—2—一、建設(shè)項目基本情況人**別三十六、計算機(jī)、通信和其他電形//（2）項目工業(yè)廢水經(jīng)處理后進(jìn)入污水處理廠深度處理后達(dá)標(biāo)排規(guī)劃名稱：《珠海航空產(chǎn)業(yè)園發(fā)展規(guī)劃綱要(審批文件名稱及文號：《關(guān)于珠海航空產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃的復(fù)函》粵發(fā)改規(guī)劃環(huán)境影響評價文件名稱：《珠海航空產(chǎn)業(yè)園發(fā)展規(guī)劃環(huán)境影響報審查文件名稱及文號：《關(guān)于珠海航空產(chǎn)業(yè)園發(fā)展規(guī)劃環(huán)境影響報告項目所處地塊為工業(yè)用地，符合用地規(guī)劃要求和準(zhǔn)入要求。項目用地性質(zhì)為工業(yè)用地，根據(jù)飲用水源保護(hù)區(qū)劃分，項目區(qū)域不在飲用水源保護(hù)區(qū)范圍內(nèi)，其符合《珠海市城市規(guī)劃條例》及《廣東省珠海市飲用水源水質(zhì)保護(hù)條例》中的相關(guān)規(guī)定。項目生產(chǎn)過程中針對營運(yùn)過程產(chǎn)生的污染物采取了合理、有效的防治措施，污染物均能達(dá)標(biāo)排放，對周圍環(huán)境影響較小。項目不在生態(tài)保護(hù)紅線范圍內(nèi)；產(chǎn)生的污析和技術(shù)研究和試驗發(fā)展，產(chǎn)品和工藝屬于第一類“鼓勵類”中一條“科技服務(wù)業(yè)”中第二十一款“新產(chǎn)品開發(fā)設(shè)計中心，故禁止準(zhǔn)入類、不涉及與市場準(zhǔn)入相關(guān)的禁止性規(guī)定的禁止措施，因此本項目符合《市場準(zhǔn)入負(fù)面清單）》（202根據(jù)廣東省發(fā)展改革委關(guān)于印發(fā)《廣東省堅決遏制“盲目發(fā)展的實施方案》(粵發(fā)改能源(2021)368號)和《廣東省“兩高”根據(jù)附件3建設(shè)用地規(guī)劃許可證，本項目租賃珠海市金灣區(qū)三灶—4—），選址不在自然保護(hù)區(qū)、森林公園、風(fēng)景名勝區(qū)范圍內(nèi)，且項目500米內(nèi)不存在一類環(huán)境功能區(qū)，所在區(qū)域?qū)儆诙惌h(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)，根據(jù)《珠海市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于印發(fā)珠海市聲環(huán)境功能區(qū)區(qū)劃的通）：目所在地為3類聲環(huán)境功能區(qū)（JW335珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)灶科技工業(yè)園-西區(qū)），因此執(zhí)行《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)項目生活污水和生產(chǎn)廢水依托三灶水質(zhì)凈化廠處理，三灶水質(zhì)凈化廠處理達(dá)標(biāo)后尾水排入中心排河，最終進(jìn)入大門口水道。根據(jù)《廣執(zhí)行《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838中心排河暫未劃分水體環(huán)境功能區(qū)，根據(jù)《廣東省地表水環(huán)境功質(zhì)量控制目標(biāo)，以保證主流的環(huán)境質(zhì)量控制目標(biāo)為最低要求，原則上與匯入干流的功能目標(biāo)要求不能相差超過一個級別”，故可參照大門口水道水質(zhì)目標(biāo)，中心排河的水質(zhì)目標(biāo)為Ⅳ類，執(zhí)行《地表水環(huán)境質(zhì)東省地下水保護(hù)與利用規(guī)劃》（粵水資源函〔2011〕377號）：廣東省地下水一級功能區(qū)劃分為開發(fā)區(qū)、保護(hù)區(qū)、保留區(qū)3類，在地下水一級功能區(qū)的框架內(nèi)，根據(jù)地下水資源的主導(dǎo)功能，再劃分為8類地下水二級功能區(qū)。其中，開發(fā)區(qū)劃分為集中式供水水源區(qū)和分散式開發(fā)利用區(qū)；保護(hù)區(qū)劃分為生態(tài)脆弱區(qū)、地質(zhì)災(zāi)害易發(fā)區(qū)和地下水水源項目所在區(qū)域未劃定地下水功能區(qū)劃，本報告參照項目周邊區(qū)域地下水功能區(qū)劃的劃定情況，具體為珠江三角洲珠海不宜開采區(qū)，參根據(jù)《廣東省人民政府關(guān)于印發(fā)廣東省“三線一單”生態(tài)環(huán)境分），略性支柱產(chǎn)業(yè)綠色轉(zhuǎn)型升級發(fā)展，已有石化工業(yè)區(qū)控制規(guī)模，實現(xiàn)綠色化、智能化、集約化發(fā)展；原則上不再新建燃煤鍋爐，逐步淘汰生物質(zhì)鍋爐、集中供熱管網(wǎng)覆蓋區(qū)域內(nèi)的分散供熱鍋爐，逐步推動高污染燃料禁燃區(qū)全覆蓋。本項目屬于電子信息制造行業(yè)，不涉及鍋爐和用戶直供，降低供氣成本；推進(jìn)工業(yè)節(jié)水減排，重點在高耗水行業(yè)開展節(jié)水改造，提高工業(yè)用水效率。加強(qiáng)江河湖庫水量調(diào)度，保障生態(tài)流量。盤活存量建設(shè)用地，控制新增建設(shè)用地規(guī)模。本項目不涉及天實現(xiàn)工業(yè)用水高回用率，且項目在已有的永久占地內(nèi)進(jìn)行建設(shè)，不新全危險廢物收集體系，推進(jìn)危險廢物利用處置能力結(jié)構(gòu)優(yōu)化。本項目將根據(jù)監(jiān)管要求進(jìn)行應(yīng)急預(yù)案的編制及備案；本項目危險廢物定期委級、強(qiáng)化污染減排、提升資源利用效率為重點，加快解決資源環(huán)境負(fù)荷大、局部區(qū)域生態(tài)環(huán)境質(zhì)量差、生態(tài)環(huán)境風(fēng)險高等問題?！〖壱陨瞎I(yè)園區(qū)重點管控單元。依法開展園區(qū)規(guī)劃環(huán)評，嚴(yán)格落實規(guī)劃環(huán)評管理要求，開展環(huán)境質(zhì)量跟蹤監(jiān)測，發(fā)布環(huán)境管理狀況公告，制定并實施園區(qū)突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案，定期開展環(huán)境安全隱患排查，施污水深度處理，新建、改建、擴(kuò)建項目應(yīng)實行重點污染物排放等量辦理規(guī)劃和規(guī)劃環(huán)評工業(yè)園區(qū)內(nèi)；項目污水排放區(qū)域不屬于超標(biāo)區(qū)；表1-1與珠海市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案（2023年修訂）相符性分析類別文件要求項目對照分析情符合性全市總體管控要求區(qū)域布局管控要求優(yōu)先保護(hù)生態(tài)空間，生態(tài)保護(hù)紅線、一般生態(tài)空間嚴(yán)格按照國家、省有關(guān)要求進(jìn)行管理。建立和完善綠色規(guī)劃體系，落實生態(tài)保護(hù)、基本農(nóng)田、城鎮(zhèn)開發(fā)等空間管控邊界，嚴(yán)守海岸線、天際線、山脊線。嚴(yán)格環(huán)境準(zhǔn)入，嚴(yán)控高耗能、高排放項目。不得批準(zhǔn)明令淘汰的能耗高、環(huán)境污染嚴(yán)重、不符合產(chǎn)業(yè)政策和市場準(zhǔn)入條件的建設(shè)項目及國家淘汰的落后生產(chǎn)能力、工藝、設(shè)備和產(chǎn)品的項目。禁止新建、擴(kuò)建燃煤燃油火電機(jī)組和企業(yè)自備電站，推進(jìn)現(xiàn)有服役期滿及落后老舊的燃煤火電機(jī)組有序退出；原則上不再新建燃煤鍋爐，逐步淘汰生物質(zhì)鍋爐、集中供熱管網(wǎng)覆蓋區(qū)域內(nèi)的分散供熱鍋爐，逐步推動高污染燃料禁燃區(qū)全覆蓋。不得新建專業(yè)電鍍、化學(xué)制漿、紡織印染、制革、冶煉、發(fā)酵等重污染項目本項目選址不涉及自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)、飲用水源保護(hù)區(qū)、基本農(nóng)田保護(hù)區(qū)及其他需要保護(hù)的敏感定的生態(tài)保護(hù)紅線及一般生態(tài)空國家淘汰的落后工藝、設(shè)備和原料；不涉及燃料的使用；項目不屬于專業(yè)電鍍、化學(xué)制漿、紡織印染、制革、冶煉、發(fā)酵項管控要求。符合符合符合符能源資源利用要求全面提高資源利用效率。促進(jìn)循環(huán)經(jīng)濟(jì)和低碳經(jīng)濟(jì)發(fā)展，推動企業(yè)、工業(yè)園區(qū)和社區(qū)等在生產(chǎn)、流通和消費(fèi)過程中實現(xiàn)減量化、再利用、資源化，減少高碳能源消耗。……加快調(diào)整能源結(jié)構(gòu)，落實能源消費(fèi)總量和強(qiáng)度“雙控”，大力推動碳排放達(dá)峰工作。貫徹落實“節(jié)水優(yōu)先”方針，實行最嚴(yán)格水資源管理制度，把水資源作為剛性約束，以節(jié)約用水?dāng)U大發(fā)展空間。推進(jìn)工業(yè)節(jié)水減排，重點在高耗水行業(yè)開展節(jié)水改造，提高工業(yè)用水效率。項目不涉及燃料的使用，噴淋塔循環(huán)水多次循環(huán)回用，定期更換，實現(xiàn)工業(yè)用水高回用率；項目租賃已有工業(yè)廠房進(jìn)行改擴(kuò)建，不新增建設(shè)用地，符合能源資源利用要求。污染物排放管控要求實施重點污染物。……嚴(yán)格落實國家產(chǎn)品VOCs含量限值標(biāo)準(zhǔn)，大力推進(jìn)低（無）VOCs含量原輔材料替代。在可核查、可監(jiān)管的基礎(chǔ)上，新建項目原則上實施氮氧化物等量替代，揮發(fā)性有機(jī)物兩倍削減量替代?！