī)定》《危險(xiǎn)化學(xué)品建設(shè)項(xiàng)目安全許可實(shí)施辦法》等法規(guī)，硅材料生產(chǎn)經(jīng)營者應(yīng)當(dāng)建立健全安全評(píng)估和風(fēng)險(xiǎn)管理體系，及時(shí)消除生產(chǎn)系統(tǒng)的安全事故隱患。安全管理部門應(yīng)當(dāng)對(duì)硅材料工程項(xiàng)目經(jīng)營、使用的安全狀況等進(jìn)行監(jiān)督檢查，并及時(shí)采取措施消除隱患。1.0.9本條是合規(guī)性判定的通用表述。1.0.10本條是執(zhí)行有關(guān)規(guī)范的通用表述。2基本規(guī)定2.0.1本條是根據(jù)《光伏制造行業(yè)規(guī)范條件》（2018年本）及國家相關(guān)的建設(shè)法規(guī)提出的?！豆夥圃煨袠I(yè)規(guī)范條件》（2018年本）對(duì)項(xiàng)目建設(shè)條件規(guī)定如下：光伏制造企業(yè)及項(xiàng)目應(yīng)符合國家資源開發(fā)利用、環(huán)境保護(hù)、節(jié)能管理等法律法規(guī)要求，符合國家產(chǎn)業(yè)政策和相關(guān)產(chǎn)業(yè)規(guī)劃及布局要求，符合當(dāng)?shù)赝恋乩每傮w規(guī)劃、城市總體規(guī)劃、環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃和環(huán)境保護(hù)規(guī)劃等要求。2.0.2硅材料工廠可能存在易燃、易爆、有毒、有腐蝕性的物質(zhì)，應(yīng)全面論證以減少對(duì)周邊環(huán)境、安全的影響。2.0.3將工廠設(shè)置在通風(fēng)良好的地帶，有利于有害氣體快速逸散，減少對(duì)工廠區(qū)域環(huán)境和人身安全的影響?，F(xiàn)在工業(yè)園區(qū)企業(yè)集中，很多企業(yè)都排放一定污染的氣體，若同一園區(qū)要求位于上風(fēng)向的企業(yè)較多，可能無法滿足這些企業(yè)都位于園區(qū)的上風(fēng)向，尤其是后續(xù)進(jìn)入園區(qū)的退城入園企業(yè)，未在統(tǒng)一規(guī)劃范圍內(nèi)，受地理位置約束明顯，故當(dāng)工業(yè)園區(qū)條件不允許時(shí)，可不受上風(fēng)側(cè)限制2.0.4施工、運(yùn)行維護(hù)、搶修等場所存在一定的安全風(fēng)險(xiǎn)，對(duì)作業(yè)區(qū)實(shí)施嚴(yán)格管理是非常有必要的，在作業(yè)區(qū)周圍設(shè)置護(hù)欄和警示標(biāo)志對(duì)作業(yè)人員可起到保護(hù)作用，對(duì)周邊路人、車輛等可起到提示作用。2.0.6本條是為了防止廠區(qū)遭受洪水或者內(nèi)澇災(zāi)害而制定的，主要參考《\t"/webarbs/book/68961/_self"石油化工工廠布置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50984中6.1.3相關(guān)要求“當(dāng)有堤防設(shè)施時(shí)，場地設(shè)計(jì)標(biāo)高應(yīng)高于設(shè)計(jì)水位0.5m及以上”。2.0.7廢氣排放達(dá)到現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297和污染物排放總量控制要求。項(xiàng)目所在地有地方標(biāo)準(zhǔn)和要求的，應(yīng)當(dāng)執(zhí)行地方標(biāo)準(zhǔn)和要求。2.0.8室外排水采用雨水和污水分流是基本的要求。生產(chǎn)廢水的處理根據(jù)廢水種類、濃度及水量確定。2.0.9按照《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》GBZ1要求，工業(yè)場所基本衛(wèi)生要求進(jìn)行防噪聲、防振、防暑、防寒等設(shè)計(jì)。設(shè)計(jì)時(shí)，首先應(yīng)從聲源上進(jìn)行噪聲控制，對(duì)設(shè)備供應(yīng)商提出要求，采取措施有效降低噪聲；并采用隔聲、消聲、吸聲等控制措施；噪聲控制最終符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》GB12348的規(guī)定。2.0.10工廠對(duì)所在地的土壤造成一定污染時(shí)，拆除后應(yīng)根據(jù)相關(guān)國家規(guī)范和政策要求對(duì)土壤進(jìn)行無害化處理和修復(fù)工作。3工業(yè)硅3.1工藝與裝備3.1.1本條源自《鐵合金、電解金屬錳行業(yè)規(guī)范條件》三、工藝設(shè)備（一）主體設(shè)備：硅鐵、工業(yè)硅礦熱爐應(yīng)采用矮煙罩半封閉型。3.1.2本條源自《鋼鐵企業(yè)原料場工藝設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50541-2009中第4.1.4條?；诎踩矫婵紤]，受料槽口應(yīng)設(shè)置金屬格柵，是為了防止人員和設(shè)備落入，造成人身傷害和財(cái)產(chǎn)損失。3.1.3本條源自《鋼鐵企業(yè)原料場工藝設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50541-2009中第8.2.5條和8.3.4條?；诎踩矫婵紤]，轉(zhuǎn)運(yùn)站內(nèi)移動(dòng)帶式輸送機(jī)走行范圍四周應(yīng)設(shè)置安全欄桿，是為了防止人員進(jìn)入移動(dòng)區(qū)域發(fā)生事故；且輸送機(jī)移開后，人員易落入外露的料斗中，造成人身傷害?；诎踩矫婵紤]，移動(dòng)設(shè)備走行范圍設(shè)置安全欄桿，是為了防止人員進(jìn)入移動(dòng)區(qū)域發(fā)生事故；設(shè)置箅條或蓋板，是為了防止人員落入落料口或孔洞中，造成人身傷害。3.1.4本條源自《鐵合金、電解金屬錳行業(yè)規(guī)范條件》三、工藝裝備，并根據(jù)內(nèi)容適當(dāng)調(diào)整?；诃h(huán)保、節(jié)能方面考慮，本條對(duì)工業(yè)硅生產(chǎn)原料的加工處理、配料、上料方面做了基本規(guī)定。工業(yè)硅生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)積極進(jìn)行技術(shù)改造，采用先進(jìn)工藝與裝備，努力提升節(jié)能環(huán)保水平，實(shí)現(xiàn)企業(yè)清潔生產(chǎn)先進(jìn)水平。3.1.5本條源自《鐵合金、電解金屬錳行業(yè)規(guī)范條件》三、工藝裝備（二）環(huán)保、節(jié)能、安全及綜合利用設(shè)施【鐵合金礦熱爐應(yīng)配套機(jī)械化加料或加料搗爐機(jī)操作系統(tǒng)，配備干法布袋除塵或其他先進(jìn)的煙氣除塵裝置，爐前配套機(jī)械化出鐵出渣系統(tǒng)；燒結(jié)機(jī)和回轉(zhuǎn)窯應(yīng)同步配套建設(shè)煙氣脫硫裝置】，并根據(jù)內(nèi)容適當(dāng)調(diào)整，系現(xiàn)行強(qiáng)制性條文。