1.潔凈控制技術(shù)CONTENTS目錄02車間潔凈控制技術(shù)03環(huán)境對質(zhì)量影響01課程導(dǎo)入01PARTone課程導(dǎo)入課程導(dǎo)入無塵無有害物質(zhì)電子制造生物醫(yī)藥精密儀器無菌02PARTTWO車間潔凈控制技術(shù)潔凈室要長時(shí)間地保持潔凈等級要求，光有凈化設(shè)施還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，因?yàn)橹灰跐崈羰抑羞M(jìn)行生產(chǎn)活動就需要有生產(chǎn)用的設(shè)備、材料產(chǎn)品的傳遞和操作人員等，凈化設(shè)施還要進(jìn)行維護(hù)、修理和監(jiān)測。這一切或多或少都會帶來一些塵埃，形成一個(gè)新的污染源，不斷地破壞潔凈的環(huán)境。車間潔凈控制技術(shù)所有這些如果沒有一個(gè)嚴(yán)格的凈化管理制度，再好的潔凈室也會被污染而達(dá)不到所要求的凈化級別，同時(shí)也就不會生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品。因此潔凈室的凈化管理，是維護(hù)潔凈等級的必不可少的重要環(huán)節(jié)。為了保證潔凈室的工藝環(huán)境要求，使凈化設(shè)備正常運(yùn)行，應(yīng)建立設(shè)備維修、保養(yǎng)等完整的管理措施和記錄，定期地對設(shè)備進(jìn)行檢查、維修、保養(yǎng)、清掃等，建立設(shè)備臺賬并記錄運(yùn)行狀態(tài)。車間潔凈控制技術(shù)01.凈化設(shè)施管理為了確保潔凈室內(nèi)的環(huán)境符合規(guī)定要求，對室內(nèi)一切設(shè)施、工裝、工具、物品必須按有關(guān)規(guī)定檢查確認(rèn)。室內(nèi)所有物品數(shù)量都應(yīng)限制在最少的限度，并對物品的放置作出定以盡量減少空氣亂流。車間潔凈控制技術(shù)02.潔凈室的管理所有室內(nèi)設(shè)備和物品的結(jié)構(gòu)盡量簡單化，材料選用產(chǎn)塵少的材質(zhì)如不銹鋼、塑料等，易產(chǎn)塵的物品不能帶入潔凈室內(nèi)，如普通紙張、鋁筆、檬皮、黑板等，進(jìn)入潔凈室的物品先要進(jìn)行除塵處理，以減小對潔凈度的影響。潔凈室內(nèi)的衛(wèi)生要定期清掃。對潔凈室的潔凈度、溫度、濕度的監(jiān)測是維持潔凈等級的必不可少的措施。在規(guī)定的條件下，用塵埃粒子計(jì)數(shù)器和溫度、濕度測定器對潔凈室進(jìn)行測試，是十分重要的工作，測試中要時(shí)刻記錄測試結(jié)果并與標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較。對于超出標(biāo)準(zhǔn)值的參數(shù)，要及時(shí)通知控制室進(jìn)行調(diào)整。車間潔凈控制技術(shù)03.潔凈室的監(jiān)控進(jìn)入潔凈室的人員必須穿戴專用的凈化服。凈化服采用特殊布料制作，其本身不易產(chǎn)塵、不吸附塵埃、耐磨、密度高、可阻擋人體攜帶的塵埃泄漏，它具有導(dǎo)電性從而避免衣服上積累電荷，同時(shí)穿著舒適，透氣性好，且易于清洗。專用服要有專用保管框存放，而且不同潔凈等級人員的專用服要分別定期清洗，洗滌條件要有特殊規(guī)定，它不同于我們?nèi)粘７b的清洗，必須保證洗后的服裝不能再次污染，不能損傷衣服，洗滌的環(huán)境要滿足潔凈室的要求。車間潔凈控制技術(shù)04.凈化專用服的管理進(jìn)入潔凈室工作的人員應(yīng)符合下述條件：①無傳染性疾??；②對化學(xué)藥品、潔凈室使用物品無過敏癥狀；③手油脂、出汗等身體分泌物不多；④皮膚屑、頭皮屑、體毛脫落不多；⑤無神經(jīng)過敏癥及閉所恐懼癥；⑥無抓、擦頭皮、皮膚等不良習(xí)慣。車間潔凈控制技術(shù)05.潔凈室工作人員的管理在潔凈室工作的人員首先要接受凈化專業(yè)知識的教育，培養(yǎng)遵守凈化規(guī)定的習(xí)慣，保持個(gè)人清潔衛(wèi)生，掌握潔凈服更換程序。在潔凈室工作的人員還應(yīng)遵守如下規(guī)定：①進(jìn)入潔凈室，必須按規(guī)定穿戴潔凈服，穿潔凈服不能出潔凈室。②進(jìn)入潔凈室不能攜帶個(gè)人用品，如飲料、食品、手絹、手紙、化妝品、筆記本、裝飾品等；嚴(yán)禁攜易燃易爆物品，如煙草、火柴、打火機(jī)等。