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文檔簡介

GT/CCGA30006—Electronicgradehydrogen 發(fā)T/CCGAT/CCGA30006— 前 本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定T/CCGAT/CCGA30006—GB GB/T3723GB/T5099.44GB15258TSG23GB/T13005表1 -氧+氬（O2+Ar）含量（摩爾分數(shù)）/10≤氮（N2）含量（摩爾分數(shù) 一氧化碳（CO）含量（摩爾分數(shù)）/10-6-二氧化碳（CO2）含量（摩爾分數(shù)）/10-二氧化硫(SO2（摩爾分數(shù)）/10水分(H2O)含量（摩爾分數(shù)）/10- 總雜質(zhì)/10- 1氟化氫采樣應(yīng)符合GB/T3723及GB/T6681的相關(guān)規(guī)定。采樣前使用氦氣等測試取樣系統(tǒng)的密閉性，T/CCGAT/CCGA30006—6.PAGE3.36.PAGE3.36.PAGE3.46.PAGE3.4.1φ=100?(????1+????2+????3+????4+????5+ -φ——氟化氫（HF）純度（摩爾分數(shù)），10按照GB/T28726規(guī)定的切割進樣的方法測定氟化氫中的氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳的含量。色譜柱I：長2m，內(nèi)徑3.2mm，內(nèi)部裝填預(yù)處理過的60～80目13X填料的色譜柱，或其他等效色譜 用5N氮氣體按照GB/T5832.3進行測定，至少重復(fù)進樣兩次，直至兩次平行測定的相對偏差不大于T/CCGAT/CCGA30006—540c-）5%按照GB/T34972GB190GB/T7144GB15258、GB/T16804TSG23TSG2380.5×10-6。GB/T27550、GB/T14193TSG23TSG23JT/T617.3、JT/T617.

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