ICS7104050

CCSN.33.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T46223—2025

微束分析分析電子顯微術(shù)

電子能量損失譜能量分辨率的測定方法

Microbeamanalysis—Analyticalelectronmicroscopy—Methodforthe

determinationofenergyresolutionforelectronenergylossspectrumanalysis

ISO234202021MOD

(:,)

2025-08-29發(fā)布2026-03-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T46223—2025

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號和縮略語

4……………3

參考物質(zhì)及其能量值的測定

5……………4

概述

5.1…………………4

能量標(biāo)尺校準(zhǔn)參考物質(zhì)的選擇

5.2……………………4

在中測量石墨中的結(jié)合能

5.3XPS……………………5

能量分辨率的測量程序

6…………………5

概述

6.1…………………5

結(jié)合能的測定

6.2………………………6

儀器和試樣準(zhǔn)備

6.3……………………7

第一能量步長δE的校準(zhǔn)

6.4(1)…………7

用能量步長δE測量第二參考物質(zhì)靠近零損失峰的譜峰E

6.51CZLP………………10

第二能量步長δE的校準(zhǔn)

6.6(2)………………………11

測量校準(zhǔn)后的能量分辨率E

6.7(Δ)…………………12

記錄項

6.8………………13

能量分辨率測量結(jié)果的不確定度

7………………………14

附錄資料性能量分辨率的定義

A()……………………15

附錄資料性與值對應(yīng)的碳邊位置的確定方法討論

B()XPSC1sEELSK………16

概述

B.1…………………16

細(xì)則

B.2…………………16

附錄資料性能量分辨率測定程序?qū)嵗?/p>

C()……………18

概述

C.1…………………18

樣品

C.2…………………18

試驗條件與結(jié)果

C.3……………………19

參考文獻

……………………26

Ⅰ

GB/T46223—2025

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件修改采用微束分析分析電子顯微術(shù)電子能量損失譜能量分辨率的測

ISO23420:2021《

定方法

》。

本文件與的技術(shù)差異及其原因如下

ISO23420:2021:

增加了對譜儀校準(zhǔn)的要求見和以適應(yīng)我國標(biāo)準(zhǔn)使用的實際情況

———XPS(5.36.2.2),;

增加了電子能量損失譜采集時進行相對厚度檢查的推薦值見和增強可操作性

———(6.4.36.5.1),;

刪除了文中并未使用的采集時間t并將表示試樣厚度的符號由d改為t見第章以符

———“”,(4),

合本領(lǐng)域使用慣例

;

刪除了文中未使用的術(shù)語幾何因子以符合相關(guān)規(guī)定

———“”,GB/T1.1—2020;

刪除了文中未使用或僅使用一次的等縮略語

———CCD、CFE、CMOS、CRM、EEL、GUM、S/TEM

和表示采集時間的t和累加次數(shù)n等符號以符合相關(guān)規(guī)定

,GB/T1.1—2020。

本文件做了下列結(jié)構(gòu)調(diào)整

:

第章的相關(guān)內(nèi)容調(diào)整至附錄使結(jié)構(gòu)更清晰符合中文閱讀習(xí)慣

———ISO23420:20215A,,;

更改了附錄的順序?qū)⒃戒浾{(diào)整至附錄使結(jié)構(gòu)更清晰符合中文閱讀習(xí)慣

———,AC,,。

本文件做了下列編輯性改動

:

更換了附錄現(xiàn)為附錄中的能量分辨率測定程序?qū)嵗黾恿穗娮幽芰繐p失譜采集時進

———A(C),

行相對厚度檢查的步驟以增加標(biāo)準(zhǔn)易用性

,。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本文件起草單位北京化工大學(xué)中國科學(xué)院化學(xué)研究所

:、。

本文件主要起草人洪崧王巖華

:、。

Ⅲ

GB/T46223—2025

引言

電子能量損失譜儀常配置于掃描透射電子顯微鏡或透射電子顯微鏡

(EELS)(STEM)(TEM)

中通過分析入射電子的能量損失實現(xiàn)對材料的化學(xué)成分原子成鍵和電子結(jié)構(gòu)的解析

,,、。

電子能量損失譜分析測定入射電子由于光子和等離激元的激發(fā)帶間和帶內(nèi)躍遷以及內(nèi)層電離等

、,

非彈性相互作用造成的能量損失其中尤其有用的是內(nèi)層電子的電離造成的能量損失可以給出材料

。,,

的化學(xué)成分信息精確的能量損失譜分析需基于譜峰分解和能量偏移的測定為此確定電子能量損失

。,,

譜的能量分辨率至關(guān)重要因而其能量分辨率的測定方法亟需標(biāo)準(zhǔn)化

。,。

本文件提供了校準(zhǔn)能量步長并測定能量分辨率的程序以用于在配備有的電子顯微鏡設(shè)備

,EELS

中進行能量損失譜分析

。

Ⅳ

GB/T46223—2025

微束分析分析電子顯微術(shù)

電子能量損失譜能量分辨率的測定方法

1范圍

本文件描述了配備電子能量損失譜儀簡稱能損譜儀的透射電子顯微鏡或掃描

(“”,EELS)(TEM)

透射電子顯微鏡中電子能量損失譜簡稱能損譜能量分辨率的測定程序

(STEM)(“”)。

本文件適用于內(nèi)置型和后置型的包括采用并行檢測系統(tǒng)和串行檢測系統(tǒng)的譜儀

EELS,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

表面化學(xué)分析射線光電子能譜儀能量標(biāo)尺的校準(zhǔn)

GB/T22571—2017X(ISO15472:

2010,IDT)

微束分析分析電子顯微學(xué)術(shù)語

GB/T40300—2021