真空區(qū)域的劃分

為了研究真空和實(shí)際應(yīng)用方便，常把真空劃分為粗真空、低真空、高真空和超高真空四個(gè)等級(jí)。隨著真空度的提高，真空的性質(zhì)將逐漸變化，并經(jīng)歷由氣體分子數(shù)的量變到真空質(zhì)變的過(guò)程。1.粗真空(1×105－l×102Pa)

在粗真空狀態(tài)下，氣態(tài)空間的特性和大氣差異不大，氣體分子數(shù)目多，并仍以熱運(yùn)動(dòng)為主，分子之間碰撞十分頻繁。氣體分子的平均自由程很短。通常，在此真空區(qū)域，使用真空技術(shù)的主要目的是為了獲得壓力差，而不要求改變空間的性質(zhì)。電容器生產(chǎn)中所采用的真空浸漬工藝所需的真空度就在此區(qū)域。2．低真空(1×102－1×10-1Pa)

此時(shí)每立方厘米內(nèi)的氣體分子數(shù)為1016－1013個(gè)。氣體分子密度與大氣相比有很大差別。氣體中的帶電粒子在電場(chǎng)作用下，會(huì)產(chǎn)生氣體導(dǎo)電現(xiàn)象。這時(shí)。氣體的流動(dòng)也逐漸從粘稠滯流狀態(tài)過(guò)渡到分子狀態(tài)，這時(shí)氣體分子的動(dòng)力學(xué)性質(zhì)明顯，氣體的對(duì)流現(xiàn)象完全消失。因此，如果在這種情況下加熱金屬，可基本上避免與氣體的化合作用，真空熱處理—般都在低真空區(qū)域進(jìn)行。此外，隨著容器中壓強(qiáng)的降低，液體的沸點(diǎn)也大為降低，由此而引起劇烈的蒸發(fā)，而實(shí)現(xiàn)所謂“真空冷凍脫水”。在此真空區(qū)域，由于氣體分子數(shù)減少，分子的平均自由程可以與容器尺寸相比擬。并且分子之間的碰撞次數(shù)減少，而分子與容器壁的碰撞次數(shù)大大增加。3．高真空(1×10-1－1×10-6Pa)

此時(shí)氣體分子密度更加降低，容器中分子數(shù)很少。因此，分子在運(yùn)動(dòng)過(guò)程個(gè)相互間的碰撞很少，氣體分子的平均自由程已大于一般真空容器的線度，絕大多數(shù)的分子與器壁相碰撞。因而在高真空狀態(tài)蒸發(fā)的材料，其分子(或微粒)將按直線方向飛行。另外，由于容器中的真空度很高，容器空間的任何物體與殘余氣體分子的化學(xué)作用也十分微弱。在這種狀態(tài)下，氣體的熱傳導(dǎo)和內(nèi)摩擦已變得與壓強(qiáng)無(wú)關(guān)。4．超高真空(＜1×10-6Pa)

此時(shí)每立方厘米的氣體分子數(shù)在1010個(gè)以下。分子間的碰撞極少，分子主要與容器壁相碰撞。超高真空的用途之一是得到純凈的氣體，其二是獲得純凈的固體表面。此時(shí)氣體分子在固體表面上是以吸附停留為主。利用真空技術(shù)可獲得與大氣情況不同的真空狀態(tài)。由于真空狀態(tài)的特性，真空技術(shù)已廣泛用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)和高新技術(shù)的研究等領(lǐng)域。電子材料、電子元器件和半導(dǎo)體集成電路的研制和生產(chǎn)與真空技術(shù)有著密切的關(guān)系。真空單位：1Toor＝1Pa=Torr1Pa=1N/m21Torr=1mmHg1mmHg=101,325/760N/m2(1大氣壓=101,325N/m2)維護(hù)部分、機(jī)械真空泵的維護(hù)和保養(yǎng)：

（1）泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔。

（2）泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中應(yīng)保持油箱內(nèi)油量不得低于油標(biāo)中心。

（3）不同種類和牌號(hào)的真空泵油不可混合使用。

（4）泵在使用中溫升不能超過(guò)70℃。

（5）新泵在使用100h左右應(yīng)換1～2次油，待換下的油內(nèi)不再發(fā)現(xiàn)含黑色金屬粉末后，可加長(zhǎng)換油期限。

根據(jù)說(shuō)明書(shū)規(guī)定和使用實(shí)際情況來(lái)確定換油期限。

（6）新泵和修理后的泵應(yīng)現(xiàn)作運(yùn)轉(zhuǎn)試驗(yàn)4～6h，檢查泵是否符合使用要求。

（7）泵使用較長(zhǎng)時(shí)間以后（2～3年不等），極限真空度下降，應(yīng)進(jìn)行一次檢修。同時(shí)也應(yīng)對(duì)系統(tǒng)、管道、閥門和電動(dòng)機(jī)等加以清洗、檢修。

