實(shí)施指南《GB-T12963-2022電子級(jí)多晶硅》_第1頁
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—PAGE—《GB/T12963-2022電子級(jí)多晶硅》實(shí)施指南目錄一、電子級(jí)多晶硅新國標(biāo)來襲:為何說GB/T12963-2022是行業(yè)升級(jí)的“導(dǎo)航儀”?專家視角剖析標(biāo)準(zhǔn)修訂背景與核心價(jià)值二、純度指標(biāo)再突破:GB/T12963-2022中電子級(jí)多晶硅純度分級(jí)有何新變化?未來三年高純材料需求將如何爆發(fā)?三、雜質(zhì)管控有妙招:新標(biāo)準(zhǔn)對(duì)多晶硅中關(guān)鍵雜質(zhì)(如硼、磷)的限值要求為何更嚴(yán)苛?生產(chǎn)企業(yè)該如何應(yīng)對(duì)技術(shù)挑戰(zhàn)?四、物理性能指標(biāo)詳解:GB/T12963-2022如何規(guī)范電子級(jí)多晶硅的電阻率、密度等參數(shù)?這些指標(biāo)對(duì)下游器件性能有何影響?五、檢測(cè)方法大革新:從化學(xué)分析到儀器分析,新標(biāo)準(zhǔn)推薦的檢測(cè)技術(shù)有哪些突破?為何說精準(zhǔn)檢測(cè)是質(zhì)量管控的“生命線”?六、生產(chǎn)工藝與標(biāo)準(zhǔn)對(duì)接:哪些主流生產(chǎn)工藝(如改良西門子法)更易滿足GB/T12963-2022要求?未來工藝升級(jí)方向在哪里?七、包裝、運(yùn)輸與儲(chǔ)存新規(guī)范:新標(biāo)準(zhǔn)對(duì)電子級(jí)多晶硅的包裝材料、運(yùn)輸環(huán)境有何特殊要求?如何避免儲(chǔ)運(yùn)過程中的質(zhì)量損耗?八、質(zhì)量追溯體系構(gòu)建:GB/T12963-2022為何強(qiáng)調(diào)全程質(zhì)量記錄?企業(yè)該如何建立從原料到成品的可追溯管理系統(tǒng)?九、國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)對(duì)比:GB/T12963-2022與國際先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)(如SEMI標(biāo)準(zhǔn))存在哪些差異?這對(duì)我國多晶硅出口有何影響?十、未來應(yīng)用場(chǎng)景展望:符合新標(biāo)準(zhǔn)的電子級(jí)多晶硅將如何支撐半導(dǎo)體、光伏等產(chǎn)業(yè)升級(jí)?2025-2030年市場(chǎng)格局將發(fā)生怎樣的變化?一、電子級(jí)多晶硅新國標(biāo)來襲:為何說GB/T12963-2022是行業(yè)升級(jí)的“導(dǎo)航儀”?專家視角剖析標(biāo)準(zhǔn)修訂背景與核心價(jià)值(一)標(biāo)準(zhǔn)修訂的時(shí)代背景:全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)下的中國需求近年來,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局深度調(diào)整,我國對(duì)電子級(jí)多晶硅的需求持續(xù)攀升。然而,舊標(biāo)準(zhǔn)已難以滿足高端芯片制造對(duì)材料純度的要求,GB/T12963-2022的修訂正是順應(yīng)這一趨勢(shì),旨在提升我國電子級(jí)多晶硅的質(zhì)量水平,增強(qiáng)國際競(jìng)爭(zhēng)力。(二)與舊版標(biāo)準(zhǔn)的核心差異:從“達(dá)標(biāo)”到“優(yōu)質(zhì)”的跨越相較于舊版,新版標(biāo)準(zhǔn)在純度指標(biāo)、雜質(zhì)管控、檢測(cè)方法等方面均有顯著提升。例如,對(duì)關(guān)鍵雜質(zhì)的限值更為嚴(yán)苛,檢測(cè)技術(shù)更先進(jìn),這標(biāo)志著我國電子級(jí)多晶硅標(biāo)準(zhǔn)從單純滿足基本要求向追求高品質(zhì)、高可靠性轉(zhuǎn)變。