—1—一、建設(shè)項(xiàng)目基本情況2503-320214-89-05-201962無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層M7320工程和技術(shù)錫新數(shù)投備〔2025〕374號(hào)200000.52194.01專項(xiàng)評(píng)價(jià)的類別設(shè)置原則本項(xiàng)目情況判斷結(jié)果大氣排放廢氣含有毒有害污染物[1]、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯氣且廠界外500米范圍內(nèi)有環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)[2]的建設(shè)項(xiàng)目本項(xiàng)目排放廢氣砷化氫，屬于排放廢氣含有毒有害污染物，且廠界外西北側(cè)480m處有環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)-碩放街道辦事處設(shè)置大氣專項(xiàng)評(píng)價(jià)地表水新增工業(yè)廢水直排建設(shè)項(xiàng)目（槽罐車外送污水處理廠的除外）；新增廢水直排的污水集中處理廠本項(xiàng)目不涉及工業(yè)廢水直接排放無需專項(xiàng)評(píng)價(jià)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)有毒有害和易燃易爆危險(xiǎn)物質(zhì)存儲(chǔ)量超過臨界量[3]的建設(shè)項(xiàng)目。本項(xiàng)目有毒有害和易燃易爆危險(xiǎn)物質(zhì)存儲(chǔ)量未超過臨界無需專項(xiàng)評(píng)價(jià)—2—生態(tài)取水口下游500米范圍內(nèi)有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場、索餌場、越冬場和洄游通道的新增河道取水的污染類建設(shè)項(xiàng)目本項(xiàng)目用水依托自來水管網(wǎng)，不采用河道取水無需專項(xiàng)評(píng)價(jià)海洋直接向海排放污染物的海洋工程建設(shè)項(xiàng)目不屬于海洋工程建設(shè)項(xiàng)目無需專項(xiàng)評(píng)價(jià)注：1.廢氣中有毒有害污染物指納入《有毒有害大氣污染物名錄》的污染物（不包括無排放標(biāo)準(zhǔn)的污染物）。2.環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)指自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)、居住區(qū)、文化區(qū)和農(nóng)村地區(qū)中人群較集中的區(qū)域。3.臨界量及其計(jì)算方法可參考《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則》（HJ169）附錄B、附錄C。規(guī)劃名稱：《無錫新區(qū)高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū)控制性詳細(xì)規(guī)劃A南-站前區(qū)管理單元?jiǎng)討B(tài)更新》（2024年4月審批文件及文號(hào)：《市政府關(guān)于<無錫新區(qū)高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū)控制性詳細(xì)規(guī)劃A南-站前區(qū)管理單元?jiǎng)討B(tài)更新>的批復(fù)》錫政復(fù)[2014]32號(hào)規(guī)劃環(huán)評(píng)：《無錫國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃（2022-2035年）環(huán)境影響報(bào)告書》于2024年2月取得江蘇省生態(tài)環(huán)境廳審查意見（審本項(xiàng)目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層，根據(jù)《無錫新區(qū)高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū)控2、與園區(qū)規(guī)劃相符性分析無錫市新吳區(qū)高新區(qū)規(guī)劃范圍西至京杭運(yùn)河、滬寧鐵路、滬寧高速公路；北至旺莊路、春豐路；東至伯瀆港、梅育路；南至鴻山路、新十—3—積33km2。B區(qū)規(guī)劃范圍西至滬寧高速公路，東至伯瀆港、梅育路，南至錫東大道，面積12.5km2。C區(qū)規(guī)劃范圍西至錫東大道、滬寧高速公路，北至伯瀆港，東至鴻山路、新十西路、南至錦鴻路、鴻八路，面積定位為以產(chǎn)業(yè)特點(diǎn)鮮明、區(qū)域功能完善、人文環(huán)境優(yōu)越、經(jīng)濟(jì)社會(huì)和諧為主要特點(diǎn)的長三角示范、國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流的創(chuàng)新型國際化科發(fā)展目標(biāo)為國際先進(jìn)制造業(yè)集聚區(qū)，國家科技創(chuàng)新先導(dǎo)區(qū)，蘇南國高新區(qū)重點(diǎn)發(fā)展電子信息、光機(jī)電、生物工程及醫(yī)療、精細(xì)化工、新材料等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。目前，全區(qū)已形成了鋰電池、硬盤、數(shù)碼相機(jī)、液晶顯示產(chǎn)品、電子元器件、汽車零部件等十大產(chǎn)品集群，區(qū)內(nèi)匯集了近50家全球500強(qiáng)公司投資的70個(gè)項(xiàng)目?！耙恍摹保何挥谕f路以南，以行政中心為核心，與周邊商業(yè)服務(wù)設(shè)施、文化設(shè)施等形成城市公建中心，是無錫新區(qū)的行政中心、金融、“四軸”：江海路（現(xiàn)機(jī)場路）、新錫路（現(xiàn)吳都路）、滬寧高速）；本項(xiàng)目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層，屬于高新A區(qū)，主要從事于化學(xué)氣相沉積設(shè)備研發(fā)測試，屬于M7320工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展，為電子行業(yè)配套產(chǎn)業(yè)，—4—本項(xiàng)目與《省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于無錫國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃（2022-2035年）環(huán)境影響報(bào)告書的審查意見》蘇環(huán)審[2024]9號(hào)相表1-1本項(xiàng)目與環(huán)審[2024]9號(hào)相符性分析序號(hào)審查意見相符性分析相符性1嚴(yán)格空間管控，優(yōu)化空間布局。高新區(qū)內(nèi)綠地及水域在規(guī)劃期內(nèi)禁止開發(fā)利用。落實(shí)《報(bào)告書》提出的現(xiàn)有環(huán)境問題整改措施，加快推進(jìn)正大萬物城、旺莊南片部分區(qū)域鄰近居民區(qū)企業(yè)退出進(jìn)程，諾翔新材料、復(fù)恩特生物、益明光電等7家企業(yè)于2025年底前關(guān)閉退出，減緩區(qū)內(nèi)工居混雜矛盾。強(qiáng)化工業(yè)企業(yè)退出和產(chǎn)業(yè)升級(jí)過程中的污染防治、生態(tài)修復(fù)。嚴(yán)格落實(shí)企業(yè)衛(wèi)生防護(hù)距離要求，企業(yè)衛(wèi)生防護(hù)距離內(nèi)不得規(guī)劃布局敏感目標(biāo)。加強(qiáng)工業(yè)區(qū)與居住區(qū)生活空間的防護(hù)，推進(jìn)區(qū)內(nèi)空間隔離帶建設(shè)，確保高新區(qū)產(chǎn)業(yè)布局與生態(tài)環(huán)境保護(hù)、人居環(huán)境安全相協(xié)調(diào)。于新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園工業(yè)企業(yè)，周不涉及居住區(qū)；建設(shè)單位無衛(wèi)生防護(hù)距離。相符2嚴(yán)守環(huán)境質(zhì)量底線，實(shí)施污染物排放限值限量管理。落實(shí)國家和江蘇省關(guān)于大氣、水、土壤、噪聲污染防治、區(qū)域生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控、工業(yè)園區(qū)（集中區(qū)）污染物排放限值限量管理相關(guān)要求，建立以環(huán)境質(zhì)量為核心的污染物總量控制管理體系，實(shí)施主要污染物排放濃度和總量“雙管控"。2025年，高新區(qū)環(huán)境空氣細(xì)顆粒物（PM2.5）年均濃度應(yīng)達(dá)到25微克/立方米；納污水體周涇浜、梅花港應(yīng)穩(wěn)定達(dá)到IV類水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，京杭運(yùn)河（江南運(yùn)河）穩(wěn)定達(dá)到III類水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。水污染物經(jīng)處理后達(dá)標(biāo)排放，且落實(shí)了求。本項(xiàng)目廢氣污染物經(jīng)處理后達(dá)標(biāo)排放，不涉及總量管理要求。相符3加強(qiáng)源頭治理，協(xié)同推進(jìn)減污降碳。嚴(yán)格落實(shí)生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單，落實(shí)《報(bào)告書》提出的生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入要求，嚴(yán)格限制與主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)不相關(guān)且排污負(fù)荷大的項(xiàng)目入?yún)^(qū)，執(zhí)行最嚴(yán)格的廢水、廢氣排放控制要求。強(qiáng)化企業(yè)特征污染物排放控制、高效治理設(shè)施建設(shè)，落實(shí)精細(xì)化管控要求，有效防治集成電路、智能裝備等產(chǎn)業(yè)的酸霧、異味污染。引進(jìn)項(xiàng)目的生產(chǎn)工藝、設(shè)備，以及單位產(chǎn)品水耗、能耗、污染物排放和資源利用效率等應(yīng)達(dá)到同行業(yè)國際先進(jìn)水平。全面開展清潔生產(chǎn)審核，推動(dòng)重點(diǎn)行業(yè)依法實(shí)施強(qiáng)制性審核，引導(dǎo)其他行業(yè)自覺自愿開展審核，不斷提高現(xiàn)有企業(yè)清潔生產(chǎn)和污染治理水平。根據(jù)國家和地方碳減排、碳達(dá)蜂行動(dòng)方案和路化學(xué)氣相沉積設(shè)備研發(fā)測試行業(yè)配套產(chǎn)導(dǎo)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)相符。項(xiàng)目產(chǎn)生的廢氣經(jīng)“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”吸附處理后達(dá)標(biāo)排放。本項(xiàng)目研發(fā)工藝、設(shè)備，以及單相符—5—456徑要求，推進(jìn)高新區(qū)綠色低碳轉(zhuǎn)型發(fā)展，優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、能源結(jié)構(gòu)、交通運(yùn)輸?shù)纫?guī)劃內(nèi)容，實(shí)現(xiàn)減污降碳協(xié)同增效目標(biāo)。位產(chǎn)品水耗、能耗、污染物排放和資源利用效率等應(yīng)達(dá)先進(jìn)水平。相符相符相符完善環(huán)境基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，提高基礎(chǔ)設(shè)施運(yùn)行效能。加強(qiáng)對(duì)區(qū)內(nèi)污水、雨水管網(wǎng)敷設(shè)情況的排查，完善區(qū)域雨污水管網(wǎng)建設(shè)。加快新城水處理二廠擴(kuò)建工程和梅村水處理廠提標(biāo)改造工程建設(shè)，確保工業(yè)廢水與生活污水分類收集、分質(zhì)處理。開展區(qū)內(nèi)入河排污口排查及規(guī)范化整治，建立名錄，強(qiáng)化入河排污口監(jiān)督管理，有效管控入河污染物排放。加強(qiáng)高新區(qū)固體廢物資源化、減量化、無害化處理，一般工業(yè)固廢、危險(xiǎn)廢物應(yīng)依法依規(guī)收集、處理處置，做到”就地分類收集、就近轉(zhuǎn)移處置＂。針對(duì)區(qū)內(nèi)科創(chuàng)平臺(tái)、桶提升園區(qū)危廢監(jiān)管智能化水平。于新城水處理廠的納管范圍內(nèi)，生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理與冷卻水排水一同接管至廠。