《電子氣體鍺烷》標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿編制說明2一、工作簡況 電子級鍺烷主要用于集成電路技術(shù)領(lǐng)域，是一種性能極佳的高純氣體材料。鍺烷作為集成電路用量大、純度要求高的基礎(chǔ)材料，是國家重點鼓勵發(fā)展的產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)，符合《“十四五”推動高質(zhì)量發(fā)展的國家標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)規(guī)劃》中建設(shè)制造業(yè)高端化領(lǐng)域的材料標(biāo)準(zhǔn)的要求。電子級鍺烷是一種理想的電子蝕刻劑和清洗劑，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)和微電子技術(shù)領(lǐng)域，鍺烷的純度要求達到99.999%（5N）以上， 選擇性地與硅片的金屬基質(zhì)作用，用于等離子蝕刻和器件表面清洗，以滿足刻蝕精度和硅片良品率的要求。鍺烷是一種重要的無機化合物，主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中制備高純度鍺、外延和摻雜等過程。此外，鍺烷還在光電子領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，如制備異質(zhì)結(jié)二極晶體管等。在特殊領(lǐng)域，如電離輻射探測器中，鍺烷也有其獨特的應(yīng)用?，F(xiàn)行的電子用鍺烷標(biāo)準(zhǔn)（GB/T31987-2015）已經(jīng)執(zhí)行10年，隨著技術(shù)進步和市場變化，適用范圍、技術(shù)要求及試驗方法等內(nèi)容都需要修訂。2015版標(biāo)準(zhǔn)已無法滿足現(xiàn)代集成電路產(chǎn)業(yè)的要求，因此建議重新修訂該標(biāo)準(zhǔn)。通過對標(biāo)準(zhǔn)的修訂，旨在對生產(chǎn)和檢測提供指導(dǎo)性作用，對下游半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供質(zhì)量保障。有利于提高我國高端電子材料自給能力，推動電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)進步，擴大我國高純電子材料對外影響力，有效服務(wù)于國家戰(zhàn)略需求。根據(jù)國標(biāo)委發(fā)〔2024〕60號文，國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會于2024年下達了修訂計劃，修訂計劃號：20243662-T-469。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出，全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員氣體分會執(zhí)行。1.2工作過程的說明1.2.1起草階段2024年國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會下達了〔2024〕60號文，《電子氣體鍺烷》正式立項，標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員氣體分會歸口。為保證項目順利實施，全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員氣體分會組織昊華氣體有限公司西南分公司、廣東華特氣體股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、大連大特氣體有限公司、聯(lián)雄投資(上海)有限公司、杭州新世紀(jì)混合氣體有限公司、沈陽中復(fù)科金壓力容器有限公司、西南化工研究設(shè)計院有限公司等相關(guān)單位做了大量的前期調(diào)研及草案起草工作。標(biāo)準(zhǔn)起草小組首先開始搜集相關(guān)的資料，國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織（SEMI）制定的國際工業(yè)標(biāo)3準(zhǔn)中無鍺烷標(biāo)準(zhǔn)，起草小組對國際、國內(nèi)電子鍺烷產(chǎn)品生產(chǎn)情況進行了深入調(diào)研和分析，將國外產(chǎn)品的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和國內(nèi)實際生產(chǎn)情況相結(jié)合，于2025年2月份提出了標(biāo)準(zhǔn)的討論稿。