（8）泵在使用中，因系統(tǒng)損壞等特殊事故，或進(jìn)氣口突然暴露大氣時(shí)，應(yīng)盡快停泵，并切斷與系統(tǒng)連接的真空管（關(guān)低真空閥或夾真空夾），防止噴油，污染工作場(chǎng)地。

（9）泵上所有機(jī)件，非絕對(duì)必要，切勿自行拆卸。

（10）泵不用時(shí)，應(yīng)用橡皮塞（帽）把進(jìn)氣口塞好，以免贓物和硬質(zhì)東西落入泵內(nèi)。

（11）經(jīng)常注意真空技術(shù)發(fā)展動(dòng)向，盡量及早地引入新技術(shù)、新材料（如新泵油等），以改進(jìn)原有系統(tǒng)的性能。

以上數(shù)點(diǎn)，可按具體情況，訂出相應(yīng)操作規(guī)程，嚴(yán)格施行。、整套設(shè)備的日常維護(hù)：（1）操作人員要熟悉各種儀表、泵，設(shè)備的各部分。閱讀并理解各種說(shuō)明書(shū)。

（2）冷卻水水壓應(yīng)保持～Mpa之間，出水溫度≤45℃。

（3）壓縮空氣壓力在～Mpa之間。

（4）每爐開(kāi)機(jī)前，要檢查保護(hù)氣的氣瓶容量，以免氣體充不足，更換氣瓶。

（5）開(kāi)機(jī)后如有異常情況，應(yīng)立即排除或停機(jī)查找原因。

（6）經(jīng)常檢查各部分的回水量，工作時(shí)應(yīng)保證各部分有充足的冷卻水。

（7）設(shè)備停止使用時(shí)，應(yīng)將爐內(nèi)氣體抽空，長(zhǎng)時(shí)間不用，要充入保護(hù)性氣體，并把設(shè)備水冷套內(nèi)的循環(huán)水放掉，并用氣壓沖洗。

（8）機(jī)械泵、羅茨泵應(yīng)定期換油加油，羅茨泵的油杯中要保持一直有油。換油時(shí)一定要把廢油放干凈。

（9）擴(kuò)散泵換油時(shí)，內(nèi)部如有氧化，要把擴(kuò)散泵內(nèi)部的氧化層處理干凈，然后再換上新油。

（10）充入的保護(hù)性氣體，純度不應(yīng)小于%。

（11）本設(shè)備不允許使用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為保護(hù)氣氛。

（12）設(shè)備表面及儀表表面要保持清潔，擦拭爐體內(nèi)壁不允許有帶有水份及沾有非真空類用油的抹布擦拭。

（13）氣動(dòng)系統(tǒng)的氣動(dòng)三連件上的油水分離器要經(jīng)常放水，空壓機(jī)也需經(jīng)常排水，油霧器內(nèi)應(yīng)注入真空擴(kuò)散泵油。

（14）設(shè)備的整機(jī)電壓要保證在350～420V范圍內(nèi)。三相要平衡。

（15）規(guī)管、電接點(diǎn)壓力表、熱偶等處要經(jīng)常涂上擴(kuò)散泵油，使之與座之間形成一層油膜，防止漏氣。以上各部分及法蘭連接處不允許長(zhǎng)期使用真空封泥密封。

（16）各部分的螺栓定期檢查，如發(fā)現(xiàn)松動(dòng)，及時(shí)擰緊。

（17）設(shè)備工作時(shí)，注意觀察各儀表的顯示情況，及各泵的聲音，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常，找出問(wèn)題。

（18）設(shè)備的使用環(huán)境，在相對(duì)濕度85%以下，溫度在10～40℃。在拆修設(shè)備時(shí)，各部分不許用重錘敲擊，密封面、密封槽不許劃傷。

（19）設(shè)備在工作時(shí)，操作人員不得長(zhǎng)時(shí)間離崗。（20）起靶時(shí)禁止觸摸靶，防止高壓電擊（600-800V）。維修部分真空設(shè)備維修的要點(diǎn)：

