(19)國家知識產(chǎn)權(quán)局(12)發(fā)明專利(10)授權(quán)公告號CN111805304B(65)同一申請的已公布的文獻號(30)優(yōu)先權(quán)數(shù)據(jù)2019-0569182019.03.25US2009110499A1,2009.0(74)專利代理機構(gòu)北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11201專利代理師宋融冰主軸振動測量系統(tǒng)、主軸振動測量方法、以及程序本發(fā)明提供一種主軸振動測量系統(tǒng)、主軸振動測量方法以及程序。所述主軸振動測量系統(tǒng)是一種測量在加工機(100)中的主軸(120)的振動的系統(tǒng)，所述加工機(100)對工件實施切削或研磨加工，加工機(100)具有：保持工件(W)的工件保持部(150)、保持工具(120c)的主軸(120)、以及使工件保持部(150)和主軸(120)相對移動的移動機構(gòu)，所述主軸振動測量系統(tǒng)獲取主軸(120)旋轉(zhuǎn)時的移動機構(gòu)的位置變動數(shù)據(jù)或振動21.一種主軸振動測量系統(tǒng)，其特征在于，所述主軸振動測量系統(tǒng)測量與加工機中的主軸有關(guān)的振動，所述加工機對工件實施切削或研磨加工，所述加工機具有：移動機構(gòu)，其使所述工件保持部移動，所述主軸振動測量系統(tǒng)具備：數(shù)據(jù)獲取單元，其獲取所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述工件保持部的位置變動數(shù)據(jù)或所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述工件保持部的振動數(shù)據(jù)；以及處理單元，其至少基于所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，輸出或存儲與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果，所述數(shù)據(jù)獲取單元，在被所述主軸保持的所述工具與所述工件未接觸的狀態(tài)下，獲取所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的主軸振動測量系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)獲取單元，獲取使所述主軸以轉(zhuǎn)速在預(yù)定的范圍內(nèi)依次變化的方式旋轉(zhuǎn)時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，所述處理單元，基于由所述數(shù)據(jù)獲取單元獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，判斷所述主軸的振動大于閾值或所述振動為所述閾值以下的轉(zhuǎn)速的范圍。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的主軸振動測量系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)獲取單元，獲取使所述主軸以多個預(yù)定的轉(zhuǎn)速依次旋轉(zhuǎn)時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，所述處理單元，基于由所述數(shù)據(jù)獲取單元獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，判斷所述主軸的振動大于閾值或所述振動為所述閾值以下的轉(zhuǎn)速的范圍。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的主軸振動測量系統(tǒng)，其特征在于，所述處理單元，將由所述數(shù)據(jù)獲取單元獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，與存儲在存儲器中的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)進行比較，并輸出比較結(jié)果作為與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的主軸振動測量系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)獲取單元，獲取使所述主軸以轉(zhuǎn)速發(fā)生變化的方式旋轉(zhuǎn)時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，所述處理單元，進行將由所述數(shù)據(jù)獲取單元獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)、作為頻率或所述主軸的轉(zhuǎn)速的函數(shù)表示的分析，并輸出或存儲分析結(jié)果作為與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的主軸振動測量系統(tǒng)，其特征在于，所述處理單元，將所述分析結(jié)果與存儲在存儲器中的分析結(jié)果進行比較，并輸出比較結(jié)果作為與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果。7.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的主軸振動測量系統(tǒng)，其特征在于，所述處理單元，基于根據(jù)所述判斷得到的所述轉(zhuǎn)速的范圍，更新加工程序，并存儲更新3后的加工程序，所述加工程序使所述加工機工作以對所述工件實施切削或研磨加工。8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的主軸振動測量系統(tǒng)，其特征在于，所述處理單元，基于所述分析結(jié)果，更新加工程序，并存儲更新后的加工程序，所述加工程序使所述加工機工作以對所述工件實施切削或研磨加工。9.一種主軸振動測量系統(tǒng)，其特征在于，所述主軸振動測量系統(tǒng)測量與加工機中的主軸有關(guān)的振動，所述加工機對工件實施切削或研磨加工，所述加工機具有：移動機構(gòu)，其使所述工件保持部移動，所述主軸振動測量系統(tǒng)具備：數(shù)據(jù)獲取單元，其獲取所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述工件保持部的位置變動數(shù)據(jù)或所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述工件保持部的振動數(shù)據(jù)；以及處理單元，其至少基于所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，輸出或存儲與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果，所述主軸能夠擇一地保持多種工具，所述數(shù)據(jù)獲取單元獲取各所述工具被所述主軸保持時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，所述處理單元，針對所述多種工具的每一種，將所述主軸的振動大于閾值或所述振動為所述閾值以下的轉(zhuǎn)速的范圍或轉(zhuǎn)速存儲在存儲器中。