ICS31030

CCSL.90

團體標準

T/CEMIA030—2022

半導體用正膠顯影液

Positivephotoresistdeveloperforsemiconductormanufacture

2022-04-20發(fā)布2022-07-20實施

中國電子材料行業(yè)協(xié)會發(fā)布

T/CEMIA030—2022

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由中國電子材料行業(yè)協(xié)會提出并歸口

。

本文件主要起草單位杭州格林達電子材料股份有限公司

:。

本文件參與起草單位北方集成電路技術創(chuàng)新中心北京有限公司無錫三開高純化工有限公司

:()、、

滄州信聯(lián)化工有限公司晶瑞湖北微電子材料有限公司

、()。

本文件主要起草人邢攸美李瀟逸張之鈞趙健胡濤李盈盈陳東良顧峻徐文干孫煒劉新雨

:、、、、、、、、、、、

王琪周利超李林佳余紅剛倪蕓嵐陳海剛楊小平章帥迪劉永南姚藝融劉為波翁雪平傅華

、、、、、、、、、、、、、

高小云

。

Ⅰ

T/CEMIA030—2022

半導體用正膠顯影液

1范圍

本文件規(guī)定了半導體用正膠顯影液的分類和標記要求檢驗方法檢驗規(guī)則以及標志包裝運輸

、、、、、、

貯存和安全

。

本文件適用于半導體用正膠顯影液其主要組分為通過季銨鹽化合物電解制得的四甲基氫氧化銨

,。

四甲基氫氧化銨的基本信息見附錄中的

AA.1。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標志

GB190

化學試劑標準滴定溶液的制備

GB/T601

化學試劑雜質測定用標準溶液的制備

GB/T602

化學試劑試驗方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

液體化學產(chǎn)品顏色測定法單位鉑鈷色號

GB/T3143(Hazen———-)

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

純氮高純氮和超純氮

GB/T8979、

電子級水

GB/T11446.1

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

常用化學危險品貯存通則

GB15603

化學試劑離子色譜法測定通則

GB/T34672

薄膜晶體管液晶顯示器用四甲基氫氧化銨顯影液

GB/T37403—2019(TFT-LCD)

潔凈廠房設計規(guī)范

GB50073—2013

電子工業(yè)用顯影液中甲醇的測定頂空氣相色譜法

SJ/T11634

電子工業(yè)用顯影液中碳酸根離子的測定自動電位滴定法

SJ/T11635

電子工業(yè)用顯影液中四甲基氫氧化銨的測定自動電位滴定法

SJ/T11636

電子化學品中顆粒的測試方法

SJ/T11638

3術語