威海電子潔凈室施工方案一、工程概況本工程為威海電子科技產(chǎn)業(yè)園潔凈室項目，總建筑面積約2800㎡，潔凈度等級劃分為百級核心區(qū)（500㎡）、萬級輔助區(qū)（1200㎡）及十萬級倉儲區(qū)（1100㎡）。建筑結(jié)構(gòu)采用鋼筋混凝土框架體系，層高6m，其中技術(shù)夾層高度2.2m，潔凈區(qū)操作面凈高3.5m。本方案嚴(yán)格遵循《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GB50472-2008）、《潔凈室施工及驗收規(guī)范》（GB50591-2010）及《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GB50073-2013）最新標(biāo)準(zhǔn)，重點控制微粒污染、靜電防護及溫濕度精度，滿足半導(dǎo)體芯片封裝測試生產(chǎn)線的特殊環(huán)境要求。二、圍護結(jié)構(gòu)系統(tǒng)施工（一）墻體與天花系統(tǒng)材料選擇潔凈區(qū)墻體采用50mm厚雙面彩鋼板（0.426mm鍍鋅基板+20μmPE涂層），芯材選用密度≥120kg/m3的防火巖棉，防火等級達(dá)到A級。天花采用鋁蜂窩夾芯彩鋼板，板面平整度誤差≤2mm/2m。所有板材邊緣均做鍍鋅處理，切口采用專用密封膠密封。結(jié)構(gòu)施工墻面安裝采用C型鋼龍骨（規(guī)格50×30×1.5mm）與主體結(jié)構(gòu)連接，龍骨間距≤1200mm，膨脹螺栓固定點間距≤600mm。板材拼接采用中字鋁型材連接，接縫處填充電子級硅酮密封膠（硬度ShoreA60±5），膠縫寬度控制在3-5mm，表面平滑過渡。陰陽角部位采用R50mm圓弧鋁型材，與墻面圓弧半徑偏差≤2mm，確保氣流無渦流區(qū)。特殊處理技術(shù)夾層內(nèi)管線穿墻處預(yù)留Φ80mm密封套管，采用防火巖棉填塞后灌注膨脹防火密封膠。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)交界處設(shè)置雙層彩鋼板隔墻，中間填充吸音棉，降低噪聲傳遞。三、凈化空調(diào)系統(tǒng)安裝（一）系統(tǒng)設(shè)計參數(shù)區(qū)域等級溫度控制濕度控制靜壓差換氣次數(shù)噪聲要求百級區(qū)22±1℃55±5%RH≥15Pa垂直層流≤60dB(A)萬級區(qū)22±2℃50-60%RH≥10Pa40次/h≤65dB(A)十萬級區(qū)24±3℃45-65%RH≥5Pa25次/h≤70dB(A)（二）設(shè)備安裝工藝空調(diào)機組采用組合式凈化空調(diào)箱（處理風(fēng)量12000m3/h），配置初效（G4）、中效（F8）、亞高效（H10）三級過濾。表冷段安裝電動比例調(diào)節(jié)閥，加熱段設(shè)置超溫斷電保護（動作溫度75℃）。加濕器采用干蒸汽加濕方式，配備無水保護裝置。FFU系統(tǒng)百級區(qū)安裝320臺FFU（尺寸1200×600×350mm），滿布率65%，風(fēng)機轉(zhuǎn)速1450rpm，高效過濾器（H14）過濾效率≥99.995%@0.3μm。FFU與天花龍骨之間采用EPDM密封墊，安裝平整度誤差≤1mm/m2，運行噪聲≤55dB(A)。風(fēng)系統(tǒng)施工風(fēng)管采用鍍鋅鋼板（厚度：主管1.2mm，支管0.8mm），咬口連接，接縫處涂密封膠。風(fēng)管安裝前進行漏光檢測，漏光點≤2處/10m2。高效送風(fēng)口與靜壓箱之間采用“零泄漏”連接，風(fēng)口擴散板水平度偏差≤1°?；仫L(fēng)口加裝不銹鋼防蟲網(wǎng)（目數(shù)40目），與地面平齊安裝。（三）氣流組織百級區(qū)采用垂直層流方式，氣流速度0.35m/s（偏差±0.05m/s）；萬級區(qū)采用頂送側(cè)回，送風(fēng)口風(fēng)速2.5-3m/s；十萬級區(qū)采用上側(cè)送下回，氣流短路系數(shù)≤0.2。所有回風(fēng)格柵均設(shè)置風(fēng)量調(diào)節(jié)閥，確保各區(qū)域壓差穩(wěn)定。四、地面工程施工（一）材料選擇百級區(qū)及萬級區(qū)采用環(huán)氧自流平地坪（厚度2mm），材料選用無溶劑環(huán)氧樹酯（VOC含量≤10g/L），表面電阻10?-10?Ω，耐磨性（Taber磨損）≤0.02g/1000次。十萬級區(qū)采用PVC卷材地面（厚度2mm），接縫采用熱熔焊接，焊縫寬度8-10mm，焊接強度≥90%基材強度。（二）施工工藝基層處理混凝土基層打磨至表面平整度≤3mm/2m，真空吸塵（真空度≥-0.08MPa）后涂刷環(huán)氧底漆（干膜厚度50μm）。