所述主軸振動測量方法測量與加工機中的主軸有關(guān)的振動，所述加工機對工件實施切削或研磨加工，所述加工機具有：移動機構(gòu)，其使所述工件保持部移動，所述主軸振動測量方法包括：振動數(shù)據(jù)獲取步驟，獲取所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述工件保持部的位置變動數(shù)據(jù)或所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述工件保持部的振動數(shù)據(jù)；以及結(jié)果導(dǎo)出步驟，至少基于所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，導(dǎo)出與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果，在所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟中，在被所述主軸保持的所述工具與所述工件未接觸的狀態(tài)下，獲取所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的主軸振動測量方法，其特征在于，在所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟中，獲取使所述主軸以轉(zhuǎn)速在預(yù)定的范圍內(nèi)依次變化的方式旋轉(zhuǎn)時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，在所述結(jié)果導(dǎo)出步驟中，基于通過所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或4所述振動數(shù)據(jù)，導(dǎo)出所述主軸的振動大于閾值或所述振動為所述閾值以下的轉(zhuǎn)速的范圍。12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的主軸振動測量方法，其特征在于，在所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟中，獲取使所述主軸以多個預(yù)定的轉(zhuǎn)速依次旋轉(zhuǎn)時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，在所述結(jié)果導(dǎo)出步驟中，基于通過所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，導(dǎo)出所述主軸的振動大于閾值或所述振動為所述閾值以下的轉(zhuǎn)速的范圍。13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的主軸振動測量方法，其特征在于，在所述結(jié)果導(dǎo)出步驟中，將在所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟中獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，與存儲在存儲器中的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)進行比較，基于比較結(jié)果，進行與所述主軸的振動有關(guān)的判斷，作為與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果的導(dǎo)出。14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的主軸振動測量方法，其特征在于，在所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟中，獲取使所述主軸以轉(zhuǎn)速發(fā)生變化的方式旋轉(zhuǎn)時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，在所述結(jié)果導(dǎo)出步驟中，進行將通過所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或述振動數(shù)據(jù)、作為頻率或所述主軸的轉(zhuǎn)速的函數(shù)表示的分析。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的主軸振動測量方法，其特征在于，在所述結(jié)果導(dǎo)出步驟中，將所述分析的結(jié)果與存儲在存儲器中的分析結(jié)果進行比較。16.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的主軸振動測量方法，其特征在于，基于通過所述導(dǎo)出所得到的所述轉(zhuǎn)速的范圍，更新加工程序，并存儲更新后的加工程序，所述加工程序使所述加工機工作，以對所述工件實施切削或研磨加工。17.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的主軸振動測量方法，其特征在于，基于所述分析的結(jié)果，更新加工程序，并存儲更新后的加工程序，所述加工程序使所述加工機工作，以對所述工件實施切削或研磨加工。所述主軸振動測量方法測量與加工機中的主軸有關(guān)的振動，所述加工機對工件實施切削或研磨加工，所述加工機具有：移動機構(gòu)，其使所述工件保持部移動，所述主軸振動測量方法包括：振動數(shù)據(jù)獲取步驟，獲取所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述工件保持部的位置變動數(shù)據(jù)或所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述工件保持部的振動數(shù)據(jù)；以及結(jié)果導(dǎo)出步驟，至少基于所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，導(dǎo)出與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果，所述主軸能夠擇一地保持多種工具，在所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟中，獲取各所述工具被所述主軸保持時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，在所述結(jié)果導(dǎo)出步驟中，針對所述多種工具的每一種，將所述主軸的振動大于閾值或5所述振動為所述閾值以下的轉(zhuǎn)速的范圍或轉(zhuǎn)速存儲在存儲器中。所述程序用于主軸振動測量，所述主軸振動測量是測量與加工機中的主軸有關(guān)的振動，所述加工機對工件實施切削或研磨加工，所述加工機具有：移動機構(gòu)，其使所述工件保持部移動，所述程序使計算機執(zhí)行以下步驟：振動數(shù)據(jù)獲取步驟，獲取所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述工件保持部的位置變動數(shù)據(jù)或所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述工件保持部的振動數(shù)據(jù)；以及結(jié)果導(dǎo)出步驟，至少基于所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，導(dǎo)出與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果，在所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟中，在被所述主軸保持的所述工具與所述工件未接觸的狀態(tài)下，獲取所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)。6技術(shù)領(lǐng)域背景技術(shù)[0002]近年來，使用加工中心等的切削加工機來進行對IT部件、裝飾品等的外觀部件的高品質(zhì)加工的情況越來越多。