涌煅a(bǔ)齊污水處理和管網(wǎng)建設(shè)短板，完善城鎮(zhèn)污水收集管網(wǎng)和集中處理設(shè)施的規(guī)劃和建設(shè)，實施雨污分流，實現(xiàn)污水達(dá)標(biāo)排放。……加強(qiáng)危險廢物和醫(yī)療廢物收集處理。大力推進(jìn)固體廢物源頭減量化、資源化利用和無害化處置項目使用的低VOCs含量膠粘劑；VOCs總量實實施雨污分流，生產(chǎn)廢水處理后排入珠海金灣生物醫(yī)藥園區(qū)工業(yè)污水水質(zhì)凈化廠；生活污水排入三灶水質(zhì)凈化廠處理后達(dá)標(biāo)排放。項目危險廢物定期交由有資質(zhì)危險廢物處置單位處置。環(huán)境風(fēng)進(jìn)一步完善園區(qū)公用工程和基礎(chǔ)設(shè)項目后續(xù)按照要ZH44040420009珠海航空產(chǎn)業(yè)園重點管控單元準(zhǔn)入清單險防控要求施，完善消防供水，提高罐區(qū)消防能力。強(qiáng)化水環(huán)境風(fēng)險防范，優(yōu)先保護(hù)飲用水水源，嚴(yán)格控制工業(yè)污染、城鎮(zhèn)生活污染，防治農(nóng)業(yè)面源污染，積極推進(jìn)生態(tài)治理工程建設(shè)，預(yù)防、控制和減少水環(huán)境污染和生態(tài)破壞。水質(zhì)凈化廠、沿海企業(yè)應(yīng)采取有效措施，防止事故廢水、廢液直接排入水體。加強(qiáng)危險化學(xué)品、重金屬、危險廢物、醫(yī)療廢物、電子廢棄物等監(jiān)管體系建設(shè)，強(qiáng)化相關(guān)行業(yè)存儲、運(yùn)輸、使用、處置等全過程環(huán)境風(fēng)險監(jiān)控。推動涉重金屬排放企業(yè)建立環(huán)境風(fēng)險隱患自查制度，健全環(huán)境應(yīng)急體系和環(huán)境風(fēng)險防范措施，提高重金屬污染事故應(yīng)急反應(yīng)能力。求編制應(yīng)急預(yù)案目的危險化學(xué)品、重金屬、危險廢物、電子廢棄物的險防控要求。合符合區(qū)域布局管控1-1.【產(chǎn)業(yè)/鼓勵引導(dǎo)類】重點發(fā)展符合園區(qū)定位的航空及其配套產(chǎn)業(yè)，采用先進(jìn)的生產(chǎn)工藝和設(shè)備。1-2.【產(chǎn)業(yè)/禁止類】不得引入專業(yè)電鍍項目。1-3.【生態(tài)/禁止類】生態(tài)保護(hù)紅線按照國家、省有關(guān)要求管理。1-4.【生態(tài)/綜合類】珠海金灣金湖地方級濕地自然公園、珠海金灣攔浪山—茅田山—木頭沖地方級森林自然公園、珠海大門口水道地方級濕地自然公園、珠海金灣攔浪山—茅田山—木頭沖地方級森林自然公園，按照自然保護(hù)地相關(guān)管控要求進(jìn)行管理。1-5.【水/禁止類】木頭沖水庫、黃綠背水庫按照《廣東省水污染防治條例》相關(guān)要求進(jìn)行管控，一級保護(hù)區(qū)內(nèi)禁止新建、改建、擴(kuò)建與供水設(shè)施和保護(hù)水源無關(guān)的建設(shè)項目?？砷_展生態(tài)保護(hù)紅線內(nèi)允許的活動；在不影響主導(dǎo)生態(tài)功能的前提下，還可開展國家和省規(guī)定不納入環(huán)評管理的項目建設(shè)，以及生態(tài)旅游、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、村莊建設(shè)等人為活動。1-7.【生態(tài)/綜合類】一般生態(tài)空間內(nèi)的人工商品林，允許依法進(jìn)行撫育采伐、擇伐和樹種更新等經(jīng)營活動。1-8.【其它/鼓勵引導(dǎo)類】園區(qū)與吉林大學(xué)珠海學(xué)院、愛國村、中心村等學(xué)校、居民區(qū)臨近的區(qū)域應(yīng)合理設(shè)置控制開發(fā)區(qū)域（產(chǎn)業(yè)控制帶），1-1項目屬于電子信息制造產(chǎn)業(yè)，符合園區(qū)定位。1-2項目不涉及電鍍工藝。1-3項目不涉及生態(tài)保護(hù)紅線。1-4項目選址不涉及珠海金灣金湖地方級濕地自然公園、珠海金灣攔浪山—茅田山—木頭沖地方級森林自然公園、珠海大門口水道地方級濕地自然公山—茅田山—木頭沖地方級森林1-5項目不在飲用水源保護(hù)區(qū)范1-6項目不涉及一般生態(tài)空間。1-7項目不涉及一般生態(tài)空間。1-8項目周邊500m范圍內(nèi)無環(huán)境保護(hù)目標(biāo)。該范圍內(nèi)優(yōu)先引進(jìn)無污染的生產(chǎn)性服務(wù)業(yè)，或可適當(dāng)布置廢氣排放量小、工業(yè)噪聲影響小的航空配套產(chǎn)業(yè)符合符合能源資源利用2-1.【其它/綜合類】園區(qū)內(nèi)新引進(jìn)項目清潔生產(chǎn)水平應(yīng)達(dá)到國際先進(jìn)水平。2-2.【土地資源/限制類】入園項目的需滿足珠海市工業(yè)用地相關(guān)要求。2-3.【水資源/限制類】2025年，單位工業(yè)增加值取水量降至廣東省下達(dá)的指標(biāo)。2-4.【能源/禁止類】禁止新建、擴(kuò)建燃用高污染燃料的設(shè)施，已建成的高污染燃料設(shè)施應(yīng)當(dāng)改用天然氣、頁巖氣、液化石油氣、電等清潔能源。2-5.【能源/鼓勵引導(dǎo)類】新入園項目鼓勵采用天然氣或電能。2-1項目生產(chǎn)用水重復(fù)利用率保持較高水準(zhǔn)。2-2項目選址符合園區(qū)用地要求。2-3項目貫徹落實節(jié)約用水制度，項目用水基準(zhǔn)量符合要求。2-4項目不涉及燃料使用。2-5項目不涉及燃料使用，均使用電污染物排放管控3-1.【其它/限制類】園區(qū)各項污染物排放總量不得突破規(guī)劃環(huán)評核定的污染物排放總量管控要求，園區(qū)各類污染物排放量控制在：廢水排放量2031.19萬m3/a，COD1190.01t/a、氨氮196.75t/a；二氧化氮285.86t/a、顆粒物36.4t/a以內(nèi)。3-2.【水/限制類】陽極氧化、電鍍行業(yè)執(zhí)行廣東省《電鍍水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB44/1597-2015)“珠三角”排放限值。3-3.【大氣/鼓勵引導(dǎo)類】汽車、飛機(jī)涂裝鼓勵采用自動化、智能化噴涂設(shè)備替代人工噴涂，減少使用空氣噴涂技術(shù)；應(yīng)使用水性、高固體分、輻射固化等低VOCs含量的涂料替代溶劑型涂料，涂料、稀釋劑、清洗劑等原輔材料應(yīng)密閉存儲，調(diào)配、使用、回收等過程應(yīng)采用密閉設(shè)備或在密閉空間內(nèi)操作，采用密閉管道或密閉容器等輸送，強(qiáng)化無組織廢氣的收集處理和有組織廢氣綜合治理。3-4.【大氣/限制類】在可核查、可監(jiān)管的基礎(chǔ)上，新建項目原則上實施氮氧化物等量替代，揮發(fā)性有機(jī)物兩倍削減量替代。3-5.【大氣/禁止類】嚴(yán)格落實國家產(chǎn)品VOCs含量限值標(biāo)準(zhǔn)要求，除現(xiàn)階段確無法實施替代的工序外，禁止新建生產(chǎn)和使用高VOCs含量原輔氮氧化物的總量0.027t/a（其中有組織0.018t/a，無組織0.009t/a僅占園區(qū)總量的0.009%。電鍍工藝。噴涂工藝，項目的膠粘劑密閉存儲，使用的車間采用正壓收集廢氣，減少無組織廢氣排放。氧化物等量替代，揮發(fā)性有機(jī)物兩倍削減量替代。高VOCs原料的使用。3-6項目設(shè)置有危險廢物貯存場所，配套防揚(yáng)散、材料項目。危險廢物）的企業(yè)須配套建設(shè)符合規(guī)范且滿足需求的貯存場所，固體廢物（含危險廢物）貯存、轉(zhuǎn)移過程中應(yīng)配套防揚(yáng)散、防流失、防滲漏及其它防止污染環(huán)境的措施。其它防止污染環(huán)境的措施。環(huán)境風(fēng)險防控4-1.【風(fēng)險/綜合類】建立環(huán)境風(fēng)險防控體系，建立健全事故應(yīng)急體系，落實有效的事故風(fēng)險防范和應(yīng)急措施，加強(qiáng)環(huán)境應(yīng)急管理，定期開展應(yīng)急演練，提高區(qū)域環(huán)境風(fēng)險防范能力。4-2.【風(fēng)險/綜合類】生產(chǎn)、使用、儲存危險物質(zhì)或涉及危險工藝系統(tǒng)的項目應(yīng)配套有效的風(fēng)險防范措施，并按規(guī)定編制環(huán)境風(fēng)險應(yīng)急預(yù)案，防止因滲漏污染地下水、土壤，以及因事故廢水直排污染地表水體。4-1項目后續(xù)將根據(jù)要求制定應(yīng)急預(yù)案。4-2項目配置有事故應(yīng)急池，降低事故發(fā)生后廢水外排到外環(huán)境的事故風(fēng)險影響。符合綜上所述，本項目的建設(shè)與《珠海市“三線一單管控方案（2023年修訂）》的要求是相符的。有量不低于59.06平方公里（8.86萬畝），其中永久基本農(nóng)田保護(hù)面平方公里（29.19萬畝）；城鎮(zhèn)開發(fā)邊界面積控制在525.16平方公里（78.77萬畝）以內(nèi)。用水總量不超過上級下達(dá)任務(wù)，其中2025年不擴(kuò)建項目不涉及生態(tài)保護(hù)紅線、不涉及永久基本農(nóng)田；根據(jù)選址地塊），《規(guī)劃》強(qiáng)調(diào)要優(yōu)化國土空間開發(fā)保護(hù)格局。加強(qiáng)區(qū)域協(xié)同和陸海統(tǒng)籌發(fā)展，整體謀劃“一鏈三核全網(wǎng)、兩心兩軸六片”的市域國土等三大生態(tài)核心區(qū)，維育通山達(dá)海的全域生態(tài)廊道網(wǎng)絡(luò)；完善東部和西部兩個市級綜合服務(wù)中心，依托對接深中通道和港珠澳大橋的兩條團(tuán)-鄰里”的四級空間架構(gòu)，構(gòu)建“一主一副、一特一優(yōu)、若干組團(tuán)”的城鎮(zhèn)空間格局。本項目位于珠海市金灣區(qū)珠海航空產(chǎn)業(yè)園。因此，1.2.4與《珠海市生態(tài)環(huán)境保護(hù)暨生態(tài)文明建設(shè)“十四五”深入打好污染防治攻堅戰(zhàn)，推動生態(tài)環(huán)境質(zhì)量持續(xù)領(lǐng)跑全國。