維修真空設(shè)備的要點(diǎn)是判斷故障。往往是真空抽不上去，原因可能有幾個(gè)，一定要搞清楚是什么原因，也許真空機(jī)組的抽氣能力不夠，也可能是漏率偏高，又或者兩種可能都有。這時(shí)，應(yīng)該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時(shí)間相同，而真空度偏低，這時(shí)候關(guān)閉主閥，如真空計(jì)指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，這時(shí)候應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計(jì)指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠，這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門的問(wèn)題上來(lái)，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴(kuò)散泵油污染了，氧化了；或是前級(jí)管路密封不好，泵油不足；或是泵油乳化，軸封漏油等故障。

一、檢測(cè)漏率：

用戶最頭疼的問(wèn)題就是檢測(cè)漏率。漏——分內(nèi)漏和外漏，外漏比較好檢測(cè)，內(nèi)漏則難辦些。較大的漏點(diǎn)可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)附近逐步查尋，會(huì)發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移，則可找到漏點(diǎn)。

（1）

小漏和微漏的查找：

小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對(duì)某些氣體反應(yīng)敏感來(lái)檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點(diǎn)時(shí)，電離計(jì)的指針會(huì)有明顯擺動(dòng)。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了——也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。最好是反復(fù)幾次，確認(rèn)漏點(diǎn)。

（2）

內(nèi)漏和外漏的查找：

內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上，查外漏沒(méi)有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn)，但是卻有以下現(xiàn)象：機(jī)械泵的抽速明顯偏低、真空計(jì)示值低、機(jī)械泵油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。例：有一臺(tái)25㎏中頻爐，配有2X—70旋片泵和兩臺(tái)ZJ—150羅茨泵加到一起抽也只抽到10Pa，ZJ—150泵的作用顯現(xiàn)不出來(lái)，沒(méi)發(fā)現(xiàn)有外漏，卻具備了機(jī)械泵油很快乳化，真空室內(nèi)鐵基件明顯銹蝕的條件，解體設(shè)備清理干凈后用通冷卻水的方法查出是爐蓋漏水，剩下就是查出漏點(diǎn)。先把內(nèi)壁清理干凈，再通冷卻水，看有無(wú)濕潤(rùn)點(diǎn)，濕潤(rùn)處就是漏點(diǎn)。

二、故障點(diǎn)的處理：

找出故障點(diǎn)就可以因地制宜地進(jìn)行處理了，簡(jiǎn)單的辦法就是換件，小到膠圈，螺栓；大到閥門，真空泵，只要手頭上有的都可以換。對(duì)于需要焊接的部位應(yīng)按要求來(lái)進(jìn)行，焊接后還需確認(rèn)是否達(dá)到了要求。三、維修時(shí)要注意的環(huán)節(jié)：

維修應(yīng)注意幾個(gè)環(huán)節(jié)。即拆卸、清潔、檢驗(yàn)及裝配。

真空設(shè)備無(wú)論大小都屬于精密機(jī)械設(shè)備，這點(diǎn)很重要。拆卸應(yīng)遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲。

清洗零件時(shí)要干凈，徹底，以便于發(fā)現(xiàn)問(wèn)題和查出隱患。真空泵類產(chǎn)品與一般機(jī)械產(chǎn)品有較大區(qū)別，一般機(jī)械產(chǎn)品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手應(yīng)多加小心，切記。千萬(wàn)別把楞角倒去。

檢驗(yàn)是個(gè)細(xì)致活，每個(gè)細(xì)節(jié)都不要落掉，任何細(xì)微的地方都可能是問(wèn)題所在，所以不能存在僥幸心理。

不論是用汽油還是其他溶劑清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶劑徹底揮發(fā)了才能進(jìn)行裝配。真空泵油若與其他的油或溶劑或水混合會(huì)破壞其性能，影響真空泵的性能指標(biāo)。膠圈要擦干凈，仔細(xì)檢查有無(wú)缺陷和裂紋，尺寸是否正確，尺寸不對(duì)將影響密封。凡是有加熱位置的膠圈，每次拆卸清洗時(shí)必須換，比如油增壓泵各個(gè)接口，裝配時(shí)泵件同樣需要輕拿輕放；緊螺絲時(shí)用力要均，要從對(duì)角緊起。動(dòng)密封多用軸封，上軸封時(shí)要細(xì)心，先檢查軸封本身有無(wú)缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何，在軸封內(nèi)側(cè)可薄薄地涂上一層真空脂，上軸封時(shí)用力要均，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會(huì)漏油、漏氣，軸封簧別擠進(jìn)去，沒(méi)了軸封簧軸封就失效了。注意軸封與軸的同心度，有的泵是用對(duì)輪連接的，對(duì)輪的同軸性要求很嚴(yán)格，裝配時(shí)要從軸的四面去量，保證平行一致。羅茨泵的對(duì)齒輪調(diào)整的關(guān)鍵是兩個(gè)8型齒輪不相碰。