在該加工中使用單晶金剛石、聚晶金剛石(PCD)等，要求主軸擺動的極小化以及高精度的定位。[0003]可知如下的技術(shù)：在進行一般加工而不是高品質(zhì)加工的加工機中，在主軸頭上安裝X軸方向以及Y軸方向的加速度計，而且，使用沖擊錘在加速度計的附近部位進行加振，由[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻[0006]專利文獻1:日本特開2011-200998號公報發(fā)明內(nèi)容[0007]發(fā)明要解決的問題[0008]高品質(zhì)加工因為主軸上的未預(yù)料的負載、主軸或者工件保持部的隨時間老化等，在主軸與工件之間的不希望的振動增大，由此對加工面產(chǎn)生影響。例如，高品質(zhì)加工的加工面要求是鏡面，因此微小的加工不良成為很大的影響呈現(xiàn)在加工面。[0009]如此的加工不良的發(fā)生，也可在加工品的質(zhì)量檢查工序等中被發(fā)現(xiàn)。當隨時間老化等導(dǎo)致的主軸與工件之間的振動成為加工不良的情況下，在質(zhì)量檢查工序中，加工不良變得明顯時，很多工件成為加工不良。而且，當作為加工不良的原因調(diào)查，在主軸等安裝加速度計的同時測量主軸的振動的情況下，需要從振動測量結(jié)果中抽取特定的原因頻率等的作業(yè)，加工不良的原因調(diào)查需要長時間。即使進行了所述振動測量，也會發(fā)生無法發(fā)現(xiàn)加工不良的原因的情況，在這種情況下，測量振動的時間將被浪費。而且，由于如此的振動測量只有具備高度的知識的人才能適當?shù)剡M行，因此加工工序的再啟動需要長時間。[0010]本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的。本發(fā)明的目的之一是提供一種主軸振動測量系統(tǒng)、主軸振動測量方法、以及程序，其在測量振動之后無需追加加速度計、聲音收集裝置等的高價且容易發(fā)生故障的設(shè)備，能夠掌握加工不良的原因，適當?shù)卦O(shè)定加工條件等。[0011]用于解決問題的方案[0013]本發(fā)明的第一方案是一種主軸振動測量系統(tǒng)，所述主軸振動測量系統(tǒng)測量加工機中的主軸的振動，所述加工機對工件實施切削或研磨加工，所述加工機具有：工件保持部，其保持所述工件；主軸，其保持所述工具；以及移動機構(gòu)，其使所述工件保持部和所述主軸相對移動，所述主軸振動測量系統(tǒng)具備：數(shù)據(jù)獲取單元，其獲取所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述移動機構(gòu)的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)；以及處理單元，其基于所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)7據(jù)輸出或存儲與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果。[0014]工件的加工不良的原因之一，可以認為是工具與工件之間的相對的位置變動。在第一方案中，工具與工件之間的相對的位置變動作為移動機構(gòu)的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)而被獲取，所述移動機構(gòu)的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)與保持工具的主軸和保持工件的工件保持部之間的相對移動相關(guān)聯(lián)，基于所獲得的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)，輸出或存儲與主[0015]在上述方案中，優(yōu)選地，所述數(shù)據(jù)獲取單元，在被所述主軸保持的所述工具與所述工件未接觸的狀態(tài)下，獲取所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)。[0016]通過采用該結(jié)構(gòu)，能夠在沒有工具與工件的接觸的影響的狀態(tài)下，獲取與起因于主軸的旋轉(zhuǎn)的工具與工件的相對位置變動相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)。[0017]在上述方案中，優(yōu)選地，所述數(shù)據(jù)獲取單元，獲取使主軸以轉(zhuǎn)速在預(yù)定的范圍內(nèi)依次變化的方式旋轉(zhuǎn)時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，所述處理單元，基于由所述數(shù)據(jù)獲取單元獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，判斷所述主軸的振動大于閾值或者所述振動為所述閾值以下的轉(zhuǎn)速的范圍。[0018]在上述方案中，優(yōu)選地，所述數(shù)據(jù)獲取單元，獲取使所述主軸以多個預(yù)定的轉(zhuǎn)速依次旋轉(zhuǎn)時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，所述處理單元，基于由所述數(shù)據(jù)獲取單元獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，判斷所述主軸的振動大于閾值或者所述振動為所述閾值以下的轉(zhuǎn)速的范圍。[0019]若采用如此結(jié)構(gòu)，操作員、計算機等將能夠正確地掌握主軸的振動大于閾值或者該振動為閾值以下的轉(zhuǎn)速，這有助于掌握加工不良的原因，適當?shù)卦O(shè)定加工條件等。[0020]在上述方案中，優(yōu)選地，所述處理單元，將由所述數(shù)據(jù)獲取單元獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，與存儲在存儲器中的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)進行比較，并輸出比較結(jié)果作為與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果。[0021]若采用該結(jié)構(gòu)，例如，通過與存儲在存儲器中的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)之間進行比較，能夠正確地掌握，由數(shù)據(jù)獲取單元獲取的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)，相比于過去的狀態(tài)是否發(fā)生了巨大變化，相比于其他類似地工具的位置數(shù)據(jù)或者振動數(shù)據(jù)是否有著巨大不同。[0022]在上述方案中，優(yōu)選地，所述數(shù)據(jù)獲取單元，獲取使所述主軸以轉(zhuǎn)速發(fā)生變化的方式進行旋轉(zhuǎn)時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，所述處理單元，進行將由所述數(shù)據(jù)獲取單元獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)、作為頻率或者所述主軸的轉(zhuǎn)速的函數(shù)表示的分析，將分析結(jié)果作為與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果輸出或存儲。[0023]若采用該結(jié)構(gòu)，操作員、計算機等將能夠正確地掌握主軸的振動大于閾值或者該振動為閾值以下的轉(zhuǎn)速、以及該振動的傾向等，這有助于掌握加工不良的原因，適當?shù)卦O(shè)定加工條件等。