加強(qiáng)大氣工業(yè)源、移動源和面源精細(xì)化管控，開展揮發(fā)性有機(jī)物和氮氧化物等多污染物協(xié)同防控，推動大氣環(huán)境質(zhì)量繼續(xù)領(lǐng)跑全國。統(tǒng)籌水生態(tài)及以上城市建成區(qū)黑臭水體，建成265.3公里碧道，打造一批美麗河湖。陸海統(tǒng)籌加強(qiáng)近岸海域綜合治理，實施總氮控制，示范建設(shè)5個美麗海灣。協(xié)同推進(jìn)土壤和地下水環(huán)境治理，確保受污染耕地和重點廢氣處理措施、一般固廢間、危廢暫存間等污染防治措施。項目各項根據(jù)《關(guān)于珠江三角洲地區(qū)嚴(yán)格控制工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）排放的意見》（粵環(huán)〔2012〕18號）、關(guān)于印發(fā)〈重點行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物綜合治理方案〉的通知（環(huán)大氣[2019]53號）、《固表1-2項目與法律法規(guī)及政策相符性分析法規(guī)及政策具體要求相符性分析關(guān)于珠江三角洲地區(qū)嚴(yán)格控制工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）排放的意見（粵環(huán)〔2012〕加強(qiáng)其它行業(yè)VOCs排放的控制。加強(qiáng)化學(xué)原料、涂料、油墨及顏料制造業(yè)的排放控制，強(qiáng)化化學(xué)品/醫(yī)藥/化學(xué)纖維/橡膠/塑料制造業(yè)、涂料/油漆/油墨制造業(yè)等典型高VOCs排放企業(yè)的清潔生產(chǎn)和VOCs排放治理監(jiān)管工作，采取切實有效方法保障工業(yè)有機(jī)溶劑原輔材料和產(chǎn)品的密閉儲存以及排放VOCs生產(chǎn)工序在固定車間內(nèi)進(jìn)行，監(jiān)督有機(jī)廢氣排放企業(yè)安裝有機(jī)廢氣回收凈化設(shè)施。本項目VOCs廢氣收集處理達(dá)標(biāo)經(jīng)25米排氣筒（DA003）排放，涉VOCs物料均密封保存，減少VOCs無組織排放，符合政策要廣東省臭氧污染防治（氮氧化物和揮發(fā)性有機(jī)物協(xié)同減排）實施方案（2023-2025年）（一）強(qiáng)化固定源NOx減排；（二）強(qiáng)化固定源VOCs減排；（三）強(qiáng)化移動源NOx和VOCs協(xié)同減排；項目氮氧化物收集處理后達(dá)標(biāo)排放，減少氮氧化物的固定源排放；項目VOCs廢氣收集處理達(dá)標(biāo)經(jīng)25米排氣筒（DA003）排放，涉VOCs物料均密封保存，減少VOCs無組織排放；項目不涉及移動源。關(guān)于印發(fā)〈重點行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物綜合治理方案〉的通知（環(huán)大氣[2019]53通過使用水性、粉末、高固體分、無溶劑、輻射固化等低VOCs含量的涂料，水性、輻射固化、植物基等低VOCs含量的油墨，水基、熱熔、無溶劑、輻射固化、改性、生物降解等低VOCs含量的膠粘劑，以及低VOCs含量、低反應(yīng)活性的清洗劑等，替代溶劑型涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等，從源頭減少VOCs產(chǎn)生。工業(yè)涂裝、包裝印刷等行業(yè)要加大源頭替代力度。橡膠和塑料制品等行業(yè)VOCs治理力度。重點提高涉VOCs排放主要工序密閉化水平，加強(qiáng)無組織排放收集。采用局部集氣罩的，距集氣罩開口面最遠(yuǎn)處的VOCs無組織排放位置，控制風(fēng)速應(yīng)不低于0.3米/秒，有行業(yè)要求的按相關(guān)規(guī)定執(zhí)行。本項目膠粘劑的VOCs含量符合《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》（GB33372-2020）的要求，因此本項目使用的樹脂不屬于高VOCs膠粘劑原料。本項目VOCs廢氣收集處理達(dá)標(biāo)經(jīng)25米排氣筒（DA003）排放，涉VOCs物料均密封保存，減少VOCs無組織排放。項目廢氣為正壓密封抽風(fēng)收集，不涉及集氣罩。符合政策要求。《固定污染源揮發(fā)性有機(jī)物綜合排放2022)VOCs物料應(yīng)儲存于密閉的容器、包裝袋、儲罐、儲庫、料倉中。盛裝VOCs物料的容器或包裝袋應(yīng)存放于室內(nèi)，或存放于設(shè)置有雨棚、遮陽和防滲設(shè)施的專用場地。盛裝VOCs物料的容器或包裝袋在非取用狀態(tài)時應(yīng)加蓋、封口，保持密閉。VOCs物料儲庫、料倉應(yīng)利用完整的圍護(hù)結(jié)構(gòu)將污染物質(zhì)、作業(yè)場所等與周圍空間阻隔所形成的封閉區(qū)域或封閉式建筑物。該封閉區(qū)域或封閉式建筑物除人員、車輛、設(shè)備、物料進(jìn)出時，以及依法設(shè)立的排氣筒、通風(fēng)口外，門窗及其他開口（孔部位應(yīng)隨時保持關(guān)閉狀態(tài)。收集處理達(dá)標(biāo)經(jīng)物料均密封保存，減少VOCs無組VOCs物料轉(zhuǎn)移和輸送以及工藝過程無組織排放控制要求。廣東省涉揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）重點行業(yè)治理指引VOCs物料儲存環(huán)節(jié)：VOCs物料應(yīng)儲存于密閉的容器、包裝袋、儲罐、儲庫、料倉中。盛裝VOCs物料的容器是否存放于室內(nèi)，或存放于設(shè)置有雨棚、遮陽和防滲設(shè)施的專用場地。盛裝VOCs物料的容器在非取用狀態(tài)時應(yīng)加蓋、封口，保持密閉。VOCs物料轉(zhuǎn)移和輸送環(huán)節(jié)：粉狀、粒狀VOCs物料采用氣力輸送設(shè)備、管狀帶式輸送機(jī)、螺旋輸送機(jī)等密閉輸送方式，或者采用密閉的包裝袋、容器或罐車進(jìn)行物料轉(zhuǎn)移。工藝過程：在混合/混煉、塑煉/塑化/熔化、加工成型（擠出、注射、壓制、壓延、發(fā)泡、紡絲等）、硫化等作業(yè)中應(yīng)采用密閉設(shè)備或在密閉空間中操作，廢氣應(yīng)排至VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)；無法密閉的，應(yīng)采取局部氣體收集措施，廢氣應(yīng)排至VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)。廢氣收集：采用外部集氣罩的，距集氣罩開口面最遠(yuǎn)處的VOCs無組織排放位置，控制風(fēng)速不低于0.3m/s。VOCs物料儲存環(huán)節(jié)：使用密閉包裝桶貯存，放置于辦公區(qū)，非取用時密閉狀態(tài)。VOCs物料轉(zhuǎn)移和輸送環(huán)節(jié)：本項目原料為液態(tài)，運(yùn)輸過程使用密封包裝桶轉(zhuǎn)移。工藝過程：VOCs廢氣收集后處理達(dá)標(biāo)排放。廢氣收集：項目使用正壓密閉收集措施收集有機(jī)廢氣。綜上所述，項目的建設(shè)符合政策要《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》（GB33732-2020）3372-2020）中“本體型膠粘劑-其他-其他”控制限值50g/L本項目使用的光刻膠主要為酚醛樹脂10-35%，偶氮基奈醌衍生物2-10%，乙酸丙二醇甲基醚酯50%-80%，對照GB33732-2020《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》，本項目使用的光刻膠VOCs揮發(fā)量按2%考慮，則VOCs含量為22.72g/L<50g/L，滿足條件二、建設(shè)項目工程分析器是實現(xiàn)頻段過濾的專用器件，它可以使信號中特定的頻率成分通過，而極大地衰減其他頻率成分，實現(xiàn)射頻信號的濾波、共存、雙工、聚合等功能。隨著通訊信息量呈幾何級數(shù)的增加，濾波器將扮演著愈來愈重要的角色。濾波器是全球主要通訊產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)，當(dāng)前正處于技術(shù)變革的轉(zhuǎn)折期，為我國打破主流濾波器領(lǐng)域空白、實現(xiàn)跨越發(fā)展提供了難得的戰(zhàn)略機(jī)遇期。因此，抓住濾波主要從事無線通訊電子元器件的生產(chǎn)制造。建設(shè)單位擬租賃珠海市金灣區(qū)三灶根據(jù)《建設(shè)項目環(huán)境影響評價分類管理名錄（2021年版）》（生態(tài)環(huán)境部），表2-1本項目主要建設(shè)內(nèi)容工程類別工程建設(shè)內(nèi)容主體工程生產(chǎn)車間面積1954m2,設(shè)計生產(chǎn)規(guī)模為濾波芯片8000片/年、傳感芯片4000片/年。公用工程雨污分流制，雨水就近排入雨水管網(wǎng)，生活污水預(yù)處理后、工業(yè)廢水處理后進(jìn)入市政管網(wǎng)。市政供水，生活用水2.45m3/d，生產(chǎn)用水107.82m3/d?？傆盟?10.27m3/d。實行雨污分流；項目工業(yè)廢水（75.24m3/d）處理后排入珠海金灣生物醫(yī)藥園區(qū)工業(yè)污水水質(zhì)凈化廠，濃水和生活污水經(jīng)預(yù)處理后排入三灶水質(zhì)凈化廠。輔助工程建設(shè)動力站，供應(yīng)全廠動力設(shè)施，設(shè)置真空泵、空壓機(jī)、純水設(shè)備等設(shè)施。其中純水制備裝置，產(chǎn)能10m3/h，采用RO膜及拋光樹脂、EDI殺菌處理工藝，24小時在線，產(chǎn)水時間16小時/天，4小時反洗1次。環(huán)保工程達(dá)標(biāo)排放，堿性廢氣采用“酸液噴淋塔”處理后通過25m排氣筒DA002達(dá)標(biāo)排放；有機(jī)廢氣收集后經(jīng)過二級活性炭吸附處理后通過25m排氣筒DA003達(dá)標(biāo)排放。