根據(jù)工業(yè)硅生產(chǎn)工藝、冶煉特性，本條規(guī)定了工業(yè)硅礦熱爐應(yīng)配套工藝裝備。工業(yè)硅生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)采用先進(jìn)的工藝技術(shù)與裝備，努力提升工藝技術(shù)、環(huán)保水平，減少或避免污染物的產(chǎn)生和排放，以減輕或消除對(duì)人類健康和環(huán)境的危害，實(shí)現(xiàn)清潔生產(chǎn)。3.1.6本條源自《鐵合金工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB28666-2012中4.2.7條:【……所有排氣筒高度應(yīng)不低于15m?！?。本條規(guī)定了工業(yè)硅冶煉排氣筒高度要求。因爐窯產(chǎn)生的煙氣中含有部分有害氣體，所以需增加排放高度和擴(kuò)散面積，以稀釋有害氣體濃度。3.1.7本條源自《鐵合金工藝及設(shè)備設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50735-2011中3.1.18條，并根據(jù)內(nèi)容適當(dāng)調(diào)整，系現(xiàn)行強(qiáng)制性條文。本條規(guī)定了工業(yè)硅礦熱爐車間吊運(yùn)熔融液態(tài)工業(yè)硅時(shí)應(yīng)采用鑄造起重機(jī)。工業(yè)硅礦熱爐車間澆鑄間起重機(jī)經(jīng)常用于吊運(yùn)滿罐的工業(yè)硅熔體，如果用普通的起重機(jī)，容易造成重大人身安全事故和設(shè)備損壞。3.1.8本條源自《高溫熔融金屬吊運(yùn)安全規(guī)程》AQ7011-2018中7.16條：【……吊運(yùn)裝有熔融金屬、熔渣的罐體和包體，應(yīng)與鄰近設(shè)備或建、構(gòu)筑物保持大于1.5m的凈空距離】，基于安全方面考慮，本條根據(jù)內(nèi)容適當(dāng)調(diào)整。本條規(guī)定了吊運(yùn)裝有熔融工業(yè)硅的罐體和包體與鄰近設(shè)備或建、構(gòu)筑物的凈空距離要求。所在規(guī)范為全文強(qiáng)制性條文，基于安全方面考慮，在《硅材料工程項(xiàng)目規(guī)范》中增加相應(yīng)強(qiáng)制性條文。3.1.9本條源自《鐵合金工藝及設(shè)備設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50735-2011中3.2.13條，并根據(jù)內(nèi)容適當(dāng)調(diào)整，系現(xiàn)行強(qiáng)制性條文。本條對(duì)冶煉工業(yè)硅時(shí)倒拔電極操作進(jìn)行了嚴(yán)格規(guī)定。需要倒拔電極時(shí)，銅瓦應(yīng)松開。如果帶電倒拔電極，會(huì)造成銅瓦與電極之間產(chǎn)生火花，不但會(huì)燒壞銅瓦造成停產(chǎn)，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)造成人身安全事故。3.1.10本條源自《鐵合金、電解金屬錳行業(yè)規(guī)范條件》三、工藝裝備，并根據(jù)內(nèi)容適當(dāng)調(diào)整。本條規(guī)定了工業(yè)硅礦熱爐主體工藝裝備的選型。新建、擴(kuò)建和改建工業(yè)硅生產(chǎn)企業(yè)工業(yè)硅礦熱爐工藝裝備選型應(yīng)執(zhí)行本條規(guī)定。工業(yè)硅生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)采用先進(jìn)的生產(chǎn)工藝與裝備、綜合利用等措施，促進(jìn)行業(yè)可持續(xù)發(fā)展。3.1.11本條源自《高溫熔融金屬吊運(yùn)安全規(guī)程》AQ7011-2018中6.2.6條，并根據(jù)內(nèi)容適當(dāng)調(diào)整，系現(xiàn)行強(qiáng)制性條文。本條對(duì)使用中的熔融工業(yè)硅包體耳軸的安全管理做了規(guī)定?；诎踩矫婵紤]，在《硅材料工程項(xiàng)目規(guī)范》中增加相應(yīng)強(qiáng)制性條文。3.2輔助設(shè)施3.2.1本條源自《鋼鐵企業(yè)節(jié)水設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50506-2009中6.1.5條，并根據(jù)內(nèi)容適當(dāng)調(diào)整。本條系現(xiàn)行強(qiáng)制性條文。為控制循環(huán)水系統(tǒng)排污水，排污水管道上應(yīng)設(shè)置計(jì)量儀表，應(yīng)根據(jù)電導(dǎo)率、氯離子或其他控制指標(biāo)進(jìn)行定量排污，以減少不必要排污。3.2.2本條源自《鋼鐵企業(yè)節(jié)能設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50632-2010中條。本條是針對(duì)協(xié)作條件較差地區(qū)工業(yè)硅生產(chǎn)企業(yè)機(jī)修設(shè)施設(shè)置提出的規(guī)定。本條規(guī)定了新建工業(yè)硅生產(chǎn)企業(yè)如需在企業(yè)內(nèi)設(shè)置機(jī)修設(shè)施應(yīng)遵循的規(guī)定和原則。應(yīng)以“專業(yè)化協(xié)作”為原則，檢修備件主要依靠專業(yè)化生產(chǎn)廠供應(yīng)，檢修設(shè)備工作也主要依靠外部協(xié)作完成，建立適應(yīng)市場經(jīng)濟(jì)的機(jī)修體制。3.2.3本條源自《鋼鐵企業(yè)冶金設(shè)備基礎(chǔ)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50696-2011中3.3.15條。本條系現(xiàn)行強(qiáng)制性條文。直接承受濺渣、熱烘烤、設(shè)備和物料沖擊或受酸、堿、油等侵蝕的設(shè)備基礎(chǔ)，其防護(hù)措施的設(shè)置是冶金設(shè)備基礎(chǔ)重要的設(shè)計(jì)內(nèi)容。應(yīng)在工程經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，選用高效、環(huán)保、耐久性好且具有價(jià)格優(yōu)勢(shì)的材料，采用合理可靠、施工方便、便于修補(bǔ)或更換的構(gòu)造。對(duì)于有直接接觸跑漏鐵鋼水或熔渣的基礎(chǔ)和地坪，其防護(hù)層的設(shè)置應(yīng)便于事故處理，并應(yīng)采取嚴(yán)格的防止積水措施，以避免發(fā)生打炮事故。當(dāng)設(shè)置集排水坑時(shí)，應(yīng)遠(yuǎn)離接觸鐵鋼水和熔渣的地段，應(yīng)排水通暢，并采取杜絕倒灌的措施。3.2.4本條源自《鋼鐵企業(yè)冶金設(shè)備基礎(chǔ)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50696-2011中7.4.3條，并根據(jù)內(nèi)容適當(dāng)調(diào)整。本條系現(xiàn)行強(qiáng)制性條文。電爐在冶煉、出硅生產(chǎn)過程中，溫度較高，因此應(yīng)對(duì)電爐周邊廠房梁、柱、扒渣區(qū)、澆鑄區(qū)及軌道基礎(chǔ)采取可靠的隔熱保護(hù)措施。