[0024]在上述方案中，優(yōu)選地，所述處理單元，將所述分析結(jié)果與存儲在存儲器上的分析結(jié)果進行比較，并將比較結(jié)果作為與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果進行輸出。[0025]若采用該結(jié)構(gòu)，例如，通過與存儲在存儲器上的分析結(jié)果進行比較，能夠正確地掌握，通過處理單元獲得的分析結(jié)果，相對于過去的狀態(tài)是否發(fā)生了巨大變化、相對于其他類8似的工具的分析結(jié)果是否有著巨大不同。[0026]在上述方案中，優(yōu)選地，所述主軸能夠擇一地保持多種的工具，所述數(shù)據(jù)獲取單元獲取當所述各工具被所述主軸保持時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，所述處理單元，針對所述多種工具的每一種，將所述主軸的振動大于閾值或者所述振動為所述閾值以下的轉(zhuǎn)速的范圍或者轉(zhuǎn)速存儲在存儲器。[0027]若采用該結(jié)構(gòu)，操作員、計算機等能夠容易且準確的掌握對于多種的工具的每一種的主軸的振動大于閾值或者該振動為閾值以下的轉(zhuǎn)速，這有助于適當?shù)卦O(shè)定加工條件。[0028]在上述方案中，優(yōu)選地，所述處理單元，基于根據(jù)所述判斷所得到的所述轉(zhuǎn)速的范圍、或者所述分析結(jié)果，更新加工程序，并存儲更新后的加工程序，所述加工程序使所述加工機工作以對所述工件實施切削或研磨加工。[0030]本發(fā)明的第二方案是一種主軸振動測量方法，所述主軸振動測量方法測量加工機中的主軸的振動，所述加工機對工件實施切削或研磨加工，所述加工機具有：工件保持部，其保持所述工件；主軸，其保持所述工具；以及移動機構(gòu)，其使所述工件保持部和所述主軸相對移動，所述主軸振動測量方法具備：振動數(shù)據(jù)獲取步驟，獲取所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述移動機構(gòu)的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)；以及結(jié)果導(dǎo)出步驟，基于所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)導(dǎo)出與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果。[0031]在第二方案中，優(yōu)選地，在所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟中，在保持具與所述工件未接觸的狀態(tài)下，獲取所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)。[0032]在第二方案中，優(yōu)選地，在所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟中，獲取使所述主軸以多個預(yù)定的轉(zhuǎn)速依次旋轉(zhuǎn)時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，在所述結(jié)果導(dǎo)出步驟中，基于通過所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，導(dǎo)出所述主軸的振動大于閾值或者所述振動為所述閾值以下的轉(zhuǎn)速的范圍。[0033]在第二方案中，優(yōu)選地，在所述結(jié)果導(dǎo)出步驟中，將在所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟中獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，與存儲在存儲器中的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)進行比較，基于比較結(jié)果，進行與所述主軸的振動有關(guān)的判斷，以導(dǎo)出與所述主軸的震動有關(guān)的結(jié)果。[0034]在第二方案中，優(yōu)選地，在所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟中，獲取使所述主軸以轉(zhuǎn)速發(fā)生變化的方式進行旋轉(zhuǎn)時的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)，在所述結(jié)果導(dǎo)出步驟中，進行將根據(jù)所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟獲取的所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)、作為頻率或者所述主軸的轉(zhuǎn)速的函數(shù)表示的分析。[0035]而且，在第二方案中，優(yōu)選地，在所述結(jié)果導(dǎo)出步驟中，所述分析的結(jié)果與存儲在存儲器上的分析結(jié)果進行比較。[0036]在第二方案中，優(yōu)選地，基于根據(jù)所述導(dǎo)出所得到的所述轉(zhuǎn)速的范圍、或者所述分析的結(jié)果，更新加工程序，并存儲更新后的加工程序，所述加工程序使所述加工機工作以對所述工件實施切削或研磨加工。[0037]本發(fā)明的第三方案是一種程序，所述程序用于主軸振動測量，所述主軸振動測量測量加工機中的主軸的振動，所述加工機對工件實施切削或研磨加工，所述加工機具有：工9所述主軸相對移動，所述程序構(gòu)成為使計算機執(zhí)行振動數(shù)據(jù)獲取步驟和結(jié)果導(dǎo)出步驟，所述振動數(shù)據(jù)獲取步驟，獲取所述主軸旋轉(zhuǎn)時的所述移動機構(gòu)的位置變動數(shù)據(jù)或振動數(shù)據(jù)，所述結(jié)果導(dǎo)出步驟，基于所述位置變動數(shù)據(jù)或所述振動數(shù)據(jù)導(dǎo)出與所述主軸的振動有關(guān)的結(jié)果。[0038]發(fā)明效果[0039]根據(jù)本發(fā)明，能夠掌握加工不良的原因，適當?shù)卦O(shè)定加工條件等。附圖說明[0040]圖1是示出本發(fā)明的第一實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)的測量對象的加工機的立體圖。[0041]圖2是第一實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)的控制裝置的框圖。[0042]圖3是示出由第一實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)的控制裝置進行的控制的流程[0043]圖4是示出利用第一實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)得到的位置變動數(shù)據(jù)的例的圖[0044]圖5是示出利用第一實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)得到的分析結(jié)果的例的圖表。[0045]圖6是利用第一實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)存儲的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)的表。[0046]圖7是利用第一實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)存儲的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)的表。