生產(chǎn)廢水（包含研發(fā)廢水和噴淋廢水）經(jīng)自建污水處理站處理后排入珠海金灣生物醫(yī)藥園區(qū)工業(yè)污水水質(zhì)凈化廠、生活污水經(jīng)三級化糞池預(yù)處理后和濃水排入三灶水質(zhì)凈化廠。選用低噪聲設(shè)備，采用減震、隔聲和距離衰減降噪。一般工業(yè)固體廢物暫存于一般固廢暫存間，定期妥善處置；危險廢物收集暫存于危廢暫存間，定期交由有危廢處理資質(zhì)的公司處置；生活垃圾定點分類收集后，交由環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一處理。危廢暫存間1#最大暫存量為20噸，面積20m2；危廢暫存間2#最大暫存量10噸，面積10m2,僅存放污泥。一般工業(yè)固廢暫存間35m2。儲運(yùn)工程設(shè)有危化品倉庫、氣體室和一般品倉庫。表2-2項目產(chǎn)品產(chǎn)能一覽表序號產(chǎn)品名稱生產(chǎn)規(guī)模用途1濾波芯片8000片/年用于手機(jī)無線通訊2傳感芯片4000片/年產(chǎn)品產(chǎn)能總計12000片/年/本項目屬于半導(dǎo)體元器件制造，單位產(chǎn)品的生表2-3半導(dǎo)體單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量產(chǎn)品名稱產(chǎn)品規(guī)格單位產(chǎn)品排水量（m3)單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量限值（m3/片）濾波芯片6英寸3.2傳感芯片6英寸3.2筑物，污水處理區(qū)和動力站為需要土建施工的表2-4項目建筑物參數(shù)一覽表序號建筑物用地面積建筑面積（m2)層數(shù)層高m1生產(chǎn)車間大樓977242污水處理區(qū)260///3動力站490///4空地////總計3000//東北面為珠海銀積科技有限公司，西北面為空置廠房。項目現(xiàn)狀與周邊四至關(guān)表2-5項目設(shè)備一覽表序號設(shè)備名稱數(shù)量型號規(guī)格設(shè)備用途位置1光刻機(jī)2BA8光刻光刻區(qū)2勻膠顯影系統(tǒng)2KS-S150顯影光刻區(qū)3電噴膠機(jī)2/去膠光刻區(qū)4低溫鍵合機(jī)2/光刻光刻區(qū)5磁控濺射臺2AM224O成膜薄膜區(qū)6化學(xué)氣相沉積臺2/成膜+硅刻蝕薄膜區(qū)7真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)2E800成膜薄膜區(qū)8金屬濺射沉積臺2/成膜薄膜區(qū)9CMP拋光機(jī)1/研磨研磨區(qū)干法刻蝕機(jī)3/刻蝕干法刻蝕區(qū)離子束刻蝕機(jī)2/刻蝕干法刻蝕區(qū)深硅刻蝕機(jī)2M200刻蝕干法刻蝕區(qū)去膠機(jī)2/去膠濕法刻蝕區(qū)*2M01*濕法刻蝕區(qū)*2FX880*濕法刻蝕區(qū)*22C*量測區(qū)*3DM5050*量測區(qū)*2/*量測區(qū)*2/*量測區(qū)20*3/*量測區(qū)21*3/*量測區(qū)22*6/*量測區(qū)23*5N44*量測區(qū)24*3WE-20*量測區(qū)25*2BK-W*后道區(qū)26*2DS320*后道區(qū)27*2DS550*后道區(qū)28*3/*樓頂29*4/*動力站30*3/*動力站31*1/*動力站項目使用原輔材料均外購后由供應(yīng)商供應(yīng)。原料的年用量、最大儲存量等表2-6項目原輔料暫存方式分析一覽表序號名稱包裝規(guī)格年使用量最大儲存用途暫存位置1硅片25片/盒12000片2000片底片一般倉庫3丙酮3.79L/瓶200kg20kg清洗化學(xué)品庫4異丙醇（IPA）4L/瓶3600kg360kg清洗化學(xué)品庫54L/瓶6000kg600kg顯影化學(xué)品庫6光刻膠3.79L/瓶1200kg光刻顯影化學(xué)品庫7光刻膠稀釋劑（EBR）4L/瓶500kg50kg*化學(xué)品庫8N-甲基吡咯烷酮（NMP）4L/瓶***化學(xué)品庫9氫氟酸（49%）4L/瓶***化學(xué)品庫緩沖氧化物刻蝕液(BOE)4L/瓶***化學(xué)品庫硫酸（98%）4L/瓶***化學(xué)品庫************************************************20******21******22******23******24******25******26******27六氟化硫/80000L1000L*惰性氣體室28八氟環(huán)丁烷/30000L500L*惰性氣體室29氧氣/400000L2000L刻蝕惰性氣體室30氯氣/7000L500L刻蝕毒腐氣體室31******32******33******34******35******36******37******表2-7原輔材料理化性質(zhì)表名稱理化特性燃燒爆炸性毒理毒性丙酮有機(jī)物，分子式為C3H6O，是一種無色透明芳香液體，有特殊的辛辣氣味。易溶于水和甲醇、乙醇、乙醚、氯仿、吡啶等有機(jī)溶劑。易燃、易揮發(fā)，化學(xué)性質(zhì)較活潑。熔點-94.9℃、沸點56.5℃、相對密度0.8g/cm3、飽和蒸氣壓53.32MPa。LD50:5800mg/kg(大鼠經(jīng)口)；20000mg/kg(兔經(jīng)皮)異丙醇分子式是C3H8O，無色透明具有乙醇?xì)馕兜囊兹夹砸后w。沸點：80.3℃,熔蒸氣壓4.4Kpa、閃點12℃、引燃溫度399℃。有似乙醇和丙酮混合物的氣味，能與醇、醚、氯仿和水混溶，能溶解生物堿、橡膠、蟲膠、松香、合成樹脂等多種有機(jī)物和某些無機(jī)物，與水形成共沸物，不溶于鹽溶液。常溫下可引火燃燒，其蒸汽與空氣混合易形成爆炸混合物。遇明火、高熱能引起燃燒爆炸，與氧化劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)?？诜笫驦D50：5045mg/kg；兔經(jīng)皮LD50為12800mg/kg顯影液成分：97%水、3%四甲基氫氧化銨。一種很強(qiáng)的有機(jī)堿、無色透明液體。在135℃-140℃完全氣化，高純品在140℃低溫氣化處理無殘渣。水溶液呈無色透明有微氨臭，容易吸收空氣中的二氧化碳生成碳酸鹽。/肌膚，會嚴(yán)重腐蝕光刻膠半導(dǎo)體、平面顯示器與發(fā)光二極管等制程所使用的涂料，成分：酚醛樹脂10-35%，偶氮基奈醌衍生物2-10%，乙酸丙二醇甲基醚酯50%-80%。紅棕色液體，比重1.136g/cm3?？扇紵o資料光刻膠稀釋劑(EBR)主要成分：乙酸丁酯40%-80%、丙二醇甲醚20%-60%。熔點-77℃、沸點126℃、相對密度（水=1）0.88、閃點22.2℃、引燃溫度425℃、不溶于水。易燃/N-甲基吡咯烷酮是一種有機(jī)物，化學(xué)式為C5H9NO，為無色至淡黃色透明液體，稍有氨氣可燃小鼠經(jīng)口LC50：5130mg/kg；大鼠—20—（NMP）味，與水以任何比例混溶，溶于乙醚，丙酮及酯、鹵代烴、芳烴等各種有機(jī)溶劑，幾乎與所有溶劑完全混合。密3914mg/kg氫氟酸氟化氫是一種無機(jī)酸，化學(xué)式為HF，在常態(tài)下是一種無色、有刺激性氣味的有毒氣體，具有非常強(qiáng)的吸濕性，接觸空氣即產(chǎn)生白色煙霧，易溶于水，可與水無限互溶形成氫氟酸。不燃急性毒性：LC50：1276ppm(大鼠吸入，1h)；342ppm(小鼠吸入，1h)中等毒，半數(shù)致死量(大鼠，經(jīng)口)350mg/kg緩沖氧化物刻蝕液(BOE)HF（氫氟酸）與NH4F（氟化銨）以1:6比例混合而成，有效成分40%。無色透明有刺激性臭味液體，具有刺鼻的酸度（水=1）1.26g/cm3,可與水混溶。不燃酸性腐蝕品，LC501044mg/m3(大硫酸（96%）硫酸是一種無機(jī)化合物，化學(xué)式是H2SO4，硫的最重要的含氧酸。無色油狀液體，熔點10.5℃、沸點330℃、相對密度1.84g/cm3、飽和蒸氣壓0.13Kpa，與水互溶。/LD502140mg/kg(大鼠經(jīng)口)；LC50510mg/m3,2小時(大鼠吸入)；(小鼠吸入)雙氧水化學(xué)式為H2O2，純過氧化氫是淡藍(lán)色的黏稠液體，可任意比例與水混溶，是一種強(qiáng)氧化劑，水溶液俗稱雙氧水，為無色透明液體。熔點-0.43℃,沸點150.2℃,純的過氧化氫其分子構(gòu)型會改變，所以熔沸點也會發(fā)生變化。凝固點時固體密度為1.71g/cm3,密度隨溫度升高而減小。/LD504060mg/kg(大鼠經(jīng)皮)；LC502000mg/m3,4小時(大鼠吸入)。酸性刻蝕液成分：磷酸20%-40%、冰乙酸1-2%、硝酸1-10%、水40-60%。與水混溶，可混溶于乙醇；能與一些活性金屬及其粉末發(fā)生反應(yīng),放出氫氣，能與空氣形成爆炸性混合物。受熱分解產(chǎn)生有毒的氧化磷煙氣。具有腐蝕性。不燃無資料碘液碘化鉀的溶液，一種黃色輕微刺激性氣味的液體，遇強(qiáng)光會分解。pH約3.5不燃LD50：1530mg/kg(大鼠經(jīng)口)；2740mg/kg(兔經(jīng)皮)。正膠表面處理劑HMDS成分：六甲基二硅胺烷5-40%，異丙醇60%-95%。低毒類、易燃具有刺激性。=1）0.79，飽和蒸氣壓4.4kPa/KOH白色晶體，易吸潮，粘稠液體。熔點360.4℃、沸點1320℃、相對密度2.04g/cm3、飽和蒸氣壓0.13kPa，易溶/—21—于水、乙醇。鹽酸（37%）無色或微黃色發(fā)煙液體，有刺鼻的酸味。熔點(℃)-114.8(純)，沸點(℃)108.6(20%)，相對密度(水=1)：1.20，相對蒸汽密度(空氣=1)：1.26，飽和蒸氣壓(kPa)：30.66（21℃)。與水混溶。不燃/************************************************************的光刻膠和HMDS（增粘劑）、EBR（光刻膠稀釋劑）屬于半導(dǎo)體芯片行業(yè)中光刻工序?qū)Ｓ秒娮硬牧?，是半?dǎo)體芯片完成芯片工藝中圖形轉(zhuǎn)移功能必須使用到的原料。根據(jù)調(diào)研，目前行業(yè)內(nèi)尚未研發(fā)出水性配方，行業(yè)內(nèi)其他頭部企業(yè)例如中芯國際集成電路制造有限公司、廣州粵芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司也均無法—22—因此本項目技術(shù)研發(fā)過程中使用到的光刻膠和HMDS（增粘劑）、EBR（光刻膠稀釋劑）屬于現(xiàn)階段確無法實施替代的電子專用材料。