ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標準

GB/T33555—2025

代替GB/T33555—2017

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

靜電控制技術(shù)要求

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Technicalrequirementsofelectrostaticcontrol

2025-04-25發(fā)布2025-11-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T33555—2025

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

靜電來源和危害

4…………………………3

技術(shù)要求

5…………………4

附錄資料性靜電來源與控制要素

A()…………………8

附錄資料性技術(shù)措施

B()………………10

附錄資料性防靜電地面類型

C()………………………13

附錄資料性分級或分類

D()EPA……………………14

附錄資料性防靜電設(shè)備和工具性能

E()………………15

參考文獻

……………………16

Ⅰ

GB/T33555—2025

前言

本文件按照標準化工作導(dǎo)則第部分標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境靜電控制技術(shù)指南與

GB/T33555—2017《》,GB/T33555—

相比除結(jié)構(gòu)性調(diào)整和編輯性改動外主要技術(shù)內(nèi)容變化如下

2017,,:

更改了適用范圍見第章年版的第章

a)(1,20171);

更改了術(shù)語靜電控制靜電放電靜電耗散材料的定義見和年版的

b)“”“”“”(3.1、3.43.13,2017

和

3.4、3.53.1);

刪除了靜電場等術(shù)語見年版的和

c)(20173.2、3.3、3.63.7);

增加了術(shù)語靜電放電敏感的靜電吸引防靜電工作區(qū)靜電感應(yīng)靜電起電孤立導(dǎo)

d)“()”“”“”“”“”“

體工作表面潔凈室適用性圍護結(jié)構(gòu)離子化靜電消除器等電位聯(lián)結(jié)的定義見

”“”“”“”“”“”(3.2、

3.3、3.5、3.6、3.7、3.8、3.9、3.10、3.11、3.12、3.14);

更改靜電控制為靜電來源和危害見第章年版的第章

e)“”“”(4,20174);

更改了靜電來源危害及監(jiān)測中有關(guān)內(nèi)容見年版的

f)“、”(4.1、4.2,20174.1);

刪除了控制見年版的

g)“”(20174.2);

刪除了控制措施見年版的

h)“”(20174.3);

更改培訓(xùn)與規(guī)范為技術(shù)要求見第章年版的第章

i)“”“”(5,20175);

更改為一般要求人員工作表面環(huán)境和區(qū)域見

j)5.1、5.2、5.3、5.4“”“”“”“”(5.1、5.2、5.3、5.4,

年版的

20175.1、5.2、5.3、5.4);

增加了設(shè)備及工具產(chǎn)品包裝轉(zhuǎn)運和儲存監(jiān)測和檢測見

k)“”“ESDS、”“”(5.5、5.6、5.7)。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位中國電子工程設(shè)計院股份有限公司中冶天工集團有限公司深圳市中測計量檢

:、、

測技術(shù)有限公司深圳市中明科技股份有限公司中國標準化協(xié)會中電投工程研究檢測評定中心有限

、、、

公司中國電子技術(shù)標準化研究院深圳凱仕德科技有限公司北京東方計量測試研究所中國電子系統(tǒng)

、、、、

工程第二建設(shè)有限公司中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司北京戴納實驗科技股份有限公司中國

、、、

電子系統(tǒng)工程第三建設(shè)有限公司亞翔系統(tǒng)集成科技蘇州股份有限公司廈門永平堂建筑材料有限公

、()、

司北京中邦興業(yè)科技有限公司河北科華防靜電地板制造有限公司惠瑞凈化科技江蘇有限公司

、、、()、

柏誠系統(tǒng)科技股份有限公司仲愷農(nóng)業(yè)工程學(xué)院華星光電技術(shù)有限公司合肥晶合集成電路股份

、、TCL、

有限公司長鑫集電北京存儲技術(shù)有限公司

、()。

本文件主要起草人譚軍王天羿楊光明孫思宇高志良郝胤博馬全麗郭凱徐巍巍張志堅

:、、、、、、、、、、

丁力行奚曉鵬青曙萍許京哲霍金鵬韓輝修東升孫碩韓金貴韓玲玲向煒呂光帥楊楚鵬

、、、、、、、、、、、、、

葉為張志麒黃家洋

、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為

———2017GB/T33555—2017;

本次為第一次修訂

———。

Ⅲ

GB/T33555—2025

引言

靜電是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中常見污染源之一靜電吸引可造成污染物集聚污染潔凈環(huán)境影

。,,

響產(chǎn)品質(zhì)量和人員健康靜電放電會對潔凈環(huán)境中靜電敏感設(shè)備產(chǎn)品造成危害并且給電氣安全消防

;、,、

安全及人員健康造成隱患靜電控制措施不當(dāng)不僅會影響潔凈室的氣流組織潔凈度還會影響電氣及

;、,

消防安全本文件針對潔凈室中靜電來源和危害的特點規(guī)定了符合潔凈室設(shè)計運行特點的靜電控制

。,、

技術(shù)要求以控制潔凈室內(nèi)的靜電影響

,。

Ⅳ

GB/T33555—2025

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

靜電控制技術(shù)要求

1范圍

本文件給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的靜電來源和危害規(guī)定了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中適用

,

的靜電控制技術(shù)要求

。

本文件適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的靜電控制

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

醫(yī)院消毒衛(wèi)生標準

GB15982

低壓電氣裝置第部分安全防護電壓騷擾和電磁騷擾防護

GB/T16895.104-44:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分檢測方法

GB/T25915.33:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分設(shè)計建造啟動

GB/T25915.44:、、

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分達到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔

GB/T25915.1313:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按粒子濃度評估設(shè)備適用性

GB/T25915.1414:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評定設(shè)備及材料的適

GB/T25915.15