抽真空系統(tǒng)課件匯報(bào)人：XX目錄01抽真空系統(tǒng)概述03抽真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)02抽真空技術(shù)基礎(chǔ)04抽真空系統(tǒng)操作05抽真空系統(tǒng)的安全06抽真空系統(tǒng)的案例研究抽真空系統(tǒng)概述PARTONE定義與原理工作原理依賴真空泵抽氣系統(tǒng)定義抽真空指降低氣壓0102系統(tǒng)組成真空泵、管道、閥門主要部件汽水分離器、冷卻器輔助設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)儀器等領(lǐng)域，滿足高真空度需求。科研實(shí)驗(yàn)在電子芯片制造、化工合成等工業(yè)中，提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。工業(yè)生產(chǎn)抽真空技術(shù)基礎(chǔ)PARTTWO真空度的測(cè)量用液柱差、機(jī)械變形等原理直接測(cè)壓強(qiáng)。直接測(cè)量法利用氣體熱學(xué)、動(dòng)力學(xué)等性質(zhì)間接推算真空度。間接測(cè)量法真空泵的分類低中高及超高真空泵機(jī)械式與射流式按性能用途分按工作原理分真空系統(tǒng)的工作原理利用特殊材料吸附氣體分子，降低氣體含量分子吸附機(jī)制通過容積變化抽氣，實(shí)現(xiàn)低真空機(jī)械壓縮原理抽真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)PARTTHREE設(shè)計(jì)原則真空元件連接時(shí)，抽氣管路短，管道流導(dǎo)大，導(dǎo)管直徑不小于泵口直徑。管路短流導(dǎo)大真空系統(tǒng)建成后，便于測(cè)量和分段檢漏，每個(gè)閥門封閉區(qū)間至少有一個(gè)測(cè)量點(diǎn)。便于測(cè)量檢漏系統(tǒng)配置方案根據(jù)真空度要求選真空泵等抽氣設(shè)備抽氣設(shè)備選擇選用密封良好機(jī)械強(qiáng)度高的連接件連接管道閥門設(shè)計(jì)實(shí)例分析火箭艙體設(shè)計(jì)采用高真空泵組，確保艙體點(diǎn)火時(shí)壓力穩(wěn)定。空間實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)集成高真空與壓力系統(tǒng)，滿足多種空間實(shí)驗(yàn)需求。抽真空系統(tǒng)操作PARTFOUR啟動(dòng)與關(guān)閉程序按步驟開啟電源，調(diào)節(jié)參數(shù)至預(yù)設(shè)值。啟動(dòng)程序先關(guān)閉真空泵，再斷電源，確保系統(tǒng)安全冷卻。關(guān)閉程序常見故障排除檢查循環(huán)水及軸封供汽。真空表指示降清理冷卻面污垢，檢查泄漏。凝汽器傳熱端差大真空泵工作異常維護(hù)真空泵，處理密封液問題。維護(hù)與保養(yǎng)01定期檢查設(shè)備定期查看系統(tǒng)部件，確保無損壞或老化，及時(shí)更換。02清潔保養(yǎng)定期清潔系統(tǒng)，去除灰塵和污垢，保持系統(tǒng)高效運(yùn)行。抽真空系統(tǒng)的安全PARTFIVE安全操作規(guī)程確保工作區(qū)干燥，遠(yuǎn)離水源，保持通風(fēng)。環(huán)境干燥通風(fēng)檢查真空泵油位，定期維護(hù)，確保設(shè)備安全。檢查維護(hù)設(shè)備應(yīng)急處理措施01緊急情況報(bào)告立即報(bào)告負(fù)責(zé)人，描述故障及危害。02切斷電源隔離切斷真空系統(tǒng)電源，隔離故障設(shè)備。03人員疏散與總結(jié)疏散人員至安全地，事后總結(jié)并改進(jìn)預(yù)案。安全設(shè)備介紹設(shè)置濾網(wǎng)水封，保障系統(tǒng)安全。真空破壞閥確保泵運(yùn)行安全，防止故障發(fā)生。真空泵聯(lián)鎖抽真空系統(tǒng)的案例研究PARTSIX工業(yè)應(yīng)用案例真空設(shè)備用于薄膜沉積、刻蝕，提高產(chǎn)品純度和性能。半導(dǎo)體制造真空干燥技術(shù)去除藥品水分，確保無菌環(huán)境，保障藥品安全。制藥行業(yè)科研應(yīng)用案例空冷系統(tǒng)優(yōu)化抽真空系統(tǒng)提升直接空冷機(jī)組效率，維持凝汽器真空。同位素研究LI-2100助力巴西INPE進(jìn)行土壤、植物水分同位素研究。0102案例總結(jié)與討論總結(jié)案例中的抽