[0047]圖8是示出由第二實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)的控制裝置進行的控制的流程[0048]圖9是示出利用第二實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)得到的位置變動數(shù)據(jù)的例的圖表。[0049]圖10是示出由第三實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)的控制裝置進行的控制的流程[0050]圖11是用于示出第一~第三實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)的變形例的加工機的立體圖。[0051]附圖標記說明：[0052]100:加工機[0054]101:軌道[0055]102:Z軸馬達[0056]102a:編碼器[0057]103:滾珠絲杠[0058]110:主軸支撐部[0059]120:主軸[0060]120a:主軸主體[0061]120b:工具架[0063]130:基座部[0064]131:軌道[0066]132a:編碼器[0067]133:滾珠絲杠[0068]140:可動部件[0069]141:軌道[0072]143:滾珠絲杠[0073]150:工件保持部[0074]151:卡盤[0075]200:控制裝置[0076]210:處理器[0077]220:顯示裝置[0078]230:存儲部[0079]230a:加工程序[0080]230b:數(shù)據(jù)獲取程序(數(shù)據(jù)獲取單元)[0081]230c:處理程序(處理單元)[0082]240:輸入裝置[0083]250:收發(fā)部[0084]300:加速度傳感器具體實施方式[0086]以下參照附圖對本發(fā)明的一個實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)進行說明。本實施方式的主軸測量系統(tǒng)是用于測量加工機100中的主軸120的振動的系統(tǒng)，所述加工機100通過向工件W實施切削或研磨對工件W進行鏡面加工。具120c對工件W進行研磨加工的研磨機等。本實施方式的加工機100是對工件W的表面通過切削刃進行鏡面加工的周知的NC銑床。[0088]如圖1所示，加工機100具有：設(shè)置在框架100a的上端測的主軸支撐部110、能夠圍繞豎直軸旋轉(zhuǎn)地安裝在主軸支撐部110的主軸120、用于使主軸120旋轉(zhuǎn)的主軸馬達121、固定在框架100a且配置于主軸120的下方的基座部130、固定在基座部130的上表面的一對軌道131、由一對軌道131支撐的可動部件140、固定在可動部件140的上表面的一對軌道141、以及由一對軌道141支撐的工件保持部150。工件保持部150通過卡盤151固定工件W。[0089]主軸120具備：主軸主體120a,其在主軸支撐部110能夠利用軸承等圍繞豎直軸旋轉(zhuǎn)地被支撐；以及工具架120b,其設(shè)置在主軸主體120a的下部。在工具架120b保持有工具120c,所述工具120c具有立銑刀、鉆孔等的切削刃。在本實施方式中，雖然工具120c也看作是主軸120的一部分，但是也可以將工具120c看作是安裝在主軸120的部件。另外，工具120c11還可以是具有研磨用前端的其他工具。[0090]如圖1所示，一對軌道131沿Y軸的X軸以及Y軸是沿水平方向延伸的軸，X軸與Y軸正交。此外，Z軸是沿豎直方向延伸的以及可動部件140能夠沿一對軌道131向Y軸方向移動。[0091]在可動部件140上固定有伺服馬達等的X軸馬達142,在可動部件140上設(shè)置有利用X軸馬達142旋轉(zhuǎn)的滾珠絲杠143。滾珠絲杠143與一對軌道141平行配置。工件保持部150在其下表面部具有未圖示的滾珠絲杠螺母，工件保持部150的下表面部與滾珠絲杠143螺紋結(jié)[0092]一對軌道141、X軸馬達142、滾珠絲杠143、以及滾珠絲杠螺母作為使工件保持部150和主軸120相對移動的移動機構(gòu)而發(fā)揮功能。[0093]在基座部130上固定伺服馬達等的Y軸馬達132,在基座部130上設(shè)置有利用Y軸馬達132旋轉(zhuǎn)的滾珠絲杠133.滾珠絲杠133與一對軌道131平行配置?？蓜硬考?40在其下表面部具有未圖示的滾珠絲杠螺母，可動部件140的下表面部與滾珠絲杠133螺紋結(jié)合。[0094]一對軌道131、Y軸馬達132、滾珠絲杠133、以及滾珠絲杠螺母作為使工件保持部150和主軸120相對移動的移動機構(gòu)而發(fā)揮功能。[0095]因此，工件W以及工件保持部150利用X軸馬達142以及Y軸馬達132向X軸方向以及Y軸方向移動。[0096]在框架100a的上端側(cè)固定有一對軌道101,一對軌道101沿上下方向(沿Z軸的方向)延伸。而且，主軸支撐部110利用一對軌道101沿上下方向可移動地被支撐。[0097]在框架100a的上端側(cè)固定伺服馬達等的Z軸馬達102,在框架100a的上端側(cè)設(shè)置有利用Z軸馬達102旋轉(zhuǎn)的滾珠絲杠103.滾珠絲杠103與一對軌道101平行配置。主軸支撐部110在其側(cè)表面具有未圖示的滾珠絲杠螺母，主軸支撐部110的側(cè)表面部與滾珠絲杠103螺紋結(jié)合。[0098]因此，主軸支撐部110以及主軸120利用Z軸馬達102沿上下方向移動。[0099]一對軌道101、Z軸馬達102、滾珠絲杠103、以及滾珠絲杠螺母作為使工件保持部150和主軸120相對移動的移動機構(gòu)而發(fā)揮功能。[0100]利用加工機100的控制裝置200,來控制主軸馬達121、X軸馬達142、Y軸馬達132、以[0101]如圖2所示，控制裝置200具備：CPU等的處理器210;顯示裝置220;存儲部230,其具收發(fā)部250,其用于收發(fā)信號。收發(fā)部250接收來自平板電腦終端等的信息，并且將所接收的信息輸入至控制裝置200,因此也作為輸入部發(fā)揮功能。器132a、以及編碼器102a,控制裝置200與編碼器142a、編碼器132a、以及編碼器102a連接。102的軸的旋轉(zhuǎn)位置。編碼器142a、編碼器132a、以及編碼器102a還可以設(shè)置在X軸馬達142、及Z軸馬達102的電流檢測值。[0103]如圖2所示，主軸馬達121具備編碼器121a,控制裝置200與編碼器121a連接。編碼器121a檢測主軸120的轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)位置等。編碼器121a還可以設(shè)置在主軸馬達121的外部，而不是設(shè)置在內(nèi)部。而且，代替于編碼器121a,還可以使用旋轉(zhuǎn)計。[0104]在存儲部230存儲有加工程序230a,控制裝置200基于加工程序230a,控制用于加用編碼器121a、編碼器142a、編碼器132a、以及編碼器102a的檢測值進行反饋控制、前饋控制等。[0105]接下來，針對主軸振動測量系統(tǒng)進行說明。在一例中，主軸振動測量系統(tǒng)具有，在控制裝置200的存儲部230存儲的數(shù)據(jù)獲取程序(數(shù)據(jù)獲取單元)230b以及處理程序(處理單元)230c。在本實施方式中，這些程序230b,230c存儲在存儲部230,并由處理器210執(zhí)行，因此處理器210或者控制裝置200是主軸振動測量系統(tǒng)的一部分。這些程序230b、230c還可以存儲在與控制裝置200不同的其他計算機的存儲部，并根據(jù)該計算機的處理器執(zhí)行程序[0106]此外、本實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)使用或者具有編碼器142a、編碼器132a、以及編碼器102a。[0107]以下，參照圖3的流程圖對由處理器210基于數(shù)據(jù)獲取程序230b以及處理程序230c來進行的處理進行說明。