(三)標(biāo)準(zhǔn)的核心價(jià)值:為產(chǎn)業(yè)鏈上下游提供統(tǒng)一“語言”該標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施,將統(tǒng)一電子級(jí)多晶硅的質(zhì)量評(píng)價(jià)體系,使生產(chǎn)企業(yè)、下游用戶、檢測(cè)機(jī)構(gòu)有了共同遵循的準(zhǔn)則,有助于減少貿(mào)易摩擦,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展,為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控奠定基礎(chǔ)。(四)專家解讀:標(biāo)準(zhǔn)背后的戰(zhàn)略考量與行業(yè)影響業(yè)內(nèi)專家指出,GB/T12963-2022的出臺(tái)不僅是技術(shù)層面的升級(jí),更是我國在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)彎道超車的重要舉措。它將倒逼企業(yè)加大研發(fā)投入,提升技術(shù)水平,推動(dòng)我國電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)向高端化、國際化邁進(jìn)。二、純度指標(biāo)再突破:GB/T12963-2022中電子級(jí)多晶硅純度分級(jí)有何新變化?未來三年高純材料需求將如何爆發(fā)?(一)純度分級(jí)的新體系:更精細(xì)的質(zhì)量劃分GB/T12963-2022將電子級(jí)多晶硅的純度分為多個(gè)等級(jí),每個(gè)等級(jí)對(duì)應(yīng)不同的雜質(zhì)含量要求。與舊標(biāo)準(zhǔn)相比,分級(jí)更精細(xì),能更好地滿足不同下游產(chǎn)業(yè)(如集成電路、太陽能電池)對(duì)材料純度的差異化需求。(二)最高純度等級(jí)的技術(shù)要求:逼近理論極限的挑戰(zhàn)新標(biāo)準(zhǔn)中最高純度等級(jí)的多晶硅,其雜質(zhì)含量要求極低,幾乎接近理論極限。這對(duì)生產(chǎn)工藝、原材料純度、生產(chǎn)環(huán)境等都提出了極高的挑戰(zhàn),需要企業(yè)在提純技術(shù)上實(shí)現(xiàn)新的突破。(三)未來三年高純材料需求預(yù)測(cè):半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)驅(qū)動(dòng)下的爆發(fā)式增長(zhǎng)隨著5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)高端半導(dǎo)體芯片的需求大幅增加,進(jìn)而帶動(dòng)高純電子級(jí)多晶硅的需求。預(yù)計(jì)未來三年,我國高純電子級(jí)多晶硅的需求量將以每年20%以上的速度增長(zhǎng)。(四)純度提升對(duì)產(chǎn)業(yè)的拉動(dòng)作用:從材料升級(jí)到器件性能飛躍更高純度的多晶硅能顯著提升半導(dǎo)體器件的性能,如降低漏電率、提高穩(wěn)定性等。這將推動(dòng)我國半導(dǎo)體器件向更高精度、更高頻率、更低功耗方向發(fā)展,提升我國在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的地位。三、雜質(zhì)管控有妙招:新標(biāo)準(zhǔn)對(duì)多晶硅中關(guān)鍵雜質(zhì)(如硼、磷)的限值要求為何更嚴(yán)苛?生產(chǎn)企業(yè)該如何應(yīng)對(duì)技術(shù)挑戰(zhàn)?(一)關(guān)鍵雜質(zhì)的危害:硼、磷為何成為管控重點(diǎn)?硼和磷是電子級(jí)多晶硅中常見的雜質(zhì),它們會(huì)嚴(yán)重影響多晶硅的電學(xué)性能。硼會(huì)使多晶硅呈現(xiàn)p型導(dǎo)電特性,磷則使其呈現(xiàn)n型導(dǎo)電特性,微量的硼、磷就可能導(dǎo)致半導(dǎo)體器件性能不穩(wěn)定甚至失效,因此新標(biāo)準(zhǔn)對(duì)其限值要求更嚴(yán)苛。