3.2.5本條源自《鋼鐵冶金企業(yè)設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50414-2018中5.3.1條。本條系現(xiàn)行強(qiáng)制性條文?；诎踩矫婵紤]，本條對(duì)存放、運(yùn)輸液體金屬和熔渣的場所作出嚴(yán)格規(guī)定，嚴(yán)格規(guī)定這類廠房的地面標(biāo)高應(yīng)高出廠區(qū)地面標(biāo)高0.3m及以上，不應(yīng)設(shè)置積水的溝、坑等。如生產(chǎn)確需設(shè)置地面溝或坑等時(shí)，應(yīng)有嚴(yán)密的防滲漏措施，防止一旦有一定量的水與液體金屬和液體熔渣相遇汽化膨脹產(chǎn)生爆炸事故。3.2.6新增強(qiáng)條。本條對(duì)電爐安全供水要求作了規(guī)定?；诎踩矫婵紤]，電爐冷卻水系統(tǒng)事故供水能力應(yīng)以起到保護(hù)電爐本體設(shè)備，避免事故的發(fā)生。3.2.7新增強(qiáng)條。本條規(guī)定了工業(yè)硅項(xiàng)目中應(yīng)按一級(jí)負(fù)荷供電設(shè)計(jì)的設(shè)施?；谥袛喙╇妼?duì)人身安全、經(jīng)濟(jì)損失造成影響的重要程度考慮，工業(yè)硅電爐冷卻水供水系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)、出硅車牽引系統(tǒng)、吊運(yùn)熔融工業(yè)硅鑄造起重機(jī)供電級(jí)別應(yīng)按一級(jí)負(fù)荷設(shè)計(jì)。3.2.8本條源自《鐵合金、電解金屬錳行業(yè)規(guī)范條件》三、工藝裝備(二)環(huán)保、節(jié)能、安全及綜合利用設(shè)施中3條：【鐵合金生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)同步建設(shè)爐渣、煙塵固體廢棄物回收利用設(shè)施。】和《鐵合金工藝及設(shè)備設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50735-2011中3.6.2條：【除塵回收的粉塵應(yīng)綜合利用……】。本條系現(xiàn)行強(qiáng)制性條文。爐渣是工業(yè)硅生產(chǎn)過程中的副產(chǎn)品，不僅不是廢棄物而是非常有價(jià)值的礦物資源。工業(yè)硅爐渣可回爐循環(huán)綜合利用從渣中回收大量的有用元素。采用礦熱爐生產(chǎn)工業(yè)硅時(shí)，產(chǎn)生的煙氣和粉塵是環(huán)境治理的重點(diǎn)。煙氣經(jīng)除塵系統(tǒng)除塵、收塵后，大大減少了煙塵大氣污染物的排放量，粉塵經(jīng)回收后利用。3.3能源消耗與綜合利用3.3.1本條源自《工業(yè)硅單位產(chǎn)品能源消耗限額》GB31338-2014中4.1和4.2。本條規(guī)定了現(xiàn)有工業(yè)硅企業(yè)單位產(chǎn)品綜合能耗限額限定值和新建或改擴(kuò)建的工業(yè)硅企業(yè)單位產(chǎn)品綜合能耗限額準(zhǔn)入值。工業(yè)硅生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)按要求做好節(jié)能基礎(chǔ)管理，并積極進(jìn)行技術(shù)改造，努力提升工藝技術(shù)，采用先進(jìn)工藝，改善管理，合理組織生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)資源綜合利用，提高企業(yè)清潔生產(chǎn)水平。3.3.2本條參考《鐵合金、電解金屬錳行業(yè)規(guī)范條件》第四章“能(資)源消耗與綜合利用”中第一節(jié)“鐵合金”中第3條。本條規(guī)定了工業(yè)硅生產(chǎn)工業(yè)用水、爐渣、煙氣余熱、微硅粉回收利用指標(biāo)。工業(yè)硅生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)采用先進(jìn)的生產(chǎn)工藝技術(shù)與裝備、使用清潔的能源和原料、改善管理、綜合利用等措施，從源頭削減污染、提高資源利用效率，減少污染物的產(chǎn)生和排放，以減輕或者消除對(duì)人類健康和環(huán)境的危害，提高工業(yè)硅企業(yè)生產(chǎn)過程清潔生產(chǎn)水平。4多晶硅4.1一般規(guī)定4.1.1新增強(qiáng)條。多晶硅工程項(xiàng)目涉及氫氣、二氯二氫硅和三氯氫硅等易燃易爆、有毒有害危險(xiǎn)化學(xué)品，需要按照國家有關(guān)規(guī)定進(jìn)行安全設(shè)施設(shè)計(jì)專篇的編制。4.1.2新增強(qiáng)條。國家安監(jiān)總局對(duì)危險(xiǎn)與可操作性分析（HAZOP）分析技術(shù)推行的相關(guān)文件，《國家安全監(jiān)管總局關(guān)于加強(qiáng)化工過程安全管理的指導(dǎo)意見》（安監(jiān)總管三〔2013〕88號(hào)）要求“兩重點(diǎn)一重大”裝置每3年開展一次HAZOP分析。其他裝置可每5年采用HAZOP分析一次?！秶野踩O(jiān)管總局、住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)危險(xiǎn)化學(xué)品建設(shè)項(xiàng)目安全設(shè)計(jì)管理的通知》（安監(jiān)總管三〔2013〕76號(hào)）涉及“兩重點(diǎn)一重大”和首次工業(yè)化設(shè)計(jì)的建設(shè)項(xiàng)目，應(yīng)在基礎(chǔ)設(shè)計(jì)階段開展HAZOP分析。《關(guān)于開展提升危險(xiǎn)化學(xué)品領(lǐng)域本質(zhì)安全水平專項(xiàng)行動(dòng)的通知》（安監(jiān)總管三〔2012〕87號(hào)）要求設(shè)計(jì)階段進(jìn)行HAZOP分析，逐步推行生產(chǎn)裝置（每3至5年開展一次）。4.1.3新增強(qiáng)條。多晶硅的質(zhì)量應(yīng)符合國家標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)考慮一些特殊產(chǎn)品的質(zhì)量要求，其中統(tǒng)計(jì)過程控制的英文為StatisticalProcessControl，簡稱SPC。4.2廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃4.2.1新增強(qiáng)條。參考《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014條款4.1.1和4.1.3條相關(guān)規(guī)定?！豆夥圃煨袠I(yè)規(guī)范條件》中對(duì)項(xiàng)目建設(shè)條件規(guī)定如下：（1）光伏制造企業(yè)及項(xiàng)目應(yīng)符合國家資源開發(fā)利用、環(huán)境保護(hù)、節(jié)能管理等法律法規(guī)要求，符合國家產(chǎn)業(yè)政策和相關(guān)產(chǎn)業(yè)規(guī)劃及布局要求，符合當(dāng)?shù)赝恋乩每傮w規(guī)劃、城市總體規(guī)劃、環(huán)境功能區(qū)劃和環(huán)境保護(hù)規(guī)劃等要求。