2025年4月，標(biāo)準(zhǔn)起草小組在線上召開標(biāo)準(zhǔn)討論會，廣泛征求生產(chǎn)企業(yè)的意見。在此次討論會上，專家們就討論稿的基本結(jié)構(gòu)、范圍、技術(shù)指標(biāo)、檢驗方法等進行了認真的討論。提出了如下的意見：（1）鍺烷制備方法基本為以含鍺化合物為原料，因此建議適用范圍修改為以含鍺化合物為原料提純制備。（2）將標(biāo)準(zhǔn)正文表1中項目名稱中的“/10-2”放入技術(shù)指標(biāo)一欄，并修改為“×10-2”，將項目名稱中的“/10-6”放入技術(shù)指標(biāo)一欄，并修改為“×10-6”。（3）開展測定方法的驗證試驗。1.2.2征求意見階段2025年5月，起草小組根據(jù)2025年2月工作組會議討論的意見修改并提出了征求意見稿，在“全國標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺”、全國氣體標(biāo)準(zhǔn)化網(wǎng)站、以及發(fā)送主要生產(chǎn)、經(jīng)銷、使用、科研、檢驗等單位及大專院校，面向全社會廣泛征集修改意見。二國家標(biāo)準(zhǔn)編制原則和確定標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容起草小組參照了國外先進企業(yè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，做了大量的實驗工作，制定出了技術(shù)指標(biāo)和檢驗方法，現(xiàn)將有關(guān)情況說明如下：2.1標(biāo)準(zhǔn)名稱2021年7月，國家標(biāo)準(zhǔn)委下達了國家標(biāo)準(zhǔn)體系優(yōu)化試點工作任務(wù)，根據(jù)工作任務(wù)的要求，氣體分會對電子氣體領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)體系情況進行梳理、評估、優(yōu)化和重構(gòu)，形成了“1+6”的成果模式，即構(gòu)建了一個標(biāo)準(zhǔn)體系，形成了六個標(biāo)準(zhǔn)清單（整合一批、提出一批、修訂一批、廢止一批、轉(zhuǎn)化一批、采信一批逐步優(yōu)化提升了電子氣體國家標(biāo)準(zhǔn)體系的科學(xué)性、先進性和協(xié)調(diào)性。根據(jù)體系優(yōu)化工作的成果，電子氣體的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)名稱由“電子特氣”修改為“電子氣體”，因此本次修訂，將2015版的“電子工業(yè)氣體鍺烷”修改為“電子氣體鍺烷”。2.2適用范圍2.2.1合成鍺烷的方法主要采用以GeO2和NaBH4為原料的路線。其中，GeO2是鍺的氧化物，可以通過多種方法合成；NaBH4是一種活潑的還原劑，可以將GeO2還原為GeH4。在反應(yīng)中，首先將GeO2和NaOH反應(yīng)生成NaHGeO3，然后NaHGeO3再和NaBH4以及H2SO4反應(yīng)生成GeH4、Na2SO4和H3BO3。2.2.22015版標(biāo)準(zhǔn)適用于氯化鍺還原、電解氧化鍺的硫酸溶液、鍺鎂合金與鹽酸反應(yīng)等方法得到的鍺烷產(chǎn)品。本次修訂更改為：以含鍺化合物為原料提純制備的鍺烷。2.2.32015版的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鍺烷的使用領(lǐng)域、分子式及相對分子質(zhì)量。根據(jù)GB/T1.1-2020的要求，討論稿及征求意見稿刪除了鍺烷的使用領(lǐng)域，將分子式和相對分子質(zhì)量放入了附錄。2.3技術(shù)指標(biāo)的依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)起草小組首先開始搜集相關(guān)的資料，2015版鍺烷標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)指標(biāo)見表1。這種純度以及相關(guān)指標(biāo)的分析方法已經(jīng)不能適應(yīng)現(xiàn)在的發(fā)展需求，起草小組對國際、國內(nèi)電子鍺烷產(chǎn)品生產(chǎn)情況進行了深入調(diào)研和分析，國內(nèi)外較大規(guī)模客戶對電子鍺烷的要求見表2~表4。起草小組修改了2015版的技術(shù)要求，提出了討論稿技術(shù)要求，見表5。根據(jù)起草工作組會議的要求，起草小組修改了技術(shù)指標(biāo)，提出了征求意見稿，見表6。