1微機(jī)電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器性能檢測(cè)方法應(yīng)用最廣的一種氣體傳感器?；谖C(jī)電系統(tǒng)（MEMS,2泄漏監(jiān)測(cè)、臭味或異味監(jiān)測(cè)；另外，隨著健感器研究、生產(chǎn)、應(yīng)用企業(yè)，MEMS半導(dǎo)隨之增多。然而，國(guó)內(nèi)外卻沒有針對(duì)MEM有普遍適用性的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，促進(jìn)提升MEM3有社會(huì)公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)476項(xiàng)，授權(quán)開展CNAS行前列。針對(duì)氣體檢測(cè)儀器和氣體傳感器建蘇州慧聞納米科技有限公司是一家世界領(lǐng)先的從事智能氣體傳感器研盛頓州立大學(xué)、中科院研究生院、東南大學(xué)、武漢大學(xué)等。公司建有經(jīng)認(rèn)定的企業(yè)研發(fā)中心，已研發(fā)出針對(duì)多種有毒有害氣體（如甲醛、酒精、氨其中發(fā)明專利近20項(xiàng)。在昆山建成了國(guó)內(nèi)首條年產(chǎn)千萬級(jí)芯片的MEMS氣體傳感器生產(chǎn)線，同時(shí)公司作為智能氣體傳感器行業(yè)引領(lǐng)者，與中科院、清華等單位共同承擔(dān)科技部2030“面向新一代人工智能的新型感知器件和4成立了由蘇州市計(jì)量測(cè)試院為牽頭單位，蘇州慧聞納米有限公司等相關(guān)單位為協(xié)作單位的標(biāo)準(zhǔn)工作組，負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)的調(diào)研、起草、編制和修標(biāo)準(zhǔn)工作組工作人員對(duì)多家傳感器企業(yè)進(jìn)行了走訪調(diào)研，并參考類似和相關(guān)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)氣體傳感器的主要技術(shù)要求，深入研究、綜合分析、試依據(jù)相關(guān)法律、法規(guī)、政策，收集、整理全省的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、文件和資料，依托江蘇省納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)的技術(shù)支撐，由標(biāo)準(zhǔn)工作組工作人員根據(jù)前期調(diào)研、分析結(jié)果，進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)初期編制，完成相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)，編寫出“微機(jī)電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器性能檢測(cè)方法”地方標(biāo)準(zhǔn)草標(biāo)準(zhǔn)草案稿編制完成后，標(biāo)準(zhǔn)工作組在蘇州召開了標(biāo)準(zhǔn)稿件的征求意標(biāo)準(zhǔn)草案，此后，發(fā)布標(biāo)準(zhǔn)正式征求意見稿，在全省范圍內(nèi)征求各有關(guān)方討論征求意見回復(fù)及完成草案修改。組織標(biāo)準(zhǔn)預(yù)評(píng)審會(huì)對(duì)修改后的草案進(jìn)s6主要內(nèi)容包括：一、范圍；二、規(guī)范性引用文件；三、術(shù)語和定義；MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的優(yōu)點(diǎn)有低功耗、高靈敏度、檢出限低、響應(yīng)時(shí)間快等。針對(duì)以上特點(diǎn)，標(biāo)準(zhǔn)中設(shè)置了傳感器最低檢測(cè)濃度項(xiàng)目，體現(xiàn)MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器檢出限低的優(yōu)勢(shì)。響應(yīng)時(shí)間項(xiàng)目主要反映傳感器的MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的缺點(diǎn)主要有選擇性差，易中毒等。標(biāo)準(zhǔn)中引入抗干擾氣體性能、抗中毒性能檢測(cè)項(xiàng)目，通過將傳感器暴露在已知或使用方要求的干擾氣體或毒性氣體中，定量測(cè)試傳感器暴露后的響應(yīng)情況，除了常規(guī)條件下的性能檢測(cè)，標(biāo)準(zhǔn)還涉及了溫濕度影響試驗(yàn)、長(zhǎng)期穩(wěn)方法驗(yàn)證試驗(yàn)以MEMS甲烷半導(dǎo)體氣體傳感器為例，傳感器尺寸約為5mm×5mm×1mm，額定工作電壓為3.3V，標(biāo)識(shí)測(cè)量范圍為(500～10000）試驗(yàn)，檢測(cè)裝置由制造商（蘇州慧聞納米科技有限公司7MEMS甲烷半導(dǎo)體氣體傳感器實(shí)物圖傳感器檢測(cè)裝置實(shí)物圖試驗(yàn)方法：將傳感器從檢測(cè)裝置上取下，只將檢測(cè)裝置連接到功率計(jì)讀取檢測(cè)裝置的功率值W0，將傳感器安裝在檢測(cè)裝置上，再將檢接到功率計(jì)上，給檢測(cè)裝置施加傳感器額定工作電壓，待功率計(jì)顯示的功率值穩(wěn)定后，讀取功率值W0C，兩者只差即為傳感器的功率WC。