擴(kuò)散泵的內(nèi)壁和噴射塔清洗干凈后最好用電力紡擦干。由于國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的擴(kuò)散泵主要靠電爐絲的長(zhǎng)短來(lái)控制泵油的溫度，擴(kuò)散泵油的注入量就需要考慮當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)的實(shí)際情況來(lái)酌量增減。泵的口徑大小不一樣注油量也有差別，電網(wǎng)的電壓低油可以減少2mm，只要是干凈的鋼板尺或鐵絲都可以用來(lái)測(cè)量。由于制造和使用上的差別，擴(kuò)散泵注油量?jī)H供參考。

維修切記不可操之過(guò)急，故障沒(méi)搞清楚就想當(dāng)然的開(kāi)始動(dòng)手拆卸，舊病未除又添新病，把簡(jiǎn)單的問(wèn)題復(fù)雜化了。

、幾種情況下處理方式：

應(yīng)急處理

（1）高溫時(shí)斷水、斷電.真空設(shè)備最怕的就是高溫時(shí)斷水、斷電。因此用戶最好在設(shè)備安裝時(shí)建有備用水箱或連有自來(lái)水管。

設(shè)備在高溫時(shí)斷水、斷電，此時(shí)，泵、閥門均應(yīng)處于關(guān)閉狀態(tài)，操作人員應(yīng)馬上接通備用水或自來(lái)水，對(duì)設(shè)備進(jìn)行水冷，如不能很快來(lái)電，還應(yīng)打開(kāi)充放氣系統(tǒng)的手動(dòng)充氣閥，對(duì)設(shè)備進(jìn)行充氣保護(hù)，充氣壓力為MPa左右。然后，把控制柜上的所有按鈕關(guān)至“關(guān)”的位置。同時(shí)用濕毛巾搭在電極引出接口處，定期更換，以免電極接口過(guò)熱，造成密封圈損壞。

（2）更換充氣氣瓶.設(shè)備所用充氣氣瓶需更換時(shí)，拆掉穩(wěn)壓閥，換上一瓶新氣，一定要注意安裝時(shí)不許漏氣。在換上新氣瓶后，在工件沒(méi)加熱前，應(yīng)在抽空過(guò)程中對(duì)爐內(nèi)充氣，以便在換氣瓶過(guò)程中造成的管路內(nèi)存有的大氣抽出，使充氣管路保持清潔。

（3）正常工作時(shí)，發(fā)現(xiàn)設(shè)備突然漏氣，如馬上能找到泄露點(diǎn)，須用真空封泥把泄露點(diǎn)封住，待工作完畢后，再做處理。如不能確定泄露處，則應(yīng)立即停止工作，然后檢修。

（4）設(shè)備工作一段時(shí)間，一般50到70爐次，需清理打掃，把粉塵清出爐外，然后空爐工作一次。工作的方式是先抽空為真空度高于10-2Pa時(shí)加熱，加熱溫度一般高于正常使用溫度的20℃。在最高爐溫時(shí)保溫一個(gè)小時(shí)以上，然后自然冷卻。這樣使設(shè)備內(nèi)部空間保持清潔。應(yīng)急使用條件下設(shè)備出故障常規(guī)的維修可以按部就班地去做，應(yīng)急條件下設(shè)備出了故障，生產(chǎn)任務(wù)又急不可待，這種情況下，只要判斷故障準(zhǔn)確，采用手頭上現(xiàn)有的材料，真空封泥、真空封蠟、704硅膠、真空腔板等一切可用的材料。只要與在制品不發(fā)生沖突，就可以進(jìn)行修理。有一臺(tái)外地產(chǎn)的新鍍鏡機(jī)，正常工作月余，停機(jī)一天真空室門自己打開(kāi)了，用戶急于恢復(fù)生產(chǎn)，自行拆檢忙了兩天，沒(méi)有解決問(wèn)題。經(jīng)我們檢查發(fā)現(xiàn)是真空室門有缺陷，用真空封泥堵住缺陷，使用戶盡快地恢復(fù)了生產(chǎn)。有一臺(tái)中頻爐，低真空l(shuí)時(shí)工作正常，在6Pa時(shí)就放電，經(jīng)檢查發(fā)現(xiàn)是尖端放電造成的，根本解決問(wèn)題的辦法是大修，需時(shí)一周。根據(jù)用戶急于使用的要求，用704硅膠封閉了l放電的尖端，第二天就能正常生產(chǎn)。有一臺(tái)真空設(shè)備，供熱密封采用刀口法蘭，用戶不慎使無(wú)氧銅墊出現(xiàn)了“雙眼皮”，造成漏氣。該密封處的溫度低于l100℃，用戶急用，用焊錫將無(wú)氧銅墊焊平，再用乙醇將松香清洗干凈，解決了該處的密封問(wèn)題。應(yīng)急的原則是在不損壞設(shè)備和不影響在制品的條件

