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13I本文件起草單位：中船（邯鄲）派瑞特種氣體1電子工業(yè)用氟化氫中雜質(zhì)的測定色譜法本文件規(guī)定了電子工業(yè)用氟化氫中雜質(zhì)的測定原理、試劑或材料、儀器設(shè)備、樣品、測定步驟氫氣、氧氣+氬氣、氮氣、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量測定的檢出限不大于0.01×10-6（體積分下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色采用配備氣路切換裝置和氦離子化檢測器的氣相色譜儀對各組分分析。當樣品氣體經(jīng)色譜柱分離后進入氦離子化檢測器時，與亞穩(wěn)態(tài)的氦發(fā)生非彈性碰撞而電離，在檢測器的收集極輸出相應(yīng)的微電流，微電流經(jīng)放大器放大后的電流訊號在一定范圍內(nèi)與組分含量成正比。將樣品氣體的色譜峰載氣：高純氦氣，純度≥99.999×10氦中氧氣+氬氣標準氣體，含量為5×10氦中一氧化碳標準氣體，含量為5×10-6氦中二氧化碳標準氣體，含量為5×10-6氣+氬氣、氮氣、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量測定的檢出限不大于0.01×10-6（b)儀器氣路分析流程見附錄A。2氫氣(H?)含量(體積分數(shù)),10?≤氧氣+氬氣(O?+Ar)含量(體積分數(shù)),10?≤氮(N?)含量(體積分數(shù)),10?≤甲烷含量(體積分數(shù)),10?≤一氧化碳(CO)含量(體積分數(shù)),10?≤二氧化碳(CO?)含量(體積分數(shù)),10?≤b)衰減：10?;3—樣品氣中待測組分i的含量（體積分數(shù)，10-6Φsi—標準氣中待測組分i的含量（體積分數(shù)，14⑩④氣動閥1⑨-⑥①動閥2Q氣動閥3④D》1.定量環(huán)1、定量環(huán)2的體積均為0.5mL;2.針閥均為放空閥；3.氫氣、氧氣+氬氣、氮氣、甲烷、一氧化碳經(jīng)氣動閥1、CarboblackW、13X分子篩進入PDHID檢

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