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先進(jìn)制造技術(shù)電子束離子束加工第六章CONTENTS目錄電子束加工EBM1離子束加工IBM2電子束加工原理和特點(diǎn)一電子束加工原理和特點(diǎn)（一）原理利用高速電子的沖擊動(dòng)能來(lái)加工工件。真空聚焦高速?zèng)_擊動(dòng)能轉(zhuǎn)熱能（二）特點(diǎn)1微細(xì)加工2加工材料的范圍廣3能量密度高，加工生產(chǎn)率很高4便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化（二）特點(diǎn)5污染少，加工表面不易被氧化。6需要整套專(zhuān)用設(shè)備和真空系統(tǒng)。二電子束加工設(shè)備偏轉(zhuǎn)線圈電磁透鏡光闌加速陽(yáng)極發(fā)射電子陰極控制柵極光學(xué)觀察系統(tǒng)真空室門(mén)工件三電子束加工的應(yīng)用（一）高速打孔（二）刻蝕（三）焊接（四）熱處理一離子束加工原理、分類(lèi)、特點(diǎn)（一）原理它是靠微觀的機(jī)械撞擊能量來(lái)加工的。物理基礎(chǔ)撞擊效應(yīng)濺射效應(yīng)注入效應(yīng)（二）分類(lèi)1離子刻蝕（二）分類(lèi)2離子濺射沉積（二）分類(lèi)3離子鍍（二）分類(lèi)4離子注入各有什么優(yōu)缺點(diǎn)？電子束加工離子束加工激光加工共同點(diǎn)三者都適用于精密，微細(xì)加工不同點(diǎn)電子束、離子束需在真空中進(jìn)行激光因可在空氣中加工，不受空間結(jié)構(gòu)的限制，故也適用于大型工件的切割，熱處理等工藝。（一）電火花加工原理配色二級(jí)層級(jí)1電腐蝕現(xiàn)象三級(jí)層級(jí)字體：中文:思

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