表12015版技術(shù)指標(biāo)鍺烷（GeH4）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2氫（H2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6<氧（O2）+氬（Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-62氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-62一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-61二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6≤1甲烷（CH4）含量(體積分?jǐn)?shù))/10-61水（H2O）含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6≤3表2客戶要求1乙鍺烷（Ge2H6體積分?jǐn)?shù)）三鍺烷（Ge3H8體積分?jǐn)?shù)）表3客戶要求2乙鍺烷（Ge2H6體積分?jǐn)?shù)）三鍺烷（Ge3H8體積分?jǐn)?shù)）表4客戶要求3乙鍺烷（Ge2H6體積分?jǐn)?shù)）三鍺烷（Ge3H8體積分?jǐn)?shù)）表5討論稿技術(shù)要求<50×10（氧+氬O+Ar）含量含量（摩爾分?jǐn)?shù)）<2×10氮（N)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）<2×10<1×10<1×10<1×10<3×10表6征求意見稿技術(shù)要求<50×10（氧+氬O+Ar）含量含量（摩爾分?jǐn)?shù)）<2×10氮（N)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）<2×10<1×10<1×10<1×10<3×102.4采樣2015版未單列采樣的要求，只規(guī)定了采樣安全符合GB/T3723《工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則》的要求，討論稿中將采樣的要求單列一章，并引用了GB/T43306《氣體分析采樣導(dǎo)則》，該標(biāo)準(zhǔn)等同采用ISO19230:2020，適用于鍺烷的采樣，因此本次制定直接引用。2.5關(guān)于試驗方法2.5.1純度計算鍺烷的純度采用差減法計算，2015版規(guī)定直接將所有雜質(zhì)含量減去得到純度。為了與技術(shù)要求相對應(yīng)，本次修訂規(guī)定先計算總雜質(zhì)含量，然后減去總雜質(zhì)含量計算純度。2.5.2氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的測定2015版規(guī)定采用GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》測定，本次修訂依然采用了GB/T28726規(guī)定的氦離子化氣相色譜法。根據(jù)工作組會議的要求，起草小組及標(biāo)準(zhǔn)驗證平臺作了試驗驗證工作，驗證結(jié)果見附件1。從檢測結(jié)果可以看出，GB/T28726規(guī)定的HID（氦離子化法）能全部測定鍺烷中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等雜質(zhì)含量，最小檢出濃度和靈敏度滿足測定需求，因此本次制訂采用GB/T28726規(guī)定的HID法。2.5.3水分含量的測定2015版標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定水分含量的測定是采用GB/T5832.3-2011《氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩光譜法》規(guī)定的方法，本次修訂依然采用GB/T5832.3規(guī)定的方法為仲裁法，并增加了GB/T5832.1-2011《氣體中微量水分的測定第1部分：電解法》、GB/T5832.2-2011《氣體中微量水分的測定第2部分：露點法》。2.5.5尾氣處理本次修訂增加對尾氣處理的要求，提出了原則性要求：測定鍺烷中的雜質(zhì)含量時，應(yīng)防止鍺烷環(huán)境的污染。2.6檢驗規(guī)則2015版未單列檢驗規(guī)則，本次修訂將“檢驗規(guī)則”單列，并完善了判定規(guī)則。2.7關(guān)于產(chǎn)品標(biāo)志、包裝、貯運及安全本次修訂參照了最新的有關(guān)法律法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)和國際化學(xué)品安全卡。2015版的規(guī)定比較雜亂，根據(jù)工作組會議的要求，將該章分成三部分內(nèi)容來編制1）標(biāo)志（2）包裝、運輸和貯存（3）安全信息，并將安全信息放入附錄A。