（2）在國家法律法規(guī)、規(guī)章及規(guī)劃確定或省級(jí)以上人民政府批準(zhǔn)的永久基本農(nóng)田保護(hù)區(qū)、飲用水水源保護(hù)區(qū)、自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)、生態(tài)保護(hù)紅線和生態(tài)環(huán)境敏感區(qū)、脆弱區(qū)等法律、法規(guī)規(guī)定禁止建設(shè)工業(yè)企業(yè)的區(qū)域不得建設(shè)光伏制造項(xiàng)目。上述區(qū)域內(nèi)的現(xiàn)有企業(yè)應(yīng)嚴(yán)格控制規(guī)模，對(duì)生態(tài)環(huán)境造成影響的應(yīng)采取措施，逐步遷出。4.2.2新增強(qiáng)條。參考《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014的4.2.5本條根據(jù)多晶硅生產(chǎn)的特點(diǎn)，規(guī)定了總平面設(shè)計(jì)的原則。1）、2）這些生產(chǎn)裝置都伴有氫氣、三氯氫硅、氯化氫等危險(xiǎn)化學(xué)品存在，而且大部分裝置內(nèi)該類物質(zhì)的存量都超過了臨界量，因此有必要將該類裝置集中布置，便于重大危險(xiǎn)源的管理，而且構(gòu)成重大危險(xiǎn)源的裝置與廠內(nèi)外設(shè)施的防火間距應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016、《石油化工企業(yè)設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)》GB50160等的有關(guān)規(guī)定；采用框架結(jié)構(gòu)或露天布置是為了便于自然通風(fēng)和危險(xiǎn)氣體的擴(kuò)散。4)、5)多晶硅工廠一般將尾氣淋洗和廢液處理裝置與三廢處理站合并或是臨近建設(shè)，這些裝置都有可能無組織排放粉塵和氯化氫等物質(zhì)，雖是達(dá)標(biāo)排放，但是長期排放也會(huì)對(duì)循環(huán)水站等生產(chǎn)生活設(shè)施造成影響。因此循環(huán)水站等生產(chǎn)、生活區(qū)域應(yīng)遠(yuǎn)離該類裝置。6)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》3.6.8有爆炸危險(xiǎn)的甲、乙類廠房的總控制室應(yīng)獨(dú)立設(shè)置；《控制室設(shè)計(jì)規(guī)范》HG/T20508條款3.4.5，中心控制室宜為單獨(dú)建筑物；條款3.2.1，控制室宜位于裝置或聯(lián)合裝置內(nèi)，應(yīng)位于爆炸危險(xiǎn)區(qū)域外；《石油化工企業(yè)設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)》GB50160（2018年版）5.7.1A中央控制室應(yīng)根據(jù)爆炸風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估確定是否需要抗爆設(shè)計(jì)，本條是根據(jù)上述規(guī)范內(nèi)容并結(jié)合多晶硅生產(chǎn)控制特點(diǎn)做適當(dāng)修改形成。7）多晶硅工廠屬于化工工廠，涉及氫氣、氯硅烷等易燃易爆、有毒有害物質(zhì)，辦公樓、食堂等辦公、生活設(shè)施與生產(chǎn)區(qū)分開布置，減少對(duì)辦公、生活的影響，最大限度地確保人員安全。4.2.3原有強(qiáng)條，《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，4.2.8條（強(qiáng)制性條文）。設(shè)置四氯化硅等還原反應(yīng)副產(chǎn)物的綜合利用或處理設(shè)施是為了將這些副產(chǎn)物循環(huán)利用，節(jié)約資源，保護(hù)環(huán)境。三氯氫硅氫還原工藝的還原一次轉(zhuǎn)化率低，約為10%，大量未參與反應(yīng)的物料以及反應(yīng)副產(chǎn)物以尾氣的形式排出生產(chǎn)系統(tǒng)，為了節(jié)約資源和保護(hù)環(huán)境，需將還原尾氣中的各個(gè)成分有效回收、循環(huán)利用；特別是四氯化硅，每生產(chǎn)1噸多晶硅副產(chǎn)約10~25噸四氧化硅，如果得不到循環(huán)回收使用，必然導(dǎo)致資源浪費(fèi)和增大環(huán)保負(fù)擔(dān)。4.2.4新增強(qiáng)條。參考《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，8.1.1條（強(qiáng)制性條文）。由于建筑的防火安全直接涉及人員和設(shè)備的安危，因此應(yīng)對(duì)多晶硅工廠建（構(gòu)）筑物的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類及耐火等級(jí)進(jìn)行規(guī)定。4.2.5安全要求。參考《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646-2011第5.2.1條。該條文是按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016中有關(guān)甲類生產(chǎn)和廠房防爆的規(guī)定制定的。由于硅烷是自燃、可燃、易爆氣體，在硅烷儲(chǔ)存、分配過程中可能散發(fā)、泄漏，易形成爆炸混合氣，引發(fā)火災(zāi)和爆炸事故。爆炸混合氣的燃燒、爆炸擴(kuò)散速度快，發(fā)生事故時(shí)疏散和搶救比較困難，將會(huì)造成較大的傷亡和損失。據(jù)調(diào)查大部分的硅烷充裝站均為單層建筑。為減少發(fā)生事故時(shí)的損失和傷亡，本條規(guī)定硅烷充裝站宜為單層建筑。從管理安全考慮，規(guī)定硅烷充裝站應(yīng)設(shè)置不燃燒體的圍墻，但是考慮工廠的實(shí)際情況，該條未作強(qiáng)制要求。規(guī)定硅烷充裝站應(yīng)布置為獨(dú)立的開敞式建筑物或空曠區(qū)域，并不得有地下室。當(dāng)采用開敞式建筑結(jié)構(gòu)形式時(shí)，硅烷充裝站墻面遮擋部分面積不大于建筑外圍面積的25%。如果有障礙物，距離應(yīng)保證大于障礙物高度的2倍。本條規(guī)定主要是參考美國ANSI/CGAG-13-2006《硅烷和硅烷混合物的儲(chǔ)存和操作》的3.20.1條和條。該條內(nèi)容摘錄如下：3.20.1：硅烷充裝站應(yīng)設(shè)置在室外環(huán)境，該環(huán)境有兩種情況：1.建筑的室外；2.或有頂棚遮蓋，最多有一側(cè)有外墻，其余側(cè)沒有外墻并與大氣相通。：系統(tǒng)應(yīng)置于敞開式環(huán)境中，如果有障礙物，距離應(yīng)大于障礙物高度的2倍。4.2.6安全要求?！短胤N氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646-2011第5.2.5條。本條規(guī)定是依照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016中甲類廠房的逃生距離的相關(guān)要求而設(shè)定。