項目技術(shù)研發(fā)過程需進(jìn)行有機(jī)清洗。根據(jù)建設(shè)單位提供的資料，半導(dǎo)體芯片屬于高精尖的產(chǎn)品，采用水性配方的有機(jī)溶劑清洗無法達(dá)到半導(dǎo)體芯片所需的清洗效果，且有機(jī)清洗行業(yè)內(nèi)暫時無法由無機(jī)清洗進(jìn)行替代。參考行業(yè)內(nèi)其他頭部企業(yè)例如中芯國際集成電路制造有限公司、廣州粵芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司，其有機(jī)清洗劑主要為異丙醇、丙酮、NMP等有機(jī)清洗劑，尚無法選擇其他低揮發(fā)性的清洗劑進(jìn)行替建設(shè)單位應(yīng)及時響應(yīng)政策要求，落實低VOC實行雨污分流，項目工藝廢水處理后排入珠海金灣生物醫(yī)藥園區(qū)工業(yè)污水—23—圖2-1生產(chǎn)工藝流程圖圖件備注：酸洗廢水W1、堿洗廢水W2、有機(jī)廢水W3、堿洗廢水W4、有機(jī)廢水W5、含氟廢水W6、堿性廢水W7、酸性廢水W8、有機(jī)廢水W9、H2O2廢水W10、CMP研磨廢水W11；酸性廢氣G1、堿性廢氣G2、有機(jī)廢氣G3、沉積廢氣G4、有機(jī)廢氣G5、有機(jī)廢氣G6、酸性廢氣G7、堿性廢氣G8、有機(jī)廢氣G9、酸性廢氣G10、有機(jī)廢氣G11和刻蝕廢氣G12；廢酸液S1、廢堿液S2、廢有機(jī)溶劑S3、廢光刻膠S4、廢EBR液S5、廢顯影液S6、廢酸液S7、廢有機(jī)液S8、含氟廢液S9、廢有機(jī)溶劑S10。清洗：外購尺寸為6英寸的硅片，使用前使用超聲波清洗機(jī)清洗，以除去沾在硅片表面的油污。其方法是：先用酸堿液洗去雜質(zhì)，再用有機(jī)溶劑洗去油污，最后用純水反復(fù)沖洗得到潔凈的硅片表面。所用的酸堿液為硫酸、氨水，有機(jī)溶劑清洗劑為丙酮、異丙醇。每次清洗均使用純水洗滌，定期更換有效成—24—薄膜沉積：化學(xué)氣相沉積（CVD）是最常用的薄膜制備方法，可制備多種材料層，如二氧化硅薄膜、多晶硅薄膜、氮化硅薄膜等?；瘜W(xué)氣相沉積是以適當(dāng)?shù)牧魉?，將含有?gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑引入反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并在襯底表面淀積薄膜。在反應(yīng)室中，反應(yīng)氣體（硅烷、磷烷）和攜帶氣體（一氧化二氮和氮氣）不斷流過反應(yīng)室而產(chǎn)生氣態(tài)副產(chǎn)物，連同未反應(yīng)的①勻膠：在硅片表面涂上一層對光非常敏感的光刻膠。勻膠時硅片高速旋轉(zhuǎn)使涂覆的光刻膠層絕對均勻。此工序有光刻膠被離心力帶出硅片，其純度已達(dá)不能達(dá)到工藝要求，只能作為廢光刻膠收集處理。勻膠時噴HMDS（六甲基二硅胺烷）增加光刻膠與晶圓的粘附性，HMDS在烘干過程中揮發(fā)，隨后被純②前烘：為使光刻膠牢固地附著在硅片表面，形成固態(tài)薄膜，勻膠后要進(jìn)有機(jī)溶劑揮發(fā)出來，主要成分高分子聚合物和光敏劑等作為涂層保留在基質(zhì)表③曝光：光刻膠具有對很窄的紫外光敏感的性質(zhì)，透過設(shè)計好的電路掩膜版以照相術(shù)對涂膠的硅片進(jìn)行曝光，光刻膠得到光照發(fā)生化學(xué)變化。在掩模版④顯影：感光的光刻膠溶解于顯影液而被去除，露出下面基質(zhì)；未感光的光刻膠不被溶解而保留下來，保護(hù)了下面的基質(zhì)。當(dāng)顯影液濃度難以滿足使用要求時，將作為廢顯影液收集處理。顯影完成后，要用堿和純水反復(fù)沖洗，以保證刻痕的清潔（該堿洗過程均依托清洗車間中堿洗槽進(jìn)行），此工序會產(chǎn)生水蒸發(fā)保持硅片干燥，同時去除光刻膠中剩余溶劑，增加光刻膠的附著力，同—25—刻蝕：刻蝕的目的是將光刻后暴露出的氧化①濕法刻蝕是通過化學(xué)反應(yīng)的方法對基材腐蝕的過使用不同的刻蝕液，項目設(shè)有4個氫氟酸刻蝕槽（2種不），個氫氟酸緩沖液BOE刻蝕槽和2個NMP溶液刻蝕槽，每個藥槽配套清洗槽，根據(jù)不同要求選用不同刻蝕槽進(jìn)行刻蝕。使用氫氟酸對二氧化硅薄膜將光刻膠覆蓋部位連同金薄膜脫落，依托清洗車間中配套槽進(jìn)行反復(fù)沖洗，以②干法刻蝕是以氣體為主要媒介去除硅片表面物質(zhì)的不同，分為等離子體、離子銑和反應(yīng)離子刻蝕等。等離場將刻蝕氣體激發(fā)成等離子態(tài)，與需要刻蝕的晶圓材料發(fā)性產(chǎn)物，完成刻蝕。離子銑是利用高能離子轟擊需要料表面的原子飛濺出來，完成刻蝕。使用刻蝕氣體對鎢③將上述兩種方法結(jié)合使用，為常用的第三種干法刻蝕技術(shù)。在等離子體刻蝕或反應(yīng)離子刻蝕中，項目生產(chǎn)常用的刻蝕氣體大部分為含鹵素氣體，如四氟甲烷、六硼、八氟環(huán)丁烷等，還常含有氮氣、氫氣、溶劑清洗：使用清洗劑（丙酮、異丙醇）清洗掉不需要的光刻膠，此清洗金屬化：金屬化是在芯片表面制成金屬導(dǎo)體，在硅片上淀積金屬（如鋁、鎢等）。本項目采用蒸鍍和濺射淀積（PVD）。在真空環(huán)境下，在外延層表面—26—鍍上一層金屬膜（或ITO膜），原理是采用電子束加熱法將金屬原料蒸發(fā)沉積上述工藝過程完成后，即做好了一個完整的電路。重復(fù)以上過程，可以在即可以制造出不同作用的電路。完成上述工序后，通過減薄機(jī)和劃片機(jī)進(jìn)行分無—27——28—三、區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀、環(huán)境保護(hù)目標(biāo)及評價標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀年度的各項基本污染物指標(biāo)均滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3表3-1珠海市2022年空氣質(zhì)量監(jiān)測數(shù)據(jù)統(tǒng)計表污染物評價時段評價標(biāo)準(zhǔn)(μg/m3)現(xiàn)狀濃度(μg/m3)（%）達(dá)標(biāo)情況SO2年平均值608達(dá)標(biāo)NO2年平均值4047.50達(dá)標(biāo)PM10年平均值703042.86達(dá)標(biāo)PM2.5年平均值3548.57達(dá)標(biāo)CO24h平均第95百分位數(shù)40000.80.02達(dá)標(biāo)O3日最大8小時滑動平均值的第90百分位數(shù)100.00達(dá)標(biāo)本項目廢氣因子氮氧化物屬于《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB《珠海聯(lián)邦生物醫(yī)藥有限公司研發(fā)平臺及生產(chǎn)車間項表3-2氮氧化物補(bǔ)充監(jiān)測結(jié)果達(dá)標(biāo)情況表（mg/m3)監(jiān)測時間小時值達(dá)標(biāo)情況35-4439達(dá)標(biāo)33-5136達(dá)標(biāo)36-4942達(dá)標(biāo)32-5138達(dá)標(biāo)33-4640達(dá)標(biāo)35-5242達(dá)標(biāo)39-5337達(dá)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)限值250達(dá)標(biāo)—29—表3-3大門水道水質(zhì)檢測結(jié)果表監(jiān)測結(jié)果（單位mg/L，pH和水溫除外）值道/pH/6(GB3838-2002)IV類標(biāo)準(zhǔn)要根據(jù)環(huán)境保護(hù)目標(biāo)分布及四至圖（詳見附圖5），廠界外周邊50米范圍內(nèi)無聲環(huán)境質(zhì)量與2022年基本持平。功能區(qū)環(huán)境噪聲晝間達(dá)標(biāo)率為95%，夜間達(dá)標(biāo)率為85%，同比2022年晝間達(dá)標(biāo)率下降5個百分點，夜間達(dá)標(biāo)率下降8年晝間平均等效聲級下降1.6分貝。道路交通噪聲晝夜間強(qiáng)度等級均為一級，評價指南(污染影響類)(試行)》，“產(chǎn)業(yè)園區(qū)外建設(shè)項目新增用地且用地范圍內(nèi)含有生根據(jù)《建設(shè)項目環(huán)境影響報告表編制技術(shù)指南(污染影響類)(試行)》：“新建環(huán)境保護(hù)目標(biāo)大氣環(huán)境：本項目環(huán)境空氣質(zhì)量執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）及2018年修改單中的二級標(biāo)準(zhǔn)要求，應(yīng)確保本項目的建設(shè)不會對周圍區(qū)域環(huán)境空）：水源，無集中式飲用水水源和熱水、礦泉水、溫污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)污染物顆粒物CONOX無組織排放監(jiān)控濃度限值（mg/m3）8限值》(DB44/26-2001)第二時段三級標(biāo)準(zhǔn)村和水務(wù)局核發(fā)的城鎮(zhèn)污水排入排水管網(wǎng)許可證(珠金水務(wù)排字(2023)第086號)中表3-5項目生產(chǎn)廢水排放標(biāo)準(zhǔn)限值摘錄（單位：mg/L）評價因子污水廠納管標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)pH（無量綱）6-96-9CODCr500500BOD5350350NH3-N4545總氮7070總磷2.02.0氟化物2020硫化物陰離子表面活性劑2020表3-6項目生活污水排放標(biāo)準(zhǔn)限值摘錄（單位：mg/L）項目pHCODCrBOD5NH3-N廣東省《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)第二時段三級標(biāo)準(zhǔn)(其中化學(xué)需氧量執(zhí)行珠海市金灣區(qū)農(nóng)業(yè)農(nóng)村和水務(wù)局核發(fā)的城鎮(zhèn)污水排入排水管網(wǎng)許可證(珠金水務(wù)排字(2023)第086號)中的要求)6-9350300/400項目大氣污染物主要有氟化物、氯氣、總VOCs、硫酸、氯化氫、氨、臭氣濃度、氮氧化物、PH3、SiH4等大氣污染物。