靶材研發(fā)制造服務(wù)合同一、合同主體與合作背景甲方（委托方）通常為靶材應(yīng)用領(lǐng)域企業(yè)（如半導(dǎo)體、顯示面板、光伏電池制造商等），需明確其企業(yè)名稱、法定代表人、技術(shù)需求背景及項目對接負(fù)責(zé)人。乙方（研發(fā)制造方）應(yīng)為具備靶材研發(fā)能力的專業(yè)機構(gòu)或生產(chǎn)企業(yè)，需列明其技術(shù)資質(zhì)（如ISO9001認(rèn)證、特定靶材生產(chǎn)專利等）、研發(fā)團(tuán)隊配置及生產(chǎn)基地概況。合作背景部分需概述靶材應(yīng)用場景（如ITO靶材用于觸摸屏透明導(dǎo)電層、特種金屬靶材用于半導(dǎo)體濺射工藝等）、甲方技術(shù)痛點（如現(xiàn)有靶材利用率不足、濺射速率偏低等），以及乙方的技術(shù)解決方案優(yōu)勢（如納米級粉末冶金工藝、梯度結(jié)構(gòu)設(shè)計等）。二、研發(fā)制造內(nèi)容與技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)（一）靶材規(guī)格與性能指標(biāo)材料成分：明確靶材材質(zhì)類型（如ITO、AZO、鋁鈧合金等），關(guān)鍵元素純度要求（如純度≥99.995%）、雜質(zhì)含量上限（如Fe≤5ppm）及均勻性誤差范圍（如±0.5%）。物理性能：包括密度（如≥95%理論密度）、致密度（如≥98%）、硬度（如HV≥120）、電阻率（如≤1.5×10??Ω·cm）等參數(shù)，需附第三方檢測機構(gòu)（如SGS、CTI）的檢測方法標(biāo)準(zhǔn)。幾何尺寸：靶材尺寸精度（如長度誤差±0.1mm）、平面度（如≤0.05mm/m）、表面粗糙度（如Ra≤0.8μm）及綁定工藝要求（如無氧銅背板焊接強度≥20MPa）。（二）研發(fā)階段任務(wù)劃分技術(shù)方案設(shè)計（第1-2個月）：乙方完成靶材微觀結(jié)構(gòu)模擬、成型工藝路線規(guī)劃（如熱壓燒結(jié)、放電等離子燒結(jié)SPS）及設(shè)備選型方案，提交《研發(fā)可行性報告》并經(jīng)甲方評審確認(rèn)。樣品試制（第3-5個月）：乙方進(jìn)行原材料提純（如電子級銦錠純度提升）、坯體成型、燒結(jié)致密化及精密加工，交付3套初樣供甲方進(jìn)行濺射測試，測試項目包括薄膜沉積速率、均勻性（如±3%以內(nèi)）及附著力（如劃格法測試≥5B級）。工藝優(yōu)化（第6-8個月）：根據(jù)甲方反饋調(diào)整工藝參數(shù)（如燒結(jié)溫度1450℃±20℃、保溫時間2小時），最終交付5套合格樣品及《工藝優(yōu)化報告》。（三）量產(chǎn)交付要求產(chǎn)能保障：乙方需承諾月產(chǎn)能不低于50片（按12英寸靶材計），首批量產(chǎn)周期≤15個工作日，后續(xù)批次≤10個工作日。包裝與運輸：采用真空包裝+防靜電木箱，運輸過程中需控制振動加速度≤10G，溫度范圍15-30℃，濕度≤60%。三、知識產(chǎn)權(quán)與保密條款（一）研發(fā)成果歸屬甲方獨占權(quán)利：針對甲方特定需求開發(fā)的靶材配方、工藝參數(shù)及專用設(shè)備改造方案，知識產(chǎn)權(quán)歸甲方所有，乙方不得用于其他商業(yè)項目。乙方共享權(quán)利：乙方在研發(fā)中形成的通用技術(shù)（如新型燒結(jié)爐溫控算法）可保留使用權(quán)，但需書面告知甲方并保證不侵犯甲方專利。專利申請：合作期間產(chǎn)生的發(fā)明創(chuàng)造，由乙方負(fù)責(zé)在6個月內(nèi)提交專利申請（費用由甲方承擔(dān)），專利權(quán)人為甲方，乙方享有署名權(quán)。（二）保密義務(wù)保密范圍：包括甲方提供的靶材應(yīng)用場景數(shù)據(jù)、乙方的工藝文件（如燒結(jié)曲線、模具圖紙）、測試報告及雙方往來郵件。