4.3工藝與裝備4.3.1新增強(qiáng)條?，F(xiàn)在成熟的多晶硅生產(chǎn)工藝有三氯氫硅氫還原法和硅烷流化床法，這兩種工藝占有幾乎全部的市場份額。4.3.2新增強(qiáng)條。物料閉路循環(huán)和能量綜合利用是現(xiàn)行多晶硅企業(yè)生存的必要工藝，對(duì)保護(hù)環(huán)境、降低生產(chǎn)成本意義重大，主要技術(shù)有大型節(jié)能還原爐（或硅烷流化床）技術(shù)、高效還原尾氣分離回收技術(shù)、高效節(jié)能精餾技術(shù)、四氯化硅冷氫化技術(shù)等。4.3.3新增強(qiáng)條。為保證四氯化硅冷氫化工序、三氯氫硅合成工序等生產(chǎn)連續(xù)長期運(yùn)行，應(yīng)定期排放固體含量很高的殘液，防止其堵塞管道和設(shè)備。由于殘液中含有硅粉、金屬氯化物等物質(zhì)，不適合長距離輸送，而殘液需要回收有用組分，避免造成環(huán)境污染，因此四氯化硅冷氫化裝置應(yīng)配套殘液回收裝置，且就近配置。4.3.4參照原有強(qiáng)條，《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，9.3.4條（強(qiáng)制性條文）含氟廢水、氫氟酸廢液與其它含酸廢水、廢酸處理工藝不同，需要采用不同的處理工藝。含油廢水在現(xiàn)行的環(huán)保法律法規(guī)上有專門的規(guī)定，如《石油化學(xué)工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB31571-2015，必須處理合格方可排放。4.3.5環(huán)境保護(hù)要求。原有強(qiáng)條，《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，11.1.6條（強(qiáng)制性條文）。本條是強(qiáng)制性條文。近年來，由多晶硅企業(yè)直接或間接引發(fā)的污染事故都與含氯硅烷的廢液、廢渣有關(guān)，因此本條規(guī)定了含氯硅烷的廢液和含氯硅烷的廢硅粉應(yīng)經(jīng)過無害化處理，這也主要是為了保證多晶硅工廠廢渣、廢液的處理、排放滿足國家和地方的要求，降低對(duì)周邊環(huán)境的污染影響，真正做到環(huán)境保護(hù)、綠色生產(chǎn)。4.3.6新增強(qiáng)條。多晶硅生產(chǎn)過程中，既有物料儲(chǔ)存、分離提純、反應(yīng)過程中產(chǎn)生的氯硅烷、氯化氫、氮?dú)狻錃獾葟U氣，同時(shí)在硅芯、硅棒（塊）腐蝕清洗過程中產(chǎn)生的一氧化氮、二氧化氮廢氣。氯硅烷為多晶硅生產(chǎn)中的有價(jià)原材料，需要通過回收再利用，所以對(duì)富含氯硅烷的廢氣應(yīng)回收氯硅烷后再進(jìn)行處理。4.3.7安全要求?！短胤N氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646-2011第12.8.4條從安全的角度考慮，尾氣排氣系統(tǒng)的管道應(yīng)經(jīng)過脫脂處理，嚴(yán)禁使用含有油脂的管道。4.3.8新增強(qiáng)條。多晶硅生產(chǎn)為高純生產(chǎn)，工藝介質(zhì)的管道或設(shè)備中的水（汽）、油以及粉塵均會(huì)影響中間產(chǎn)品和多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量。水（汽）易造成管道腐蝕增加產(chǎn)品中金屬雜質(zhì)含量，油易影響中間產(chǎn)品和多晶硅產(chǎn)品中碳含量，粉塵易影響中間產(chǎn)品和多晶硅產(chǎn)品的顆粒異物，所以對(duì)材料選型、安裝和使用提出了另外的要求。4.3.9新增強(qiáng)條。為去除碳鋼表面的浮銹、油污，提高碳鋼管道及其附件、閥門等潔凈度，并提高碳鋼管道及其附件、閥門等耐腐蝕性能，應(yīng)對(duì)及其附件、閥門等進(jìn)行酸洗鈍化。由于油脂對(duì)多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量影響大，故不銹鋼管道及其附件、閥門等應(yīng)進(jìn)行脫脂處理。4.3.10新增強(qiáng)條.由于氯硅烷具有較強(qiáng)腐蝕性，在腐蝕區(qū)域內(nèi)不銹鋼的設(shè)備也需要進(jìn)行防腐，避免設(shè)備和管道腐蝕后出現(xiàn)安全事故。4.3.11新增強(qiáng)條。根據(jù)《半導(dǎo)體制造設(shè)施保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)》NFPA318-2018條款“水或水殘留物可能會(huì)造成損害或受成本限制的系統(tǒng)允許使用惰性氣體進(jìn)行壓力測(cè)試”。氯硅烷遇水生成鹽酸，易腐蝕管道，而多晶硅企業(yè)的氫氣常與氯硅烷混合，為避免氫氣中的氯硅烷與水反應(yīng)，對(duì)氫氣的水含量要求嚴(yán)格，要求氫氣的露點(diǎn)≤-65℃。因此介質(zhì)為氯硅烷、氯化氫和氫氣的管道進(jìn)行壓力試驗(yàn)和泄露性試驗(yàn)時(shí)，應(yīng)采用氣體作為介質(zhì)，避免氯硅烷遇水腐蝕管道。為保證安全，試驗(yàn)時(shí)，應(yīng)緩慢逐段升壓，每段穩(wěn)壓一段時(shí)間，直至試驗(yàn)壓力。4.3.12新增強(qiáng)條。參考《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50177中12氫氣管道的有關(guān)規(guī)定。1、為避免因氫氣泄漏造成燃燒和爆炸事故的發(fā)生，規(guī)定氫氣管道的管材應(yīng)采用無縫鋼管，不采用具有焊縫的焊接鋼管、電焊鋼管等。2、氣體的流速有經(jīng)濟(jì)流速和安全流速之分，對(duì)可燃性氣體主要應(yīng)著眼于安全流速。氫氣在管道內(nèi)流動(dòng)，當(dāng)流速大，與管壁摩擦增強(qiáng)，特別是管道內(nèi)含有鐵銹雜質(zhì)時(shí)，形成靜電火花，故參考《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》對(duì)氫氣流速進(jìn)行了規(guī)定。4.3.13新增強(qiáng)條?！妒突?chǔ)運(yùn)系統(tǒng)罐區(qū)設(shè)計(jì)規(guī)范》對(duì)原料、中間原料和成品的儲(chǔ)存天數(shù)進(jìn)行了規(guī)定。按照《石油化工企業(yè)設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)》GB50160，關(guān)于液化烴的定義：15℃時(shí)的蒸汽壓力＞0.1MPa的烴類液體及其他類似的液體。二氯二氫硅、硅烷按照定義均屬于液化烴，需要按照液化烴儲(chǔ)罐要求設(shè)置。對(duì)于二氯二氫硅或硅烷的混合物是否屬于液化烴，需要根據(jù)計(jì)算，確認(rèn)是否符合液化烴的定義，如15℃時(shí)，對(duì)于二氯二氫硅和三氯氫硅混合物，當(dāng)二氯二氫硅摩爾分率＜60%，蒸汽壓力＜0.1MPa，不屬于液化烴。4.3.14新增強(qiáng)條。為保證氯硅烷設(shè)備出現(xiàn)泄漏時(shí)物料及時(shí)周轉(zhuǎn)，應(yīng)配置足夠容積的備用儲(chǔ)罐。