地址400712重慶市北碚區(qū)歇馬鎮(zhèn)歇馬街(普通合伙)50259專利代理師于明HO1L21/67(200HO1L21/02(2006.01)一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備及其清洗工藝本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備及2機(jī)架，所述機(jī)架內(nèi)安裝有真空腔體，機(jī)架一側(cè)安裝有腔門，所述腔門可蓋設(shè)于所述真空腔體敞口的一側(cè)；安裝在真空腔體上部的射頻匹配器，所述射頻匹配器與機(jī)架內(nèi)的射頻電源電性連接，所述射頻匹配器用于向所述真空腔體內(nèi)激發(fā)等離子；以及安裝在所述真空腔體內(nèi)的料架，所述料架用于放置待清洗工件，所述料架具有至少一層用于放置待清洗工件的空間。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備，其特征在于：所述料架包括陽極極板和陽極板之間留有用于放置待清洗工件的空間，陰極板和陽極板上均勻分布有穿孔，所述支撐板數(shù)量有兩個且分別位于陰極板和陽極板兩側(cè)，所述陰極板和陽極板兩側(cè)均連接至同一所述支撐板，所述電極正極和電極負(fù)極安裝在所述真空腔體內(nèi)壁，電極正極和電極負(fù)極沿高度方向設(shè)置且分別與陰極板和陽極板電性連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備，其特征在于：所述陰極板和陽極板兩側(cè)均固定有一連接槽，所述連接槽水平設(shè)置，所述支撐板沿高度方向均勻開設(shè)有若干連接孔，所述支撐板通過連接孔固定有支撐條，所述支撐條和連接槽滑動配合。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備，其特征在于：所述支撐條端部設(shè)置有倒角。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備，其特征在于：所述電極負(fù)極與真空腔體電連接，電極正極和電極負(fù)極均包括絕緣側(cè)板、電極條、蓋板以及電極夾持組件，所述電極條一側(cè)沿長度方向安裝有至少兩個所述電極夾持組件，電極夾持組件與所述電極條電連接，所述電極夾持組件用于電連接所述陰極板或陽極板，電極條背離電極夾持組件的一側(cè)蓋設(shè)有所述蓋板，蓋板沿著電極條長度方向分布，所述絕緣側(cè)板固定安裝在所述電極條兩側(cè)，且絕緣側(cè)板圍設(shè)于所述電極夾持組件外。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備，其特征在于：所述蓋板采用特氟龍材質(zhì)制成。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備，其特征在于：所述電極夾持組件包括電極壓塊和電極壓板，所述電極壓塊和電極壓板均為導(dǎo)電材質(zhì)，電極壓塊和電極壓板均固定于所述電極條上，所述電極壓板為具有彈性的拱形結(jié)構(gòu)，電極壓板和電極壓塊交錯分布且電極壓板兩端分別抵接在電極壓塊兩側(cè)。8.根據(jù)權(quán)利要求2-7任一項(xiàng)所述的一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備，其特征在于：還包括用于放置待清洗工件的清洗底座，所述清洗底座可拆卸固定在陰極板或是陽極板上，清洗底座和陰極板或陽極板之間隔設(shè)若干絕緣墊塊。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備，其特征在于：所述絕緣墊塊為陶瓷墊塊。10.一種清洗工藝，其特征在于，使用權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的一種半導(dǎo)體器件清洗3S4、清洗完成后，破除真空腔體內(nèi)真空，打開腔門，取出清洗完成后的工件；S5、關(guān)閉真空腔體的腔門。4一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備及其清洗工藝技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備及其清洗工藝。