8試驗(yàn)數(shù)據(jù)檢測(cè)裝置功率/mW檢測(cè)裝置+傳感器功率/mW傳感器功率/mW40.9101.860.9試驗(yàn)方法：將傳感器檢測(cè)裝置放置于濃度試驗(yàn)箱中預(yù)熱穩(wěn)定后，記錄試驗(yàn)數(shù)據(jù)V0/VVs/VVr/VVi/V0.0281.2921.2911.2941.2941.2951.2961.2981.2071.2991.298試驗(yàn)方法：將傳感器檢測(cè)裝置放置于濃度試驗(yàn)箱中預(yù)熱穩(wěn)定后，注入試驗(yàn)氣體，使?jié)舛仍囼?yàn)箱內(nèi)的氣體濃度達(dá)到2000μmol/mol（5000μ9試驗(yàn)數(shù)據(jù)mol/mol基礎(chǔ)信號(hào)值/V通氣穩(wěn)定后輸出信號(hào)值/V差值/V20002.230.9850002.4580002.54試驗(yàn)方法：將傳感器檢測(cè)裝置放置于濃度試驗(yàn)箱中預(yù)熱穩(wěn)定后，記錄檢測(cè)裝置輸出信號(hào)值V0，注入試驗(yàn)氣體，使箱內(nèi)的氣體濃度達(dá)到2000μmol/mol，并開始計(jì)時(shí)，保持3min，記錄傳感器檢測(cè)裝置輸出信號(hào)值Vs。將濃度試驗(yàn)箱內(nèi)氣體排凈，待傳感器在潔凈空氣中穩(wěn)定后，重新迅速注入上述試驗(yàn)氣體并開始計(jì)時(shí)，記錄檢測(cè)裝置輸出信號(hào)值達(dá)到Vs的90%的時(shí)間氣體濃度下達(dá)到穩(wěn)定值后，將傳感器檢測(cè)裝置迅速移出濃度試驗(yàn)箱至潔凈空氣中并開始計(jì)時(shí)，記錄檢測(cè)裝置輸出信號(hào)試驗(yàn)數(shù)據(jù)氣體濃度/μmol/mol響應(yīng)時(shí)間恢復(fù)時(shí)間500021s試驗(yàn)方法：將傳感器檢測(cè)裝置放置于濃度試驗(yàn)箱中預(yù)熱穩(wěn)定后，記錄排空步驟，共檢測(cè)8h。試驗(yàn)數(shù)據(jù)02h4h6h8h漂移零點(diǎn)信號(hào)值15.2%標(biāo)氣信號(hào)值2.542.522.522.522.5312.7%將傳感器檢測(cè)裝置放置于濃度試驗(yàn)箱中預(yù)熱穩(wěn)定后，向濃度試驗(yàn)箱中中毒后試驗(yàn)數(shù)據(jù)mol/mol基礎(chǔ)信號(hào)值/V通氣穩(wěn)定后輸出信號(hào)值/V差值/V20000.930.2350000.960.3880000.960.51試驗(yàn)箱內(nèi)氣體排凈，打開濃度試驗(yàn)箱門，然后使環(huán)境試驗(yàn)箱內(nèi)溫度恢復(fù)至試驗(yàn)數(shù)據(jù)mol/mol基礎(chǔ)信號(hào)值/V通氣穩(wěn)定后輸出信號(hào)值/V差值/V20002.152.370.2250002.112.450.3480002.082.510.43試驗(yàn)箱內(nèi)氣體排凈，打開濃度試驗(yàn)箱門，然后使環(huán)境試驗(yàn)箱內(nèi)溫度恢復(fù)至試驗(yàn)數(shù)據(jù)（甲烷傳感器，標(biāo)識(shí)測(cè)量范圍：(500～10000）μmol/molmol/mol基礎(chǔ)信號(hào)值/V通氣穩(wěn)定后輸出信號(hào)值/V差值/V20000.940.2550000.980.4180000.46將傳感器檢測(cè)裝置放置于濃度試驗(yàn)箱中預(yù)熱穩(wěn)定后，將濃度試驗(yàn)箱放入環(huán)境試驗(yàn)箱內(nèi)，打開濃度試驗(yàn)箱門，按小于1℃/min的升溫速率升溫至試驗(yàn)箱內(nèi)氣體排凈，打開濃度試驗(yàn)箱門，然后使環(huán)境試驗(yàn)箱內(nèi)溫度恢復(fù)至試驗(yàn)數(shù)據(jù)mol/mol基礎(chǔ)信號(hào)值/V通氣穩(wěn)定后輸出信號(hào)值/V差值/V20002.070.1950002.190.3380002.270.44目前國(guó)內(nèi)外相關(guān)的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，多是針對(duì)氣體檢測(cè)儀器的，針對(duì)傳感器氣體傳感器主要作為氣體檢測(cè)儀器的重要組成部分，傳感器的檢測(cè)只由研發(fā)傳感器的制造商進(jìn)行，使用方關(guān)心的只是終端產(chǎn)品氣體檢測(cè)儀器能否通氣體傳感器體積微小，卻基本具備了氣體檢測(cè)儀器的功能，而且還可以作為檢測(cè)模塊集成在任何需要應(yīng)用的設(shè)備中，因此，氣體檢測(cè)儀器類標(biāo)準(zhǔn)已對(duì)于傳感器的檢測(cè)，可以參考?xì)怏w檢測(cè)儀器的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，但傳感器的檢測(cè)與氣體檢測(cè)儀器的檢測(cè)有很大不同。首先，傳感器體積很小，且易受氣流沖擊影響，不能像氣體檢測(cè)儀器那樣通過標(biāo)定罩實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣檢測(cè)，更多的需要應(yīng)用檢測(cè)試驗(yàn)箱。其次，傳感器檢測(cè)時(shí)記錄的為傳感器輸出信號(hào)值的標(biāo)準(zhǔn)，國(guó)內(nèi)有很多，但不完全適用于氣體傳感器的檢測(cè)，電化學(xué)是針對(duì)電化學(xué)、催化燃燒原理的氣體傳感器，半導(dǎo)體原理的氣體傳感器與上述兩種有所不同，家用和小型餐飲廚房用燃?xì)鈭?bào)警器及傳感器（GB/T34004-2017）是針對(duì)家用和小型餐飲廚房用氣體傳感器，參數(shù)選擇與試驗(yàn)方法上更注重家用和小型餐飲廚房用途，普適性不強(qiáng)。且以上有關(guān)氣體傳突出MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的優(yōu)勢(shì)，如功率能夠反映MEMS