(二)限值要求的變化:與舊標(biāo)準(zhǔn)及國際標(biāo)準(zhǔn)的對(duì)比相較于舊標(biāo)準(zhǔn)和部分國際標(biāo)準(zhǔn),GB/T12963-2022對(duì)硼、磷的限值要求進(jìn)一步降低。這意味著生產(chǎn)企業(yè)需要將多晶硅中硼、磷的含量控制在更低的水平,以滿足新標(biāo)準(zhǔn)的要求。(三)生產(chǎn)企業(yè)的技術(shù)應(yīng)對(duì)策略:提純工藝的優(yōu)化與創(chuàng)新為應(yīng)對(duì)更嚴(yán)苛的雜質(zhì)限值要求,生產(chǎn)企業(yè)可從提純工藝入手。例如,優(yōu)化改良西門子法中的還原工藝,提高氫氣純度;采用區(qū)熔提純等先進(jìn)技術(shù),進(jìn)一步降低雜質(zhì)含量。同時(shí),加強(qiáng)原材料的質(zhì)量管控,減少雜質(zhì)的引入。(四)雜質(zhì)檢測(cè)技術(shù)的升級(jí):精準(zhǔn)把控雜質(zhì)含量的關(guān)鍵隨著雜質(zhì)限值要求的提高,傳統(tǒng)的檢測(cè)方法已難以滿足需求。生產(chǎn)企業(yè)需要引入更先進(jìn)的檢測(cè)設(shè)備和技術(shù),如電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS),提高雜質(zhì)檢測(cè)的靈敏度和準(zhǔn)確性,確保產(chǎn)品質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)。四、物理性能指標(biāo)詳解:GB/T12963-2022如何規(guī)范電子級(jí)多晶硅的電阻率、密度等參數(shù)?這些指標(biāo)對(duì)下游器件性能有何影響?(一)電阻率的規(guī)范要求:衡量導(dǎo)電性能的核心指標(biāo)GB/T12963-2022明確規(guī)定了不同純度等級(jí)電子級(jí)多晶硅的電阻率范圍。電阻率是反映多晶硅導(dǎo)電性能的關(guān)鍵參數(shù),其大小直接影響半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電能力和功耗。標(biāo)準(zhǔn)對(duì)電阻率的嚴(yán)格規(guī)范,有助于保證下游器件性能的穩(wěn)定性和一致性。(二)密度的測(cè)定與要求:材料致密度的重要體現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)電子級(jí)多晶硅的密度也提出了明確要求。密度反映了多晶硅材料的致密度,密度過低可能意味著材料內(nèi)部存在孔隙等缺陷,影響器件的機(jī)械性能和可靠性。通過規(guī)范密度指標(biāo),可確保多晶硅材料具有良好的結(jié)構(gòu)完整性。(三)其他物理性能指標(biāo):如硬度、熔點(diǎn)等的意義除了電阻率和密度,新標(biāo)準(zhǔn)還對(duì)電子級(jí)多晶硅的硬度、熔點(diǎn)等物理性能指標(biāo)進(jìn)行了規(guī)范。這些指標(biāo)雖然不像電阻率和密度那樣對(duì)器件性能起決定性作用,但它們能反映材料的機(jī)械強(qiáng)度和熱穩(wěn)定性,對(duì)器件的加工和使用過程也有重要影響。(四)物理性能指標(biāo)對(duì)下游器件的影響:從材料到器件的性能傳遞電子級(jí)多晶硅的物理性能指標(biāo)直接影響下游半導(dǎo)體器件的性能。例如,高電阻率的多晶硅可用于制造高壓器件,而低電阻率的多晶硅則適用于制造高頻器件。密度高、結(jié)構(gòu)完整的多晶硅能提高器件的使用壽命和可靠性。五、檢測(cè)方法大革新:從化學(xué)分析到儀器分析,新標(biāo)準(zhǔn)推薦的檢測(cè)技術(shù)有哪些突破?為何說精準(zhǔn)檢測(cè)是質(zhì)量管控的“生命線”?(一)化學(xué)分析方法的改進(jìn):提高檢測(cè)準(zhǔn)確性和效率GB/T12963-2022對(duì)傳統(tǒng)的化學(xué)分析方法進(jìn)行了改進(jìn),如優(yōu)化樣品前處理流程、提高分析試劑的純度等。