2.7.1標(biāo)志（1）產(chǎn)品質(zhì)量合格證2015版規(guī)定合格證的內(nèi)容至少如下：a)產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，危險化學(xué)品生產(chǎn)許可證編號；b)生產(chǎn)日期或批號，充裝質(zhì)量（kgc)本標(biāo)準(zhǔn)號及技術(shù)指標(biāo)，檢驗員號。8根據(jù)最新的電子氣體標(biāo)準(zhǔn)體系中對產(chǎn)品質(zhì)量合格證的要求，將合格證的內(nèi)容修改如下：a)產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，危險化學(xué)品生產(chǎn)許可證編號；b)生產(chǎn)日期或批號，以及保質(zhì)期；c)充裝質(zhì)量（kg）；d)本文件號及鍺烷的純度。（2）2015版中規(guī)定：包裝容器上應(yīng)標(biāo)明“電子鍺烷”字樣，本次修訂更改為：包裝容器上應(yīng)涂刷“電子氣體鍺烷”字樣。（3）2015版中規(guī)定：氣瓶顏色標(biāo)記應(yīng)符合GB/T7144的規(guī)定。氣瓶的運輸標(biāo)志應(yīng)符合GB190的規(guī)。，顏色標(biāo)志應(yīng)符合GB/T7144的規(guī)定，標(biāo)簽應(yīng)符合GB/T16804、GB15258規(guī)定的要求。本次修訂依然采用這些規(guī)定2.7.2包裝、運輸和儲存（1）包裝鍺烷在常溫常壓下為具有刺鼻氣味的無色有毒氣體，極易燃。氣體比空氣重，可能沿地面流動，可能造成遠處著火。與空氣接觸時，鍺烷可能自燃。加熱到350℃以上和與氧化劑，如硝酸接觸時，鍺烷發(fā)生分解。我國對液化氣體氣瓶（鋼瓶）包裝的規(guī)定有GB/T5099（鋼制無縫氣瓶）、GB/T5100（鋼制焊接氣瓶）。由于鍺烷屬于高壓液化氣體，不能用焊接氣瓶，因此本次制定采用GB/T5099（鋼制無縫氣瓶）?！短胤N設(shè)備生產(chǎn)和充裝單位許可規(guī)則》、TSG23《氣瓶安全技術(shù)規(guī)程》中包括了對于氣瓶的安全使用和監(jiān)督監(jiān)察，因此本標(biāo)準(zhǔn)采用了此規(guī)程。（2）對氣瓶內(nèi)表面、瓶口處理的要求鋼制氣瓶、鋁合金氣瓶都可用于裝運鍺烷。2015版規(guī)定瓶閥出氣口連接方式推薦使用CGA350，本次修訂與2015版規(guī)定相同。（3）充裝的規(guī)定：由于GB/T14193《液化氣體氣瓶充裝規(guī)定》適用于鍺烷的充裝，因此本次修訂刪除了最大充裝量的計算公式，直接引用GB/T14193《液化氣體氣瓶充裝規(guī)定》。（4）運輸和儲存運輸車輛應(yīng)配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。嚴(yán)禁與氧化劑、食用化學(xué)品等混裝混運。裝運該物品的車輛排氣管必須配備阻火裝置。使用槽(罐)車運輸時應(yīng)有接地鏈，槽內(nèi)可設(shè)孔隔板以減少震蕩產(chǎn)生靜電。禁止使用易產(chǎn)生火花的機械設(shè)備和工具裝卸。夏季最好早晚運輸。運輸途中應(yīng)9防暴曬、雨淋，防高溫。中途停留時應(yīng)遠離火種、熱源、高溫區(qū)。公路運輸時要按規(guī)定路線行駛，勿在居民區(qū)和人口稠密區(qū)停留。鐵路運輸時要禁止溜放。嚴(yán)禁用木船、水泥船散裝運輸。運輸工具上應(yīng)根據(jù)相關(guān)運輸要求張貼危險標(biāo)志、公告。2.8安全信息2.8.1基本性質(zhì)鍺烷是有毒，易燃和無色的氣體。在室溫和大氣壓力下，具有特有的刺激性氣味。體。2.8.2危險性概述鍺烷是極端易燃氣體。內(nèi)裝高壓氣體；遇熱可能爆炸。吸入致命。鍺烷刺激眼睛、皮膚和呼吸道，可能對血液有影響，導(dǎo)致血細胞損害。接觸可能造成死亡2.8.3急救措施吸入：新鮮空氣，休息。立即給予醫(yī)療護理。皮膚接觸：脫去污染的衣著，用肥皂水和清水徹底沖洗皮膚。如有不適感，就醫(yī)。眼晴接觸：分開眼瞼，用流動清水或生理鹽水沖洗。立即就醫(yī)。食入：漱口，禁止催吐。立即就醫(yī)。對保護施救者的忠告：將患者轉(zhuǎn)移到安全的場所。咨詢醫(yī)生。出示此化學(xué)品安全技術(shù)說明書給到現(xiàn)場的醫(yī)生看。2.8.4消防措施滅火劑：用水霧、干粉、泡沫或二氧化碳滅火劑滅火。避免使用直流水滅火，直流水可能導(dǎo)致可燃性液體的飛濺，使火勢擴散。特別危險性：易燃，與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高熱易燃燒爆炸。在高溫火場中，受熱的容器有破裂和爆炸的危險。比空氣重，能在較低處擴散到相當(dāng)遠的地方，遇火源會著火回燃和爆炸（閃爆）。滅火注意事項及防護措施：切斷氣源。若不能切斷氣源，則不允許熄滅泄漏處的火焰。消防人員必須佩戴空氣呼吸器、穿全身防火防毒服，在上風(fēng)向滅火。