建立健全環(huán)境監(jiān)測監(jiān)控體系。開展包括環(huán)境空氣、地表水、地下水、土壤、底泥等環(huán)境要素的長期跟蹤監(jiān)測與管理。結(jié)合區(qū)域跟蹤監(jiān)測情況，動(dòng)態(tài)調(diào)整高新區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)模和時(shí)序進(jìn)度，優(yōu)化生態(tài)環(huán)境保護(hù)措施，確保區(qū)域環(huán)境質(zhì)量不惡化。對(duì)于企業(yè)關(guān)閉、搬遷遺留的污染地塊應(yīng)依法開展土壤污染狀況調(diào)查、治理與修復(fù)工作。嚴(yán)格落實(shí)環(huán)境質(zhì)量監(jiān)測要求，建立高新區(qū)土壤和地下水隱患排查制度并納入監(jiān)控預(yù)警體系。探索開展新污染物環(huán)境本底調(diào)查監(jiān)測，依法公開新污染物信息。指導(dǎo)區(qū)內(nèi)企業(yè)規(guī)范安裝在線監(jiān)測設(shè)備并聯(lián)網(wǎng)，推進(jìn)區(qū)內(nèi)排污許可重點(diǎn)管理單位自動(dòng)監(jiān)測全覆蓋；暫不具備安裝在線監(jiān)測設(shè)備條件的企業(yè)，應(yīng)做好委托監(jiān)測工作。積極推進(jìn)氯化物污染物排放及水環(huán)境質(zhì)量的監(jiān)測監(jiān)控，區(qū)內(nèi)重點(diǎn)涉氯企業(yè)雨水、污水排放口應(yīng)安裝氯化物自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)并聯(lián)網(wǎng)。設(shè)后將按要求作。本項(xiàng)目不涉及氯化物的排放。健全環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防控體系，提升環(huán)境應(yīng)急能力。進(jìn)一步完善高新區(qū)突發(fā)水污染事件風(fēng)險(xiǎn)防控體系建設(shè)，確?！靶∈鹿什怀鰪S區(qū)、大事故不出園區(qū)”。加強(qiáng)環(huán)境應(yīng)急基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，配備充足的應(yīng)急裝備物資，提高環(huán)境應(yīng)急救援能力。建立健全環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估和應(yīng)急預(yù)案制度，定期開展環(huán)境應(yīng)急演練，完善環(huán)境應(yīng)急響應(yīng)聯(lián)動(dòng)機(jī)制，提升應(yīng)急實(shí)戰(zhàn)水平。建立突發(fā)環(huán)境事件隱患排查長效機(jī)制，定期排查突發(fā)環(huán)境事件隱患，建立隱患清單并督促整改到位，保障區(qū)域環(huán)境安全。重點(diǎn)關(guān)注并督促指導(dǎo)涉重金屬企業(yè)構(gòu)筑“風(fēng)險(xiǎn)單元-管網(wǎng)、應(yīng)急池”。成后應(yīng)及時(shí)編制并完成突發(fā)環(huán)境時(shí)間應(yīng)急預(yù)案備案。并按要求落實(shí)風(fēng)險(xiǎn)防范措施、應(yīng)急物資、應(yīng)急演練和記錄排查制度等，保障區(qū)域環(huán)境安全?！?—其他符合性分析本項(xiàng)目為新建項(xiàng)目，屬于《國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類標(biāo)準(zhǔn)（2017年本）》中的M7320工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展。本項(xiàng)目產(chǎn)業(yè)政策文件對(duì)照情況表1-2產(chǎn)業(yè)政策相符性分析一覽表序號(hào)文件名稱本項(xiàng)目情況相符性1《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》（發(fā)改委第7號(hào)）本項(xiàng)目不屬于鼓勵(lì)類、限制類和淘汰類。相符2《市場準(zhǔn)入負(fù)面清單（2022年版）》（發(fā)改體改規(guī)【2022】397本項(xiàng)目不屬于禁止準(zhǔn)入類和許可準(zhǔn)入類。相符3外商投資準(zhǔn)入特別管理措施（負(fù)面清單2024年版）》（發(fā)改委、商務(wù)部令第23號(hào)）本項(xiàng)目不在“特別管理措施（負(fù)面清單）相符4《鼓勵(lì)外商投資產(chǎn)業(yè)目錄（2022年版）》（商務(wù)部令第52號(hào)）本項(xiàng)目不在“鼓勵(lì)外商投資產(chǎn)業(yè)目錄內(nèi)”。相符5《環(huán)境保護(hù)綜合名錄（2021年版）》（環(huán)辦綜合函【2021】495本項(xiàng)目不屬于高污染、高環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)產(chǎn)品名錄。相符6《長江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南（試行，2022年版）》（長江辦【2022】7號(hào)）本項(xiàng)目不在“長江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南相符7《江蘇省產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整限制、淘汰和禁止目錄》（2018年本）本項(xiàng)目不屬于限制類、淘汰類和禁止類項(xiàng)目。相符8《江蘇省工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整限制、淘汰目錄和能耗限額（2015年本）》（蘇政辦發(fā)本項(xiàng)目不屬于限制類、淘汰類和能耗限額項(xiàng)相符9《江蘇省“兩高”項(xiàng)目管理目錄（2024年版）》（蘇發(fā)改規(guī)發(fā)【2024】4號(hào)）本項(xiàng)目不屬于“兩高”項(xiàng)目。相符《江蘇省太湖流域禁止和限制的產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)目錄（2024版）》（蘇發(fā)改規(guī)發(fā)〔2024〕3號(hào)）本項(xiàng)目不屬于禁止類、限制類和淘汰類項(xiàng)目。相符《無錫市產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（試行）》（錫政辦發(fā)【2008】6本項(xiàng)目屬于鼓勵(lì)類，“第三類鼓勵(lì)類三、第三產(chǎn)業(yè)中的（三）科技設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)1.工程（技術(shù)）研究中心、企業(yè)技術(shù)中心、重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、科研中試基地、實(shí)驗(yàn)基地等科技企業(yè)及載體……”。相符《無錫市制造業(yè)轉(zhuǎn)型發(fā)展指導(dǎo)目錄（2012年本）》（錫政辦發(fā)2013【54】號(hào)）本項(xiàng)目不屬于鼓勵(lì)類、限制類和淘汰類。相符—7—2、與太湖水污染防治相關(guān)法規(guī)相符性分析湖流域劃分為三級(jí)保護(hù)區(qū)：太湖湖體、沿湖岸5公里區(qū)域、入湖河道上50公里以及沿岸兩側(cè)各1公里范圍為二級(jí)保護(hù)區(qū)；其他地區(qū)為三級(jí)保護(hù)區(qū)。根據(jù)《省政府辦公廳關(guān)于公布江蘇省太湖流域三級(jí)保護(hù)區(qū)范圍的通知》（蘇政辦發(fā)[2012]221號(hào)“決定將太湖湖體、木瀆等15個(gè)風(fēng)景名勝區(qū)、萬石鎮(zhèn)等48個(gè)鎮(zhèn)（街道、開發(fā)區(qū)等）劃入太湖流域一級(jí)保護(hù)區(qū)，將和橋鎮(zhèn)等42個(gè)鎮(zhèn)（街道、開發(fā)區(qū)、農(nóng)場等）劃入太湖流域二級(jí)保護(hù)本項(xiàng)目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層，根據(jù)蘇政辦發(fā)[2012]221號(hào)并通過對(duì)現(xiàn)場核查，本項(xiàng)《江蘇省太湖水污染防治條例》第四十三條規(guī)定：太湖流域一、（一）新建、改建、擴(kuò)建化學(xué)制漿造紙、制革、釀造、染料、印染、電鍍以及其他排放含磷、氮等污染物的企業(yè)和項(xiàng)目，城鎮(zhèn)污水集中（三）向水體排放或者傾倒油類、酸液、堿液、劇毒廢渣廢液、含（四）在水體清洗裝貯過油類或者有毒有害污染物的車輛、船舶和—8—（八）違法開山采石，或者進(jìn)行破壞林木、植被、水生生物的活第四十四條規(guī)定：除二級(jí)保護(hù)區(qū)規(guī)定的禁止行為以外，太湖流域一（二）在國家和省規(guī)定的養(yǎng)殖范圍外從事網(wǎng)圍、網(wǎng)箱養(yǎng)殖，利用蝦除城鎮(zhèn)污水集中處理設(shè)施依法設(shè)置的排污口外，一級(jí)保護(hù)區(qū)內(nèi)已經(jīng)根據(jù)《太湖流域管理?xiàng)l例》（中華人民共和國國務(wù)院令第604號(hào)，第二十八條“禁止在太湖流域設(shè)置不符合國家產(chǎn)業(yè)政策和水環(huán)境綜合治理要求的造紙、制革、酒精、淀粉、冶金、釀造、印染、電鍍等排放水污染物的生產(chǎn)項(xiàng)目，現(xiàn)有的生產(chǎn)項(xiàng)目不能實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放的，應(yīng)當(dāng)依法關(guān)閉?！薄?—第二十九條新孟河、望虞河以外的其他主要入太湖河道，自河口1第三十條太湖岸線內(nèi)和岸線周邊5000米范圍內(nèi)，淀山湖岸線內(nèi)和岸線周邊2000米范圍內(nèi)，太浦河、新孟河、望虞河岸線內(nèi)和岸線兩側(cè)各1000米范圍內(nèi)，其他主要入太湖河道自河口上溯至1萬米河道岸線內(nèi)及（一）設(shè)置劇毒物質(zhì)、危險(xiǎn)化學(xué)品的貯存、輸送設(shè)施和廢物回收已經(jīng)設(shè)置前款第一項(xiàng)、第二項(xiàng)規(guī)定設(shè)施的，當(dāng)?shù)乜h級(jí)人民政府應(yīng)當(dāng)本項(xiàng)目主要從事化學(xué)氣相沉積設(shè)備的研發(fā)測試，不涉及太湖流域一級(jí)、二級(jí)、三級(jí)保護(hù)區(qū)相關(guān)禁止行為。本項(xiàng)目生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理后和冷卻水排水一同接管至新城水處理廠；固廢分類妥善處置，實(shí)現(xiàn)“零”排放。因此，建設(shè)項(xiàng)目的建設(shè)滿足上述《江蘇省太湖水污染防治條例》和《太湖流域管理?xiàng)l例》的要求。3、與“三線一單”相符性分析根據(jù)《江蘇省國家級(jí)生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)劃》（蘇政發(fā)[2018]74號(hào)）將—10—生態(tài)保護(hù)紅線分為陸域生態(tài)保護(hù)紅線和海域生態(tài)保護(hù)紅線共兩大類，陸域生態(tài)保護(hù)紅線主要有自然保護(hù)區(qū)、森林公園的生態(tài)保育區(qū)和核心景觀區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)的一級(jí)保護(hù)區(qū)、地質(zhì)公園的地質(zhì)遺跡保護(hù)區(qū)、濕地公園的濕地保育區(qū)和恢復(fù)重建區(qū)、飲用水水源保護(hù)地、水產(chǎn)種質(zhì)資源保護(hù)區(qū)的核心區(qū)、重要湖泊濕地的核心保護(hù)區(qū)域；海域生態(tài)保護(hù)紅線主要有自然保護(hù)區(qū)、海洋特別保護(hù)區(qū)、重要河口生態(tài)系統(tǒng)、重要濱海濕地、重要漁業(yè)海域、特殊保護(hù)海島、重要濱海旅游區(qū)、重要砂質(zhì)岸線及鄰近海根據(jù)《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃（蘇政發(fā)〔2020〕1號(hào)）》將江蘇省具有重要生態(tài)服務(wù)功能的區(qū)域分為自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)、森林公園、地質(zhì)遺跡保護(hù)區(qū)、濕地公園、飲用水水源保護(hù)區(qū)、海洋特別保護(hù)區(qū)、洪水調(diào)蓄區(qū)、重要水源涵養(yǎng)區(qū)、重要漁業(yè)水域、重要濕地、清水通道維護(hù)區(qū)、生態(tài)公益林、太湖重要保護(hù)區(qū)、特殊物種保護(hù)區(qū)等15種類本項(xiàng)目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