裂縫處采用環(huán)氧膩子填充后粘貼玻纖布加強，轉(zhuǎn)角處做R50mm圓弧處理。自流平施工材料配比嚴(yán)格控制（主劑:固化劑=4:1），采用機械攪拌（轉(zhuǎn)速800rpm）2分鐘，確保無氣泡產(chǎn)生。鏝涂厚度控制在2.0±0.2mm，采用消泡滾筒排除氣泡，養(yǎng)護溫度23±2℃，濕度≤75%，養(yǎng)護期7天。防靜電處理地面鋪設(shè)銅箔接地網(wǎng)格（網(wǎng)格間距1.5m×1.5m），銅箔寬度20mm，厚度0.05mm，與接地極連接電阻≤1Ω。五、電氣與自控系統(tǒng)（一）配電系統(tǒng)潔凈區(qū)采用TN-S接地系統(tǒng)，設(shè)置獨立接地極（接地電阻≤1Ω），所有金屬設(shè)備外殼、風(fēng)管、彩鋼板均可靠接地。動力配電采用放射式供電，潔凈區(qū)插座安裝高度1.2m，采用不銹鋼防水插座（IP54），間距≤3m。燈具選用不銹鋼潔凈燈（防護等級IP65），照度百級區(qū)≥300lux，其他區(qū)域≥200lux。（二）自控系統(tǒng)溫濕度控制：采用DDC控制器（采樣周期10s），模擬量輸出控制調(diào)節(jié)閥開度，控制精度±0.5℃/±3%RH。壓差控制：各區(qū)域安裝微壓差變送器（量程0-50Pa，精度±0.5Pa），通過變頻調(diào)節(jié)回風(fēng)機轉(zhuǎn)速維持壓差穩(wěn)定。粒子監(jiān)測：百級區(qū)設(shè)置在線粒子計數(shù)器（檢測粒徑0.5μm/5μm），數(shù)據(jù)每5分鐘記錄一次，超標(biāo)時聲光報警。六、施工管理措施（一）潔凈管制分區(qū)管理施工現(xiàn)場劃分為：非潔凈區(qū)（材料堆放、加工）準(zhǔn)潔凈區(qū)（設(shè)備組裝、檢測）潔凈施工區(qū)（凈化系統(tǒng)安裝）各區(qū)之間設(shè)置緩沖通道，配備風(fēng)淋室（吹淋時間30s）及粘塵墊（粘著力≥10N/25mm）。人員管控施工人員需經(jīng)過潔凈培訓(xùn)，進入潔凈區(qū)前更換專用潔凈服（四連體），通過風(fēng)淋室后在緩沖區(qū)二次更衣。每日施工前對潔凈服進行塵埃粒子檢測（≥0.5μm粒子≤300個/件）。（二）質(zhì)量控制材料驗收所有進場材料需提供出廠合格證及性能檢測報告，彩鋼板進行燃燒性能（A級）、甲醛釋放量（≤0.1mg/m3）抽樣檢測。高效過濾器需進行檢漏試驗（掃描速率50mm/s，上游濃度10?particles/L）。過程檢驗圍護結(jié)構(gòu)：每周進行氣密性檢測（壓力衰減法，10min壓降≤5%）。風(fēng)管安裝：每10m進行漏風(fēng)量測試（測試壓力1000Pa，漏風(fēng)量≤2.0m3/(h·m2)）。地面工程：施工完成后進行附著力測試（劃格法，附著力≥1級）。（三）進度計劃施工階段工期（天）關(guān)鍵節(jié)點圍護結(jié)構(gòu)施工45墻面密封驗收凈化系統(tǒng)安裝30FFU運行測試地面工程20防靜電性能檢測系統(tǒng)調(diào)試15潔凈度達(dá)標(biāo)竣工驗收10第三方檢測合格七、檢測與驗收（一）潔凈度檢測檢測儀器：激光粒子計數(shù)器（流量28.3L/min，粒徑通道0.3μm、0.5μm、5μm）。采樣點布置：百級區(qū)每20㎡設(shè)1點，萬級區(qū)每50㎡設(shè)1點，采樣高度1.2m，每個采樣點采樣時間≥1min。合格標(biāo)準(zhǔn)：百級區(qū)≥0.5μm粒子≤350個/m3，≥5μm粒子≤0個/m3；萬級區(qū)≥0.5μm粒子≤35000個/m3，≥5μm粒子≤2000個/m3。（二）綜合性能測試溫濕度：連續(xù)監(jiān)測72小時，每小時記錄1次，波動范圍需符合設(shè)計要求。氣流流型：采用煙霧測試法，百級區(qū)流線平行度偏差≤15°，無明顯渦流。自凈時間：百級區(qū)自凈時間≤10min（從1000級降至百級）。（三）驗收文件提交完整的竣工資料，包括：設(shè)計變更記錄及竣工圖主要材料出廠合格證及檢測報告施工過程檢驗記錄第三方檢測報告（依據(jù)GB50591-2010標(biāo)準(zhǔn)）八、安全與環(huán)保措施消防安全施工現(xiàn)場配置ABC型干粉滅火器（每50㎡1具），技術(shù)夾層設(shè)置消防應(yīng)急照明（連續(xù)照明時間≥90min）。動火作業(yè)辦理許可證，配備看火人及滅火器材。環(huán)保要求切割作業(yè)采用濕式切割法，粉塵排放濃度≤8mg/m3。廢棄密封膠、過濾器等危險廢物交由有資質(zhì)單位處置，建立轉(zhuǎn)移聯(lián)單制度。應(yīng)急預(yù)案制定停電應(yīng)急處理流程，備用電源（柴