③應(yīng)按規(guī)定路線進(jìn)入潔凈室，需過風(fēng)淋室必須風(fēng)淋，在潔凈室內(nèi)不能跑動，鞋不能拖地走路，避免帶起塵埃。④在高潔凈區(qū)內(nèi)的人數(shù)不能超過規(guī)定數(shù)，因?yàn)槿耸菨崈魠^(qū)的主要發(fā)塵源，所以操作的動作要規(guī)范，不做無關(guān)動作，不講與作業(yè)無關(guān)的話。⑤在潔凈室內(nèi)不能打鬧、喧嘩。⑥飲酒后不能進(jìn)入潔凈室，吃飯或抽煙后30min內(nèi)不能進(jìn)潔凈室。車間潔凈控制技術(shù)05.潔凈室工作人員的管理03PARTTHREE環(huán)境對質(zhì)量影響液晶顯示器是通過液晶屏內(nèi)的液晶材料在一定的電場變化條件下，發(fā)生液晶分子方向變化而形成顯示圖形的?？墒且壕э@示器的盒間隙極其微小，只有5~8μm。而人類頭發(fā)絲的直徑一般是幾十微米，空氣中能夠看到的粉塵一般也是在十幾微米以上，同時(shí)還有許多人們看不到的更小的塵埃，如10μm以下的塵埃。如果在制作LCD時(shí)，有一些看得見或看不見的塵埃、雜質(zhì)落在液晶屏內(nèi)，那么這些液晶屏就會被污染，造成其顯示的缺陷。環(huán)境對質(zhì)量影響產(chǎn)品質(zhì)量塵埃溫度濕度環(huán)境對質(zhì)量影響塵埃污染對液晶顯示器的前制作過程危害極大，在光刻工序中的涂光刻膠、曝光等工序中如果有塵埃落在掩膜版上，就會在顯影、刻蝕中造成短路、斷路、針孔等缺陷。環(huán)境對質(zhì)量影響01.塵埃尤其是在制作高檔產(chǎn)品時(shí)，其圖形間隙很?。ㄈ?0~40μm），只要有略大點(diǎn)的塵?；虍愇锫湓诓Ａ希诠饪虉D形時(shí)就極可能使圖形出現(xiàn)顯示異常，造成產(chǎn)品報(bào)廢。若有大的塵埃雜質(zhì)落在掩膜版的兩個(gè)圖形之間，就會造成批量的廢品。溫度的影響主要體現(xiàn)在兩個(gè)方面：一是溫度直接影響工藝參數(shù)；二是不適當(dāng)?shù)臏囟瓤赡茉斐苫瘜W(xué)試劑分解、變質(zhì)，從而使其性能失效。液晶顯示器的生產(chǎn)要使用許多化學(xué)藥品，在工藝中有的工序涉及化學(xué)反應(yīng)，需要用溫度嚴(yán)格控制。環(huán)境對質(zhì)量影響02.溫度所以有許多工序要在恒定溫度的條件下進(jìn)行操作，如光刻工序、涂取向劑工序、成盒工序等，這些工序都必須有嚴(yán)格的環(huán)境溫度控制，否則其工藝參數(shù)、使用的材料都會發(fā)生變化而降低產(chǎn)品的性能，通常生產(chǎn)環(huán)境的溫度控制在（22±2）℃。濕度：是指空氣中水汽含量的大小。濕度過大對產(chǎn)品的影響主要體現(xiàn)在產(chǎn)品器件的可靠性降低和性能下降。生產(chǎn)中的一些主要材料極易吸潮，如封框膠、取向劑、墊片、玻璃等，吸潮后它們的性能會明顯下降，有的甚至不能使用。如取向劑吸收了空氣中的水分后，就會發(fā)生變質(zhì)，嚴(yán)重時(shí)有沉淀物生成，無法使用。封框膠和玻璃吸潮后其密封性會下降，黏接強(qiáng)度明顯降低，會出現(xiàn)開膠漏氣等現(xiàn)象，同時(shí)其功耗增高，顯示會出缺陷。環(huán)境中濕度過低，也會帶來不利影響：一是制作過程中易產(chǎn)生靜電，靜電增加會使器件的性能下降；二是操作人員在濕度過低的環(huán)境中長時(shí)間操作會感到身體不適，影響生產(chǎn)效率。潔凈室內(nèi)的濕度一般控制在（55±5）%RH。環(huán)境對質(zhì)量影響03.濕度潔凈控制技術(shù)主要分布于

哪些領(lǐng)域？2.潔凈基本知識與純水制備CONTENTS目錄02潔凈室分類01課程導(dǎo)入03凈化等級與潔凈度定義04高純水制備與清洗工藝01PARTfour課程導(dǎo)入液晶顯示器生產(chǎn)過程對生產(chǎn)環(huán)境有著很高的要求，生產(chǎn)環(huán)境不好會對產(chǎn)品的質(zhì)量造成很壞的影響，成品率會大幅降低。因此，生產(chǎn)車間的潔凈控制是保證產(chǎn)品高質(zhì)量生產(chǎn)的先決條件。車間的潔凈控制包括廠房潔凈度的控制及生產(chǎn)中所有的人員、設(shè)備、材料等的潔凈度控制，只有生產(chǎn)環(huán)境滿足工藝要求，才能使生產(chǎn)正常進(jìn)行。