機(jī)械泵的常見(jiàn)故障及維修：一、旋片真空泵的使用

1、使用前，應(yīng)仔細(xì)新聞?dòng)浾弋a(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)，開(kāi)箱后應(yīng)檢查裝運(yùn)質(zhì)量。收好備品備件和技術(shù)文件，拆除排氣品防護(hù)件。按要求安裝，接線，試轉(zhuǎn)向。水泠泵接水。

2、為防止因返油與反轉(zhuǎn)而噴油，應(yīng)先開(kāi)啟泵口，按規(guī)定轉(zhuǎn)向把泵內(nèi)存油用手盤到油箱中。同時(shí)查看油位，應(yīng)在油標(biāo)中心以上，但不要滿油標(biāo)，多了要放出。

3、判斷轉(zhuǎn)向的輔助方法。把護(hù)套倒放在泵口上，如開(kāi)泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。聲音正常是正向，聲音異常是反向。

4、如在泵口配裝帶充氣電磁閥，一般應(yīng)橫裝，并與泵同時(shí)動(dòng)作。

5、相對(duì)濕度較高或被抽氣體中含水汽等可凝性蒸汽時(shí)，應(yīng)使用氣鎮(zhèn)閥。

6、按說(shuō)明書(shū)推薦選用真空泵油。注意酯類真空泵油不可與礦物油型真空泵油和其他油類混用，必須嚴(yán)格清洗后才能換入酯類真空泵油。

7、檢查泵的極限壓力以壓縮式水銀真空計(jì)為準(zhǔn)。全壓力計(jì)應(yīng)注意做好計(jì)與規(guī)管的配對(duì)校準(zhǔn)和備用比對(duì)規(guī)管。建議在規(guī)管與被測(cè)泵之間裝一球閥。不測(cè)時(shí)關(guān)閥，可延長(zhǎng)規(guī)管使用時(shí)間。

二、旋片真空泵的維修

1、首先要了解泵的類型、特點(diǎn)、現(xiàn)在狀況。了解使用要求，確定修理目標(biāo)。在進(jìn)行維修之前，準(zhǔn)備好檢測(cè)手段。

2、判斷故障，確診故障。判斷準(zhǔn)，可省事。確診要驗(yàn)證。

3、排除故障，先簡(jiǎn)后繁，先易后難。無(wú)須拆卸的不拆。以減少由于缺少專用工具和操作不當(dāng)引起新的損傷，減少位置變化和跑合運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間。一般的說(shuō)，拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的，否則形位公差就不保，轉(zhuǎn)子就報(bào)廢了。

4、有毒有害，有腐蝕性的泵，應(yīng)請(qǐng)用戶先行清洗，關(guān)告知必要的防護(hù)措施，以保障維修人員的健康。

5、故障分類：

建議把故障分為運(yùn)轉(zhuǎn)故障和性能故障。

運(yùn)轉(zhuǎn)故障可包括泵不轉(zhuǎn)，泵溫太高，漏油，漏水，最大功率超標(biāo)等。

性能故障可包括極限壓力、極限全壓力、抽氣效率、噪聲、噴油，氣鎮(zhèn)性能等不達(dá)標(biāo)或不能滿足要求。

三、故障判斷與診斷例舉

1、泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開(kāi)泵，以免加重故障。用手能盤動(dòng)和不能盤動(dòng)。

A、泵能盤動(dòng)而不轉(zhuǎn)。原因可以是聯(lián)軸器故障；皮帶打滑；電機(jī)接線有誤；電機(jī)損壞；電源沒(méi)電等。

B、不能盤動(dòng)或盤起來(lái)很重的，原因可以是因?yàn)槠饎?dòng)泵溫太低，泵油粘度太高；設(shè)計(jì)制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多（加油太多，或有水汽在泵中凝結(jié)，或在排氣管中凝結(jié)的水流回泵中）；有異物在泵內(nèi)（進(jìn)氣管中的焊渣、氧化物；旋片彈簧等泵零件的碎屑）；旋片變形卡住；發(fā)生了咬合（銅套、轉(zhuǎn)子、中壁、泵蓋、定子、軸承）。