這些改進(jìn)有助于減少檢測(cè)誤差,提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性,同時(shí)縮短檢測(cè)時(shí)間,提高檢測(cè)效率。(二)儀器分析技術(shù)的應(yīng)用:更高靈敏度與選擇性的突破新標(biāo)準(zhǔn)大力推薦使用先進(jìn)的儀器分析技術(shù),如ICP-MS、原子吸收光譜法(AAS)等。這些技術(shù)具有更高的靈敏度和選擇性,能夠檢測(cè)出多晶硅中痕量的雜質(zhì),滿足新標(biāo)準(zhǔn)對(duì)雜質(zhì)限值的嚴(yán)苛要求,是檢測(cè)技術(shù)的重大突破。(三)檢測(cè)方法的標(biāo)準(zhǔn)化:確保檢測(cè)結(jié)果的一致性和可比性為了保證不同檢測(cè)機(jī)構(gòu)和企業(yè)之間檢測(cè)結(jié)果的一致性和可比性,GB/T12963-2022對(duì)檢測(cè)方法進(jìn)行了標(biāo)準(zhǔn)化。明確了檢測(cè)設(shè)備的要求、操作步驟、數(shù)據(jù)處理方法等,使檢測(cè)過程更加規(guī)范、統(tǒng)一。(四)精準(zhǔn)檢測(cè)對(duì)質(zhì)量管控的重要性:從源頭把控產(chǎn)品質(zhì)量精準(zhǔn)檢測(cè)是電子級(jí)多晶硅質(zhì)量管控的“生命線”。通過精準(zhǔn)檢測(cè),企業(yè)可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)過程中存在的問題,采取措施進(jìn)行改進(jìn),從源頭把控產(chǎn)品質(zhì)量。同時(shí),精準(zhǔn)的檢測(cè)結(jié)果也能為產(chǎn)品的質(zhì)量評(píng)價(jià)和市場(chǎng)準(zhǔn)入提供可靠依據(jù)。六、生產(chǎn)工藝與標(biāo)準(zhǔn)對(duì)接:哪些主流生產(chǎn)工藝(如改良西門子法)更易滿足GB/T12963-2022要求?未來工藝升級(jí)方向在哪里?(一)改良西門子法的適應(yīng)性分析:當(dāng)前主流工藝的優(yōu)勢(shì)與改進(jìn)空間改良西門子法是目前我國電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)的主流工藝,具有技術(shù)成熟、成本較低等優(yōu)勢(shì)。通過對(duì)該工藝的優(yōu)化,如提高還原爐的溫度控制精度、優(yōu)化氣體流量配比等,能夠使產(chǎn)品質(zhì)量滿足GB/T12963-2022的要求。但該工藝在能耗和環(huán)保方面仍有改進(jìn)空間。(二)其他生產(chǎn)工藝的對(duì)比:如硅烷法、流化床法的潛力除了改良西門子法,硅烷法和流化床法也是電子級(jí)多晶硅的重要生產(chǎn)工藝。硅烷法生產(chǎn)的多晶硅純度較高,更易滿足新標(biāo)準(zhǔn)的要求,但成本相對(duì)較高;流化床法具有生產(chǎn)效率高、能耗低等優(yōu)點(diǎn),但產(chǎn)品純度有待進(jìn)一步提升。企業(yè)可根據(jù)自身情況選擇合適的工藝。(三)生產(chǎn)工藝與標(biāo)準(zhǔn)的對(duì)接策略:工藝參數(shù)的優(yōu)化與質(zhì)量控制為實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)工藝與GB/T12963-2022的對(duì)接,企業(yè)需要對(duì)生產(chǎn)工藝參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,如調(diào)整反應(yīng)溫度、壓力、原料純度等。同時(shí),建立完善的質(zhì)量控制體系,對(duì)生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)進(jìn)行監(jiān)控,確保產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。(四)未來工藝升級(jí)方向:綠色化、智能化與高純化未來,電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)工藝的升級(jí)方向?qū)⒓性诰G色化、智能化和高純化。