公開中國團體標準電子器件微小漏率檢測方法Testmethodsforminorleakagedetectionofelectronicdevices北京電子儀器行業(yè)協(xié)會發(fā)布I1電子器件微小漏率檢測方法本標準適用于電子儀器行業(yè)中，檢測漏率要求在（1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s范圍內的行波管、速調管、光電器件、陀螺儀、功率開關器件等電子器件產品?？墒褂眠@些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本3.3累積比較法Cumulativec將被檢件泄漏的示漏氣體和標準氣體流量分別引對示漏氣體進行累積，用質譜計測量示漏氣體在質體流量所泄漏示漏氣體引起質譜計的變化率為標準常規(guī)氦質譜檢漏方法無法滿足漏率要求小于1×10-11Pa·m3/s的電子器件產品的漏率檢測。本方采用基于累積比較法的超靈敏度檢漏儀，適用于漏率范圍在（1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s的行波管、速調管、光電器件、陀螺儀、功率開關器件等電子器件的漏率檢測。2將被檢件泄漏的示漏氣體和超靈敏度檢漏儀內置標準氣體流量分別引入質譜分析室內，在質譜分析室切斷真空抽氣機組后對示漏氣體進行累積，用質譜計測量示漏氣體在質譜分析室內引起的離子流隨著時間的變化率，用標準氣體流量引起質譜計的變化率為標準，通過離子流變化率在一定范圍內的線性關系計算得到被檢件的漏率。 電子器件應有銘牌。銘牌一般應注明名稱、型號/規(guī)格、制造單位、出廠編號、工作溫度范圍等。c)周圍無影響正常檢測的電磁干擾，無劇烈振），超靈敏度檢漏儀：檢漏范圍1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s。標準氣體流量：流量范圍1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s，相對擴展不確定度≤15%（k=2）。被檢件外觀完好，無影響正常工作的機械損a）將被檢件10與超靈敏度檢漏儀連接好，啟動超靈敏度檢漏儀。b）打開閥門2、8、9，利用超靈敏度檢漏儀的真空抽氣機組1對被檢件10和內置標準氣體流量記錄質譜計6離子流示數(shù)的變化量ΔIig，計算得到質譜分析室3的本底示漏氣體離子流變化率Rig=ΔIig/Δt。d）打開閥門2、9，將質譜分析室3及連接管道抽真空。e）在真空計13的壓力示值小于5×10-6Pa后，關閉閥門2，將被檢件泄漏的氣體引入質譜分析室3中，累積與步驟c）相同的時間Δt，記錄質譜計6測量離子流示數(shù)的變化量ΔIiL，計算得到被檢件泄漏的示漏氣體引起的離子流變化率RiL=ΔIiL/Δt。f）關閉閥門9，打開閥門2、8，將質譜分析室3及連接管道空間抽真空。室3中，調節(jié)內置標準氣體流量，使在與步驟e）中相同的累積時間Δt內，質譜計6測量離子流的變化量ΔIiS與ΔIiL盡量接近。記錄內置標準氣體流量的流量值QiS和離子流的變化量ΔIiS，計算得到標準氣體流量引起的離子流變化率Ris=ΔIis/Δt，關閉閥門V8。i）測量結束后，關閉所有閥門和儀器設備。7檢漏結果的處理QiL=Qis.……………QiL——第i次檢漏超靈敏度檢漏儀測得的漏率值，Pam3/s；Qis——第i次檢漏超靈敏度檢漏儀內置標準氣體流量的漏率值，Pam3/s；Rig——第i次檢漏質譜分析室內本底引起的質譜計離子流變化率，A/s；Ris——第i次檢漏內置標準氣體流量引起的質譜計離子流變化率，A/s；RiL——第i次檢漏被檢件引起的質譜計離子流變化率，A/s。被檢件的平均漏率值Q由式（3）確定。1QiL……………QiL——第i次檢漏時超靈敏度檢漏儀測得的漏率值，Pam3/s；QL——被檢件的平均漏率值，Pam3/s。若被檢件的平均漏率值結果小于或等于被檢件允許漏率值，則該被檢件通過漏率測試。漏率檢測報告一般包括：檢漏日期、檢漏地點、環(huán)境溫度、環(huán)境濕度、儀器編號、檢漏方法、過程的測試數(shù)據(jù)以及檢漏人員等。4TestReportReportNo.編號S/N接收日期：AcceptanceDate：年月Month日Day檢測人：批準人：Approvedby:IssuedDate：YearMonth檢漏使用的主要測量標準設備名稱Equipments編號S/NCertNo./Traceto有效期至DueDate////ReferenceDocument（code、name）orDescriptionoftheU