2、泵溫太高。指低級(jí)排氣閥附近測(cè)得的最高油溫超過(guò)使用說(shuō)明書(shū)規(guī)定值。由于泵溫升高會(huì)使泵油粘度大幅下降，并使泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降；使橡膠件容易老化；熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵環(huán)境溫度太高，進(jìn)氣溫度太高，進(jìn)氣冷卻裝置失效，泵長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)入中壓力太高；水冷泵冷卻水量不足，循環(huán)水設(shè)計(jì)效果不佳；溫控水量調(diào)節(jié)閥失效等。

3、漏油。可以發(fā)生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標(biāo)、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處，氣鎮(zhèn)閥（例如2X-8）等部位?？捎擅芊饧匣?，安裝不當(dāng)，損壞失效，表面不平整、有雜質(zhì)、粗糙和鑄件疏松等引起。如果停泵后返油，油會(huì)進(jìn)入氣鎮(zhèn)閥，不關(guān)氣鎮(zhèn)閥可能會(huì)漏油。

自制橡膠墊時(shí)，一定要用耐油橡膠，要按照原設(shè)計(jì)形狀，密封面太大時(shí)壓不緊會(huì)漏油。

4、漏水?？梢园l(fā)生在水管頭，水套悶蓋平面，放水孔螺塞，放水閥等處，水套鉆穿，鑄件缺陷，凍裂，也可能導(dǎo)致漏水。

5、最大功率超標(biāo)?？捎砷L(zhǎng)期連續(xù)工作入口壓力太高、排氣壓力太高、雜物進(jìn)入發(fā)生咬合、泵溫太高、旋片等配合間隙太小、電壓太高、泵液返入泵內(nèi)太多等引起，會(huì)使電機(jī)損壞。應(yīng)盡量避免在最大功率附近長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。如果表面有沉積物，要定期拆開(kāi)清除。

6、極限壓力不過(guò)標(biāo)?？捎赏饴?、內(nèi)漏、油孔堵塞、泵油質(zhì)量不良或污染變質(zhì)、有水汽等到可凝性物質(zhì)、儀器儀表失真、泵運(yùn)轉(zhuǎn)不正常等引起。

外漏較多時(shí)、排氣口可看白色蒸汽。油標(biāo)處有較多氣泡，手在排氣口上感到排氣壓力。低級(jí)排氣閥處油面有較多氣泡。功率會(huì)有所增加。這時(shí)，首先應(yīng)檢查氣鎮(zhèn)閥是否已關(guān)好。由于新泵出廠每臺(tái)都在泵口測(cè)極限壓力，所以如有外漏現(xiàn)象，應(yīng)對(duì)泵口及管道、閥門、容器逐一檢查。外軸封失效、油杯無(wú)油、油孔悶頭漏氣也可造成外漏。內(nèi)漏可由泵內(nèi)的運(yùn)動(dòng)間隙、排氣閥等平面、排氣閥的密封面、內(nèi)軸封、泵蓋平面、進(jìn)氣管、氣鎮(zhèn)閥密封件等引起磨損、腐蝕、咬合會(huì)使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙加大。油孔阻塞時(shí)，打開(kāi)加油孔聽(tīng)，泵的噪聲會(huì)較輕，在油箱密封良好的情況下，如果手在排氣口上有被吸的感覺(jué)，排氣閥可能失效。

如果泵油清潔，長(zhǎng)期存放未用，可開(kāi)氣鎮(zhèn)閥凈化泵內(nèi)水汽。若無(wú)效，要檢查儀表。若泵油發(fā)黃發(fā)白已乳化，可全開(kāi)氣鎮(zhèn)，調(diào)大氣鎮(zhèn)量?jī)艋\(yùn)轉(zhuǎn)，必要時(shí)可在泵口放入適量氣體運(yùn)轉(zhuǎn)，可加快凈化過(guò)程。若抽入其他揮發(fā)性氣體或液體，要及時(shí)換油，必要時(shí)請(qǐng)洗油箱。有些泵，在級(jí)間氣道里會(huì)沉積泵液，為取得好的換油效果，要設(shè)法把沉積泵液排出。

極限壓力是用座式壓縮式水銀真空計(jì)測(cè)量的。用經(jīng)校準(zhǔn)的熱偶真空計(jì)等全壓力計(jì)測(cè)量時(shí)，測(cè)得值會(huì)增加。注意熱偶真空計(jì)的規(guī)管要配對(duì)校準(zhǔn)。建議備用一只同時(shí)校準(zhǔn)的規(guī)管，以備懷疑規(guī)管污染失真時(shí)進(jìn)行對(duì)比。

