ICS31030

CCSL.90

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

T/CEMIA030—2022

半導(dǎo)體用正膠顯影液

Positivephotoresistdeveloperforsemiconductormanufacture

2022-04-20發(fā)布2022-07-20實(shí)施

中國電子材料行業(yè)協(xié)會發(fā)布

T/CEMIA030—2022

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由中國電子材料行業(yè)協(xié)會提出并歸口

。

本文件主要起草單位杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司

:。

本文件參與起草單位北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心北京有限公司無錫三開高純化工有限公司

:()、、

滄州信聯(lián)化工有限公司晶瑞湖北微電子材料有限公司

、()。

本文件主要起草人邢攸美李瀟逸張之鈞趙健胡濤李盈盈陳東良顧峻徐文干孫煒劉新雨

:、、、、、、、、、、、

王琪周利超李林佳余紅剛倪蕓嵐陳海剛楊小平章帥迪劉永南姚藝融劉為波翁雪平傅華

、、、、、、、、、、、、、

高小云

。

Ⅰ

T/CEMIA030—2022

半導(dǎo)體用正膠顯影液

1范圍

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體用正膠顯影液的分類和標(biāo)記要求檢驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志包裝運(yùn)輸

、、、、、、

貯存和安全

。

本文件適用于半導(dǎo)體用正膠顯影液其主要組分為通過季銨鹽化合物電解制得的四甲基氫氧化銨

,。

四甲基氫氧化銨的基本信息見附錄中的

AA.1。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的制備

GB/T601

化學(xué)試劑雜質(zhì)測定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備

GB/T602

化學(xué)試劑試驗(yàn)方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

液體化學(xué)產(chǎn)品顏色測定法單位鉑鈷色號

GB/T3143(Hazen———-)

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

純氮高純氮和超純氮

GB/T8979、

電子級水

GB/T11446.1

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則

GB15603

化學(xué)試劑離子色譜法測定通則

GB/T34672

薄膜晶體管液晶顯示器用四甲基氫氧化銨顯影液

GB/T37403—2019(TFT-LCD)

潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB50073—2013

電子工業(yè)用顯影液中甲醇的測定頂空氣相色譜法

SJ/T11634

電子工業(yè)用顯影液中碳酸根離子的測定自動電位滴定法

SJ/T11635

電子工業(yè)用顯影液中四甲基氫氧化銨的測定自動電位滴定法

SJ/T11636

電子化學(xué)品中顆粒的測試方法

SJ/T11638

3術(shù)語