半導(dǎo)體器件 微電子機(jī)械器件 第38部分：MEMS互連中金屬粉末膏體粘附強(qiáng)度測(cè)試方法 編制說明_第1頁
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《半導(dǎo)體器件微電子機(jī)械器件第38部分：MEMS互連中金屬粉末膏體粘附強(qiáng)度測(cè)試方法》（征求意見稿）編制說明部分：MEMS互連中金屬粉末膏體粘附強(qiáng)度測(cè)試方法》的制定，計(jì)劃編號(hào)料，包括轉(zhuǎn)化的IEC標(biāo)準(zhǔn)等。標(biāo)準(zhǔn)編制工作組也對(duì)行業(yè)內(nèi)有代表性的MEMS器件產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)編制工作組依照等同采用國際標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)編制要求，對(duì)國際標(biāo)準(zhǔn)IEC材料微結(jié)構(gòu)檢測(cè)方法等。當(dāng)前在國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)層面均尚未制定和發(fā)布過本標(biāo)準(zhǔn)采用翻譯法，等同采用IEC62047-38:2021，除編輯性修改外，標(biāo)準(zhǔn)于直徑為10um和500um的金屬粉末，測(cè)試時(shí)被測(cè)器件從準(zhǔn)靜態(tài)線性彎折到完全三、試驗(yàn)驗(yàn)證的分析、綜述報(bào)告，技術(shù)經(jīng)濟(jì)論證，預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效益、社會(huì)MEMS芯片由于具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高并能與微處理器集成等特點(diǎn)，成為智能傳感器的重要載體，是智能傳感領(lǐng)域的關(guān)鍵核心技術(shù)。IEC我國MEMS產(chǎn)品和技術(shù)，可等同采用，轉(zhuǎn)化和采用該國據(jù)，支撐MEMS器件的設(shè)計(jì)和制造，對(duì)保證產(chǎn)品質(zhì)量，競(jìng)爭力具有重要意義，同時(shí)為MEMS行業(yè)的發(fā)展發(fā)揮指導(dǎo)作五、以國際標(biāo)準(zhǔn)為基礎(chǔ)的起草情況，以及是否合規(guī)引用或者采用國際國外本標(biāo)準(zhǔn)采用翻譯法，等同采用IEC62047-38：2021《半導(dǎo)體器件微電子機(jī)械器件第38部分：MEMS互連中金屬粉末膏體粘附強(qiáng)度試驗(yàn)方法》，除編輯性修九、

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