[0108]首先，當在主軸120的工具120c與工件W未接觸的狀態(tài)中，處理器210接收基于向輸入裝置240輸入的開始信號、或者收發(fā)部250所接收的開始信號(步驟S1-1)時，處理器210基于數(shù)據(jù)獲取程序230b而開始使主軸120旋轉(zhuǎn)(步驟S1—2)。在步驟S1-2中，使主軸120的轉(zhuǎn)速逐漸變化。具體來說，使主軸120的轉(zhuǎn)速從預(yù)定的低轉(zhuǎn)速逐漸變化至預(yù)定的高轉(zhuǎn)速。預(yù)定的低轉(zhuǎn)速為，例如0rpm,預(yù)定的高轉(zhuǎn)速為，例如24000rpm。還可以使主軸120的轉(zhuǎn)速從預(yù)定的高轉(zhuǎn)速逐漸變化至預(yù)定的低轉(zhuǎn)速。[0109]此時，處理器210基于數(shù)據(jù)獲取程序230b,將編碼器142a以及編碼器132a的檢測值與主軸120的轉(zhuǎn)速相關(guān)聯(lián)并進行獲取(步驟S1—3)。由此，能夠獲取X軸馬達142以及Y軸馬達132的軸的旋轉(zhuǎn)位置變動數(shù)據(jù)。X軸馬達142以及Y軸馬達132用于使工件W以及工件保持部150向X軸方向以及Y軸方向移動。因此，該旋轉(zhuǎn)位置變動數(shù)據(jù)也可以說是，工件W以及工件保持部150相對于主軸120在水平方向的位置變動數(shù)據(jù)。另外，水平方向是與主軸120的軸方向正交的方向。[0110]此外，在單位時間內(nèi)獲取主軸120和編碼器142a以及編碼器132a的數(shù)據(jù)，因此能夠使轉(zhuǎn)速與位置變動數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)。例如，單位時間設(shè)為1msec,因此能夠正確地測量到500Hz的頻率成分。[0111]進而，在步驟S1-3中，處理器210還可以使編碼器102a的檢測值與主軸120的轉(zhuǎn)速相關(guān)聯(lián)而獲取。由此，能夠獲取Z軸馬達102的軸的旋轉(zhuǎn)位置變動數(shù)據(jù)。Z軸馬達102用于使主軸120相對于工件W沿上下方向(Z軸方向)進行移動。因此，該旋轉(zhuǎn)位置變動數(shù)據(jù)也可以說是工件W與主軸120在上下方向的位置變動數(shù)據(jù)。另外，上下方向是主軸120的軸方向。[0112]而且，在單位時間內(nèi)獲取主軸120和編碼器102a的數(shù)據(jù)，因此能夠使轉(zhuǎn)速與位置變動數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)。[0113]圖4示出了通過步驟S1-3獲取的數(shù)據(jù)的例。在圖4中，橫軸是時間，示出了作為編碼器142a的檢測值的X軸方向位置變動、作為編碼器132a的檢測值的Y軸方向位置變動、以及作為以及編碼器102a的檢測值的Z軸方向位置變動。而且，在圖4中，示出了隨著時間逐漸發(fā)生變化的主軸120的轉(zhuǎn)速。[0114]如圖4所示，在主軸120的某轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)，具體為在從5000rpm至12000rpm的范圍內(nèi)，X軸方向位置變動在斷斷續(xù)續(xù)地變大。而且，在主軸120的其他轉(zhuǎn)速范圍，具體為在比15000rpm至16000rpm的范圍、以及在比18000rpm更大的范圍，Z軸方向位置變動較大。而且，在從9500rpm至12000rpm的范圍以及比18000rpm更大的范圍，Y軸方向位置變動較大。如圖4所示，由于各位置變動是以預(yù)定的中心位置為中心的變動，因此也可以稱為振動。[0115]接下來，處理器210基于處理程序230c,輸出與主軸120的振動有關(guān)的結(jié)果(步驟S1—4)。[0116]例如，在X軸方向位置變動對工件W的鏡面加工影響較大的情況下，作為所述輸出的第一例，處理器210向顯示裝置220輸出用于顯示圖4示出的X軸方向位置變動的數(shù)據(jù)，在位置變動、作為主軸120的軸方向位置變動的Z軸方向位置變動、X軸方向位置變動和Y軸方向位置變動這兩者、綜合X軸方向位置變動和Y軸方向位置變動所得到的與主軸120的軸方向正交的方向的位置變動、以及綜合X軸方向位置變動和Y軸方向位置變動和Z軸方向位置變動所得到的位置變動等，在后述的說明中也相同。在以下的說明中，這些僅僅稱為位置變動。此外，在第一例中，、處理器210還可以向附有顯示器的其他計動的數(shù)據(jù)。[0117]作為所述輸出的第二例，處理器210還可以使用傅里葉變換等，對作為時間的函數(shù)被表示的圖4的位置變動數(shù)據(jù)，進行作為主軸120的轉(zhuǎn)速或者頻率的函數(shù)表示的頻率分析等的分析，由此得到分析結(jié)果(圖5),并將用于顯示分析結(jié)果的數(shù)據(jù)輸出至顯示裝置220或者所述其他計算機。在如圖5所示的圖表中，橫軸是主軸120的轉(zhuǎn)速，縱軸是位置變動的大小[0118]所顯示的分析結(jié)果可以是如圖5所示的圖表、在該圖表中位置變動在預(yù)定的閾值以下的主軸120的轉(zhuǎn)速范圍、在該圖表中位置變動超過預(yù)定的閾值的主軸120的轉(zhuǎn)速范圍等。例如，作為位置變動在預(yù)定的閾值以下的主軸120的轉(zhuǎn)速范圍，向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出5000rpm以下、從13000rpm至14000rpm、以及從16500rpm至17500rpm的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)。[0119]作為所述輸出的第三例，處理器210還可以判定位置變動的大小在預(yù)定的閾值以下的主軸120的轉(zhuǎn)速范圍，并向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出根據(jù)判定所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)。例如，向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出5000rpm以下、從13000rpm至14000rpm、以及從16500rpm至17500rpm的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)。[0120]作為所述輸出的第四例，與第三例相反地，處理器210還可以判定位置變動的大小超過預(yù)定的閾值的主軸120的轉(zhuǎn)速范圍，并向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出根據(jù)判定所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)。此外，操作員還可以參考第一例的顯示，判定第三例以及第四例的轉(zhuǎn)速范圍，并向控制裝置200輸入所判定的轉(zhuǎn)速范圍，處理器210向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出根據(jù)判定所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)。[0121]作為所述輸出的第五例，還可以向服務(wù)器輸出如圖4所示的位置變動的數(shù)據(jù)、第二例的分析結(jié)果的數(shù)據(jù)、根據(jù)第二例的分析所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)、根據(jù)第三例的判定所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)、根據(jù)第四例的判定所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)等。