層，結(jié)合《江蘇省國家級(jí)生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)劃》（蘇政發(fā)[2018]74號(hào)）和《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃》（蘇政發(fā)〔2020〕1號(hào)本項(xiàng)目與國家級(jí)及江蘇省生態(tài)紅線最近保護(hù)目標(biāo)之間關(guān)系見下表1-3重要生態(tài)功能區(qū)一覽表環(huán)境要素生態(tài)紅線名稱主導(dǎo)生態(tài)功能方位距離紅線區(qū)域范圍生態(tài)紅線類別生態(tài)環(huán)境貢湖錫東飲用水水源保護(hù)區(qū)飲用水水源保護(hù)區(qū)西南500024.44km2江蘇省國家級(jí)生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)劃區(qū)域太湖（無錫市區(qū)）重要保護(hù)區(qū)濕地生態(tài)系統(tǒng)保護(hù)西南2500429.47km2生態(tài)空間管控區(qū)由上表可知，項(xiàng)目符合《江蘇省國家級(jí)生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)劃》（蘇政發(fā)〔2018〕74號(hào)）以及《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃》（蘇政發(fā)—11—②與《生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控管理暫行規(guī)定》（環(huán)環(huán)評(píng)[2024]41號(hào)）、《2023年生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控成果動(dòng)態(tài)更新工作方案》（環(huán)辦環(huán)評(píng)函﹝2023﹞81號(hào)）、《江蘇省2023年度生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控動(dòng)態(tài)更新成果》、《關(guān)于印發(fā)無錫市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實(shí)施方案的通知》（錫環(huán)委辦[2020]40號(hào)）相符性分析根據(jù)《生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控管理暫行規(guī)定》（環(huán)環(huán)評(píng)[2024]41號(hào)建設(shè)項(xiàng)目開展環(huán)評(píng)工作初期，應(yīng)分析與生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控要求的符合性，對(duì)不滿足要求的，應(yīng)進(jìn)一步論證其生態(tài)環(huán)境可行性，優(yōu)化調(diào)整項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容或重新選址。建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)審批部門開展審批時(shí)，應(yīng)重點(diǎn)審查項(xiàng)目選址選線、生態(tài)影響、污染物排放、風(fēng)險(xiǎn)防范等與生態(tài)環(huán)境分區(qū)管劃定環(huán)境管控單元分為優(yōu)先保護(hù)單元、重點(diǎn)管控單元和一般管控單元三類，實(shí)施分類管控。本項(xiàng)目位于“江蘇無錫空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)”范圍內(nèi)，屬于重點(diǎn)管控單元，環(huán)境管控單元編碼：ZH32021420165，不涉及優(yōu)先保護(hù)單元。本項(xiàng)目通過江蘇省生態(tài)環(huán)境廳江蘇省生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控綜合件17），對(duì)照《無錫市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實(shí)施方案》（錫環(huán)委辦[2020]40號(hào)），本項(xiàng)目的建設(shè)不在該文件的負(fù)面清單之內(nèi)，符合表1-4與生態(tài)環(huán)境管控單元準(zhǔn)入清單相符性分析序號(hào)類別本項(xiàng)目情況相符性一《江蘇省2023年度生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控動(dòng)態(tài)更新成果公告》、《關(guān)于印發(fā)無錫市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實(shí)施方案的通知》（錫環(huán)委辦[2020]40號(hào)）1空間布局約束（1）限制引進(jìn)排放含重金屬廢水和廢氣排放量大的建設(shè)項(xiàng)目。（2）禁止新建、改建、擴(kuò)建化學(xué)制漿造紙、制革、釀造、染料、印染、電鍍以及其他排放含氮、磷等污染物的企業(yè)和項(xiàng)目，城鎮(zhèn)污水集中處理等環(huán)境基礎(chǔ)設(shè)施項(xiàng)目和《江蘇省太湖水污染防治條例》第四十六條規(guī)定的情形除外。本項(xiàng)目不涉及含重金屬廢水的產(chǎn)生及排放，廢氣排放量少；不涉及造紙、制革、釀造、染料、印染、電鍍等行業(yè)，無含氮磷的生產(chǎn)廢水的排放。符合準(zhǔn)入清單相符—12—（3）嚴(yán)格控制含重金屬污染物排放項(xiàng)目的入園。要求。2污染物排放管控（1）嚴(yán)格實(shí)施污染物總量控制制度，根據(jù)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標(biāo)，采取有效措施減少主要污染物排放總量，確保區(qū)域環(huán)境質(zhì)量持續(xù)改善。園區(qū)污染物排放總量不得突破環(huán)評(píng)報(bào)告及批復(fù)的總量。本項(xiàng)目污染物排放總量已落實(shí)，符合要求相符3環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)（1）加強(qiáng)對(duì)各入?yún)^(qū)企業(yè)的管理，要求企業(yè)對(duì)各種生產(chǎn)裝置，尤其是物料貯罐、循環(huán)輸送泵等采取相應(yīng)防護(hù)措施，預(yù)防火災(zāi)等生產(chǎn)事故發(fā)生。同時(shí)，要求入?yún)^(qū)企業(yè)提高操作、管理人員的技術(shù)、管理水平，嚴(yán)格執(zhí)行有關(guān)操作規(guī)程和管理制度，預(yù)防人為因素釀成安全和環(huán)境污染事故，減少事故發(fā)生頻率及危害。鎮(zhèn)區(qū)與工業(yè)園區(qū)之間、望虞河沿岸須設(shè)置100米以上的空間防護(hù)緩沖帶，園區(qū)與鎮(zhèn)區(qū)、主要道路與河道兩岸須設(shè)足夠?qū)挾鹊木G化帶。區(qū)內(nèi)現(xiàn)有居民點(diǎn)應(yīng)當(dāng)按照計(jì)劃實(shí)施搬遷，已批準(zhǔn)入?yún)^(qū)企業(yè)衛(wèi)生防護(hù)距離內(nèi)的居民必須立即搬遷。本項(xiàng)目園區(qū)已建立健全環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)管控體系。本項(xiàng)目位于工業(yè)園區(qū)，距離望虞河（無錫市區(qū)）清水通道維護(hù)相符4資源開發(fā)效率要求（1）單位工業(yè)增加值綜合能耗0.2噸標(biāo)煤/萬元。單位工業(yè)用地工業(yè)增加值15億元/km2。（2）單位工業(yè)增加值新鮮水耗3m3/萬元。（3）工業(yè)用水重復(fù)利用率（4）工業(yè)固體廢物綜合利用率禁止銷售使用燃料為“Ⅱ類”（較嚴(yán)），具體包括：1、除單臺(tái)出力大于等于20蒸噸/小時(shí)鍋爐以外燃用的煤炭及其制品。2、石油焦、油頁巖、原油、重油、渣油、煤焦油。本項(xiàng)目租賃現(xiàn)有廠房，不新增用地。本項(xiàng)目建成后單位工業(yè)增加值新鮮水耗低于3m3/萬元。工業(yè)用水重復(fù)利用率高于85%。工業(yè)固體廢物“零”排放。本項(xiàng)目不涉及“Ⅱ類”燃料的銷售使用。相符二《2023年生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控成果動(dòng)態(tài)更新工作方案》（環(huán)辦環(huán)評(píng)函﹝2023)81號(hào)）1項(xiàng)目準(zhǔn)入1、禁止引入《環(huán)境保護(hù)綜合名錄》所列“高污染、高風(fēng)險(xiǎn)”產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)；2、禁止引入純電鍍等污染嚴(yán)重項(xiàng)目；3、禁止引入新增鑄造產(chǎn)能建設(shè)項(xiàng)目，必須嚴(yán)格實(shí)施等量或減量置換，且原則上應(yīng)使用天然氣或電等清潔能源。本項(xiàng)目產(chǎn)品不涉及電鍍、鑄造等高污染、高環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)等相符空間布局嚴(yán)格落實(shí)《江蘇省生態(tài)空間管控本項(xiàng)目距離望相符—13—約束區(qū)域規(guī)劃》《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域調(diào)整管理辦法》《江蘇省生態(tài)空間（無錫市區(qū)）清水通道維護(hù)區(qū)內(nèi)不得開展有損主導(dǎo)生態(tài)功能的開發(fā)建設(shè)活動(dòng)。虞河（無錫市區(qū)）清水通道維護(hù)區(qū)約2.6km，不在望虞河（無錫市區(qū)）清水通道維護(hù)區(qū)范圍太湖岸線周邊5000米范圍內(nèi)、望虞河岸線內(nèi)和岸線兩側(cè)1000米范圍內(nèi)不得設(shè)置劇毒物質(zhì)、危險(xiǎn)化學(xué)品的貯存、輸送設(shè)施和廢物回收?qǐng)?、垃圾場，?yán)格落實(shí)《太湖流域管理?xiàng)l例》《江蘇省太湖水污染防治條例》相關(guān)管理要求。本項(xiàng)目距離太湖約2.5km，距離望虞河（無錫市區(qū)）清水通道維護(hù)區(qū)約相符區(qū)內(nèi)永久基本農(nóng)田區(qū)域?qū)嵭袊?yán)格保護(hù)，除法律規(guī)定的重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目選址確實(shí)無法避讓外，其他任何項(xiàng)目不得占用。本項(xiàng)目不占用永久基本農(nóng)田。相符工業(yè)用地與居住用地、主要道路與河道兩岸須設(shè)足夠?qū)挾鹊木G化帶。本項(xiàng)目所在地為生產(chǎn)研發(fā)用地。相符污染物排放管控環(huán)境質(zhì)量：大氣環(huán)境質(zhì)量達(dá)到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，2025年P(guān)M2.5年均值達(dá)到28微克/立方米；走馬塘、望虞河水環(huán)境質(zhì)量達(dá)《地表水環(huán)境環(huán)境質(zhì)量》III類水標(biāo)準(zhǔn)；京杭運(yùn)河水環(huán)境質(zhì)量達(dá)《地表水環(huán)境環(huán)境質(zhì)量》IV類水標(biāo)準(zhǔn)；土壤達(dá)到《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)（試行）》(GB36600-2018)篩選值中的第一類、第二類用地標(biāo)準(zhǔn)。區(qū)域大氣環(huán)境臭氧濃度未達(dá)標(biāo)，其余指標(biāo)均已達(dá)標(biāo)，區(qū)域已制定限期達(dá)標(biāo)規(guī)劃。根據(jù)環(huán)境質(zhì)量狀況公報(bào)，項(xiàng)目所在地地表水、土壤、地下水等均達(dá)到相應(yīng)環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。相符總量控制：大氣污染物排放量：近期二氧化硫12.1噸/年、氮氧化物44.0噸/年、顆粒物205噸/年、揮發(fā)性有機(jī)物70.47噸/年；遠(yuǎn)期二氧化硫1.28噸/年、氮氧化物9.1噸/年、顆粒物13.8噸/年、揮發(fā)性有機(jī)物37.39噸/年。水污染物排放量：近期廢水排放量1317萬噸/年，化學(xué)需氧量526.7噸/年、氨氮39.5噸/年、總氮131.7噸/年、總磷4.0噸/年；遠(yuǎn)期廢水排放量1504萬噸/年，化學(xué)需氧量601.4噸/年、氨氮45.1噸/年、總氮150.4噸/年、總磷4.51噸/年。本項(xiàng)目新增廢氣在新吳區(qū)范圍內(nèi)平衡，新增廢水污染物在新城水處理廠范圍內(nèi)平衡。