02PARTfour潔凈室分類它是通過空調(diào)機(jī)和風(fēng)機(jī)對空氣進(jìn)行調(diào)濕、調(diào)溫和過濾，然后用管道從潔凈室頂棚的高效過濾器出口向室內(nèi)送風(fēng)。這種潔凈室的送風(fēng)口分布在頂棚，回風(fēng)是在地板下或側(cè)墻壁下部，空氣在室內(nèi)紊亂地流動，它的潔凈度不很高，一般在千級至十幾萬級間，但因?yàn)樗耐顿Y較少而被生產(chǎn)TN型產(chǎn)品的廠家廣泛采用。潔凈室分類01.紊亂式潔凈室凈化空氣從一側(cè)的高效過濾器水平送入，然后從另一側(cè)排風(fēng)口回風(fēng)，潔凈室內(nèi)的空氣呈水平方向流動，這種氣流的流動有一定方向性，相對紊流式效果要好，這種方式多用于局部凈化，如PI涂覆、絲印等工序。潔凈室分類02.水平平行流式潔凈室潔凈空氣從整個(gè)頂棚垂直向下運(yùn)動，地面呈網(wǎng)格狀作為回風(fēng)口，室內(nèi)的空氣是從上到下垂直流動的，這種氣流使塵埃不會向上翻轉(zhuǎn)，這種潔凈室的效果好于前兩種。由于是從整個(gè)頂棚的高效過濾器向下送風(fēng)，因此它的造價(jià)遠(yuǎn)高于上述兩種。它用于生產(chǎn)工藝要求很高的工序如曝光、絲印成盒等。潔凈室分類03.垂直平行流式潔凈室03PARTfour凈化等級與潔凈度定義隨著潔凈技術(shù)的產(chǎn)生和發(fā)展，各國針對不同的生產(chǎn)工藝要求，提出了衡量潔凈等級的標(biāo)準(zhǔn)，國際上較有代表性的標(biāo)準(zhǔn)為美國潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。我國有電子工業(yè)和航天工業(yè)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)。這些標(biāo)準(zhǔn)主要規(guī)定塵埃濃度、溫度、濕度、壓力等，有些標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氣流、明度等。塵埃濃度是衡量潔凈效果的最直接、最重要的參數(shù)，通常稱之為潔凈度，它是指單位體積的空氣中含有大于0.5μm真徑的塵埃數(shù)量。潔凈室級別塵埃壓強(qiáng)(MPa)溫度（℃)粒徑（μm)粒／英尺3粒／升范圍推薦值誤差100≥0.5≤100≤3.5≥1.6719.4~2522.2±2.8特殊場合±0.2810000≥0.5≥5.0≤10000≤65≤350≤2.3100000≥0.5≥5.0≤100000≤700≤3500≤25美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)潔凈室等級潔凈度溫度（℃)相對濕度（%)正壓值(MPa)噪聲(A聲級dB)使用范圍舉例（以集成電路工藝為例）粒徑(μm)濃度（粒／升）最高最低最高最低1級≥0.5≤127186040逐級相差≥0.67≤70-10級≥0.5≤1027186040同上≤70光刻，制版100級≥0.5≤10027186040同上≤70擴(kuò)散1000級≥0.5≤100027186040同上≤70封裝10000級≥0.5≤1000027186040同上≤70腐蝕原電子工業(yè)部潔凈室等級試行規(guī)定凈化等級與潔凈度定義04PARTfour高純水制備與清洗工藝普通水粗過濾活性炭過濾電滲析離子交換紫外線殺菌微孔濾膜高純水LCD產(chǎn)品的清洗，與半導(dǎo)體生產(chǎn)一樣，是非常關(guān)鍵的環(huán)節(jié)，而清洗中大量使用的清洗材料是高純水。高純水制備流程如圖所示。高純水制備與清洗工藝（1）高純水制備流程離子交換樹脂是高分子聚合物，是一種不溶的、呈顆粒狀的固體。離子交換樹脂顏色有白色、黃色、褐色等。如果將其放入含有各種離子的水溶液中，由于離子交換樹脂能吸附溶液中的離子，并把自己的離子析出釋放到溶液中，即能進(jìn)行離子交換反應(yīng)，因而被稱為離子交換樹脂。去離子水制備簡圖高純水制備與清洗工藝01.高純水的制備（2）離子交換樹脂簡介離子交換樹脂使用一段時(shí)間后，陰、陽離子樹脂大部分轉(zhuǎn)變成鹽型的離子交換樹脂，它的置換能力大大降低，這時(shí)需要對離子交換樹脂進(jìn)行再生處理。水的純度越高，其雜志含量就越低，水的電阻率也就越大，因此測量水的純度一般通過使用電導(dǎo)儀測量水中電阻率的大小來衡量。LCD生產(chǎn)中水的純度越高越好。高純水制備與清洗工藝01.高純水的制備（3）離子交換樹脂的再生（4）水的純度測量液晶顯示器生產(chǎn)工藝中首先要做的事情