保密期限：合同存續(xù)期內(nèi)及終止后5年內(nèi)，雙方不得向任何第三方泄露保密信息，員工離職需簽署《競業(yè)禁止協(xié)議》。四、質(zhì)量控制與驗收標(biāo)準(zhǔn)（一）全流程質(zhì)量管控原材料檢驗：乙方需提供每批次原材料的材質(zhì)證明（COA），甲方有權(quán)隨機抽取10%進(jìn)行復(fù)檢，不合格品處理費用由乙方承擔(dān)。過程檢驗：甲方可派駐技術(shù)人員進(jìn)入乙方生產(chǎn)車間（需遵守保密協(xié)議），對關(guān)鍵工序（如粉末混合均勻度、燒結(jié)溫度曲線）進(jìn)行監(jiān)督，乙方需每日提交《生產(chǎn)過程質(zhì)控記錄》。成品驗收：甲方在收到樣品后15個工作日內(nèi)完成驗收，驗收標(biāo)準(zhǔn)包括：外觀：無裂紋、氣孔、夾雜等缺陷（按GB/T5163標(biāo)準(zhǔn)A類要求）；性能：濺射測試連續(xù)運行200小時無異常剝落，靶材利用率≥85%；文件：隨貨附《質(zhì)量檢測報告》《有害物質(zhì)清單（RoHS合規(guī)）》及《使用維護(hù)手冊》。（二）不合格品處理若樣品驗收不合格，乙方需在7日內(nèi)分析原因并提交《整改方案》，免費重新試制并承擔(dān)甲方因此產(chǎn)生的測試費用（如誤工費、設(shè)備占用費）。累計3次不合格時，甲方有權(quán)單方解除合同并要求乙方支付合同總額20%的違約金。五、價格與支付方式（一）費用構(gòu)成研發(fā)費用：總額XX萬元（含稅），包括方案設(shè)計費（20%）、樣品試制費（50%）、測試認(rèn)證費（30%），分3期支付：合同生效后支付30%，樣品交付后支付50%，驗收合格后支付20%。量產(chǎn)單價：根據(jù)靶材類型階梯定價，例如：ITO靶材（12英寸×4mm）：XXX元/片（采購量＜100片/月）；ITO靶材（12英寸×4mm）：XXX元/片（采購量≥200片/月），單價含13%增值稅及運費。（二）支付與結(jié)算甲方以銀行電匯方式支付，乙方需在收款后5日內(nèi)開具等額增值稅專用發(fā)票。量產(chǎn)訂單采用“月度結(jié)算”：每月5日前雙方確認(rèn)上月交貨數(shù)量，甲方在收到發(fā)票后15個工作日內(nèi)支付貨款。六、風(fēng)險責(zé)任與不可抗力（一）技術(shù)風(fēng)險承擔(dān)若因乙方工藝缺陷導(dǎo)致靶材壽命低于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（如正常使用條件下＜1000小時），乙方需免費更換并賠償甲方生產(chǎn)線停機損失（按XX元/小時計算）。甲方未及時提供測試反饋（如超過30日未驗收）導(dǎo)致研發(fā)延誤，乙方工期相應(yīng)順延，且甲方需支付逾期期間的設(shè)備閑置費（按日0.05%合同額計算）。（二）不可抗力條款因地震、政策調(diào)整（如環(huán)保限產(chǎn)）等不可抗力導(dǎo)致無法履約時，受影響方需在24小時內(nèi)書面通知對方，雙方根據(jù)影響程度協(xié)商工期調(diào)整或合同解除，互不承擔(dān)違約責(zé)任。七、合作期限與爭議解決（一）合同期限研發(fā)階段為8個月（自合同生效日起），量產(chǎn)合作期限為3年，期滿前3個月雙方可協(xié)商續(xù)簽，乙方承諾續(xù)簽時價格不高于同期市場價5%。（二）爭議處理凡因本合同引起的爭議，雙方應(yīng)首先通過友好協(xié)商解決；協(xié)商不成的，提交甲方所在地有管轄權(quán)的人民法院訴訟解決，訴訟費用（含律師費）由敗訴方承擔(dān)。八、其他條款技術(shù)服務(wù)：乙方需提供為期1年的技術(shù)支持，包括濺射工藝參數(shù)優(yōu)化指導(dǎo)（如靶材-基材距離、氬氣流量匹配）及現(xiàn)場技術(shù)人