不會(huì)突破區(qū)域污染物排放總量控制指標(biāo)。相符其他要求：所有產(chǎn)生顆粒物或VOCs的工序應(yīng)配備高效收集和處理裝置，物料儲(chǔ)存、輸送等環(huán)節(jié)在保障安全生產(chǎn)的前提下，應(yīng)采取密閉、封閉等有效措施控制無組織排放。本項(xiàng)目研發(fā)產(chǎn)生的廢氣由設(shè)備密閉收集，經(jīng)“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”處理后，尾氣通過25m高排氣筒高空排放；物相符—14—料儲(chǔ)存、輸送均密環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)管控開發(fā)區(qū)應(yīng)定期編制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估報(bào)告和應(yīng)急預(yù)案；對(duì)于涉及易導(dǎo)致環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)的有毒有害和易燃易爆物質(zhì)的生產(chǎn)、使用、排放、貯存的企業(yè)，必須編制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)急預(yù)案和風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估報(bào)告并備案，嚴(yán)格按要求完善環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范措施，定期開展演練。本項(xiàng)目建成后將按照要求編制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)急預(yù)案和風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估并備案，嚴(yán)格做好風(fēng)險(xiǎn)防范措施，并做好應(yīng)急演練。相符企業(yè)事業(yè)單位拆除設(shè)施、設(shè)備或者建筑物、構(gòu)筑物的，應(yīng)當(dāng)采取相應(yīng)的土壤污染防治措施。土壤污染重點(diǎn)監(jiān)管單位拆除設(shè)施、設(shè)備或者建筑物、構(gòu)筑物的，應(yīng)當(dāng)制定包括應(yīng)急措施在內(nèi)的土壤污染防治工作方案，報(bào)地方人民政府生態(tài)環(huán)境、工業(yè)和信息化主管部門備案并實(shí)施。本項(xiàng)目為新建項(xiàng)目，租賃現(xiàn)有空置廠房，不涉及拆除。相符資源開發(fā)利用要求土地資源可利用總面積上線21.9平方公里，建設(shè)用地總面積上線（遠(yuǎn)期）18.6平方公里，工業(yè)用地總面積上線（遠(yuǎn)期）2.41平方公里。本項(xiàng)目不新增占地，租賃現(xiàn)有空置廠房從事研發(fā)工作。相符禁止銷售使用燃料為“III類”（嚴(yán)格），具體包括：①煤炭及其制品（包括原煤、散煤、煤旰石、煤、煤粉泥、水煤漿、型煤、焦炭、蘭炭等）；②石油焦、油頁巖、原油、重油、渣油、煤焦油；③非專用鍋爐或未配置高效除塵設(shè)施的專用鍋爐燃用的生物質(zhì)成型燃料；④國家規(guī)定的其它高污染燃料。本項(xiàng)目不銷售相符項(xiàng)目所在地大氣環(huán)境為環(huán)境空氣質(zhì)量功能二類地區(qū)，根據(jù)《無錫市環(huán)境狀況公報(bào)》（2023年度）的無錫市區(qū)基本污染物質(zhì)量監(jiān)測數(shù)據(jù)，評(píng)價(jià)區(qū)各測點(diǎn)大氣因子除O3外，其余均能達(dá)到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)通過審批的《無錫市大氣環(huán)境質(zhì)量限期達(dá)標(biāo)規(guī)劃》相關(guān)內(nèi)容可知，無錫市環(huán)境空氣質(zhì)量2025年可實(shí)現(xiàn)全面達(dá)標(biāo)；建設(shè)項(xiàng)目周邊主要水體為京杭運(yùn)河，京杭運(yùn)河新城水處理廠排污口上游500m和下游1000m監(jiān)測斷面COD、SS、氨氮、總磷、總氮監(jiān)測值能滿足《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）Ⅳ類標(biāo)準(zhǔn)要求。項(xiàng)目所在地聲環(huán)境質(zhì)量滿足《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-2008）3類聲環(huán)境—15—功能區(qū)噪聲要求。本項(xiàng)目廢水、廢氣、固廢均得到合理處置，噪聲對(duì)周邊影響較小，不會(huì)突破項(xiàng)目所在地環(huán)境質(zhì)量底線。因此項(xiàng)目的建設(shè)符合土地資源：本項(xiàng)目在高新區(qū)規(guī)劃工業(yè)用地內(nèi)實(shí)施，未突破高新區(qū)土水資源及能耗：本項(xiàng)目給水、供電、供氣由高新區(qū)市政統(tǒng)一供給，>江蘇省實(shí)施細(xì)則》（長江辦[2022]55號(hào)分析本項(xiàng)目與環(huán)境準(zhǔn)入負(fù)表1-5本項(xiàng)目與長江辦[2022]55號(hào)相符性分析序號(hào)本項(xiàng)目情況相符性1禁止建設(shè)不符合國家港口布局規(guī)劃和《江年）》《江蘇省內(nèi)河港口布局規(guī)劃（2017-2035年）》以及我省有關(guān)港口總體規(guī)劃的碼頭項(xiàng)目，禁止建設(shè)未納入《長江干線過江通道布局規(guī)劃》的過長江通道項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于碼頭項(xiàng)目。符合2嚴(yán)格執(zhí)行《中華人民共和國自然保護(hù)區(qū)條例》，禁止在自然保護(hù)區(qū)核心區(qū)、緩沖區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)投資建設(shè)旅游和生產(chǎn)經(jīng)營項(xiàng)目。嚴(yán)格執(zhí)行《風(fēng)景名勝區(qū)條例》《江蘇省風(fēng)景名勝區(qū)管理?xiàng)l例》，禁止在國家級(jí)和省級(jí)風(fēng)景名勝區(qū)核心景區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)投資建設(shè)與風(fēng)景名勝資源保護(hù)無關(guān)的項(xiàng)目。本項(xiàng)目不位于自然保護(hù)區(qū)核心區(qū)、緩沖區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)，以及不位于風(fēng)景名勝區(qū)核心景區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)。符合3嚴(yán)格執(zhí)行《中華人民共和國水污染防治法》《江蘇省人民代表大會(huì)常務(wù)委員會(huì)關(guān)于加強(qiáng)飲用水源地保護(hù)的決定》《江蘇省水污染防治條例》，禁止在飲用水水源一級(jí)保護(hù)區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)新建、改建、擴(kuò)建與供水設(shè)施和保護(hù)水源無關(guān)的項(xiàng)目，以及網(wǎng)箱養(yǎng)殖、畜禽養(yǎng)殖、旅游等可能污染飲用水水體的投資建設(shè)項(xiàng)目。禁止在飲用水水源二級(jí)保護(hù)區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)新建、改建、擴(kuò)建排放污染物的投資建設(shè)項(xiàng)目。本項(xiàng)目所在地位于太湖一級(jí)保護(hù)區(qū)范圍內(nèi)，項(xiàng)目不涉及含氮、磷生產(chǎn)廢水，與太湖流域管理?xiàng)l例要求相符。本項(xiàng)目不涉及前述禁止類行為。符合4嚴(yán)格執(zhí)行《水產(chǎn)種質(zhì)資源保護(hù)區(qū)管理暫行辦法》，禁止在水產(chǎn)種質(zhì)資源保護(hù)區(qū)的岸線和本項(xiàng)目不在水產(chǎn)種質(zhì)資源保護(hù)區(qū)的岸符合—16—河段范圍內(nèi)新建圍湖造田、圍海造地或圍填海等投資建設(shè)項(xiàng)目。嚴(yán)格執(zhí)行《中華人民共和國濕地保護(hù)法》《江蘇省濕地保護(hù)條例》，禁止在國家濕地公園的岸線和河段范圍內(nèi)挖沙、采礦，以及任何不符合主體功能定位的投資建設(shè)項(xiàng)目。線和河段范圍內(nèi)，以及不在國家濕地公園的岸線和河段范圍內(nèi)，不屬于上述禁止建設(shè)項(xiàng)目。5禁止違法利用、占用長江流域河湖岸線。禁止在《長江岸線保護(hù)和開發(fā)利用總體規(guī)劃》劃定的岸線保護(hù)區(qū)和保留區(qū)內(nèi)投資建設(shè)除事關(guān)公共安全及公眾利益的防洪護(hù)岸、河道治理、供水、生態(tài)環(huán)境保護(hù)、航道整治、國家重要基礎(chǔ)設(shè)施以外的項(xiàng)目。長江干支流基礎(chǔ)設(shè)施項(xiàng)目應(yīng)按照《長江岸線保護(hù)和開發(fā)利用總體規(guī)劃》和生態(tài)環(huán)境保護(hù)、岸線保護(hù)等要求，按規(guī)定開展項(xiàng)目前期論證并辦理相關(guān)手續(xù)。禁止在《全國重要江河湖泊水功能區(qū)劃》劃定的河段及湖泊保護(hù)區(qū)、保留區(qū)內(nèi)投資建設(shè)不利于水資源及自然生態(tài)保護(hù)的項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于上述禁止項(xiàng)目。符合6禁止未經(jīng)許可在長江干支流及湖泊新設(shè)、改設(shè)或擴(kuò)大排污口。本項(xiàng)目在長江干支流及湖泊不新增污水排放口。符合7禁止長江干流、長江口、34個(gè)列入《率先全面禁捕的長江流域水生生物保護(hù)區(qū)名錄》的水生生物保護(hù)區(qū)以及省規(guī)定的其他禁漁水域開展生產(chǎn)性捕撈。本項(xiàng)目為化學(xué)氣相沉積設(shè)備研發(fā)測試項(xiàng)目，不涉及捕撈等活動(dòng)。符合8禁止在距離長江干支流岸線一公里范圍內(nèi)新建、擴(kuò)建化工園區(qū)和化工項(xiàng)目本項(xiàng)目不屬于化工項(xiàng)目。符合9禁止在長江干流岸線三公里范圍內(nèi)新建、改建、擴(kuò)建尾礦庫、冶煉渣庫和磷石膏庫，以提升安全、生態(tài)環(huán)境保護(hù)水平為目的的改建除外。本項(xiàng)目不屬于上述禁止項(xiàng)目。符合禁止在太湖流域一、二、三級(jí)保護(hù)區(qū)內(nèi)開展《江蘇省太湖水污染防治條例》禁止的投資建設(shè)活動(dòng)。本項(xiàng)目所在地屬于太湖一級(jí)保護(hù)區(qū)范圍內(nèi)，項(xiàng)目不涉及含氮、磷生產(chǎn)廢水，與太湖流域管理?xiàng)l例要求相符。符合禁止在沿江地區(qū)新建、擴(kuò)建未納入國家和省布局規(guī)劃的燃煤發(fā)電項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于燃煤發(fā)電項(xiàng)目。符合禁止在合規(guī)園區(qū)外新建、擴(kuò)建鋼鐵、石化、化工、焦化、建材、有色、制漿造紙等高污染項(xiàng)目。本項(xiàng)目位于工業(yè)園區(qū)內(nèi)，且不屬于上述禁止建設(shè)項(xiàng)目。符合禁止在取消化工定位的園區(qū)（集中區(qū)）內(nèi)新建化工項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于化工項(xiàng)目。符合禁止在化工企業(yè)周邊建設(shè)不符合安全距離規(guī)定的勞動(dòng)密集型的非化工項(xiàng)目和其他人員密集的公共設(shè)施項(xiàng)目。本項(xiàng)目所在園區(qū)不涉及化工企業(yè)。符合禁止新建、擴(kuò)建不符合國家和省產(chǎn)業(yè)政策的尿素、磷銨、電石、燒堿、聚氯乙烯、純堿等行業(yè)新增產(chǎn)能項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于上述禁止建設(shè)項(xiàng)目。符合—17—禁止新建、改建、擴(kuò)建高毒、高殘留以及對(duì)環(huán)境影響大的農(nóng)藥原藥（化學(xué)合成類）項(xiàng)目，禁止新建、擴(kuò)建不符合國家和省產(chǎn)業(yè)政策的農(nóng)藥、醫(yī)藥和染料中間體化工項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于上述禁止建設(shè)項(xiàng)目。符合禁止新建、擴(kuò)建不符合國家石化、現(xiàn)代煤化工等產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃的項(xiàng)目，禁止新建獨(dú)立焦化項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于上述禁止建設(shè)項(xiàng)目。