背景技術(shù)[0002]等離子清洗是一種利用等離子體中的高能粒子和活性自由基進(jìn)行表面處理的技術(shù)，而等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體有效去除材料表面的有機(jī)污染物，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的的設(shè)備，等離子清洗作為一種全新的清洗技術(shù)能達(dá)到常規(guī)清洗方案無法達(dá)到的[0003]等離子清洗機(jī)一般有微波等離子清洗機(jī)和射頻等離子清洗機(jī)，微波等離子清洗機(jī)的工作頻率一般為2.45GHz,其等離子體中的電子能量比較集中，通常具有較高的能量密度，這使得微波等離子體在一些需要高能量反應(yīng)的場合表現(xiàn)出色。射頻等離子清洗機(jī)的工作頻率一般為13.56MHz,其等離子體中的電子能量分布相對較寬，這意味著在清洗或表面處理過程中，既存在能量較高的電子能夠?qū)Σ牧媳砻孢M(jìn)行物理轟擊，去除表面的污染物和氧化層等，又有能量稍低的電子參與化學(xué)反應(yīng)，生成活性基團(tuán)與材料表面發(fā)生化學(xué)改性。[0004]使用微波等離子清洗時，活性粒子與被清洗物體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，可能會使工件外表面氧化產(chǎn)生氧化物，并附著在工件表面，影響工件的外觀和性能，各種活性粒子對清洗材料表面的轟擊，會對材料表面造成一定程度的損傷和侵蝕，同時在材料表面產(chǎn)生較大的反應(yīng)熱，進(jìn)而影響材料的表面質(zhì)量和性能。[0005]基于此，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問發(fā)明內(nèi)容[0006]針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備及其清洗工藝，包括機(jī)架，所述機(jī)架內(nèi)安裝有真空腔體，真空腔體內(nèi)安裝有料架，本發(fā)明的半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備采用射頻等離子對工件表面進(jìn)行清洗，去除表面的微粒、氧化物及有機(jī)物等污染物，提高工件焊接的可靠性，減少脫落現(xiàn)象發(fā)生，為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用了如下的技術(shù)方案：機(jī)架，所述機(jī)架內(nèi)安裝有真空腔體，機(jī)架一側(cè)安裝有腔門，所述腔門可蓋設(shè)于所述真空腔體敞口的一側(cè)；安裝在真空腔體上部的射頻匹配器，所述射頻匹配器與機(jī)架內(nèi)的射頻電源電性連接，所述射頻匹配器用于向所述真空腔體內(nèi)激發(fā)等離子；以及安裝在所述真空腔體內(nèi)的料架，所述料架用于放置待清洗工件，所述料架具有至少一層用于放置待清洗工件的空間。極板和陽極板互相平行且水平設(shè)置，陰極板和陽極板之間留有用于放置待清洗工件的空5間，陰極板和陽極板上均勻分布有穿孔，所述支撐板數(shù)量有兩個且分別位于陰極板和陽極板兩側(cè)，所述陰極板和陽極板兩側(cè)均連接至同一所述支撐板，所述電極正極和電極負(fù)極安裝在所述真空腔體內(nèi)壁，電極正極和電極負(fù)極沿高度方向設(shè)置且分別與陰極板和陽極板電性連接。[0008]進(jìn)一步地，所述陰極板和陽極板兩側(cè)均固定有一連接槽，所述連接槽水平設(shè)置，所述支撐板沿高度方向均勻開設(shè)有若干連接孔，所述支撐板通過連接孔固定有支撐條，所述支撐條和連接槽滑動配合。[0010]進(jìn)一步地，所述電極負(fù)極與真空腔體電連接，電極正極和電極負(fù)極均包括絕緣側(cè)板、電極條、蓋板以及電極夾持組件，所述電極條一側(cè)沿長度方向安裝有至少兩個所述電極夾持組件，電極夾持組件與所述電極條電連接，所述電極夾持組件用于電連接所述陰極板或陽極板，電極條背離電極夾持組件的一側(cè)蓋設(shè)有所述蓋板，蓋板沿著電極條長度方向分布，所述絕緣側(cè)板固定安裝在所述電極條兩側(cè)，且絕緣側(cè)板圍設(shè)于所述電極夾持組件外。[0012]進(jìn)一步地，所述電極夾持組件包括電極壓塊和電極壓板，所述電極壓塊和電極壓板均為導(dǎo)電材質(zhì)，電極壓塊和電極壓板均固定于所述電極條上，所述電極壓板為具有彈性的拱形結(jié)構(gòu)，電極壓板和電極壓塊交錯分布且電極壓板兩端分別抵接在電極壓塊兩側(cè)。