4.3.15新增強(qiáng)條。根據(jù)《易燃硅化合物的環(huán)境、衛(wèi)生和安全的指導(dǎo)方針》SEMIS18-0312第10.3.1條，存儲(chǔ)易燃液體硅化合物的容器的存儲(chǔ)區(qū)域應(yīng)充分與其他危險(xiǎn)品分開。4.3.16安全要求?！短胤N氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646-2011第12.6.2條施工前應(yīng)將管道內(nèi)的特種氣體用高純氮?dú)庵脫Q干凈，且應(yīng)將管道系統(tǒng)抽真空處理，這是為防止管道內(nèi)殘存有害氣體在施工時(shí)對(duì)人身及設(shè)施造成安全威脅所采取的措施。4.3.17性能要求。參考《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646-2011第4.3.1條為防止自燃性、可燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)獗槐举|(zhì)特種氣體污染，引發(fā)著火、中毒或設(shè)備拉壞等事故，并應(yīng)在吹掃氮?dú)夤芫€設(shè)置止回閥。4.3.18新增強(qiáng)條。（1）S30408不銹鋼冷成型的封頭，若不進(jìn)行固溶處理，容易出現(xiàn)裂紋。（2）、（3）因?yàn)樵趽Q熱器使用過程中氯硅烷的內(nèi)漏不易發(fā)現(xiàn)，容易造成較大的危害，故對(duì)換熱管與管板連接方式及密封性試驗(yàn)進(jìn)行了規(guī)定。（4）換熱器殼程進(jìn)行水壓試驗(yàn)后容易積水不易干燥到位，這樣氯硅烷、氯化氫在水的條件很容易發(fā)生水（溶）解反應(yīng)生成鹽酸腐蝕換熱管，最終造成換熱器泄露。4.3.19新增強(qiáng)條。數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)是現(xiàn)場自動(dòng)化控制設(shè)備與管理層之間的信息紐帶，建立和完善自動(dòng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)已成為制造工業(yè)企業(yè)信息化建設(shè)的重點(diǎn)。多晶硅工程項(xiàng)目涉及氫氣、氯氣、三氯氫硅、二氯二氫硅等屬于危險(xiǎn)化學(xué)品，應(yīng)設(shè)置可靠的數(shù)據(jù)平臺(tái)。4.3.20新增強(qiáng)條。多晶硅企業(yè)涉及的氫氣、氯氣、三氯氫硅、二氯二氫硅等屬于危險(xiǎn)化學(xué)品，需要執(zhí)行國家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總局令第40號(hào)《危險(xiǎn)化學(xué)品重大危險(xiǎn)源監(jiān)督管理暫行規(guī)定》。4.3.21原有強(qiáng)條，并對(duì)原有《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，11.2.3條（強(qiáng)制性條文）進(jìn)行適當(dāng)補(bǔ)充。因?yàn)槿葰涔?、二氯二氫硅、四氯化硅、氯化氫、硅烷等主要原材料和中間物料都有不同程度的毒性，火災(zāi)危險(xiǎn)類別都屬于甲類，所以這些物質(zhì)的儲(chǔ)存、輸送和生產(chǎn)使用場所都應(yīng)按照它們的毒性和火災(zāi)危險(xiǎn)類別考慮相應(yīng)的安全措施，并對(duì)此進(jìn)行可靠的防火、防爆、消防以及檢測(cè)等方面的安全設(shè)計(jì)。4.3.22原有強(qiáng)條，《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，6.2.8（3）條（強(qiáng)制性條文）通常情況下，工藝裝置或儲(chǔ)運(yùn)設(shè)施的控制室、現(xiàn)場操作室是操作人員常駐和能夠采取措施的場所?，F(xiàn)場發(fā)生可燃?xì)怏w和有毒氣體泄漏事故時(shí)，報(bào)警信號(hào)應(yīng)使現(xiàn)場報(bào)警器報(bào)警，提示現(xiàn)場操作人員采取措施。同時(shí)，報(bào)警信號(hào)發(fā)送至有人值守的控制室、現(xiàn)場操作室的指示報(bào)警設(shè)備進(jìn)行報(bào)警，以便控制室、現(xiàn)場操作室的操作人及時(shí)采取措施。4.3.23新增強(qiáng)條。大部分裝置中都存在有毒、可燃性氣體，因此應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《石油化工可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測(cè)報(bào)警設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50493中的相關(guān)要求。由于氯硅烷的泄露，暫無可靠的直接檢測(cè)報(bào)警儀，而氯硅烷泄露后極易與空氣中的水分反應(yīng)生成氯化氫，故現(xiàn)行多晶硅企業(yè)都選用氯化氫有毒氣體檢測(cè)報(bào)警儀來檢測(cè)氯硅烷的泄露，經(jīng)過實(shí)踐證明，該方式滿足氯硅烷的泄露的檢測(cè)要求。4.3.24安全要求。《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646-2011第5.3.5條紫外紅外火焰探測(cè)器與感溫探測(cè)器的設(shè)置是為了發(fā)現(xiàn)微量火焰和危險(xiǎn)環(huán)境，及早報(bào)警并關(guān)閉氣體供應(yīng)系統(tǒng)。4.3.25新增強(qiáng)條。根據(jù)《半導(dǎo)體制造設(shè)施保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)》NFPA318-2018條款7.6.1要求，應(yīng)在所有硅烷和硅烷混合氣瓶和散裝源上安裝一個(gè)通常關(guān)閉的自動(dòng)關(guān)閉閥。4.3.26新增強(qiáng)條。多晶硅項(xiàng)目易燃易爆物質(zhì)建議分組情況如下：YD340導(dǎo)熱油引燃溫度500℃以上，歸為T1；氫氣引燃溫度400℃，歸為T2；三氯氫硅引燃溫度為175℃，歸為T4；二氯二氫硅的引燃溫度為44℃，《爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058中規(guī)定II類電氣設(shè)備最低表面溫度等級(jí)T6為85℃，其對(duì)應(yīng)的介質(zhì)引燃溫度85℃＜T≤100℃，二氯二氫硅的引燃溫度不在此范圍內(nèi)，因此《爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058中電氣設(shè)備及儀表的防爆等級(jí)劃分不適用于二氯二氫硅?！侗ㄐ詺怏w環(huán)境》GB3836.1關(guān)于II類電氣設(shè)備表面溫度的要求中也有“如果適用，擬適用環(huán)境中的具體氣體的點(diǎn)燃溫度”的說明，因此可以認(rèn)為只有氣體引燃/點(diǎn)燃溫度符合相關(guān)分類的溫度范圍時(shí)，才必須按照標(biāo)準(zhǔn)中的分類進(jìn)行設(shè)計(jì)，否則不適用。