符合禁止新建、擴(kuò)建國家《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》《江蘇省產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整限制、淘汰和禁止目錄》明確的限制類、淘汰類、禁止類項(xiàng)目，法律法規(guī)和相關(guān)政策明令禁止的落后產(chǎn)能項(xiàng)目以及明令淘汰的安全生產(chǎn)落后工藝及裝備項(xiàng)目。本項(xiàng)目為新建項(xiàng)目，與國家和地方產(chǎn)業(yè)政策相符。符合禁止新建、擴(kuò)建不符合國家產(chǎn)能置換要求的嚴(yán)重過剩產(chǎn)能行業(yè)的項(xiàng)目。禁止新建、擴(kuò)建不符合要求的高耗能高排放項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于產(chǎn)能過程項(xiàng)目、高能耗高污染項(xiàng)目。符合20法律法規(guī)及相關(guān)政策文件有更加嚴(yán)格規(guī)定的從其規(guī)定。本項(xiàng)目滿足法律法規(guī)及相關(guān)政策文件。符合（2）本項(xiàng)目不屬于《外商投資準(zhǔn)入特別管理措施（負(fù)面清單20（3）本項(xiàng)目不屬于《市場準(zhǔn)入負(fù)面清單（2022年版）》（發(fā)（4）根據(jù)《無錫國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2022-2035)》（蘇環(huán)審【2024】9號(hào)分析本項(xiàng)目與環(huán)境準(zhǔn)入負(fù)面清單相符性表1-6本項(xiàng)目與蘇環(huán)審【2024】9號(hào)相符性分析類別本項(xiàng)目相符性產(chǎn)業(yè)準(zhǔn)入要求1、禁止引入與《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》、《長江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南》（試行2022年版）及江蘇省實(shí)施細(xì)則、《太湖流域管理?xiàng)l例》、《江蘇省太湖水污染防治條例》等國家、地方法律法規(guī)、產(chǎn)業(yè)政策相沖突的項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于該條文件中限制、淘汰、禁止類項(xiàng)相符2、禁止新建、擴(kuò)建化工生產(chǎn)項(xiàng)目（化工重點(diǎn)監(jiān)測點(diǎn)企業(yè)、為高新區(qū)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)等配套建設(shè)的工業(yè)氣體生產(chǎn)項(xiàng)目除外）。本項(xiàng)目不屬于化工項(xiàng)目。相符3、禁止建設(shè)生產(chǎn)和使用高VOCs含量的涂料、油墨、膠粘劑項(xiàng)目（現(xiàn)階段確實(shí)無法實(shí)施原料替代的項(xiàng)目需提供不可替代的論證說明）。本項(xiàng)目不涉及高VOCs含量的涂料、油墨、膠粘劑。相符—18—4、禁止引入純電鍍生產(chǎn)項(xiàng)本項(xiàng)目不涉及電鍍。相符5、嚴(yán)格涉鉛、汞、鉻、砷、鎘重金屬項(xiàng)目準(zhǔn)入，園區(qū)鉛、汞、鉻、砷、鎘重金屬排放總量原則上不得增加（集成電路、電子信息等科技型、主導(dǎo)型產(chǎn)業(yè)確需增加的，需在只考慮環(huán)境因素的前提下選擇最優(yōu)技術(shù)方案，滿足清潔生產(chǎn)最高等級(jí)，保證污染物達(dá)到最低排放強(qiáng)度和排放濃度）。本項(xiàng)目屬于M7320工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展，主要從事化學(xué)氣相沉積設(shè)備研發(fā)測試，為電子行業(yè)配套產(chǎn)業(yè)。研發(fā)過程中產(chǎn)生砷化氫，已采用“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”，后續(xù)開展清潔生產(chǎn)審核，保證污染物達(dá)到最低排放強(qiáng)度和排放濃度。相符6、嚴(yán)格涉氟廢水排放項(xiàng)目準(zhǔn)入。本項(xiàng)目無含氟廢水排放。相符7、高新A區(qū)嚴(yán)格涉酸霧排放項(xiàng)目準(zhǔn)入。本項(xiàng)目不涉及酸霧排放。相符8、遏制建材、鋼鐵等“兩高”項(xiàng)目盲目發(fā)展。本項(xiàng)目不屬于“兩高”項(xiàng)目。相符空間布局約束1、嚴(yán)格落實(shí)《江蘇省禁止用地項(xiàng)目目錄（2013年本）》、《江蘇省限制用地項(xiàng)目目錄（2013年本）等文件中有關(guān)條件、標(biāo)準(zhǔn)或要求。本項(xiàng)目不新增用地。相符2、高新區(qū)內(nèi)建設(shè)項(xiàng)目需嚴(yán)格落實(shí)衛(wèi)生、環(huán)境防護(hù)距離要求，該范圍內(nèi)不得規(guī)劃布設(shè)居住區(qū)、學(xué)校、醫(yī)院等敏感目標(biāo)。本項(xiàng)目不設(shè)衛(wèi)生防護(hù)距離范圍。相符3、規(guī)劃居住用地周邊優(yōu)先引入無污染或輕污染的企業(yè)或項(xiàng)目，并加強(qiáng)綠化隔離帶建設(shè)，結(jié)合具體項(xiàng)目確定并落實(shí)防護(hù)距離的設(shè)置。相符污染物排放管控1、環(huán)境質(zhì)量：2025年，PM2.5、臭氧、二氧化氮年均值分別達(dá)到25、160、28微克/立方米；高新區(qū)外京杭大運(yùn)河望亭上游斷面、伯瀆港承澤坎橋斷面、走馬塘金城東路橋斷面水質(zhì)達(dá)III類，高新區(qū)內(nèi)周涇浜、梅花港等河道達(dá)IV類。本項(xiàng)目所在區(qū)域?yàn)槌粞醪贿_(dá)標(biāo)區(qū)，根據(jù)《無錫市環(huán)境狀況公報(bào)》（2023年度）滿足相應(yīng)的環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，本項(xiàng)目建成后對(duì)區(qū)域環(huán)境影響較??；根據(jù)引用監(jiān)測數(shù)據(jù)京杭大運(yùn)河水質(zhì)為Ⅳ類水質(zhì)；本項(xiàng)目產(chǎn)生的生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理后，接管至新城水廠集中處理，對(duì)外環(huán)境影響較小。相符2、對(duì)于國家排放標(biāo)準(zhǔn)中已規(guī)定大氣污染物特別排放限值的行業(yè)全面執(zhí)行大氣污染物特別排放限值。本項(xiàng)目廢氣主要為研發(fā)廢氣，經(jīng)“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”處理后達(dá)標(biāo)排放。相符3、嚴(yán)格新建項(xiàng)目總量前置審批，新建項(xiàng)目按省、市相關(guān)文件落實(shí)“等量”或“減量”替代要求。本項(xiàng)目新增廢氣在新吳區(qū)范圍內(nèi)平衡，新增廢水污染物在新城水處理廠平衡，相符—19—固廢“零”排放。4、總量控制：大氣污染物：近期：顆粒物359.477噸/年、二氧化硫235.651噸/年、氮氧化物1010.121噸/年、VOCs1140.426噸/年；遠(yuǎn)期：顆粒物359.425噸/年二氧化硫235.616噸/年、氮氧化物1009.96噸/年、VOCs1134.287噸/年。水污染物：近期：排水量5276.086萬噸/年、COD1173.13噸/年、氨氮69.428噸/年、總氮306.185噸/年、總磷9.259噸/年；遠(yuǎn)期：排水量5172.061萬噸/年、COD1087.301噸/年、氨氮55.919噸/年、總氮270.297噸/年、總磷8.182噸/年。本項(xiàng)目新增廢氣在新吳區(qū)范圍內(nèi)平衡，新增廢水污染物在新城水處理廠平衡，固廢“零”排放。相符環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)1、完善園區(qū)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范預(yù)警系統(tǒng)，建立風(fēng)險(xiǎn)源動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)庫，加強(qiáng)對(duì)潛在風(fēng)險(xiǎn)源的管理，對(duì)易引發(fā)突發(fā)性環(huán)境污染事故的場所安裝相應(yīng)的監(jiān)測和預(yù)警裝置，實(shí)現(xiàn)快速應(yīng)急響應(yīng)。本項(xiàng)目建成后，將進(jìn)行環(huán)境隱患排查與治理工作，落實(shí)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范相關(guān)整治要求，企業(yè)將按規(guī)范要求進(jìn)一步健全環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)管控體系，加強(qiáng)環(huán)境管理能力建相符2、建立突發(fā)水污染事件應(yīng)急防范體系，完善園區(qū)突發(fā)水污染事件三級(jí)防控體系工程建設(shè)。相符3、生產(chǎn)、使用、儲(chǔ)存危險(xiǎn)化學(xué)品或其他存在環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)的企業(yè)事業(yè)單位，應(yīng)當(dāng)采取風(fēng)險(xiǎn)防范措施，并按要求編制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)急預(yù)案。本項(xiàng)目建成后，將按照要求編制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)急預(yù)案并備案。相符資源開發(fā)利用要求1、園區(qū)單位工業(yè)增加值新鮮水耗≤6立方米/萬元。本項(xiàng)目建成后水耗約為1.0立方米/萬元。相符2、單位工業(yè)增加值綜合能耗≤0.15噸標(biāo)煤/萬元。本項(xiàng)目建成后全廠綜合能耗為0.01噸標(biāo)煤/萬元。相符3、禁止銷售使用燃料為“Ⅱ類”（較嚴(yán)），具體包括（1）除單臺(tái)出力大于等于20蒸噸/小時(shí)鍋爐以外燃用的煤炭及其制品。（2）石油焦、油頁巖、原油重油、渣油、煤焦油（現(xiàn)有燃煤熱電聯(lián)產(chǎn)項(xiàng)目除外）本項(xiàng)目不涉及“Ⅱ類”燃料的銷售和使用。相符4、引進(jìn)項(xiàng)目的生產(chǎn)工藝、設(shè)備，以及單位產(chǎn)品水耗能耗、污染物排放和資源利用效率等應(yīng)達(dá)到同行業(yè)國際先進(jìn)水平。本項(xiàng)目建成后達(dá)到國內(nèi)清潔生產(chǎn)先進(jìn)水平。相符5、禁止開采地下水。本項(xiàng)目不開采地下水。相符—20—設(shè)符合“三線一單”要求。4、與其他產(chǎn)業(yè)政策相符性分析表1-7本項(xiàng)目與錫環(huán)辦〔2021〕142號(hào)的相符性分析類別相符性分析相符性生產(chǎn)工藝、裝備、原料、環(huán)境四替代用國際國內(nèi)先進(jìn)工藝、裝備、低揮發(fā)水性溶劑等環(huán)境友好型原材料、先進(jìn)高效的污染治理設(shè)施替代傳統(tǒng)工藝、普通裝備、高揮發(fā)性原料、落后的污染治理設(shè)施本項(xiàng)目設(shè)備為國內(nèi)外先進(jìn)設(shè)備，工藝先進(jìn)，不涉及有機(jī)溶劑的使用。相符從場址選取、廠區(qū)布局、廠房設(shè)計(jì)、設(shè)備選型等方面充分考慮環(huán)境保護(hù)的需求，從源頭控制無組織排放、初期雨水收集、環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范等問題。本項(xiàng)目位于工業(yè)集中區(qū)內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)廠房，從設(shè)備選項(xiàng)和布局上已重復(fù)考慮環(huán)境保護(hù)要求，調(diào)試驗(yàn)證過程均為密閉作業(yè)，采用設(shè)備密閉收集廢氣。廠區(qū)雨污分流，雨水接管口安裝應(yīng)急切斷閥，車間內(nèi)設(shè)置了必要的風(fēng)險(xiǎn)防范設(shè)施和應(yīng)急物資等。相符生產(chǎn)工藝選用的各種涂料、廠房建筑用涂料、工業(yè)設(shè)備防護(hù)涂料等，除有特殊要求外，必須選用符合《低揮發(fā)性有機(jī)化合物含量涂料產(chǎn)品技術(shù)要求》(GBT38597-2020)標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品。