極限壓力升高會(huì)使高真空時(shí)段的抽氣效率下降，也會(huì)使極限全壓力升高?？梢詤⒄丈鲜鼋榻B來(lái)判斷、檢查、處理抽氣效率下降和極限全壓力升高的故障。

7、噪聲。泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，電機(jī)與泵軸承的噪聲，旋片等運(yùn)動(dòng)件是否滑暢、進(jìn)油量太多、風(fēng)扇、傳動(dòng)件產(chǎn)生的噪聲、進(jìn)氣量大，開(kāi)氣鎮(zhèn)運(yùn)轉(zhuǎn)、擋油板等泵內(nèi)零件松動(dòng)，安裝不平等引起振動(dòng)，都會(huì)影響泵的噪聲。

8、噴油。防止噴油用的油盒回油孔的大小、位置、密封狀況，擋油板的設(shè)計(jì)、安裝，排氣口部分的減霧器、擋油帽、油氣分離器，油位的高低，進(jìn)油量的大小，都會(huì)影響泵的噴油，泵口敞開(kāi)油大氣時(shí)，直聯(lián)泵排氣口的氣流速度可以高達(dá)30M/S，吹開(kāi)油面時(shí)，泵內(nèi)的循環(huán)油和氣流帶出的油就將考驗(yàn)防止噴油的各項(xiàng)措施。

四、其他，有些泵有油泵，有油分離器，有油路上的單向閥，有消霧器，有入口過(guò)濾器（防油蒸汽返流用），有入口灰塵過(guò)濾器等部件或附件，也要進(jìn)行檢查。油泵失效將使泵的潤(rùn)滑和密封失效，消霧器失效，有可能使排氣壓力升高，功率加大，損壞電機(jī)，入口過(guò)濾失效可使進(jìn)氣阻力增大，抽速下降，抽氣效率下降。

五、清洗。不宜浸洗，以免洗液進(jìn)入拼接轉(zhuǎn)子內(nèi)部，不易排出。

六、拆裝。要按照使用說(shuō)明書(shū)推薦和規(guī)定有序進(jìn)行，記好位置，合理擺放，以免錯(cuò)裝。

故障現(xiàn)象產(chǎn)生原因消除方法1）不能達(dá)到所要求的極限真空度。1．進(jìn)氣管路及連接處漏氣。1．排除漏氣因素或臨時(shí)用真空封泥封堵。2．所抽吸氣體溫度過(guò)高。2．在進(jìn)氣管路上加裝冷凝裝置，降低進(jìn)氣溫度。3．油量不足或油質(zhì)不對(duì)。3．增添新的機(jī)械泵用的真空油。4．真空油已污損。4．更換新的真空油。5．油溫太低。5．在嚴(yán)寒季節(jié)，室溫太低影響油溫度，等泵運(yùn)轉(zhuǎn)半小時(shí)后，方能進(jìn)入正常情況。6．排氣閥片損壞漏氣。6．更換新的排氣閥片。7．進(jìn)氣管路連接處橡膠墊圈損壞。7．更換新的橡膠密封墊圈。8．所抽吸氣體中含有可凝性蒸氣。8．須用氣鎮(zhèn)裝置或加裝蒸汽捕集裝置。9．機(jī)件損壞。9．使用年久，由于油封等零件磨損，不能保持原來(lái)間隙影響正常工作和真空度，須進(jìn)行修理或更新。10．選用真空計(jì)不對(duì)。10．應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)選用壓縮式真空計(jì)以測(cè)得的分壓強(qiáng)為準(zhǔn)，或以電真空計(jì)測(cè)得全壓強(qiáng)作參考。11.氣鎮(zhèn)閥開(kāi)啟11．關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥2）油溫過(guò)高。1．有雜物或鐵屑吸入泵體。1．將泵拆開(kāi)檢查修理，取出雜物。2．吸入氣體溫度過(guò)高。2．進(jìn)口管路上，裝冷卻裝置。3．冷卻水溫度過(guò)高或水量不足。3．降低冷卻水溫度或增加冷卻水流量。4.抽氣口與排氣口錯(cuò)誤連接4.抽氣管線與抽氣口連接5.供油管線堵塞5.斷開(kāi)泵連接，清洗并更換符合要求的油6.油蒸汽壓低于指標(biāo)6.更換符合要求的泵油7.缺油7.加油3）真空泵漏油。1．泵油、軸封損壞。1．換新的軸封。2．油箱螺釘松動(dòng)或墊片損壞。2．換新的墊片擰緊螺釘。4）泵運(yùn)轉(zhuǎn)不正常。1．泵潤(rùn)滑不良。1．檢查清理潤(rùn)滑系統(tǒng)。2．三角帶太松或太緊。2．調(diào)整三角帶的緊度。3．泵體內(nèi)有污物或磨損零件碎粒。3．將泵拆開(kāi)檢查排除之。5）煙塵或油霧過(guò)重1.油量過(guò)多1.減少油量2.氣鎮(zhèn)閥開(kāi)啟2.關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥3.濾油網(wǎng)損壞3.更換濾油網(wǎng)6）排氣速度太低1.抽氣與排氣管直徑太小或管長(zhǎng)度太長(zhǎng)1.更換成符合要求管線