國外標(biāo)準(zhǔn)方面，關(guān)于區(qū)域內(nèi)電氣設(shè)備表面溫度，美國國家電氣法規(guī)（NationalElectricalCode，簡稱NEC）中Article500.5（美國國家電氣法規(guī)）明確指出“自燃介質(zhì)所涉區(qū)域不在此標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)”。二氯二氫硅的引燃溫度為44℃，一氯三氫硅自燃溫度為20℃，硅烷自燃溫度為-50℃，遇空氣就自燃，故二氯二氫硅、一氯三氫硅和硅烷都是自燃?xì)怏w，不適用國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中電氣設(shè)備表面溫度組別劃分或設(shè)備最高表面溫度的規(guī)定。根據(jù)MEMC的經(jīng)驗(yàn)，涉及硅烷氣的電氣設(shè)備溫度組別定位T4。硅烷的防爆等級(jí)為ⅡCT4，而二氯二氫硅引燃溫度高于硅烷。國內(nèi)所有多晶硅廠以及美國REC和MEMC公司通常將氯硅烷介質(zhì)生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)電氣設(shè)備及儀表防爆等級(jí)選為ⅡCT4，根據(jù)多晶硅多年來的實(shí)際運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)，ⅡCT4能滿足安全生產(chǎn)要求，且故將二氯二氫硅歸為ⅡCT4。4.3.27原有強(qiáng)條，《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，6.1.6（3）條（強(qiáng)制性條文），同時(shí)參考《化工企業(yè)靜電接地設(shè)計(jì)規(guī)程》HG/T20675中2.3.1相關(guān)內(nèi)容“每組專設(shè)的靜電接地體，其接地電阻值，一般情況應(yīng)小于100Ω?！痹谶^去的項(xiàng)目中，對(duì)于某些爆炸、火災(zāi)危險(xiǎn)場所內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危險(xiǎn)的設(shè)備和管道，由于靜電接地系統(tǒng)不完善，會(huì)發(fā)生靜電燃爆的事故，因此應(yīng)做防靜電處理，避免事故發(fā)生，保障人身安全。4.3.28新增強(qiáng)條。參考《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014附錄C，對(duì)多晶硅工廠的主要潔凈房間空氣潔凈等級(jí)做了詳細(xì)規(guī)定。4.3.29新增強(qiáng)條。多晶硅的酸腐蝕主要采用氫氟酸和硝酸的混酸，具有強(qiáng)腐蝕性，供酸室不應(yīng)與腐蝕清洗室設(shè)置在一起。本條第2款規(guī)定了供酸室與腐蝕清洗室分開布置，但布置時(shí)應(yīng)兼顧供酸管道的距離和位置，輸送距離遠(yuǎn)，輸送管過長，輸送線路不安全。4.3.30原有強(qiáng)條，《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，10.3.6條：對(duì)潔凈室壓差控制作出規(guī)定。為了保證潔凈室在正常工作或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí)，氣流能從空氣潔凈度高的區(qū)域流向空氣潔凈度低的區(qū)域，而且潔凈室的潔凈度不受污染空氣的干擾，所以潔凈室與周圍環(huán)境應(yīng)保持一定的壓差。4.3.31原有強(qiáng)條，《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，10.3.4條：關(guān)于潔凈室新鮮空氣量的問題，現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》GBZI和《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50019都對(duì)空調(diào)房間人員所需最小新風(fēng)量作了強(qiáng)制規(guī)定，“工業(yè)建筑應(yīng)保證每人不小于30m3／h的新風(fēng)量”。現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073規(guī)定“保證供給潔凈室每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3”，因此本規(guī)定對(duì)潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)的新風(fēng)量采用了不同標(biāo)準(zhǔn)，以保障人身安全。4.3.32采暖要求。原有強(qiáng)條，《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，10.1.3條（強(qiáng)制性條文）還原管道夾層一般在還原爐室下方，四周不設(shè)圍墻，當(dāng)有少量氫氣地漏時(shí)，便于自然通風(fēng)和危險(xiǎn)氣體擴(kuò)散，見本規(guī)范第10.2.4條的規(guī)定。在嚴(yán)寒地區(qū)為了管道防凍需要，還原管道夾層設(shè)外墻，這時(shí)管道夾層即為甲類生產(chǎn)廠房，根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑防火設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50016的規(guī)定，在甲類生產(chǎn)廠房內(nèi)有爆炸性氣體時(shí)，采用熱風(fēng)采暖不應(yīng)回風(fēng)。因此，本條強(qiáng)制性規(guī)定，應(yīng)嚴(yán)格執(zhí)行。4.3.33原有強(qiáng)條，《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，10.3.9條：還原車間生產(chǎn)使用氫氣，火災(zāi)危險(xiǎn)性分類為甲類，現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50019相關(guān)條文強(qiáng)制規(guī)定，甲、乙類生產(chǎn)廠房不應(yīng)使用循環(huán)空氣，以保障人身安全。4.3.34原有強(qiáng)條，《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，9.1.3條：在精餾裝置、整理廠房硅料清洗工段、三氯氫硅罐區(qū)等裝置區(qū)及儲(chǔ)罐區(qū)內(nèi)的管道、管閥件以及設(shè)備出現(xiàn)跑冒滴漏現(xiàn)象時(shí)，物料噴濺出來，將對(duì)附近工作人員的身體特別是眼睛造成傷害，淋浴器及洗眼器可對(duì)身體和眼睛進(jìn)行緊急沖洗或淋洗，避免物料中的化學(xué)物質(zhì)進(jìn)一步對(duì)人體造成傷害。