綠色化方面,將采用更環(huán)保的原材料和工藝,減少污染物排放;智能化方面,引入物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)等技術(shù),實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程的自動(dòng)化控制和優(yōu)化;高純化方面,研發(fā)更先進(jìn)的提純技術(shù),進(jìn)一步提高多晶硅的純度。七、包裝、運(yùn)輸與儲(chǔ)存新規(guī)范:新標(biāo)準(zhǔn)對(duì)電子級(jí)多晶硅的包裝材料、運(yùn)輸環(huán)境有何特殊要求?如何避免儲(chǔ)運(yùn)過程中的質(zhì)量損耗?(一)包裝材料的選擇標(biāo)準(zhǔn):防污染、防氧化的關(guān)鍵GB/T12963-2022對(duì)電子級(jí)多晶硅的包裝材料提出了嚴(yán)格要求,應(yīng)選擇具有良好密封性、防污染和防氧化性能的材料,如不銹鋼容器、惰性氣體包裝等。這是為了避免多晶硅在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中受到外界雜質(zhì)的污染和氧化,保證產(chǎn)品質(zhì)量。(二)運(yùn)輸環(huán)境的控制:溫度、濕度與振動(dòng)的限制新標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級(jí)多晶硅的運(yùn)輸環(huán)境條件,如溫度應(yīng)控制在一定范圍內(nèi),避免極端高溫或低溫;濕度應(yīng)保持較低水平,防止材料吸潮;同時(shí)要避免劇烈振動(dòng),防止多晶硅顆粒破碎。這些要求旨在減少運(yùn)輸過程對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。(三)儲(chǔ)存條件的規(guī)范:倉庫環(huán)境與堆放方式的要求在儲(chǔ)存方面,電子級(jí)多晶硅應(yīng)存放在清潔、干燥、通風(fēng)良好的倉庫中,遠(yuǎn)離腐蝕性物質(zhì)和火源。儲(chǔ)存時(shí)應(yīng)采用合適的堆放方式,避免擠壓和碰撞。同時(shí),要定期對(duì)倉庫環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測(cè),確保儲(chǔ)存條件符合標(biāo)準(zhǔn)要求。(四)避免儲(chǔ)運(yùn)過程質(zhì)量損耗的措施:全程監(jiān)控與應(yīng)急處理為避免儲(chǔ)運(yùn)過程中的質(zhì)量損耗,企業(yè)應(yīng)建立全程監(jiān)控體系,對(duì)包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存過程進(jìn)行跟蹤記錄。如發(fā)現(xiàn)包裝破損、環(huán)境異常等情況,應(yīng)及時(shí)采取應(yīng)急處理措施,減少損失。八、質(zhì)量追溯體系構(gòu)建:GB/T12963-2022為何強(qiáng)調(diào)全程質(zhì)量記錄?企業(yè)該如何建立從原料到成品的可追溯管理系統(tǒng)?(一)全程質(zhì)量記錄的重要性:質(zhì)量問題溯源與責(zé)任認(rèn)定的依據(jù)GB/T12963-2022強(qiáng)調(diào)全程質(zhì)量記錄,是因?yàn)檫@些記錄是質(zhì)量問題溯源的關(guān)鍵依據(jù)。當(dāng)產(chǎn)品出現(xiàn)質(zhì)量問題時(shí),通過查閱全程質(zhì)量記錄,可以快速找到問題發(fā)生的環(huán)節(jié)和原因,為責(zé)任認(rèn)定和問題解決提供支持。同時(shí),全程質(zhì)量記錄也有助于企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量分析和持續(xù)改進(jìn)。