有組織廢氣氟化物、氯氣、氯化氫、硫定污染源揮發(fā)性有機(jī)物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB44/2367-2022)表1最高允許濃度限值。3排放執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14544-93)中的二級(揮發(fā)性有機(jī)物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB44/2367—2022）表3廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排表3-7項目廢氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)污染物名稱有組織排放無組織排放排放標(biāo)準(zhǔn)排放濃度（mg/m3）排放速率（kg/h）監(jiān)控點濃度限值（mg/m3）氟化物9.00.31周界外濃度最高點0.02DB44/2367-2022氯氣650.42周界外濃度最高點0.4DB44/2367-2022氯化氫0.78周界外濃度最高點0.2DB44/2367-2022硫酸霧354.6周界外濃度最高點DB44/2367-2022氮氧化物2.3周界外濃度最高點DB44/2367-2022PH30.01//《荷蘭排放導(dǎo)則》（NER）SiH45.00.05//《荷蘭排放導(dǎo)則》（NER）TVOC///DB44/2367-2022氨氣/廠界標(biāo)準(zhǔn)值GB14554-93臭氣濃度/6000廠界標(biāo)準(zhǔn)值20（無量綱）GB14554-93非甲烷總烴（監(jiān)控點處1h平均濃度值）//廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放限值6.0DB44/2367-2022非甲烷總烴（監(jiān)控點處任意一次濃度值）//廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放限值20.0DB44/2367-2022非甲烷總烴//企業(yè)邊界無組織排放監(jiān)控點濃度4.0DB44/27—2001表3-8《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》摘錄單位：dB(A)《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-2008）標(biāo)準(zhǔn)晝間夜間6555總量控制指標(biāo)根據(jù)《廣東省生態(tài)文明建設(shè)“十四五”規(guī)劃》：總量控制因子為：二氧化硫、氮氧化物、化學(xué)需氧量、氨氮、揮發(fā)性有機(jī)物四、主要環(huán)境影響和保護(hù)措施 廢氣:施工過程中大氣污染的主要來源有運(yùn)輸車輛、原廢水:施工過程產(chǎn)生的廢水主要來自施工廢水及施③其它措施：在施工廠界設(shè)立不低于2.5m高圍蔽，使用商品混凝土，落實砂表4-1廢氣污染物產(chǎn)排情況一覽表產(chǎn)排污污染物污染物產(chǎn)生情況治理設(shè)施污染物排放情況環(huán)節(jié)種類產(chǎn)生量（t/a）產(chǎn)生濃度（mg/m3）排放形式廢氣量（m3/h）處理工藝收集效率處理效率是否為可行技術(shù)排放濃度（mg/m3）排放速率（kg/h）排放量工藝過程廢氣硫酸霧0.0080.21有組織6500堿液噴淋80%50%是0.100.00070.004氯化氫0.0240.62有組織80%50%0.310.00200.012氟化物0.408有組織80%50%5.340.03470.204NOx0.0360.93有組織80%50%0.470.00300.018氯氣0.043有組織80%50%0.560.00370.022硅烷0.00130.04有組織80%00.040.00020.001磷烷0.00130.04有組織80%00.040.00020.001氨氣0.1668.08有組織3500酸液噴淋80%50%是4.040.01410.083VOCs56.68有組織3500二級活性炭80%75%是0.0500.292硫酸霧0.002/無組織//20%///0.00030.002氯化氫0.006/無組織//20%///0.00100.006氟化物0.102/無組織//20%///0.01730.102NOx0.009/無組織//20%///0.00150.009氯氣0.011/無組織//20%///0.00180.011硅烷0.0003/無組織//20%///0.000060.0003磷烷0.0003/無組織//20%///0.000060.0003氨氣0.042/無組織//20%///0.00710.042VOCs0.292/無組織//20%///0.0500.292總計硫酸霧//////////0.006氯化氫//////////0.018氟化物//////////0.306NOx//////////0.027氯氣//////////0.032硅烷//////////0.002磷烷//////////0.002氨氣//////////0.125VOCs//////////0.584表4-2廢氣排放口基本情況一覽表排放口編號排放口名稱污染物種類排放口基本參數(shù)排放口類型排放標(biāo)準(zhǔn)限值地理坐標(biāo)溫度(℃)濃度限值（mg/m3）速率限值（kg/h）DA001酸性廢氣排氣筒硫酸霧東經(jīng)113°19′2.143″北緯22°2′59.548″250.425一般排放口354.6氯化氫0.78氟化物9.00.31NOx2.3氯氣650.42硅烷0.01磷烷5.00.05DA002堿性廢氣排氣筒氨氣東經(jīng)113°19′2.147″北緯22°2′59.540″250.325一般排放口/DA003有機(jī)廢氣排氣筒TVOC東經(jīng)113°19′2.145″北緯22°2′59.535″250.325一般排放口/表4-3監(jiān)測計劃一覽表監(jiān)測點位監(jiān)測因子監(jiān)測頻次執(zhí)行排放標(biāo)準(zhǔn)DA001排氣筒氟化物、氯氣、氯化氫、硫酸霧、氮氧化物、PH3、SiH4氟化物、氯氣、氯化氫、硫酸霧、氮氧化物執(zhí)行廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物排放限值》第二時段二級標(biāo)準(zhǔn)、PH3、SiH4參考執(zhí)行《荷蘭排放導(dǎo)則》(NER)。DA002排氣筒氨氣、臭氣濃度氨氣、臭氣濃度排放執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14544-93)表2中的排放標(biāo)準(zhǔn)限值。DA003排氣筒TVOCTVOC排放執(zhí)行《固定污染源揮發(fā)性有機(jī)物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB44/2367-2022)表1最高允許濃度限值。廠界（上風(fēng)向1個，下風(fēng)氟化物、氯氣、氯化氫、硫酸霧、氮氧化物、非甲烷總烴、氨氣、臭氣濃度氟化物、氯氣、氯化氫、硫酸霧、氮氧化物、非甲烷總烴執(zhí)行廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物排放限值》周界外濃度最高點標(biāo)準(zhǔn)限值；氨氣、臭氣濃度排放執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14544-93)中的二級(新改擴(kuò)建)標(biāo)準(zhǔn)限值—40—本項目氟化物來自無機(jī)清洗、濕法刻蝕中氫氟酸及緩沖氧化物刻蝕液(BOE)清洗及刻蝕工序涉及氟化物的溶液為氫氟酸（49%）及緩沖氧化物刻蝕液參考其他同類半導(dǎo)體項目，10%~50%的氫氟酸在稀釋及使用過程中揮發(fā)率不大于則清洗及濕法刻蝕過程中氟化物（以F計）產(chǎn)生量為—41—干法刻蝕工序中，含氟原料消耗量約為30%，則剩余70%進(jìn)入工藝尾氣處理系統(tǒng)的F約357.199kg/a。表4-4特殊氣體中F含量核算表原料逸散量（Nm3/a）折算成質(zhì)量（kg/a）含F(xiàn)量（kg/a）CF412*70%=8.425.51922.039SF680*70%=56286.160223.440C4F830*70%=21147.000111.720合計357.199及化學(xué)氣相沉積（CVD）工序中，過量的N2O化學(xué)氣相沉積（CVD）工序中，過量的N2O在CVD工序后的殘留排出NOx消耗后的殘余尾氣入設(shè)備自帶廢氣處理裝置處理，會生成N2或NOx；作為載氣的氮氣與特殊氣體一并進(jìn)入自帶廢氣處理裝置時，也存在轉(zhuǎn)換為NOx的可能。參考2O則約有90%的N2O進(jìn)入工藝尾氣處理系統(tǒng)中，在尾氣處理設(shè)備中，生成N2還是NOx的條件或比例難以精確控制，N2：NOx生成比例在7:3到9:1之間波動。保守按殘余尾氣30%生成NOx，則NOx的產(chǎn)生量約為91.200×（1-10%）×—42—綜上，本項目進(jìn)入酸性廢氣洗滌塔的NOx約為0.020+0.025=0.045t/a。根據(jù)前文分析，本項目清洗液中30%氨水的用量導(dǎo)體行業(yè)同類工序，顯影工序氨的揮發(fā)率約為6%，則項目顯影工序氨本項目廢水站處理廢水75.24m3/d，處理規(guī)模較小，惡臭氣體產(chǎn)生量較小，因項目氯氣的來源主要來自干法刻蝕過程中過量的氯氣使用及沉積工序中過量—43—2）干法刻蝕中氯化硼在設(shè)備自帶的工藝尾氣處理系統(tǒng)進(jìn)入工藝尾氣處理系統(tǒng)的三氯化硼約為45.05kg/a，三氯化硼的分子量為PH3→P+2H2↑為確保成膜反應(yīng)的進(jìn)行，項目在CVD工序工程中，需充進(jìn)過量的硅烷及磷烷合均為2.4kg/a。