根據(jù)《化工企業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)規(guī)范》HG20571中條款5.6.5相關(guān)內(nèi)容“具有化學(xué)灼傷危險(xiǎn)的作業(yè)場所，應(yīng)設(shè)計(jì)洗眼器、淋洗器等安全防護(hù)措施，淋洗器、洗眼器的服務(wù)半徑應(yīng)不大于15m”，規(guī)定其服務(wù)半徑。4.3.35新增強(qiáng)條。按照《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50140-2010的規(guī)定，根據(jù)各建筑物火災(zāi)類別、危險(xiǎn)等級(jí)設(shè)置相應(yīng)的手提式、推車式磷酸銨鹽干粉滅火器。另外設(shè)置有消防砂池、滅火毯等。氯硅烷遇水以后水解產(chǎn)生氫氣及氯化氫，消防滅火不能使用水，應(yīng)采用采用磷酸銨鹽干粉滅火劑，氫氣屬于C類火災(zāi)，采用磷酸銨鹽干粉滅火器能夠迅速撲滅氣體火焰，具有中斷燃燒過程的連鎖反應(yīng)的化學(xué)活性，因此采用磷酸銨鹽干粉滅火器作為主要的滅火器設(shè)施。4.3.36安全要求。《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646-2011第5.5.1條在發(fā)生火災(zāi)時(shí)，及時(shí)切斷硅烷氣源是關(guān)鍵的。如果在沒有切斷氣源時(shí)就撲滅了火焰，有可能泄漏的硅烷大量聚集后發(fā)生爆燃或爆炸，造成更大的損失。如果不能切斷氣源，就應(yīng)該讓鋼瓶燃燒至熄滅為止。4.3.37新增強(qiáng)條。按照《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》GBZ1要求，對(duì)于逸散粉塵的生產(chǎn)過程，應(yīng)對(duì)產(chǎn)塵設(shè)備采取密閉措施；設(shè)置適宜的局部排風(fēng)除塵設(shè)施對(duì)塵源進(jìn)行控制；生產(chǎn)工藝和粉塵性質(zhì)可采取濕式作業(yè)的，應(yīng)采取濕法抑塵。當(dāng)濕式作業(yè)仍不能滿足衛(wèi)生要求時(shí)，應(yīng)采用其他通風(fēng)、除塵方式。4.3.38安全要求?！短胤N氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646-2011第5.2.6條本條規(guī)定了硅烷充裝站逃生門的開啟方式。為了便于逃生疏散，從站內(nèi)向站外的疏散門不能采用閉鎖方式，以免人員在緊急的情況下缺乏足夠的判斷力而不能打開疏散門，建議采用逃生用快開式推杠鎖。從站外向站內(nèi)不能隨便進(jìn)入，從站內(nèi)向外，保證疏散通道的隨時(shí)暢通。4.3.39原有強(qiáng)條《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，8.2.1（2）條（強(qiáng)制性條文）本款為強(qiáng)制性條款。還原廠房為甲類廠房，為了保證人員安全，廠房內(nèi)不應(yīng)設(shè)置常駐人的辦公室和休息室。其他輔助用房和衛(wèi)生間需要設(shè)置時(shí)，應(yīng)在端墻一端貼鄰設(shè)置，并應(yīng)采用具有耐火極限不低于3.0h的防爆防護(hù)功能的墻相隔。由于是甲類廠房，當(dāng)防爆防護(hù)墻兼作防火墻時(shí)，耐火極限不應(yīng)低于4.0h，防爆墻上的門應(yīng)為防爆防火門且向疏散方向開啟。4.3.40原有強(qiáng)條《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，8.2.1（3）條（強(qiáng)制性條文）本款為強(qiáng)制性條款。當(dāng)工藝生產(chǎn)上要求在還原廠房內(nèi)設(shè)置一些輔助用房時(shí)，如調(diào)功器室、變壓器室、高壓啟動(dòng)室、爐體冷卻水系統(tǒng)、空調(diào)機(jī)房、爐體清洗、工具間、人員和物料凈化用室等，為了保護(hù)設(shè)施和人員的安全，這些輔助用房應(yīng)布置在其他隔間或防火區(qū)內(nèi)，不同的防火分區(qū)應(yīng)該用防火墻、防火樓板分隔，和還原爐大廳貼鄰的房間還應(yīng)設(shè)置防爆防護(hù)隔墻。廠房的平面布置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016中的有關(guān)規(guī)定。4.3.41原有強(qiáng)條《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，8.3.1（2）條（強(qiáng)制性條文）還原廠房中的還原爐室是建筑重點(diǎn)防護(hù)部位。工藝生產(chǎn)中的主要易燃、易爆危險(xiǎn)性物料有三氯氫硅甲類（易燃液體）、氫氣甲類（易燃易爆氣體），主要危險(xiǎn)是三氯氫硅因操作失誤引起的火災(zāi)爆炸和氫氣泄漏后的聚集空氣混合體的閃爆，所以為了減小爆炸造成建筑主體結(jié)構(gòu)的破壞，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)在外墻面和屋面設(shè)置足夠的泄爆面積。根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定，公式中的C值大于或等于0.25，以此算出的泄爆面積較大，所以不但屋面要全部作泄爆面積，墻面的相當(dāng)一部分也要作泄爆面積。泄爆面積可以是輕質(zhì)屋蓋、輕質(zhì)墻體、易于泄壓的帶有安全玻璃的門窗?，F(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016要求，作為泄壓的屋蓋和墻體應(yīng)采用易于脫落的輕質(zhì)材料，輕質(zhì)材料最好具有易碎性質(zhì)，其部件自重不得大于60kg/m2，其材料的燃燒性能為A級(jí)。在滿足計(jì)算泄壓面積的情況下，還應(yīng)在還原爐與貼鄰的匯流排之間設(shè)置具有一定防爆防護(hù)功能的半高隔墻。4.3.42原有強(qiáng)條《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，8.2.1（5）條（強(qiáng)制性條文）本款為強(qiáng)制性條款。廠房為甲類多層，應(yīng)設(shè)封閉樓梯間，考慮到還原爐裝置的易燃易爆性，為了保護(hù)疏散人員的安全，直通還原爐爐室的樓梯應(yīng)為封閉樓梯間，并布置具有防爆防護(hù)功能的前室（即雙門斗）。4.3.43原有強(qiáng)條《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，8.3.1（3）條（強(qiáng)制性條文）防爆防護(hù)墻上的門應(yīng)為防爆門，耐火極限不低于0.90h，當(dāng)防爆防護(hù)墻兼作防火分區(qū)的防火墻時(shí)，防爆門應(yīng)兼具防火門功能，它的耐火極限不低于1.20h，且開啟方向朝向疏散方向。4.3.44原有強(qiáng)條《多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》GB51034-2014，8.3.2（2）條（強(qiáng)制性條文）由于制氫站廠房為甲類火險(xiǎn)，且易燃易爆，涉及人員及重要設(shè)施安全，因此本款為強(qiáng)制性條款。制氫廠房中的制氫裝置間在防火防爆設(shè)計(jì)中為防護(hù)重點(diǎn)。目前制氫大