DB34DB34/T3442—2019超高真空不銹鋼真空部件表面處理方法Surfacetreatmentmethodforultrahighvacuumstainlesssteelvacuumparts2019-11-04發(fā)布2019-12-04實(shí)施安徽省市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布I13.1.2清洗溶液應(yīng)定期檢測(cè)，根據(jù)檢測(cè)數(shù)據(jù)及時(shí)調(diào)整其化學(xué)成分含量，并保持在3.3.2焊接件真空密封部分應(yīng)采用密封焊，不允許有裂紋、漏焊、未焊透、氣孔3.3.3真空部件加工后粗糙度不大于R3.3.5不銹鋼真空部件在表面處理操作過(guò)程中，不應(yīng)與不銹鋼以外的材料接觸。23.4.1不銹鋼真空部件的真空度應(yīng)滿足10-5Pa~10-10Pa。3.5.4生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的廢水、廢氣以及不能再使用的化學(xué)清洗溶液應(yīng)按環(huán)境保4.3.2對(duì)于體積、形狀未超過(guò)清洗槽的不銹鋼真空部件采用槽內(nèi)浸泡方式，注意不銹鋼真空部4.3.3對(duì)于體積、形狀超過(guò)清洗槽的不銹鋼真空部件采用槽內(nèi)沖洗方式，注意不銹鋼真空部件4.3.4浸泡與沖洗過(guò)程中應(yīng)多次翻動(dòng)不銹鋼真空部件或攪拌汽油，使與真空部件表面接觸溶液4.4.2對(duì)于不同體積與形狀的不銹鋼真空部件采用槽內(nèi)浸泡方式，注意不銹鋼真空部件放置的4.4.3浸泡過(guò)程中可以完全浸泡的不銹鋼真空部件應(yīng)多次翻動(dòng)或攪拌酸洗液，加快酸洗過(guò)程。4.4.4當(dāng)不銹鋼真空部件表面氧化物、氧化皮成粉末（疏松）狀，或用不銹鋼絲刷等工具輕擦34.5.2電解拋光時(shí)，不銹鋼真空部件內(nèi)表面完全浸泡電解溶液內(nèi)，避免內(nèi)表面存在接觸或未電4.5.3機(jī)械拋光后，不銹鋼真空部件不應(yīng)有沙紋和麻紋路，不應(yīng)有毛坯面殘留，不應(yīng)殘留過(guò)熱4.6.1采用超聲清洗槽堿性溶液槽內(nèi)超聲振動(dòng)15min~20min。4.6.2對(duì)于不同體積與形狀的不銹鋼真空部件采用槽內(nèi)浸泡超聲振動(dòng)方式，注意不銹鋼真空部4.6.3不銹鋼真空部件清洗溫度為常溫，超聲功率10kW~32kW，超聲頻率20kHz~40kHz。4.8常溫去離子水沖洗在水溫80℃~100℃的去離子熱水槽中進(jìn)行燙洗，熱水燙洗的時(shí)間為5min~10min。4.11.2對(duì)于形狀簡(jiǎn)單，無(wú)隙縫的不銹鋼真空部件采用無(wú)4.12驗(yàn)收44.14.2無(wú)法在槽內(nèi)進(jìn)行酸洗鈍化的不銹鋼真空部件，可采用符合CB/T在天然散射光線或無(wú)反射光的白色透射光下進(jìn)行目視檢驗(yàn)。光的照度應(yīng)不低于300Lx（即相5硫酸H2SO4（98%)20%20℃~30℃鹽酸HCl（38%)48%水32%50%水50%3％～5%水97％～95%50％～60%50℃~