盡可能將容器從火場移至空曠處。噴水保持火場容器冷卻，直至滅火結(jié)束。滅火劑：二氧化碳、干粉。2.8.5泄漏應(yīng)急處理作業(yè)人員防護措施、防護裝備和應(yīng)急處置程序：根據(jù)氣體擴散的影響區(qū)域劃定警戒區(qū)，無關(guān)人員從側(cè)風(fēng)、上風(fēng)向撤離至安全區(qū)。消除所有點火源。建議應(yīng)急處理人員穿內(nèi)置正壓自給式呼吸器的全封閉防化服。禁止接觸或跨越泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體通過下水道、通風(fēng)系統(tǒng)和有限空間擴散。噴霧狀水抑制蒸氣或改變蒸氣云流向，避免水流接觸泄漏物。禁止用水直接沖擊泄漏物或泄漏源。隔離泄漏區(qū)直至氣體散盡。環(huán)境保護措施：收容泄漏物，避免污染環(huán)境。防止泄漏物進入下水道、地表水和地下水。泄漏化學(xué)品的收容、清除方法及所使用的處置材料：小量泄漏：盡可能將泄漏液體收集在可密閉的容器中。用沙土、活性炭或其它惰性材料吸收，并轉(zhuǎn)移至安全場所。禁止沖入下水道。大量泄漏：構(gòu)筑圍堤或挖坑收容。封閉排水管道。用泡沫覆蓋，抑制蒸發(fā)。用防爆泵轉(zhuǎn)移至槽車或?qū)Ｓ檬占鲀?nèi)，回收或運至廢物處理場所處置。2.8.6操作處置與儲存禁止明火，禁止火花和禁止吸煙。密閉系統(tǒng)，通風(fēng)，防爆型電氣設(shè)備和照明。操作人員應(yīng)經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。操作處置應(yīng)在具備局部通風(fēng)或全面通風(fēng)換氣設(shè)施的場所進行。避免眼和皮膚的接觸，避免吸入蒸汽。遠離火種、熱源，工作場所嚴(yán)禁吸煙。使用防爆型的通風(fēng)系統(tǒng)和設(shè)備。如需罐裝，應(yīng)控制流速，且有接地裝置，防止靜電積聚。避免與氧化劑等禁配物接觸。搬運時要輕裝輕卸，防止包裝及容器損壞。倒空的容器可能殘留有害物。使用后洗手，禁止在工作場所進飲食。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。儲存注意事項：耐火設(shè)備(條件)。三、主要試驗（或驗證）的分析、綜述報告，技術(shù)經(jīng)濟論證，預(yù)期的經(jīng)濟效果1、主要試驗（或驗證）的分析本標(biāo)準(zhǔn)制定過程中，起草小組做了大量的試驗驗證工作，詳見第二章2.5。2、修訂意義及預(yù)期的經(jīng)濟效果電子級鍺烷是一種重要的電子氣體，也是一種重要的工業(yè)基礎(chǔ)材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的制造。隨著微電子工業(yè)的迅速發(fā)展，廣大用戶對電子級鍺烷的質(zhì)量提出了更高更苛刻的要求，2015版國標(biāo)中的產(chǎn)品純度已經(jīng)不能滿足市場和技術(shù)的需求。因此，重新修訂電子級鍺烷的國家標(biāo)準(zhǔn)是我們應(yīng)要進行的一項具有深遠意義的重要工作。通過修訂標(biāo)準(zhǔn)，將引領(lǐng)電子級鍺烷規(guī)?；a(chǎn)出，推動我國電子半導(dǎo)體材料行業(yè)發(fā)展和鍺烷的生產(chǎn)和檢測合作研發(fā)，提升行業(yè)的競爭力，促進整個行業(yè)健康持續(xù)發(fā)展。同時通過標(biāo)準(zhǔn)的制定，有利于提高我國高端電子材料自給能力，推動電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)進步，擴大我國電子科技對外影響力，有效服務(wù)于國家戰(zhàn)略需求。因此，修訂后的高純度電子級鍺烷產(chǎn)品國家標(biāo)準(zhǔn)，無論是國家需要、市場需要還是對用戶負責(zé)都是我們應(yīng)要進行的一項具有意義的工作。目前，我國已具備自主生產(chǎn)超高純鍺烷的能力。而且隨著鍺烷應(yīng)用的越來越廣泛，國內(nèi)生產(chǎn)廠家將會增加，本次制定推動了國內(nèi)鍺烷的產(chǎn)業(yè)化，因此本次修訂將產(chǎn)生以下一些方面的效益：（1）推動國內(nèi)電子用鍺烷生產(chǎn)產(chǎn)企業(yè)采用先進的生產(chǎn)工藝，與國外先進企業(yè)看齊。（2）本次制訂后標(biāo)準(zhǔn)達到了國際先進水平，提高了國產(chǎn)電子鍺烷產(chǎn)品的國際競爭力。（3）檢測方法采用了氦離子化氣相色譜法這種先進的方法，為標(biāo)準(zhǔn)使用者提供了更好的指導(dǎo)。（4）包括了安全警示的內(nèi)容，對使用者提供了很好的幫助.