對(duì)“兩高”項(xiàng)目(當(dāng)前按煤電、石化、化工、鋼鐵、有色、建材界定)要嚴(yán)格環(huán)境準(zhǔn)入，滿足總量控制、碳達(dá)峰碳中和目標(biāo)、生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單、規(guī)劃環(huán)評(píng)及行業(yè)建設(shè)環(huán)境準(zhǔn)入條件。本項(xiàng)目不涉及涂裝等工序，不屬于煤電、石化、化工、鋼鐵、有色、建材等“兩高”項(xiàng)目。相符生產(chǎn)過程中中水回用、物料強(qiáng)化項(xiàng)目的節(jié)水設(shè)計(jì)，提高項(xiàng)目中水回用率，新建、改建項(xiàng)目的中水回用水平必須高于行業(yè)平均水平，達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平以上。本項(xiàng)目生產(chǎn)過程中用水量小，冷卻水循環(huán)使用，定期排放。相符根據(jù)《江蘇省太湖水污染防治條例》規(guī)定，非戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，不得新增含磷、氮的生產(chǎn)廢水。用水量較大的印染、電子等行業(yè)必須大幅提高中水回用率。本項(xiàng)目不涉及含氮、磷生產(chǎn)廢水。相符冷卻水強(qiáng)排水、反滲透(RO)尾水等“清凈下水”必須按照生產(chǎn)廢水接管，不得接入雨水口排放。本項(xiàng)目冷卻水排水按照生產(chǎn)廢水接管至污水管相符強(qiáng)化生產(chǎn)過程中的物料回收利本項(xiàng)目產(chǎn)生的一般固相符—21—用，鼓勵(lì)有條件的揮發(fā)性有機(jī)物排放企業(yè)(如印刷、包裝類企業(yè))通過冷凝、吸附、吸收等技術(shù)實(shí)現(xiàn)物料回用廢由相關(guān)單位進(jìn)行資源化回收；本項(xiàng)目不涉及揮發(fā)性有機(jī)物。強(qiáng)化固體廢物源頭減量和綜合利用，配套的回收利用設(shè)施必須達(dá)到主生產(chǎn)裝置同樣的設(shè)計(jì)水平和環(huán)保要求，提升回收效率，需外送利用處置固體廢物和危險(xiǎn)廢物的，在本市應(yīng)具有穩(wěn)定可靠的承接單位。本項(xiàng)目危險(xiǎn)廢物委托有資質(zhì)的單位處置，一般固廢由相關(guān)單位進(jìn)行資源化回收，生活垃圾由環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一收集處理。相符治污設(shè)施提高標(biāo)準(zhǔn)、提高效率項(xiàng)目審批階段必須征求水、氣、固體等要素部門意見，審核項(xiàng)目污染防治措施是否已達(dá)到目前上級(jí)要求的最先進(jìn)水平，未達(dá)最嚴(yán)標(biāo)準(zhǔn)、最新要求的一律不得審批。要按照所屬行業(yè)的《排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范》要求，選擇采用可行性技術(shù)，提高治污設(shè)施的標(biāo)準(zhǔn)和要求，對(duì)于未采用污染防治可行技術(shù)的項(xiàng)目不予受理；鼓勵(lì)采用具備應(yīng)用案例或中試數(shù)據(jù)等條件的新型污染防治技術(shù)。本項(xiàng)目調(diào)試驗(yàn)證過程中產(chǎn)生的廢氣經(jīng)設(shè)備密閉收集后通過“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”處處理效率為90%，屬于有效的污染防治措施。相符涉揮發(fā)性有機(jī)物排放的項(xiàng)目，必須嚴(yán)格落實(shí)國家《重點(diǎn)行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物綜合治理方案》的要求，對(duì)揮發(fā)性有機(jī)物要有效收集、提高效率，鼓勵(lì)釆用吸附、吸收、生物凈化、催化燃燒、蓄熱燃燒等多種治理技術(shù)聯(lián)合應(yīng)用的工藝路線；確保穩(wěn)定達(dá)標(biāo)并符合《揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》的相關(guān)要求。對(duì)于無組織排放點(diǎn)多、難以有效收集的情況，要整體建設(shè)負(fù)壓車間，對(duì)含揮發(fā)性有機(jī)物的廢氣進(jìn)行全收集和治理。對(duì)涉水、涉氣重點(diǎn)項(xiàng)目，必須要求安裝用電工況和自動(dòng)在線監(jiān)控設(shè)備設(shè)施并聯(lián)網(wǎng)。新建天然氣鍋爐必須釆用低氮燃燒技術(shù)，工業(yè)爐窯達(dá)到深度治理要求。本項(xiàng)目不涉及揮發(fā)性有機(jī)物。相符暫行辦法的通知》（蘇政發(fā)[2021]20號(hào)分析本項(xiàng)目與其相本項(xiàng)目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層，屬于高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū)，距離京杭運(yùn)河約1.3km，與《省政府關(guān)于印發(fā)大運(yùn)河江蘇段核心監(jiān)控區(qū)國土空間管控暫行辦法的通知》（蘇政發(fā)[2021]20號(hào)）相符性分析見下表。—22—表1-8與蘇政發(fā)[2021]20號(hào)相符性分析文件名稱具體內(nèi)容相符性《省政府關(guān)于印發(fā)大運(yùn)河江蘇段核心監(jiān)控區(qū)國土空間管控暫行辦法的通三、空間準(zhǔn)入第十條：嚴(yán)格準(zhǔn)入管理。核心監(jiān)控區(qū)內(nèi)，實(shí)行國土空間準(zhǔn)入正(負(fù))面清單管理制度，控制開發(fā)規(guī)模和強(qiáng)度，嚴(yán)禁不符合主體功能定位的各類開發(fā)活動(dòng)。相沉積設(shè)備研發(fā)測試項(xiàng)目，位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零層，為電子行業(yè)配套產(chǎn)業(yè)，與園區(qū)主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)相符。第十一條：加強(qiáng)岸線管理。嚴(yán)格保護(hù)和合理利用岸線，維護(hù)岸線基本穩(wěn)定。項(xiàng)目占用岸線須符合《中華人民共和國水法》《江蘇省河道管理?xiàng)l例》《江蘇省建設(shè)項(xiàng)目占用水域管理辦法》等法律法規(guī)及相關(guān)規(guī)劃要求。市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3京杭運(yùn)河岸線及水域。第十二條：濱河生態(tài)空間內(nèi)，嚴(yán)控新增非公益性建設(shè)用地，原則上不在現(xiàn)有農(nóng)村居民點(diǎn)外新增集中居民點(diǎn)。新增建設(shè)用地項(xiàng)目實(shí)行正面清單管理。除以下建設(shè)項(xiàng)目外禁止準(zhǔn)入：(一)軍事和外交需要用地的；(二)由政府組織實(shí)施的能源、交通、水利、通信、郵政等基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)需要用地的；(三)由政府組織實(shí)施的科技﹑教育、文化，旅游、衛(wèi)生、體育、生態(tài)環(huán)境和資源保護(hù)、防災(zāi)減災(zāi)、文物保護(hù)、社區(qū)綜合服務(wù)﹑社會(huì)福利、市政公用﹑優(yōu)撫安置、英烈保護(hù)等公共事業(yè)需要用地的；(四)納入國家、省大運(yùn)河文化帶建設(shè)規(guī)劃的建設(shè)項(xiàng)目；(五)國家和省人民政府同意建設(shè)的其他建設(shè)項(xiàng)目。市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層，屬于高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū)，位于建成區(qū)范圍內(nèi)，不新增建設(shè)用地。第十三條核心監(jiān)控區(qū)其他區(qū)域內(nèi)，實(shí)行負(fù)面清單管理，禁止以下建設(shè)項(xiàng)目準(zhǔn)入：（一）非建成區(qū)內(nèi)，大規(guī)模新建擴(kuò)建房地產(chǎn)、大型及特大型主題公園等開發(fā)項(xiàng)目；（二）新建擴(kuò)建高風(fēng)險(xiǎn)、高污染、高耗水產(chǎn)業(yè)和不利于生態(tài)環(huán)境保護(hù)的工礦企業(yè)，以及不符合相關(guān)規(guī)劃的碼頭工程；（三）對(duì)大運(yùn)河沿線生態(tài)環(huán)境可能產(chǎn)生較大影響或景觀破壞的；（四）不符合國家和省關(guān)于生態(tài)保護(hù)紅線、永久基本農(nóng)田、生態(tài)空間本項(xiàng)目位于大運(yùn)河江蘇段核心監(jiān)控區(qū)內(nèi)，在現(xiàn)有控空置廠房內(nèi)進(jìn)行建設(shè)，本項(xiàng)目不屬于工礦企業(yè)，不屬于禁止建設(shè)項(xiàng)目?！?3—管控區(qū)域相關(guān)規(guī)定的五）不符合《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》《市場準(zhǔn)入負(fù)面清單》《江蘇省長江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單實(shí)施細(xì)則》及江蘇省河湖岸線保護(hù)和開發(fā)利用相關(guān)要求的；（六）法律法規(guī)禁止或限制的其他情形。第十四條：建成區(qū)(城市、建制鎮(zhèn))內(nèi)﹐嚴(yán)禁實(shí)施不符合產(chǎn)業(yè)政策、規(guī)劃和管制要求的建設(shè)項(xiàng)目。城市建成區(qū)老城改造應(yīng)加強(qiáng)建筑高度管控，開展建筑高度影響分析，按照高層禁建區(qū)管理，落實(shí)限高﹑限密度的具體要求，限制各類用地調(diào)整為大型的工商業(yè)、商務(wù)辦公、住宅商品房、倉儲(chǔ)物流設(shè)施等項(xiàng)目用地。市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層，屬于高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū)，位于建成區(qū)范圍內(nèi)，根據(jù)《無錫新區(qū)高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū)控制性詳細(xì)規(guī)劃A南-站前區(qū)管理單元?jiǎng)討B(tài)更日更新符合用地規(guī)劃?？臻g整治修復(fù)第二十二條：加強(qiáng)不合理用地空間騰退。開展主河道沿線化工企業(yè)整治提升，依法關(guān)閉不符合安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)的化工企業(yè)、園區(qū)，依法關(guān)停環(huán)保不達(dá)標(biāo)的化工企業(yè)、園區(qū)，依法依規(guī)淘汰化工行業(yè)落后產(chǎn)能。對(duì)已存在具有歷史文化遺產(chǎn)價(jià)值的建筑，在修復(fù)中予以保護(hù)；對(duì)于違規(guī)占?jí)哼\(yùn)河河道本體和岸線的建(構(gòu))筑物，按照相關(guān)要求及時(shí)處置整改，對(duì)其他不符合生態(tài)環(huán)境保護(hù)和歷史文化遺產(chǎn)保護(hù)要求的已有項(xiàng)目和設(shè)施逐步搬離。濱河生態(tài)空間內(nèi)騰退的土地優(yōu)先用于建設(shè)公共綠地或基本公共服務(wù)設(shè)施。本項(xiàng)目不屬于化工企業(yè)，不占?jí)哼\(yùn)河河道本體和岸線，符合文件要求。綜上所述，建設(shè)項(xiàng)目符合國家、地方產(chǎn)業(yè)政策，項(xiàng)目選址符合區(qū)域總體規(guī)劃，并能夠滿足生態(tài)保護(hù)紅線、環(huán)境質(zhì)量底線以及資源利用上限—24—二、建設(shè)項(xiàng)目工程分析建設(shè)內(nèi)容52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材無錫市云港創(chuàng)業(yè)投資有限公司位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層的2194.01m積設(shè)備，對(duì)無錫高新區(qū)集成電路發(fā)展具有重要意義。該項(xiàng)目已于2025年03月28日取得無錫高新區(qū)（新吳區(qū)）數(shù)據(jù)局的立項(xiàng)備案意見，項(xiàng)目代碼：2503-05-201962。發(fā)（試驗(yàn)）基地-其他”，環(huán)評(píng)類別為報(bào)告表。