[0013]進(jìn)一步地，還包括用于放置待清洗工件的清洗底座，所述清洗底座可拆卸固定在陰極板或是陽極板上，清洗底座和陰極板或陽極板之間隔設(shè)若干絕緣墊塊。[0015]此外，本發(fā)明還請求保護(hù)一種半導(dǎo)體器件清洗工藝，使用上述任意一種半導(dǎo)體器[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比本方案的有益效果是：1、本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備及其清洗工藝，采用射頻等離子對工件表面進(jìn)行清洗，去除表面的微粒、氧化物及有機(jī)物等污染物，提高工件焊接的可靠性，減少脫落現(xiàn)象發(fā)生，相比微波等離子清洗技術(shù)，射頻等離子清洗機(jī)的設(shè)備結(jié)構(gòu)相對簡單，射頻電源和匹配器等關(guān)鍵部件的成本相比微波等離子清洗機(jī)較低，在一些對清洗精度要求不是極高的應(yīng)用場景中，能夠以較低的成本滿足基本的清洗需求，具有較高的性價(jià)比，射頻等離子清洗機(jī)的工藝參數(shù)調(diào)整范圍較寬，可以根據(jù)不同的清洗材料和清洗要求，靈活地調(diào)整射頻[0017]2、本發(fā)明在真空腔體內(nèi)部安裝有料架，料架用于放置待清洗工件，料架的陽極板內(nèi)滑動即可完成陽極板和陰極板的安裝，向外滑動即可完成陽極板和陰極板的拆卸，因此能夠輕松實(shí)現(xiàn)陽極板和陰極板的拆裝。本發(fā)明的料架設(shè)計(jì)最高可安裝十層(陽極板和陰極6板各五層),可以根據(jù)不同客戶需求進(jìn)行陽極板和陰極板數(shù)量的增加或減少，且每塊陽極板和陰極板之間的間距可根據(jù)清洗需求進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)快捷簡單。附圖說明[0018]圖1為本半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為真空腔體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為真空腔體主視圖；圖4為真空腔體側(cè)視圖；圖5為料架結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為料架另一結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為料架主視圖；圖8為陽極板結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為電極負(fù)極結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為電極負(fù)極另一結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為電極負(fù)極結(jié)構(gòu)示意圖(去掉絕緣側(cè)板)。[0019]附圖標(biāo)記依次為：具體實(shí)施方式[0020]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。機(jī)架1,所述機(jī)架1內(nèi)安裝有真空腔體2,機(jī)架1一側(cè)安裝有腔門11,所述腔門11可蓋設(shè)于所述真空腔體2敞口的一側(cè)；安裝在真空腔體2上部的射頻匹配器21,所述射頻匹配器21與機(jī)架1內(nèi)的射頻電源22電性連接，所述射頻匹配器21用于向所述真空腔體2內(nèi)激發(fā)等離子；以及安裝在所述真空腔體2內(nèi)的料架3,所述料架3用于放置待清洗工件，所述料架3具有至少一層用于放置待清洗工件的空間。[0022]根據(jù)本發(fā)明提供的一種具體實(shí)施例，本實(shí)施例中，機(jī)架1安裝有腔門11的一側(cè)安裝有工控機(jī)12,機(jī)架1內(nèi)安裝的真空腔體2和腔門11進(jìn)行密封，腔門11或是真空腔體2與腔門11接觸的邊緣設(shè)置密封條，腔門11一側(cè)與真空腔體2或是機(jī)架1鉸接，真空腔體2背面安裝有擋板閥23和真空計(jì)24,擋板閥23是一種用于控制流體流動的閥門，通常用于管道系統(tǒng)中。