四、采用國際標(biāo)準(zhǔn)和國外先進標(biāo)準(zhǔn)的程度，以及與國際、國外同類標(biāo)準(zhǔn)水平的對比情況，或與測試的國外樣品、樣機的有關(guān)數(shù)據(jù)對比情況該標(biāo)準(zhǔn)無國際標(biāo)準(zhǔn)可以借鑒，在制定過程中參考了國內(nèi)外相關(guān)文獻資料。五、與有關(guān)的現(xiàn)行法律、法規(guī)和強制性國家標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系電子鍺烷屬于危險化學(xué)品，在生產(chǎn)、儲運和使用環(huán)節(jié)涉及以下多項強制性國家標(biāo)準(zhǔn)，本文件與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，特別是強制性標(biāo)準(zhǔn)是協(xié)調(diào)一致的：GB190危險貨物包裝標(biāo)志GBl5258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定同時，還應(yīng)符合以下法規(guī)：《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》、《危險化學(xué)品安全管理條例》等規(guī)定。六、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)本次國標(biāo)的制定無重大分歧意見。七、國家標(biāo)準(zhǔn)作為強制性國家標(biāo)準(zhǔn)或推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)的建議建議將該標(biāo)準(zhǔn)作為推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)，建議標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后6個月實施。八、貫徹國家標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議（包括組織措施、技術(shù)措施、過渡辦法等內(nèi)容）本次國標(biāo)的修訂是依據(jù)半導(dǎo)體材料行業(yè)發(fā)展的要求，根據(jù)我國電子鍺烷的發(fā)展現(xiàn)狀進行的，因此應(yīng)盡快實施國家標(biāo)準(zhǔn)。本次修改的內(nèi)容已經(jīng)具有較廣泛的應(yīng)用范圍，具有可靠的技術(shù)措施保證，標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后將組織相關(guān)生產(chǎn)和應(yīng)用企業(yè)進行宣貫培訓(xùn)，因此標(biāo)準(zhǔn)實施的過渡期較短（不會超過半年）。九、廢止現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的建議十、其他應(yīng)予說明的事項PDD法測定氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲一、標(biāo)準(zhǔn)氣體及樣品氣體標(biāo)準(zhǔn)氣體一：組分含量見表1生產(chǎn)單位：大連大特氣體有限公司；表1：標(biāo)氣組分濃度表組分H2O2ArN2COCH4CO2含量（10-6mol/mol）5.25.05.099二、儀器分析及數(shù)據(jù)1、氦離子化氣相色譜儀生產(chǎn)單位：上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司設(shè)備型號：GC-9560-PDD柱爐：50℃;檢測器：150℃;輔助箱1：50℃;定量管1：1.0mL；定量管2：1.0mL；載氣（氦氣）流速：30mL/min；2、色譜流程圖圖1PDD檢測SiF4中H2、O2+Ar、N2、CO2、CH4、CO、H2S、SO2流程圖1-載氣（高純氦氣）2-減壓閥3-定點穩(wěn)壓閥4-純化器5-過濾器6、7、8、9-氣動十通閥10-樣品進11-樣品出12、13-流量計14、15-定量環(huán)16-碳分子篩17-5A柱20、21、22、23-針閥放空24-氦離子檢測器25-放空口3、色譜柱預(yù)分離柱Ⅰ：長約0.6m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管,內(nèi)裝約粒徑為0.18mm~0.25mm的碳分子篩，或其他等效色譜柱。預(yù)分離柱Ⅱ：長約3m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm~0.25mm的乙基苯乙烯和二乙烯基苯共聚物，或其他等效色譜柱。色譜柱Ⅰ：長約1.5m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.