這些數(shù)據(jù)與示出加工機100的機種的數(shù)據(jù)、以及與工具120c有關(guān)的數(shù)據(jù)共同輸出。在服務(wù)器中，可以將這些數(shù)據(jù)與加工機100的機種、工具120c的種類等相關(guān)聯(lián)地保存，在分析、由其他加工機加工時作為參考等。[0122]作為所述輸出的第六例，還可以向存儲部230存儲如圖4所示的位置變動的數(shù)據(jù)、第二例的分析結(jié)果的數(shù)據(jù)、根據(jù)第二例的分析所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)、根據(jù)第三例的判定所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)、根據(jù)第四例的判定所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)等。例如，如圖6所示，將根據(jù)第三例的判定所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)，與工具120c的種類相關(guān)聯(lián)而進行存儲。地存儲與根據(jù)第三例的判定所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)相對應(yīng)的工件W的加工品質(zhì)數(shù)據(jù)。該加工品質(zhì)數(shù)據(jù)可以是，對于使用根據(jù)判定所得到的轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)的主軸120的轉(zhuǎn)速來進行加工的工件W,基于操作員的判斷或者品質(zhì)檢查裝置的判斷能夠得到的數(shù)據(jù)。在圖7中，作為一例，基于操作員的判斷或者品質(zhì)檢查裝置的判斷的光澤度的指數(shù)，工件W的加工品質(zhì)數(shù)據(jù)將被存儲。步驟S1-1～S1-3以及步驟S1—4的第三例的判定還可以在加工多個工件W之前進行，并使用在第三例進行判定的主軸120的轉(zhuǎn)速范圍來加工多個工件W,存儲光澤度的指數(shù)，所述光澤度基于對于已加工的工件W的操作員的判斷或者品質(zhì)檢查裝置的判斷。[0124]作為所述輸出的第八例，處理器210還可以使用第二例的分析結(jié)果的數(shù)據(jù)、根據(jù)第二例的分析所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)、根據(jù)第三例所判定的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)、根據(jù)第四例所判定的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)、根據(jù)第六例所存儲的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)、根據(jù)第七例所存儲的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)以及加工品質(zhì)數(shù)據(jù)等，更新加工程序230a,并向存儲部230存儲更新后的加工程序230a。而且，將在存儲部230內(nèi)更新的加工程序230a還可以與工具120c的種類相關(guān)聯(lián)。而且，還可以由操作員參照如圖4所示的位置變動的數(shù)據(jù)、第二例的分析結(jié)果的數(shù)據(jù)、根據(jù)第二例的分析所得到的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)、根據(jù)第三例或者第四例所判定的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)、根據(jù)第六例或者第七例所存儲的數(shù)據(jù)等，來更新加工程序230a。[0125]作為所述輸出的第九例，處理器210還可以將根據(jù)第二～第四例所得到的數(shù)據(jù)按照每個工具120c的種類存儲在存儲部230。例如，能夠?qū)⒏鶕?jù)第三例所判定的轉(zhuǎn)速范圍的數(shù)據(jù)與工具120c的種類相關(guān)聯(lián)而存儲在存儲部230。[0126]作為所述輸出的第十例，處理器210還可以將在某工具120c被主軸120的工具架120b保持的狀態(tài)下根據(jù)第一～第四例所得到的數(shù)據(jù)，與對于該工具120c存儲在存儲部230中的之前的數(shù)據(jù)進行比較，并向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出比較結(jié)果。該情況下，之前的數(shù)據(jù)是在上一次或更早之前由工具架120b保持該工具120c時得到的第一~第四例的數(shù)據(jù)。[0127]此外，處理器210還可以將在某工具120c被主軸120的工具架120b保持的狀態(tài)下根據(jù)第一~第四例所得到的數(shù)據(jù)，與對于其他工具120c存儲在存儲部230的之前的數(shù)據(jù)進行比較，并向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出比較結(jié)果。即使在該情況下，可以檢測由于在工具120c和工具架120b之間存在小異物等而導(dǎo)致的安裝異常等，而且，在所述工具120c與所述其他工具120c相類似的情況下，還能夠檢測出主軸120的其他部分的異常。[0128]本發(fā)明的第二實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)參照附圖在以下進行說明。在第二實施方式中，代替于在第一實施方式中使主軸120的轉(zhuǎn)速從預(yù)定的低轉(zhuǎn)速逐漸變化至預(yù)定的高轉(zhuǎn)速，使主軸120的轉(zhuǎn)速以預(yù)定的多種轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。在第二實施方式中未說明的結(jié)構(gòu)與第一實施方式相同，相同的結(jié)構(gòu)附有相同的附圖標記[0129]參照圖8的流程圖對第二實施方式的基于數(shù)據(jù)獲取程序230b以及處理程序230c的由處理器210進行的處理進行說明。[0130]首先，當在主軸120的工具120c與工件W未接觸的狀態(tài)下，處理器210接收到基于向輸入裝置240輸入的開始信號、或者收發(fā)部250接收的開始信號(步驟S2-1)時，處理器210基于數(shù)據(jù)獲取程序230b開始使主軸120旋轉(zhuǎn)(步驟S2-2)。在此，處理器210依次用多種轉(zhuǎn)速20000rpm、以及24000rpm這6種轉(zhuǎn)速使主軸120旋轉(zhuǎn)。[0131]此時，處理器210基于數(shù)據(jù)獲取程序230b,與主軸120的轉(zhuǎn)速相關(guān)聯(lián)地獲取編碼器142a、編碼器132a、以及編碼器102a的檢測值(步驟S2-3[0132]圖9示出了根據(jù)步驟S2-3獲取的數(shù)據(jù)的例。在圖9中，橫軸是時間，示出了作為編碼器142a的檢測值的X軸方向位置變動、作為編碼器132a的檢測值的Y軸方向位置變動、以及作為編碼器102a的檢測值的Z軸方向位置變動。而且，圖9示出了與時間共同階段性變化的主軸120的轉(zhuǎn)速。[0133]如圖9所示，當主軸120在某一轉(zhuǎn)速時，具體而言在5000rpm、10000rpm、20000rpm、變動較大，在15000rpm中Z軸方向位置變動稍微變大。