它通過擋板的升降或旋轉(zhuǎn)來調(diào)節(jié)或切斷流體的流動。擋板閥23具有結(jié)構(gòu)簡單以及密封性好的特點(diǎn)，真空計(jì)24是一種用于測量真空系統(tǒng)內(nèi)氣體壓力的儀器，其原理是利用機(jī)械部件的位移或形變來測量壓力。本實(shí)施例中，射頻電源22安裝在機(jī)架1內(nèi)下部位置，真空泵設(shè)置在機(jī)架1外部，與真空腔體2外接連通。真空腔體2內(nèi)壁設(shè)置有腔體隔板，隔板有兩層分別為特氟龍材料和鋁合金材料，特氟龍隔板和真空腔體2直接接觸，達(dá)到絕緣效果；安裝腔體隔板可以減7少等離子體反應(yīng)的分散，使等離子體能夠集中在待清洗工件清洗區(qū)域，確保待清洗工件清洗的均勻性良好。[0023]本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體器件清洗設(shè)備及其清洗工藝，采用射頻等離子對工件表面進(jìn)行清洗，去除表面的微粒、氧化物及有機(jī)物等污染物，提高工件焊接的可靠性，減少脫落現(xiàn)象發(fā)生，相比微波等離子清洗技術(shù)，射頻等離子清洗機(jī)的設(shè)備結(jié)構(gòu)相對簡單，射頻電源22和匹配器等關(guān)鍵部件的成本相比微波等離子清洗機(jī)較低，在一些對清洗精度要求不是極高的應(yīng)用場景中，能夠以較低的成本滿足基本的清洗需求，具有較高的性價(jià)比，射頻等離子清洗機(jī)的工藝參數(shù)調(diào)整范圍較寬，可以根據(jù)不同的清洗材料和清洗要求，靈活地調(diào)整射頻極34以及電極負(fù)極35,所述陰極板32和陽極板31互相平行且水平設(shè)置，陰極板32和陽極板31之間留有用于放置待清洗工件的空間，陰極板32和陽極板31上均勻分布有穿孔，所述支撐板33數(shù)量有兩個且分別位于陰極板32和陽極板31兩側(cè)，所述陰極板32和陽極板31兩側(cè)均連接至同一所述支撐板33,所述電極正極34和電極負(fù)極35安裝在所述真空腔體2內(nèi)壁，電極正極34和電極負(fù)極35沿高度方向設(shè)置且分別與陰極板32和陽極板31電性連接。[0025]根據(jù)本發(fā)明提供的一種具體實(shí)施例，射頻等離子清洗機(jī)中的料架3是用于放置待處理樣品或材料的重要部件，其設(shè)計(jì)和功能對清洗效果和設(shè)備運(yùn)行效率有直接影響。料架3的主要功能是承載和固定待處理的樣品或材料，確保其在等離子清洗過程中保持穩(wěn)定，并均勻暴露在等離子體中。如圖8所示，陽極板31、陰極板32結(jié)構(gòu)相同支撐板33之間。本實(shí)施例中，電極正極34以及電極負(fù)極35互相平行且結(jié)構(gòu)相同，電極正極34以及電極負(fù)極35豎直設(shè)置，高度與真空腔體2的高度匹配，電極正極34和電極負(fù)極35位于陰極板32和陽極板31背側(cè)，陰極板32和陽極板31上均勻分布有穿孔，可以實(shí)現(xiàn)氣體均勻分布、提高等離子體密度、控制等離子體分布、防止電弧放電、增強(qiáng)散熱以及優(yōu)化氣體流動，能夠提升射頻等離子清洗機(jī)的性能和清洗效果。[0026]進(jìn)一步地，所述陰極板32和陽極板31兩側(cè)均固定有一連接槽311,所述連接槽311水平設(shè)置，所述支撐板33沿高度方向均勻開設(shè)有若干連接孔，所述支撐板33通過連接孔固定有支撐條331,所述支撐條331和連接槽311滑動配合。[0027]根據(jù)本發(fā)明提供的一種具體實(shí)施例，實(shí)際生產(chǎn)時，由于不同待清洗工件(晶圓)的厚度不同，陰極板32和陽極板31通過連接槽311和支撐條331可拆卸安裝在支撐板33側(cè)面，使用時將陰極板32或陽極板31通過連接槽311卡入支撐條331外部，從而可以根據(jù)不同厚度尺寸的待清洗工件改變陰極板32和陽極板31的位置。進(jìn)一步地，所述支撐條331端部設(shè)置有倒角，這樣方便安裝時連接槽311卡入支撐條331外部。[0028]進(jìn)一步地，如圖9-圖11所示，所述電極負(fù)極35與真空腔體2電連接，電極正極34和電極負(fù)極35均包括絕緣側(cè)板351、電極條352、蓋板353以及電極夾持組件36,所述電極條352一側(cè)沿長度方向安裝有至少兩個所述電極夾持組件36,電極夾持組件36與所述電極條352電連接，所述電極夾持組件36用于電連接所述陰極板32或陽極板31,電極條352背離電極夾持組件36的一側(cè)蓋設(shè)有所述蓋板353,蓋板353沿著電極條352長度方向分布，所述絕緣側(cè)板351固定安裝在所述電極條352兩側(cè)，且絕緣側(cè)板351圍設(shè)于所述電極夾持組件36外。