因此，建設(shè)單位委托環(huán)評(píng)公司編制建設(shè)地點(diǎn)：無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)—25—3.生產(chǎn)規(guī)模及建設(shè)內(nèi)容表2-1本項(xiàng)目主體工程及產(chǎn)品方案表工程名稱(車間、生產(chǎn)裝置或生產(chǎn)線)研發(fā)內(nèi)容設(shè)計(jì)研發(fā)能力年運(yùn)行時(shí)數(shù)研發(fā)車間化學(xué)氣相沉積設(shè)備3套/年2000h4.工程組成表2-2本項(xiàng)目建設(shè)項(xiàng)目主體及公輔工程一覽表項(xiàng)目名稱建設(shè)名稱設(shè)計(jì)能力備注主體工程研發(fā)車間810m2位于廠房三層輔助工程辦公區(qū)位于車間原料倉庫位于車間特氣房50m2特殊氣體存放特氣房公用工程給水自來水管網(wǎng)提供排水生活污水200t/a生活污水經(jīng)化糞池處理后和冷卻水排水一并接管至新城水處理廠集中處理冷卻水排水40t/a供電10萬度/年市政電網(wǎng)提供環(huán)保工程廢氣處理廢氣“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”，風(fēng)機(jī)風(fēng)量3000m3/h經(jīng)設(shè)備密閉收集，由“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”處理后，尾氣通過25m高排氣筒FQ-01高空排放廢水處理生活污水化糞池5m3依托出租方固廢處理一般固廢新建，分區(qū)存放危險(xiǎn)固廢新建，分區(qū)存放5.主要設(shè)備表2-3主要設(shè)施規(guī)格、數(shù)量一覽表序號(hào)設(shè)備名稱規(guī)格型號(hào)數(shù)量（臺(tái)/套）備注1121331241513—26—6127128氫氮混氣柜H2/N2Mixer1H2/N29純化器--1純化器--1N2高溫爐1去除石墨料件表面污漬低溫烘箱50~60℃1暫存石墨料件堿洗槽3060mm×1500mm×2300mm1清洗設(shè)備下級(jí)管路液氮罐1--冰水機(jī)組1--廢氣處理裝置1--6.主要原輔材料表2-4項(xiàng)目主要原輔材料用量表序號(hào)物料名稱規(guī)格型號(hào)，主要組分單位年耗量最大存儲(chǔ)量備注1GaAs基板6寸/片，砷化鎵基板片2000200--2石墨料件--支撐GaAs基板3設(shè)備配件五金件套334GN2（液）5m3儲(chǔ)罐，普通氮?dú)釲4.75--5GH2（氣）40L/瓶，普通氫氣L2254.5--6ASH3（氣）40L/瓶，砷化氫--740L/瓶，磷化氫--8H6（氣）40L/瓶，200ppm濃度的乙硅烷，混合在高純氫氣中251--92500g/瓶，三甲基鎵(Ga(CH3)3)--350g/瓶，三甲基銦(In(CH3)3)11--250g/瓶，三甲基鋁(Al(CH3)3)11--4（固）200g/瓶，四溴化碳11--150g/瓶，二乙基碲(Te(C2H5)2)瓶11--400g/瓶，二乙基鋅(Zn(C2H5)2)瓶11--2Mg（固）50g/瓶，雙(環(huán)戊二烯)鎂(Mg(C5H5)2)0.1--5L/桶，45%濃度的氫氧化鈉L4020稀釋至5~10%使用He（氣）40L/瓶，氦氣L40設(shè)備維保—27—7、主要原輔材料理化性質(zhì)表2-5主要原輔材料理化性質(zhì)、毒性毒理化學(xué)品理化性質(zhì)燃燒爆炸性毒理性N2無色無味氣體，化學(xué)惰性，不溶于水，沸點(diǎn)-195.79℃,熔點(diǎn)-210℃,密度1.145g/L（常溫常壓）不燃無資料無色無味氣體，沸點(diǎn)-252.87℃,熔點(diǎn)259.16℃,密度0.082g/L（常溫常壓），燃點(diǎn)：500℃,爆炸極限為4%～75%易燃易爆無資料無色氣體，有蒜臭味，沸點(diǎn)-62.5℃,熔點(diǎn)-117℃,相對(duì)密度2.7（空氣=1），爆炸極限為3.9%～77.8%易燃易爆3無色氣體，有蒜臭味，沸點(diǎn)-88℃,熔點(diǎn)-134℃,相對(duì)密度1.2（空氣=1），爆炸極限易燃易爆無色氣體，沸點(diǎn)-14.3℃,熔點(diǎn)-133℃,密度1.17g/L（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)），爆炸下限為0.2%易燃易爆無資料無色透明液體，沸點(diǎn)55.7℃,熔點(diǎn)-15.8℃,密度1.151kg/L（常溫常壓），閃點(diǎn)-18℃無資料白色晶體，沸點(diǎn)133.8℃,熔點(diǎn)88.4℃,密度1.568kg/L（常溫常壓），閃點(diǎn)-18℃無資料無色透明液體，沸點(diǎn)127℃,熔點(diǎn)15℃,密度0.752kg/L（常溫常壓），閃點(diǎn)-40℉無資料白色固體，沸點(diǎn)190℃,熔點(diǎn)88~90℃,密度3.42kg/L（常溫常壓）不燃無資料無色至淡黃色液體，大蒜辛辣氣味，沸點(diǎn)137~138℃,1.599g/cm3（常溫常壓），閃點(diǎn)42℃無資料無色透明液體，沸點(diǎn)98℃,熔點(diǎn)-28℃,1.205g/cm3（常溫常壓），閃點(diǎn)-45℉有毒1.07g/cm3（常溫常壓）無資料8.項(xiàng)目位置、周圍環(huán)境及廠區(qū)平面布置本項(xiàng)目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)500米環(huán)境示意見附圖2?！?8—工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)—29—2、本項(xiàng)目產(chǎn)污環(huán)節(jié)一覽表表2-7本項(xiàng)目主要產(chǎn)污環(huán)節(jié)和排污特征類別代碼產(chǎn)生點(diǎn)污染物治理措施廢氣G1調(diào)試驗(yàn)證藝氣體等由設(shè)備密閉收集后，經(jīng)“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”處理后，尾氣通過25m高排氣筒FQ-01高空排放廢水員工生活生活污水生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理后同冷卻水排水一并接管至新城水處理廠冷卻機(jī)組冷卻水排水S1組裝廢零配件物資回收單位回收利用調(diào)試驗(yàn)證廢芯片原料包裝廢包裝材料清洗清洗廢液委托有資質(zhì)單位處置廢氣處理廢吸附劑委托有資質(zhì)單位處置—30—廢氣處理噴淋廢液委托有資質(zhì)單位處置員工生活生活垃圾環(huán)衛(wèi)清運(yùn)噪聲設(shè)備運(yùn)行距離衰減、廠房隔聲3.本項(xiàng)目砷元素平衡項(xiàng)目設(shè)備調(diào)試過程中使用的含砷物料有：砷化鎵基板（ASGa）、砷化氫州長光華芯、無錫拓易等光芯片制造企業(yè)的生產(chǎn)信息，利用率取70%，過量未反應(yīng)的ASH3進(jìn)入“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”吸附處理，收集效率入方物料名稱砷元素含量成膜廢氣廢水9.61226.728540.28836602.595294合計(jì)9.61229.6122—31—4.本項(xiàng)目水平衡本項(xiàng)目建成后本項(xiàng)目用水主要為職工生活用水、冷卻用水、噴250天，則生活用水量約250t/a。損耗按20%計(jì)，產(chǎn)生生活污水200t/a?！?2——33—與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問題本項(xiàng)目為新建項(xiàng)目，位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號(hào)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層，租用無錫市云港創(chuàng)業(yè)投資有限公司2194.01m2標(biāo)準(zhǔn)廠房，除以上設(shè)施外，其余公用及輔助設(shè)施、設(shè)備均為本項(xiàng)目自行添置。本項(xiàng)目對(duì)園3層，依托使用出租方廠區(qū)現(xiàn)有供電系統(tǒng)、供水管網(wǎng)、排水管網(wǎng)，出租方在建設(shè)—34——35—三、區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀、環(huán)境保護(hù)目標(biāo)及評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀根據(jù)《2023年度無錫市生態(tài)環(huán)境狀況公報(bào)》，與2022年相比，O3濃度下降6.7%，PM2.5、SO2濃度同比持平，PM10、NO2、CO濃度同比上升2%、年份二氧化硫(μg/m3)二氧化氮(μg/m3)PM10(μg/m3)一氧化碳(mg/m3)O3(μg/m3)PM2.5(μg/m3)無錫市2023年83228評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)604070435根據(jù)《2023年度無錫市環(huán)境狀況公報(bào)》，按照《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》根據(jù)《中華人民共和國大氣污染防治法》的要求，未達(dá)標(biāo)城市需要編制限期達(dá)標(biāo)規(guī)劃，明確限期達(dá)標(biāo)，制定有效的大氣污染防治措施。無錫市已按要求劃的規(guī)劃范圍為：整個(gè)無錫市全市范圍（4650平方公里）。無錫市區(qū)面積1643.88平方公里，另有太湖水域397.8平方公里。下轄共5個(gè)區(qū)2個(gè)市（梁溪區(qū)、濱湖區(qū)、惠山區(qū)、錫山區(qū)、新吳區(qū)、江陰市、宜興市）、7個(gè)鎮(zhèn)、41個(gè)街本項(xiàng)目經(jīng)化糞池預(yù)處理后的生活污水與冷卻水排水一同接管至新城水處理廠集中處理，尾水排入京杭運(yùn)河。本次評(píng)價(jià)引用江蘇國舜檢測技術(shù)有限公司于2023年8月對(duì)新城水處理廠納污河道（京杭運(yùn)河）上下游斷面的現(xiàn)狀檢測報(bào)告（GS2308054005P1）中的相關(guān)監(jiān)測數(shù)據(jù)，監(jiān)測斷面為高浪大橋和新虹大橋，監(jiān)—36—斷面名稱采樣日期pH值CODcrNH3-NTP高浪大橋2023.08.097.727340.8220.122023.08.107.624360.7170.162023.08.117.6300.7170.17超標(biāo)率00000最大超標(biāo)倍數(shù)新虹大橋2023.08.097.623330.5280.182023.08.107.525310.7880.142023.08.117.6340.5920.18超標(biāo)率00000最大超標(biāo)倍數(shù)Ⅳ類標(biāo)準(zhǔn)值6~9≤30--≤1.5≤0.3由上表可知，監(jiān)測資料表明各監(jiān)測斷面各監(jiān)測因子均滿足《量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）Ⅳ類水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。3、聲環(huán)境根據(jù)《無錫市區(qū)聲環(huán)境功能區(qū)劃分調(diào)整方案》(錫政辦發(fā)[2024]32號(hào))環(huán)境噪聲晝間均值為57.1dB(A)，夜間均值為49.7dB(A)，達(dá)到《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)4、地下水、土壤環(huán)境本項(xiàng)目位于工業(yè)園區(qū)內(nèi)，租賃現(xiàn)有廠房，周邊無地下水、土壤環(huán)境保護(hù)目標(biāo)。