此外，在10000rpm、20000rpm、以及[0134]接下來，處理器210基于處理程序230c輸出與主軸120的振動有關(guān)的結(jié)果(步驟S2—4)。[0135]作為所述輸出，能夠進行第一實施方式的第一例的輸出。即，處理器210能夠向顯示裝置220輸出圖9示出的用于顯示位置變動的數(shù)據(jù)，還可以將該數(shù)據(jù)輸出至附有顯示器的其他計算機。[0136]而且，還能夠進行第一實施方式的第二例的輸出。即，處理器210,進行將圖9的位置變動數(shù)據(jù)、作為主軸120的轉(zhuǎn)速或者頻率的函數(shù)表示的分析，由此得到分析結(jié)果，從而能夠向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出用于顯示分析結(jié)果的數(shù)據(jù)。與第一實施方式相同地，所顯示的分析結(jié)果可以是，橫軸為主軸120的轉(zhuǎn)速且縱軸為位置變動的大小的圖表、在該圖表中位置變動在預(yù)定的閾值以下的主軸120的轉(zhuǎn)速范圍、在該圖表中位置變動超過預(yù)定的閾值的主軸120的轉(zhuǎn)速范圍等。[0137]而且，還可以進行與第一實施方式的第三例相同的輸出。即，處理器210還可以判定位置變動的大小在預(yù)定的閾值以下的主軸120的轉(zhuǎn)速，向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出根據(jù)判定所得到的轉(zhuǎn)速的數(shù)據(jù)。例如，當X軸方向位置變動對工件W的鏡面加工產(chǎn)生較大影響的情況下，向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出15000rpm的轉(zhuǎn)速的數(shù)據(jù)，當Z軸方向位置變動對工件W的鏡面加工產(chǎn)生較大影響的情況下，向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出5000rpm以及10000rpm的轉(zhuǎn)速的數(shù)據(jù)。[0138]而且，還可以進行與第一實施方式的第四例相同的輸出。處理器210還可以判定位置變動的大小超過預(yù)定的閾值的主軸120的轉(zhuǎn)速，向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出根據(jù)判定所得到的轉(zhuǎn)速的數(shù)據(jù)。此外，操作員還可以參考第一例的顯示，來判定第三例以及第四例的轉(zhuǎn)速，向控制裝置200輸入已判定的轉(zhuǎn)速，處理器210向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出根據(jù)判定所得到的轉(zhuǎn)速的數(shù)據(jù)。[0139]而且，還能夠進行第一實施方式的第五例的向服務(wù)器輸出、第六例以及第七例的數(shù)據(jù)存儲、以及第八例的加工程序230a的更新。第二實施方式的情況下，在第一實施方式的[0140]本發(fā)明的第三實施方式的主軸振動測量系統(tǒng)參照附圖對以下進行說明。在第三實施方式中，代替于在第一實施方式中使主軸120的轉(zhuǎn)速從預(yù)定的低轉(zhuǎn)速逐漸變化至預(yù)定的高轉(zhuǎn)速，依預(yù)定的轉(zhuǎn)速使主軸120旋轉(zhuǎn)。預(yù)定的轉(zhuǎn)速還可以按照工具120c的種類預(yù)先設(shè)定。在第三實施方式中未說明的結(jié)構(gòu)與第一實施方式相同，相同的結(jié)構(gòu)附有相同的附圖標記。[0141]參照圖10的流程圖對第三實施方式的基于數(shù)據(jù)獲取程序230b以及處理程序230c由處理器210進行的處理進行說明。[0142]首先，當在主軸120的工具120c與工件W尚未接觸的情況下，處理器210接收到基于向輸入裝置240的輸入的開始信號、或者收發(fā)部250接收的開始信號(步驟S3—1)時，處理器210基于數(shù)據(jù)獲取程序230b開始使主軸120旋轉(zhuǎn)(步驟S3—2)。在此，處理器210以預(yù)定的轉(zhuǎn)[0143]此時，處理器210基于數(shù)據(jù)獲取程序230b,獲取編碼器142a、編碼器132a、以及編碼器102a的檢測值(步驟S3—3)。[0144]接下來，處理器210基于處理程序230c輸出與主軸120的振動有關(guān)的結(jié)果(步驟S3—4)。[0145]作為所述輸出，能夠進行第一實施方式的第一例的輸出。即，處理器210能夠向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出用于顯示根據(jù)步驟S3—3所得到的位置變動的數(shù)據(jù)。[0146]而且，作為所述輸出，在根據(jù)步驟S3-3所得到的位置變動超過閾值的情況下，能夠向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出用于通知該位置變動超過閾值的信號。[0147]而且，作為所述輸出，能夠進行與第一實施方式的第五例相同的輸出。即，能夠向服務(wù)器輸出根據(jù)步驟S3-3所得到的位置變動的數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)與示出加工機100的機種的數(shù)據(jù)、以及與工具120c有關(guān)的數(shù)據(jù)共同輸出。在服務(wù)器中，將位置變動的數(shù)據(jù)與加工機100的機種、工具120c的種類等相關(guān)聯(lián)后保存，并且在分析、由其他加工機加工時作為參考等。[0148]而且，作為所述輸出，能夠進行與第一實施方式的第六例相同的輸出。即，能夠向存儲部230存儲根據(jù)步驟S3-3所得到的位置變動的數(shù)據(jù)。例如，使位置變動的數(shù)據(jù)與工具120c的種類相關(guān)聯(lián)后存儲。[0149]此外，作為所述輸出，能夠進行與第一實施方式的第七例相同的輸出。即，沿第六例進行所述存儲時，還可以進一步存儲工件W的加工品質(zhì)數(shù)據(jù)，所述工件W的加工品質(zhì)數(shù)據(jù)與根據(jù)步驟S3—3所得到的位置變動的數(shù)據(jù)相對應(yīng)。[0150]另外，即使是第一實施方式以及第二實施方式，當根據(jù)步驟S1-3以及S2-3所得到的位置變動超過閾值的情況下，處理器210還可以向顯示裝置220或者所述其他計算機輸出用于通知該位置變動超過閾值的信號。[0151]而且，即使是第一實施方式以及第二實施方式，操作員也可以基于根據(jù)第一~第四例所顯示的結(jié)果，判定與加工程序230a的主軸120的轉(zhuǎn)速相對應(yīng)的轉(zhuǎn)速的位置變動的好[0152]而且，在第一～第三實施方式中，為了獲取不影響伺服馬達的振動，如圖11所示，代替于編碼器142a、編碼器132a、以及編碼器102a,還可以使用加速度傳感器等的傳感器保持部150、或者可動部件140上。傳感器300可以是周知的三軸加速度傳感器、一軸加速度傳感器等。傳感器300與控制裝置200相連接。[0153]處理器210基于數(shù)據(jù)獲取程序230b,從傳感器300獲取工件W、工件保持部150、或者可動部件140等的X軸方向、Y軸方向等的振動數(shù)據(jù)。即，處理器210在第一~第三實施方式的步驟S1-3,S2-3,S3—3中，代替于位置變動數(shù)據(jù)，從傳感器300獲取振動數(shù)據(jù)。[0154]即使在該情況下，使用振動數(shù)據(jù)代替位置變動數(shù)據(jù)，能夠進行與第一~第八例相同的輸出或存儲。[0155]工件W的加工不良的原因之一，可以認為是工具120c與工件W之間相對性的位