(二)質(zhì)量記錄的內(nèi)容與要求:涵蓋從原料到成品的各個(gè)環(huán)節(jié)質(zhì)量記錄應(yīng)涵蓋電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)的全過程,包括原材料的采購信息(如供應(yīng)商、純度指標(biāo)等)、生產(chǎn)工藝參數(shù)(如反應(yīng)溫度、壓力等)、檢測(cè)結(jié)果(如純度、雜質(zhì)含量等)、包裝和儲(chǔ)運(yùn)信息等。記錄應(yīng)真實(shí)、準(zhǔn)確、完整,并具有可追溯性。(三)可追溯管理系統(tǒng)的構(gòu)建步驟:從數(shù)據(jù)采集到信息共享企業(yè)建立可追溯管理系統(tǒng)可分為以下步驟:首先,確定需要追溯的信息和環(huán)節(jié);其次,建立數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),實(shí)時(shí)采集生產(chǎn)過程中的各類數(shù)據(jù);然后,對(duì)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行整理和存儲(chǔ),建立數(shù)據(jù)庫;最后,開發(fā)信息查詢和共享平臺(tái),實(shí)現(xiàn)企業(yè)內(nèi)部及與上下游企業(yè)之間的信息共享。(四)可追溯管理系統(tǒng)的應(yīng)用與維護(hù):確保系統(tǒng)有效運(yùn)行可追溯管理系統(tǒng)建成后,企業(yè)應(yīng)加強(qiáng)其應(yīng)用和維護(hù)。定期對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行檢查和更新,確保數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和完整性。同時(shí),對(duì)員工進(jìn)行系統(tǒng)操作培訓(xùn),提高員工的使用能力。通過有效應(yīng)用可追溯管理系統(tǒng),企業(yè)可以提高質(zhì)量管控水平,增強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。九、國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)對(duì)比:GB/T12963-2022與國際先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)(如SEMI標(biāo)準(zhǔn))存在哪些差異?這對(duì)我國多晶硅出口有何影響?(一)GB/T12963-2022與SEMI標(biāo)準(zhǔn)的主要差異:指標(biāo)要求與檢測(cè)方法的不同在指標(biāo)要求方面,GB/T12963-2022與SEMI標(biāo)準(zhǔn)在部分雜質(zhì)限值、物理性能參數(shù)等方面存在差異。例如,對(duì)于某些關(guān)鍵雜質(zhì),我國標(biāo)準(zhǔn)的限值可能更嚴(yán)苛或相對(duì)寬松。在檢測(cè)方法上,兩者推薦的檢測(cè)技術(shù)也有所不同,SEMI標(biāo)準(zhǔn)可能更傾向于使用一些國際先進(jìn)的檢測(cè)方法。(二)差異產(chǎn)生的原因:產(chǎn)業(yè)發(fā)展階段與市場(chǎng)需求的不同國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)存在差異的原因主要在于產(chǎn)業(yè)發(fā)展階段和市場(chǎng)需求的不同。我國電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)正處于快速發(fā)展階段,標(biāo)準(zhǔn)的制定需要考慮我國企業(yè)的技術(shù)水平和產(chǎn)業(yè)實(shí)際需求;而國際先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)則更多地反映了全球領(lǐng)先企業(yè)的技術(shù)水平和國際市場(chǎng)的需求。(三)對(duì)我國多晶硅出口的積極影響:提升產(chǎn)品國際認(rèn)可度盡管存在差異,但GB/T12963-2022的制

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