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激光多普勒干涉儀介紹美國光動公司(OPTODYNE,INC)1美國光動公司
OPTODYNE,INC.2美國光動公司總裁王正平教授3邁克遜干涉儀1860年MICHELSON干涉儀白光參考鏡反射鏡分光鏡探測器產(chǎn)生干涉測量光束參考光束5單頻激光干涉儀1960年單頻激光干涉儀激光角錐反射鏡角錐反射鏡分光鏡探測器測量光束參考光束產(chǎn)生干涉6線偏振光線偏振光雙頻激光干涉儀1970年雙頻激光干涉儀激光角錐反射鏡角錐反射鏡偏振分光鏡探測器測量光束參考光束產(chǎn)生干涉7激光多普勒干涉儀1985年LDDM電光調(diào)制、外差式激光角錐反射鏡探測器光電調(diào)制8位移測量安裝比較9對光方便10MCV-500主要技術(shù)指標(biāo)序號技術(shù)指標(biāo)名稱指標(biāo)1激光穩(wěn)定性0.1ppm(特殊訂貨可小于0.05ppm)2分辨率0.01微米3測量精度(不確定度)1ppm(特殊訂貨可小于0.5ppm)4測量范圍15米(特殊訂貨可加長到100米)5光靶最大移動速度3.6米/秒6電源電壓90~265VAC7電源頻率50~60赫8操作環(huán)境溫度5~38℃9高度0~3000米10相對濕度0~95%11MCV-500選購附件的測量功能振動測量角偏測量滾珠絲杠動態(tài)測量圓形軌跡主軸精度分軸步進對角線位移測量12直線位移測量靶標(biāo)反射鏡MCV-500反射鏡移動方向13非接觸主軸精度測量MCV-500主軸聚光鏡MCV-500+DI-50014陀羅徑向跳動曲線采樣:2000點/秒15低頻振動測量適用于最高為100Hz的低頻振動測量16中頻振動測量適用于最高為100KHz的中頻振動測量17高頻振動測量適用于極高頻率的振動測量18MC
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