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主講教師：劉慧敏應變式壓力變送器知識目標應變效應應變片工作原理及類型應變：在壓力作用下元件產生的相對變形。應變效應：導體產生機械變形時，電阻發(fā)生變化的現(xiàn)象。應變儀應變效應金屬應變片(金屬絲或金屬箔)和半導體應變片兩類。應變片（1）絲式應變片：由稱為敏感柵、絕緣基底、引線、保護膜等組成。（2）箔式應變片：用金屬箔經光刻、腐蝕制成。應變片金屬應變片體型半導體應變片：將半導體材料切割成小片，壓焊引線后制成。薄膜型半導體應變片：利用真空蒸鍍技術將半導體材料沉積在基片上制成。擴散型半導體應變片：將P型雜質擴散到不導電的N型單晶硅基片上，形成一層導電的P型擴散硅擴散電阻。應變片半導體應變片(a)體型半導體應變片（b）薄膜型半導體應變片(c)擴散硅半導體應變片當被測壓力P作用于傳感筒密封膜片時，傳感筒受壓變形，使應變片產生應變，應變片r1被壓縮，阻值減小，應變片r2被拉長，阻值增加。被測壓力應變片阻值的變化再通過電路進行轉換成電信號輸出。工作原理及類型應變片壓力傳感器示意圖應變式壓力變送器大致可分為應變筒式、膜片式、應變梁式和組合式4種。沒有可動部分，有時也稱為固態(tài)傳感器。應變式壓力變送器測量精度較高，測量范圍可達幾百兆帕

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