參考其他半導(dǎo)體項目同類工序，CVD工序中硅烷和磷烷清洗等工序，涉及的有機(jī)溶劑原輔材料主要為丙酮、異丙醇（IPA）、N-甲基吡咯—44—表4-5本項目涉VOC物料VOCs揮發(fā)收集情況一覽表原料工序用量（t/a）可揮發(fā)物質(zhì)占比揮發(fā)率揮發(fā)量（t/a）光刻膠光刻-勻膠2%0.024正膠表面處理劑HMDS光刻-勻膠0.22%0.004光刻膠稀釋劑EBR光刻-去膠清洗0.50.050N-甲基吡咯烷酮NMP去膠清洗槽7純品0.700光刻-去膠噴洗3純品0.300異丙醇IPA去膠清洗槽3純品0.300清洗0.6純品0.060丙酮清洗0.2純品0.020總計中對環(huán)境潔凈度的要求十分高，因此本項目研發(fā)室均為潔凈車間，全密閉式操作，室內(nèi)有完善的新風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)，車間內(nèi)部為正壓，但所有研發(fā)設(shè)備均為密閉設(shè)備，—45—圖4-2廣東省工業(yè)源揮發(fā)性有機(jī)物減排量核算方法廢氣收集集氣效率參考值收集后采用酸液噴淋裝置進(jìn)行處理，酸液噴淋塔設(shè)計風(fēng)量為3500m3/h，排氣筒置前提下，本報告認(rèn)為采用一級活性炭吸附裝置可確保達(dá)到平均水平，即是高于酸性廢氣采用“堿液噴淋”噴淋凈化裝置進(jìn)行去除，堿性廢氣采—46—淋凈化裝置進(jìn)行去除。根據(jù)《排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》術(shù)參考表，采用酸堿廢氣洗滌塔去除CVD化學(xué)氣相沉積及干法刻蝕工藝尾氣屬于根據(jù)《2022年珠海市環(huán)境質(zhì)量狀況》，珠海市2022年度的各項基本污染物指標(biāo)均滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)及2018年修改單中的二級標(biāo)準(zhǔn)要酸性廢氣采用“堿液噴淋”處理后通過25m排氣筒DA001達(dá)標(biāo)排放，硅烷、磷淋”處理后通過25m排氣筒DA002達(dá)標(biāo)排放；有機(jī)廢氣收集后經(jīng)過二級活性炭吸附處理后通過25m排氣筒DA003達(dá)標(biāo)排放。時段)二級標(biāo)準(zhǔn)。TVOC排放執(zhí)行《固定污染源揮發(fā)性有機(jī)物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB44/2367-2022)表1最高允許濃度限值。氨氣、臭氣濃度排排放執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14544-93)中的二級(—47—廠區(qū)內(nèi)無組織VOCs（以非甲烷總烴表征）執(zhí)行廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《固揮發(fā)性有機(jī)物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB44/2367—2022）表3廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排項目周邊500m內(nèi)沒有大氣環(huán)境敏感點保護(hù)目標(biāo)。在做好各項廢氣情況下，本報告認(rèn)為項目的廢氣污染物對周邊環(huán)境—48—表4-6生產(chǎn)廢水、生活污水污染物產(chǎn)排情況一覽表產(chǎn)排污環(huán)節(jié)類別污染物種類污染物產(chǎn)生情況治理設(shè)施污染物排放標(biāo)準(zhǔn)限值（mg/L）產(chǎn)生濃度（mg/L）產(chǎn)生量（t/a）治理工藝污染物種類治理效率是否為可行技術(shù)廢水排放量（t/a）污染物種類排放濃度（mg/L）排放量（t/a）工藝過程酸堿清洗廢水CODCr500.123預(yù)理+生化處理CODCr51%是2450CODCr3506.4525000.24526%500.922氨氮0.037總磷65%總磷10.0182有機(jī)清洗廢水CODCr500012.250氟化物77%2450氟化物200.36920500.123氨氮35%氨氮50.09245CMP研磨廢水CODCr500.147//2940////3000.882//////廢水CODCr500.527//10535////總磷50.053//////氟化物//////氨氮0.105//////廢氣處理噴淋廢水CODCr500.003//60////500.003//////氟化物500.003//////氨氮0.001//////員工生活污水CODCr4000.216三級CODCr是540CODCr3500.189500BOD52200.119BOD59%BOD52000.108300—49—辦公生活氨氮250.014化糞池氨氮20%氨氮200.011/2000.1080.097400表4-7廢水間接排放口基本情況表排放口編號及名稱排放方式排放去向排放規(guī)律地理坐標(biāo)排放口類型排放標(biāo)準(zhǔn)DW001生產(chǎn)廢水排放口間接排放珠海金灣生物醫(yī)藥園區(qū)工業(yè)污水水質(zhì)凈化廠排放期間流量不穩(wěn)定且無規(guī)律，但不屬于沖擊型排放一般排放口生產(chǎn)廢水執(zhí)行珠海金灣生物醫(yī)藥園區(qū)工業(yè)污水水質(zhì)凈化廠納管標(biāo)準(zhǔn)。DW002生活污水排放口間接排放三灶水質(zhì)凈化廠排放期間流量不穩(wěn)定且無規(guī)律，但不屬于沖擊型排放一般排放口生活污水執(zhí)行廣東省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時段三級標(biāo)準(zhǔn)(其中化學(xué)需氧量執(zhí)行珠海市金灣區(qū)農(nóng)業(yè)農(nóng)村和水務(wù)局核發(fā)的城鎮(zhèn)污水排入排水管網(wǎng)許可證(珠金水務(wù)排字(2023)第086號)。雨污分流：項目實行雨污分流，雨水、生產(chǎn)廢水和生活污水分開收集、分開處置。項目雨水經(jīng)廠區(qū)的雨水收集渠收集排入市政項目工業(yè)廢水處理后排入珠海金灣生物醫(yī)藥園區(qū)工業(yè)污水水質(zhì)凈化廠，生活污表4-8排污口設(shè)置和污染物監(jiān)測計劃監(jiān)測要求排放標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)測點位監(jiān)測因子監(jiān)測頻次濃度限值流量1次/年/pH值1次/年6-9CODcr1次/年5001次/年氨氮1次/年45氟化物1次/年20總磷1次/年2站產(chǎn)生的濃水及工作人員生活產(chǎn)生的生活污水。各本項目研發(fā)工藝廢水主要有酸性、堿性清洗廢水、有機(jī)清洗廢水和CMP研磨表4-9研發(fā)工藝廢水產(chǎn)生情況一覽表工序廢水類別產(chǎn)生量（L/d）純水清洗（硫酸清洗后）硫酸廢水3000純水清洗（氫氟酸清洗后）含氟廢水8000純水清洗（氨水清洗后）含氨廢水5000純水清洗（NMP清洗后）有機(jī)廢水2000純水清洗（異丙醇清洗后）有機(jī)廢水3000純水清洗（BOE刻蝕后）含氟廢水5000純水清洗（氫氟酸刻蝕后）含氟廢水14000純水清洗（氫氧化鉀刻蝕后）堿性廢水3500純水清洗（金刻蝕后）有機(jī)廢水5000純水清洗（TI刻蝕后）含氟廢水6000純水清洗（鹽酸清洗后）酸性廢水3500光刻-顯影清洗有機(jī)廢水5000CMP磨片CMP研磨廢水12000總計設(shè)有一套酸性廢氣洗滌塔和一套堿性廢氣洗滌塔，酸性廢氣洗滌塔設(shè)計風(fēng)量6500m3/h，循環(huán)水量為5m3/h，堿性廢氣洗滌塔設(shè)計風(fēng)量3500m3/h，循環(huán)水量為充酸堿液等藥劑。損耗量參考《民用建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》外，噴淋水每月更換2次，酸性廢氣處理線的洗滌塔有效容積為1.5m3計算，堿性廢氣處理線的洗滌塔有效容積為1.0m3計算，單次更換廢水排放量為2.5m3/次，60m3/a，作為噴淋廢水排入自建廢水站處理。即合計酸堿廢氣洗滌塔用水量共本項目勞動動員約40人，年工作245天，均不在廠內(nèi)食宿。員工辦公生活用水質(zhì)的典型生活污水水質(zhì)示例，項目生活污水的主要污染物及其產(chǎn)生濃度分別為CODCr（400mg/L）、BOD5（220mg/L）、SS（200mg/L）、氨氮（25mg/L）。生珠海金灣生物醫(yī)藥園區(qū)工業(yè)污水水質(zhì)凈化廠納管標(biāo)準(zhǔn)后排入珠海金灣生物醫(yī)藥園排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020)表1水污染物排放表4-10生產(chǎn)廢水產(chǎn)生濃度和排放濃度一覽表廢水種類pHCODCr總磷氟化物氨氮酸堿清洗廢水2-1050//有機(jī)清洗廢水6-10500050///CMP研磨廢水4-1050300///氟、氨廢水4-750/5800噴淋廢水4-105050/50GB39731-20206-950040082045DB44/26-20016-9500400/20/排水管網(wǎng)許可證(珠金水務(wù)排字(2023)第086號)/350////尾水排放標(biāo)準(zhǔn)6-93504008.02045本項目廢水處理總規(guī)模為75.24m3/d（其中工藝廢水75m3/d、噴淋廢水0.24m3/d），先對各類廢水分類預(yù)處理，隨后在中間水池匯合后進(jìn)行生化處理，實CMP研磨廢水共12m3/d，采用“pH調(diào)整+芬頓反應(yīng)(氧化)+還原反應(yīng)+化學(xué)沉本項目的生化處理系統(tǒng)，采用SBR工藝，即“進(jìn)水+厭氧+好氧+沉淀+排水+待機(jī)”的處理工藝。中間水池的廢水，經(jīng)泵，通過自動液位控制系統(tǒng)，泵至SBR采用“傳統(tǒng)物化工藝+生化工藝”，工藝方案技術(shù)先進(jìn)成熟，運(yùn)行穩(wěn)妥可靠?