原料暫存區(qū)、危廢暫存區(qū)等區(qū)域均做好防腐防滲等措施，正常工況下不存—37—環(huán)境保護(hù)目標(biāo)經(jīng)調(diào)查本項(xiàng)目周圍500米范圍內(nèi)大氣環(huán)境保護(hù)目標(biāo)名稱與相對(duì)位置關(guān)系見名稱坐標(biāo)（經(jīng)緯度/o）保護(hù)對(duì)象保護(hù)內(nèi)容環(huán)境功相對(duì)廠址方位相對(duì)廠界最近EN江蘇省無錫藥品檢驗(yàn)所120.40504231.493983行政機(jī)關(guān)90人二類區(qū)西北340碩放街道辦事處120.40459131.490589行政機(jī)關(guān)二類區(qū)西北480環(huán)境對(duì)象保護(hù)要求相對(duì)廠界相對(duì)排放口與本項(xiàng)力聯(lián)系距離m經(jīng)緯度坐標(biāo)高差m距離m經(jīng)緯度坐標(biāo)XYXY京杭運(yùn)河《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）Ⅳ類標(biāo)準(zhǔn)120.40378931.4876660120.40379931.487696納污水體《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)205120.41568331.4923850200120.41568331.492385雨水受納水體—38—污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)污染物名稱濃度限值執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)單位年平均24小時(shí)平均1小時(shí)平均60500GB3095-2012《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》表1中的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)NO24020070450mg/m3-4160（8小時(shí)平均）2003575本項(xiàng)目區(qū)域污水排入新城水處理廠，其納污水體為京杭運(yùn)河，按照《江蘇省地表水(環(huán)境)功能區(qū)劃（2021-2030）》（蘇環(huán)辦[2022]82號(hào)）的要求，京杭表3-6地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)限值表單位：mg/L(pH為無量綱)水域名執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)級(jí)別污染物指標(biāo)單位標(biāo)準(zhǔn)限值京杭運(yùn)河GB3838-2002IV類水體無量綱6-9≤30NH3-N≤1.5≤0.3根據(jù)《無錫市區(qū)聲環(huán)境功能區(qū)劃分調(diào)整方案》(錫政辦發(fā)[2024]32號(hào))的規(guī)定，區(qū)域聲環(huán)境功能區(qū)劃分為《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)3類標(biāo)準(zhǔn)，具表3-7聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)單位：dB（A）類別晝間夜間3類環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)≤65≤55—39—2、污染物排放標(biāo)準(zhǔn)本項(xiàng)目主要致力于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的研發(fā)測試，調(diào)試驗(yàn)證過程產(chǎn)生砷化氫、磷化氫廢氣，執(zhí)行江蘇省《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB324041-2021）中表1標(biāo)準(zhǔn)，由于“DB324041-行江蘇省《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB32/3747-2020）表3標(biāo)準(zhǔn)。表3-8本項(xiàng)目廢氣污染物有組織排放標(biāo)準(zhǔn)污染物排放高度最高允許排放濃度（mg/m3）最高允許排放速率（kg/h）標(biāo)準(zhǔn)來源砷及其化合物（砷化氫）0.50.011DB32/4041-2021磷化氫*25m--DB32/3747-2020注：磷化氫國標(biāo)無監(jiān)測方法，待國家污染物監(jiān)測方法標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后實(shí)施。本項(xiàng)目生活污水、冷卻水排水接管至新城水處理廠，最終排入京杭運(yùn)河。4三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，TP、NH3-N、TN執(zhí)行《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T為保護(hù)太湖水體水環(huán)境質(zhì)量，新城水處理廠尾水優(yōu)于《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）Ⅲ類水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。表3-9廢污水排放標(biāo)準(zhǔn)限值表單位：mg/L(pH為無量綱)類別污染物指標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)限值mg/L接管標(biāo)準(zhǔn)6~9500400NH3-N45708尾水排放標(biāo)準(zhǔn)6~9205NH3-N10.155—40—廠界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)中的3廠界名執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)級(jí)別晝間標(biāo)準(zhǔn)限值夜間標(biāo)準(zhǔn)限值GB12348-200865552023)；一般固廢的暫存執(zhí)行《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB18599-2020）。—41—總量控制指標(biāo)本項(xiàng)目選址位于“雙控區(qū)”和“太湖流域”，項(xiàng)目所在地屬于《江蘇省太廢水：本項(xiàng)目廢水最終排放總量納入新城水處理廠的排污總量，廢水污染類別污染物產(chǎn)生量t/a削減量t/a排放量t/a全廠排放增減量t/a廢氣有組織砷化氫0.0030.00270.0003+0.0003磷化氫0.00570.005130.00057+0.00057水污染物生活污水廢水量2000200+2000.10.020.08+0.080.080.020.06+0.06氨氮0.00800.008+0.008總磷0.00100.001+0.001總氮0.01200.012+0.012冷卻水排水廢水量40040+400.00400.004+0.0040.003200.0032+0.0032綜合廢水廢水量2400240+2400.1040.020.084+0.0840.08320.020.0632+0.0632氨氮0.00800.008+0.008總磷0.00100.001+0.001總氮0.01200.012+0.012類別名稱產(chǎn)生量利用量處置量排放量廢物一般廢零配件--0廢芯片--0廢包裝材料--0生活垃圾--0危險(xiǎn)廢物廢吸附劑0.2--0.20噴淋廢液3--30清洗廢液6.3--6.30—42—四、主要環(huán)境影響和保護(hù)措施安裝期間產(chǎn)生的噪聲。為防止建設(shè)項(xiàng)目在建設(shè)期間發(fā)生上述環(huán)境污染的現(xiàn)象，使建設(shè)項(xiàng)目在建設(shè)期間對(duì)周圍環(huán)境的影響盡可能小，建議采取以下的污染防治措根據(jù)《污染源源強(qiáng)核算技術(shù)指南準(zhǔn)則》（HJ884-2018），污染源源強(qiáng)核算可采用實(shí)測法、物料衡算法、產(chǎn)污系數(shù)法、排污系數(shù)法、類比法、實(shí)驗(yàn)法等。本項(xiàng)主要為過量未反應(yīng)氣體，根據(jù)建設(shè)單位提供的信息以及類比蘇州鼎芯光電、蘇州長光華芯、無錫拓易等光芯片制造企業(yè)的生產(chǎn)信息，利用率取70%，過量未參與反應(yīng)的ASH3、PH3、Si2H6廢氣產(chǎn)廢氣產(chǎn)生量極小，對(duì)環(huán)境影響可忽略不計(jì)，本報(bào)告不做詳細(xì)分析。本項(xiàng)目使用4（固）1kg，利用率取70%，調(diào)試驗(yàn)取10%，計(jì)算得HBr產(chǎn)生量約0.03kg，HBr廢氣產(chǎn)生量極少，對(duì)環(huán)境影響可過量未參與反應(yīng)的AsH3、PH3、Si2H6以及反應(yīng)產(chǎn)物廢氣最大可能產(chǎn)生量CH46.004kg/a、C2H60.318kg/a、C5H60.086kg/a、HBr0.03kg/烷外其他產(chǎn)生量極少，甲烷目前暫無污染物控制標(biāo)準(zhǔn)，少量甲烷氣體經(jīng)干式吸附—43—本項(xiàng)目工件組裝成化學(xué)氣相沉積設(shè)備后，需進(jìn)行機(jī)械系統(tǒng)調(diào)試、反應(yīng)腔體密封性測試、電氣與控制系統(tǒng)調(diào)試、氣路與真空系統(tǒng)調(diào)試、工藝參數(shù)調(diào)試與薄膜沉為確定氣體流量、溫度、壓力、沉積時(shí)間等最佳組合，調(diào)試驗(yàn)證過程中需使用單變量實(shí)驗(yàn)法，固定其他參數(shù)，依次調(diào)整溫度、壓力、氣體流量，觀察薄膜性能變化。然后使用響應(yīng)曲面法（RSM即多參數(shù)交互作用優(yōu)化（如溫度×壓力對(duì)生長速率的影響）。繼而使用DOE（實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)），使用正交實(shí)驗(yàn)法篩選關(guān)鍵參數(shù)組合。最后進(jìn)行重復(fù)性與穩(wěn)定性驗(yàn)證，其中包括批次重復(fù)性：連續(xù)3-5批次沉積，統(tǒng)計(jì)厚度、成分的均值與標(biāo)準(zhǔn)差；長時(shí)間穩(wěn)定性：8小時(shí)連續(xù)運(yùn)行，監(jiān)測設(shè)本項(xiàng)目調(diào)試驗(yàn)證是個(gè)復(fù)雜多變的過程，需要大量的時(shí)間去堆積出最佳的設(shè)備參數(shù)組合（根據(jù)訂單對(duì)設(shè)備的要求，調(diào)試相對(duì)的設(shè)備參數(shù)。例：膜厚度）。與建設(shè)單位核實(shí)本項(xiàng)目調(diào)試驗(yàn)證工序年工時(shí)約400h?！?4—表4-1本項(xiàng)目廢氣污染源強(qiáng)核算結(jié)果及相關(guān)參數(shù)一覽表生產(chǎn)線排放源污染物排放方式污染物產(chǎn)生污染物排放廢氣量排放核算方法產(chǎn)生濃度產(chǎn)生量排放濃度排放量調(diào)試驗(yàn)證砷化氫有組織物料衡算法20.003干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋處理效率90%是0.20.00033000400磷化氫有組織物料衡算法3.80.0057是0.380.00057注：本項(xiàng)目調(diào)試驗(yàn)證工序的工作時(shí)間約400h。表4-2正常工況本項(xiàng)目有組織大氣污染物有組織排放情況一覽表污染源風(fēng)量3/h）污染物種類排放情況排放口情況排放標(biāo)準(zhǔn)排放濃度（mg/m3）排放速率（kg/h）排放量高度溫度(℃)編號(hào)類型地理坐標(biāo)濃度（mg/m3）速率（kg/h）經(jīng)度（E）緯度（N）調(diào)試驗(yàn)證3000砷化氫0.250.000750.0003250.325一般排放口120.41591631.4945150.50.011磷化氫0.4750.0014250.00057--省《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB32/3747-2020）表3標(biāo)準(zhǔn)。1.3本項(xiàng)目大氣污染防治措施有效性分析—45—凈化裝置原理適用條件干式吸附尾氣處理裝置使用吸附劑，通過物理或化學(xué)吸附法處理砷烷、磷烷、乙硅烷、鹵化物、甲烷等有害物質(zhì)?；瘜W(xué)反應(yīng)通常是在氧化條件下將有害物質(zhì)氧化為氧化物被吸附劑吸附。AsH3、PH3、Si2H6、甲烷等特殊氣體的處理。水噴淋采用水噴淋系統(tǒng)，它將研發(fā)設(shè)備所排放出的有毒廢氣經(jīng)過水噴淋去除，使易溶于水或與水反應(yīng)，生成沉積的物質(zhì)，達(dá)到有毒腐蝕的氣體完整吸收。HBr等工藝氣體的處理。本項(xiàng)目釆用的工藝尾氣處理方式為目前半導(dǎo)體工廠普同的工藝尾氣結(jié)合目前常用的不同凈化裝置特點(diǎn)和適用條件除。填料罐內(nèi)部基材主要是多孔氧化鋁，表面AsH3+MO→M3As2+H2O—46—干式吸附設(shè)備配備顏色指示劑，當(dāng)吸附劑接近飽和時(shí)，指示劑顏色發(fā)生變化，設(shè)備自動(dòng)切換至備用組，并對(duì)已飽和的吸附材料進(jìn)行更換。砷化氫、磷化氫、Si2H6經(jīng)設(shè)備自帶的干式吸附裝置處理后單獨(dú)收集處理。根據(jù)顏色指示劑的指示情況，定期更類別參數(shù)吸附劑容量尺寸675×675×1820mm進(jìn)氣口2*KF40重量460kg更換時(shí)間一年吸附劑形式粒狀吸附桶材質(zhì)不銹鋼304其他功能吸附劑壽命指示劑水噴淋（噴淋洗滌塔）主要由廢氣洗滌塔、通風(fēng)機(jī)、排氣管等組成。廢氣通過引風(fēng)機(jī)進(jìn)入廢氣洗滌塔，當(dāng)噴淋水循環(huán)使用一段時(shí)間后，由于液體中的無機(jī)鹽濃度增加，影響其吸收效率，故應(yīng)定期排放，并補(bǔ)充新鮮水。排放的噴淋廢液進(jìn)入危廢，委—47—本項(xiàng)目水噴淋系統(tǒng)主要參數(shù)見表4-5。表4-5水噴淋系統(tǒng)處理裝置參數(shù)表編號(hào)名稱規(guī)格型號(hào)單位數(shù)量1噴淋塔型式：立式處理風(fēng)量：3000m3/h設(shè)計(jì)風(fēng)速：1.