2.油被污染2.更換泵油

3.主閥破損3.更換主閥4.進(jìn)氣口濾網(wǎng)被堵塞4.清洗濾網(wǎng)

5.泵油不對(duì)5.更換成要求泵油

6.真空系統(tǒng)泄漏6.修理泄漏處7.泵指標(biāo)低于系統(tǒng)要求7.更換成滿足要求泵羅茨泵的常見(jiàn)故障：羅茨泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?。其極限真空度可達(dá)5×10-2Pa，又稱機(jī)械增加泵。其工作原理是通過(guò)二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，通過(guò)容積的改變來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣和排氣。其工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。

維修保養(yǎng)：

①

應(yīng)經(jīng)常保持泵房環(huán)境清潔干燥。

②

應(yīng)經(jīng)常注意各部分潤(rùn)滑油的狀況，如發(fā)現(xiàn)不足時(shí)，應(yīng)及時(shí)補(bǔ)充。如發(fā)現(xiàn)不清潔時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換，并注意螺塞重新旋進(jìn)去時(shí)應(yīng)保證密封。泵工作壓差應(yīng)控制在旁通閥允許的壓差范圍內(nèi)，否則易燒壞電機(jī)。

③

在拆修時(shí)各部件不能用重錘敲打。

④

拆下的零件避免碰傷、擦毛。特別要注意密封面的平整光潔，否則會(huì)引起再裝配后漏氣現(xiàn)象，泵不能恢復(fù)原有性能。

⑤

拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙醚清洗，干燥后才能裝配。

⑥

裝配時(shí)要注意轉(zhuǎn)子兩端與左右側(cè)蓋的間隙，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與泵體的間隙按規(guī)定要求調(diào)整。

⑦

泵體左右側(cè)蓋之間之結(jié)合面均采用107樹(shù)脂（即室溫硫化硅橡膠）密封。

⑧

裝配前必須注意螺旋套方向，主動(dòng)軸上靠近電機(jī)一側(cè)為左旋，齒輪箱一側(cè)為右旋，從動(dòng)軸上則相反。故障故障原因采取措施真空度達(dá)不到要求被抽容器或連接管路漏氣消除被抽容器或連接管路漏氣本泵油封損壞漏氣（油杯中的油漏進(jìn)泵內(nèi)）更換油封本泵各部螺絲松動(dòng)扳緊松動(dòng)的螺絲聲音異常軸承疲勞損壞更換軸承轉(zhuǎn)子間隙發(fā)生變化拆下齒輪經(jīng)清洗后重新裝上并調(diào)整轉(zhuǎn)子之間間隙聯(lián)軸器疲勞損壞更換聯(lián)軸器齒輪疲勞損壞更換齒輪電機(jī)燒毀泵腔內(nèi)落入較大異物排除異物溢流閥銹死拆開(kāi)溢流閥清洗后重新裝回

油擴(kuò)散泵故障處理

（1）擴(kuò)散泵工作過(guò)程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關(guān)閉冷卻水。

（2）泵停止工作時(shí)，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。

（3）被抽氣體應(yīng)是干燥、無(wú)腐蝕、無(wú)灰塵的氣體。

（4）泵如暫時(shí)不用，保管期間應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕。并將冷卻水套內(nèi)的剩水吹凈。保存場(chǎng)地的室溫應(yīng)在10℃～40℃之間。

（5）泵在正常運(yùn)行時(shí)如突然出現(xiàn)性能變壞，應(yīng)先檢查加熱器是否正常。

（6）泵在長(zhǎng)期工作后，性能會(huì)逐漸變壞，應(yīng)定期檢修。

a.泵油是否減少或氧化，按相應(yīng)要求加油或更換處理。

b.零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用絲綢蘸乙醚或丙酮進(jìn)行擦洗，并置于80℃～100℃溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。

c.處理完后，按順序進(jìn)行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級(jí)噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。