；▓D4-3廢水處理站預(yù)處理、生化處理工藝流程圖三灶水質(zhì)凈化廠位于珠海市金灣區(qū)三灶鎮(zhèn)機(jī)場西路一號橋西側(cè)，總規(guī)模8萬氧化溝+二沉池+精密過濾+紫外線消毒”工藝，升級改造后出水標(biāo)準(zhǔn)為《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB18918-2002）一級A標(biāo)準(zhǔn)及廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《水污b.接駁可行性本項目位于三灶水質(zhì)凈化廠集污服務(wù)范圍內(nèi)，目前項目所在地已接通污水管珠海金灣生物醫(yī)藥園區(qū)工業(yè)污水水質(zhì)凈化廠位于珠海市金灣區(qū)三灶鎮(zhèn)三灶生珠海金灣生物醫(yī)藥園區(qū)工業(yè)污水水質(zhì)凈化廠工業(yè)廢水總設(shè)計處理規(guī)模20000m3/d，主要處理園區(qū)內(nèi)制藥企業(yè)產(chǎn)生的醫(yī)藥廢水、PCB企業(yè)產(chǎn)生的含鎳廢水屬入河排污口，后匯入大門口水道位于海岸線向海一側(cè)河段；二期廢水排放量為目前一期已投產(chǎn)，一期進(jìn)水水量接收方案如下：1）醫(yī)藥廢水：接收聯(lián)邦制藥圖4珠海金灣生物醫(yī)藥園區(qū)工業(yè)污水水質(zhì)凈化廠廢水處理工藝流程圖排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB21904-2008）表2、《提取類制藥工業(yè)水污染排放標(biāo)準(zhǔn)》2、《生物工程類制藥工業(yè)水污染排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB21907-2008）表2、《混裝制劑b.接駁可行性），水質(zhì)凈化廠；生活污水經(jīng)三級化糞池預(yù)處理滿足廣東省《水污染物排放限值》和水務(wù)局核發(fā)的城鎮(zhèn)污水排入排水管網(wǎng)許可證(珠金水務(wù)排字(2023)第086號)中的要求）后排入三灶水質(zhì)凈化廠，廢水處理達(dá)標(biāo)后尾表4-11廠區(qū)主要聲源及噪聲源強(qiáng)序號設(shè)備名稱數(shù)量（臺/套）污染源聲源類型主要聲源情況降噪措施噪聲級（dB(A)）測點位置聲源措施降噪效果（dB(A)）1風(fēng)機(jī)3固定聲源頻發(fā)70減振2噴淋塔2固定聲源頻發(fā)70減振3空壓機(jī)4固定聲源頻發(fā)75減振4真空泵3固定聲源頻發(fā)70減振（r）=Lp（r0）-20lg(r/r0)（r0）——參考位置r0處的聲壓級，dB(A)；r0——參考位置距聲源的距離，m；Lp2=Lp1-(TL+6)+10lgsLW——室外靠近圍護(hù)結(jié)構(gòu)處產(chǎn)生的聲壓級，dLp2——聲源的聲壓級，dB；R——房間常數(shù)，m2；（A）計，風(fēng)機(jī)、噴淋塔位于生產(chǎn)車間大樓的樓頂，不考慮建筑物隔聲效果。項目表4-12噪聲源對各廠界的貢獻(xiàn)值（單位：數(shù)量臺，距離m，其余dB(A)）噪聲源排放疊加廠房東南廠界西南廠界西北廠界東北廠界源強(qiáng)源強(qiáng)距離貢獻(xiàn)值距離貢獻(xiàn)值距離貢獻(xiàn)值距離貢獻(xiàn)值風(fēng)機(jī)60364.8室外39.82828.66020.339.8噴淋塔60263.0室外43.02834.16027.443.0空壓機(jī)真空泵65471.06025.53629.941.041.060364.8603623.634.834.8/////44.8/36.5/42.1/46.5/////65/65/65/65/////55555555/////達(dá)標(biāo)/達(dá)標(biāo)/達(dá)標(biāo)/達(dá)標(biāo)在廠界的晝間噪聲貢獻(xiàn)值可達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》2）營運(yùn)期加強(qiáng)對各生產(chǎn)設(shè)備的定期檢查、維護(hù)，使其處于3）合理布置，產(chǎn)生高噪聲的生產(chǎn)設(shè)備布局上與采取以上措施后，項目運(yùn)營期聲環(huán)境對周邊的單位自行監(jiān)測技術(shù)指南總則》（HJ819-2017）監(jiān)測頻次要求，項目噪聲污染源監(jiān)表4-13噪聲監(jiān)測計劃表監(jiān)測點位監(jiān)測指標(biāo)監(jiān)測頻次執(zhí)行排放標(biāo)準(zhǔn)廠界邊界四周外一米晝夜等效連續(xù)A聲級每季度一次《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-2008）3類標(biāo)準(zhǔn)（1）廢酸液：項目產(chǎn)生的廢酸液包括清洗工序產(chǎn)生的濃硫酸廢液及刻蝕工序產(chǎn)生的硫酸廢液、鹽酸廢液、酸性刻蝕液廢液等。廢液產(chǎn)生量按原料用量的70%考），（2）廢堿液：項目產(chǎn)生的廢堿液主要包括清洗工序產(chǎn)生的氨水廢液及氫氧化（3）含氟廢液：項目產(chǎn)生的含氟廢液主要來自清洗、刻蝕工序產(chǎn)生的氫氟酸廢液及BOE廢液，廢液產(chǎn)生量按原料用量的70%考慮，本項目各類含氟原料用量），（4）廢有機(jī)溶劑：項目產(chǎn)生的有機(jī)溶劑廢液主要來自于清洗過程的有機(jī)溶劑原料的總用量為13.80t/a，廢液產(chǎn)生量按原料用量的70%考慮，產(chǎn)生的廢有機(jī)溶劑（含光刻膠）約9.66t/a，屬于HW06廢有機(jī)溶劑與含有機(jī)溶劑廢物，危廢代碼為），（5）顯影廢液（含光刻膠）：顯影液的原料用量為6.00t/a，廢液產(chǎn)生量按原光材料廢物，危廢代碼為398-001-16（T），經(jīng)收集后交由有危廢處置資質(zhì)單位轉(zhuǎn)（6）廢化學(xué)藥劑容器：本項目廢化學(xué)藥劑容器產(chǎn)生量約1t/a，屬于HW49其他廢物類危險廢物，廢物代碼為900-041-49（T/In），經(jīng)收集后交由有危廢處置資其他廢物類危險廢物，廢物代碼為900-041-49（T/In），經(jīng)收集后交由有危廢處置（8）廢活性炭：項目活性炭的使用主要為廢氣處理裝置，需吸附的有機(jī)廢氣表4-14項目一般工業(yè)固體廢物產(chǎn)生情況類別廢物名稱主要成分廢物代碼產(chǎn)生量暫存區(qū)域處置去向一般工業(yè)固體廢物純水制備濾料RO反滲透膜、砂濾、碳濾材料、超濾膜397-001-995一般固廢暫存間廠家回收廢靶材廢靶材397-001-147.5kg/a一般固廢暫存間廠家回收廢包裝材料廢包裝紙、廢塑料及廢木板等397-001-075專業(yè)公司回收廢棄濾波器芯片濾波器芯片397-001-1500片專業(yè)公司回收一般固體廢物儲存間按《環(huán)境保護(hù)圖形標(biāo)志固體廢物貯存（處置）場》一般工業(yè)固體廢物產(chǎn)生單位必須如實申報正常作業(yè)條件下工業(yè)固體廢物的種申報登記上一年度的信息，通過省固體廢物管理信息平臺依法申報固體廢物的種向縣級環(huán)保部門申報登記信息，確保申報數(shù)據(jù)的真表4-15危險廢物匯總表序號危險廢物名稱危險廢物類別危險廢物代碼產(chǎn)生量/年）產(chǎn)生工序及裝置形態(tài)主要成分有害成分產(chǎn)廢周期危險特性污染防治措施1廢酸液HW34398-007-342.31刻蝕廢酸酸日存在危廢暫存托有資質(zhì)的單位進(jìn)行回收處理2廢堿液HW35900-356-353.85刻蝕液體廢堿堿日3含氟廢液HW32900-026-327.35刻蝕液態(tài)氫氟酸氫氟酸日4廢有機(jī)溶劑HW06900-404-069.66干燥洗液態(tài)異丙刻膠刻膠日5顯影廢液（含光刻膠）HW16398-001-164.8顯影液態(tài)基氫氧化銨、光刻膠四甲基刻膠日6廢化學(xué)藥劑容器HW49900-041-491危化庫含殘有機(jī)溶劑含殘留的無機(jī)酸堿、有機(jī)溶劑日T/In7廢抹布手套HW49900-041-491研發(fā)及測試含殘有機(jī)溶劑含殘留的無機(jī)酸堿、有機(jī)溶劑日T/In8廢活性炭HW49900-039-493.49廢氣處理有機(jī)物有機(jī)物季度T9污泥HW49772-006-49廢水處理污泥重金屬日T/In表4-16建設(shè)項目危險廢物貯存場所（設(shè)施）基本情況表貯存場所稱危險廢物名稱危險廢物類別危險廢物代碼積貯存方式貯存能力貯存周期危廢暫存廢酸液HW34398-007-3420m2桶裝20季度廢堿液HW35900-356-35桶裝季度含氟廢液HW32900-026-32桶裝季度廢有機(jī)溶劑HW06900-404-06桶裝月顯影廢液（含光刻膠）HW16398-001-16桶裝季度廢化學(xué)藥劑容器HW49900-041-49桶裝季度廢抹布手套HW49900-041-49袋裝季度廢活性炭HW49900-039-49袋裝季度危廢暫存污泥HW49772-006-49袋裝月應(yīng)每季度及時委托危廢企業(yè)上門收運(yùn)危險廢物，正常情況下，最大產(chǎn)生量為8.37t）；⑦應(yīng)設(shè)計建造徑流疏導(dǎo)系統(tǒng)，保證能防止25年一遇的暴雨不會流到危險廢物項目運(yùn)營期產(chǎn)生的危險廢物應(yīng)委托具有危險廢物經(jīng)營資質(zhì)的單位統(tǒng)一收集并（粵環(huán)【97】177號）和《廣東省危險廢物轉(zhuǎn)移報告聯(lián)單管理暫行規(guī)定》中的有關(guān)量、流向、貯存、處置等有關(guān)資料向所在縣級理平臺提供的危險廢物轉(zhuǎn)移管理臺帳登記功能進(jìn)行登記以及根據(jù)管理臺帳和近年生產(chǎn)計劃，制訂危險廢物管理計劃，并報所在地鹽酸（37%）、氨水（30%）、硅烷、氨氣、氯氣、三氯化硼、廢酸液、廢堿液、含氟廢液、廢有機(jī)溶劑、顯影廢液（含光刻經(jīng)查詢《建設(shè)項目環(huán)境風(fēng)險評價技術(shù)導(dǎo)則》（HJ169異丙醇、硫酸