8[0029]根據(jù)本發(fā)明提供的一種具體實(shí)施例，為了設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單的電極正極34和電極負(fù)極35,本實(shí)施例中，電極正極34和電極負(fù)極35大部分結(jié)構(gòu)相同，不同的是，電極負(fù)極35的電極條352上下兩端通過兩個金屬接地柱363(具有導(dǎo)電性)與真空腔體2電連接；電極正極34的電極條352上端與真空電極相連接，下端通過陶瓷柱和特氟龍墊片與真空腔體2內(nèi)壁絕緣連接；電極夾持組件36與電極條352均為導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，電極夾持組件36與電極條352電連接，電極夾持組件36均勻分布在電極條352上，電極條352背離電極夾持組件36的一側(cè)蓋設(shè)有蓋板353,蓋板353采用特氟龍材質(zhì)制成。特氟龍(Teflon)是聚四氟乙烯(PTFE)的商標(biāo)名，其主要特性：幾乎不與任何化學(xué)物質(zhì)反應(yīng)，可在-200℃至+260C范圍內(nèi)穩(wěn)定使用，優(yōu)異的電絕緣性能。蓋板353沿著電極條352長度方向分布，蓋板353位于電極正極34和電極負(fù)極35與陰極板32或陽極板31接觸的一側(cè)，從而實(shí)現(xiàn)絕緣，絕緣側(cè)板351橫截面為凹字型結(jié)構(gòu)，絕緣側(cè)板351兩端與蓋板353連接，從而將電極條352和電極夾持組件36包圍于內(nèi)部。[0030]電極條352采用紫銅制作，其導(dǎo)電性能極佳，僅次于銀，能夠使連接到電極條352上的每一塊電極板電流均勻且一致性良好；電極壓塊361和電極壓板362采用黃銅制作，其強(qiáng)度高、硬度大，可以減少電極板安裝拆卸時對電極接頭312的磨損，電極壓板362與電極壓塊361相配合，使得陽極板31和陰極板32固定牢靠且拆裝便捷省力。[0031]進(jìn)一步地，如圖11所示，所述電極夾持組件36包括電極壓塊361和電極壓板362,所述電極壓塊361和電極壓板362均為導(dǎo)電材質(zhì)，電極壓塊361和電極壓板362均固定于所述電極條352上，所述電極壓板362為具有彈性的拱形結(jié)構(gòu)，電極壓板362和電極壓塊361交錯分布且電極壓板362兩端分別抵接在電極壓塊361兩側(cè)。[0032]根據(jù)本發(fā)明提供的一種具體實(shí)施例，本實(shí)施例提供了一種電極夾持組件36的具體結(jié)構(gòu)，陰極板32和陽極板31的一側(cè)設(shè)計(jì)為電極接頭312,安裝時連接槽311卡入支撐條331外部，此時電極接頭312可以插入電極壓塊361和電極壓板362之間，由于電極壓板362為弧形結(jié)構(gòu)其具有彈性，可以使得陰極板32或陽極板31與對應(yīng)的電極正極34和電極負(fù)極35電性連接，電極壓塊361和電極壓板362相互作用將電極接頭312夾緊，防止陰極板32或陽極板31脫離對應(yīng)的電極夾持組件36。[0033]本發(fā)明的料架3采用水平設(shè)計(jì)，相比于垂直陽極板31的設(shè)計(jì)，其結(jié)構(gòu)簡單、重量較輕、可操作性強(qiáng)，向內(nèi)滑動即可完成陽極板31和陰極板32的安裝，向外滑動即可完成陽極板31和陰極板32的拆卸，因此能夠輕松實(shí)現(xiàn)陽極板31和陰極板32的拆裝。本發(fā)明的料架3設(shè)計(jì)最高可安裝十層(陽極板31和陰極板32各五層),可以根據(jù)不同客戶需求進(jìn)行陽極板31和陰極板32數(shù)量的增加或減少，且每塊陽極板31和陰極板32之間的間距可根據(jù)清洗需求進(jìn)行調(diào)[0034]陽極板31和陰極板32以及清洗底座37采用鋁合金制作，可以有效散熱，防止待清洗工件在等離子體環(huán)境下過熱，從而保護(hù)工件；陽極板31和陰極板32以及清洗底座37上密集且均勻的小孔使得清洗區(qū)域的等離子體濃度均勻性好、清洗效果一致性高。S2、將支撐條331固定在支撐板33上；