ICS71.100.20

CCSJ78

ACCEM

中國商業(yè)企業(yè)管理協會團體標準

T/ACCEMXXXX—XXXX

離子輔助沉積用射頻離子源

Radio-frequencyionsourcesforionassisteddeposition

（征求意見稿）

在提交反饋意見時，請將您知道的相關專利連同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實施

中國商業(yè)企業(yè)管理協會發(fā)布

T/ACCEMXXXX—XXXX

離子輔助沉積用射頻離子源

1范圍

本文件規(guī)定了離子輔助沉積用射頻離子源的產品參數、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、隨

行文件、包裝、運輸和貯存。

本文件適用于離子輔助沉積用射頻離子源的生產和檢驗。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T191包裝儲運圖示標志

GB/T17626.2電磁兼容試驗和測量技術靜電放電抗擾度試驗

GB/T17626.4電磁兼容試驗和測量技術電快速瞬變脈沖群抗擾度試驗

GB/T17626.5電磁兼容試驗和測量技術浪涌(沖擊)抗擾度試驗

GB/T17626.11電磁兼容試驗和測量技術第11部分：對每相輸入電流小于或等于16A設備的電壓

暫降、短時中斷和電壓變化抗擾度試驗

GB/T18268.1測量、控制和實驗室用的電設備電磁兼容性要求第1部分：通用要求

3術語和定義

本文件沒有需要界定的術語和定義。

4產品參數

產品參數如表1所示。

表1產品參數

項目指標

最大束流1500mA

離子發(fā)射能量1500eV

中和電子供應能力＞3A

連續(xù)工作時間＞200h

工作氣體氧氣、氬氣

5技術要求

5.1工作環(huán)境

產品的工作環(huán)境應符合以下規(guī)定：

a)環(huán)境溫度：5℃～40℃；

b)環(huán)境相對濕度：30%RH～70%RH；

c)大氣壓力：在86kPa～106kPa范圍內的當地平均大氣壓；

d)不應受到影響使用的震動和強電磁場干擾；

e)供電電源：三相208V交流電，交流電壓180V～229V，頻率47Hz～63Hz；

f)室內應無腐蝕性氣體，通風良好。

1

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5.2外觀

5.2.1產品應外觀整齊、清潔，表面涂、鍍層無明顯剝落、擦傷、露底及污垢。

5.2.2外殼應平整，放于平臺上不應有搖動現象。

5.2.3零件結合處應整齊，無毛刺、銳棱和粗糙不平現象，剛性連接部件不得松動。

5.2.4儀器可拆卸部分應無障礙地拆裝。

5.2.5銘牌及標志應清楚，所有緊固件不得松動，各調節(jié)器件轉動靈活，功能正常。

5.3尺寸偏差

產品各部件實際尺寸與標示尺寸相符，允許偏差為±5%。如有特殊要求，可根據顧客要求而定。

5.4裝配質量

5.4.1產品各部件應齊全、完整，產品裝配應正確，緊固件應緊固到位、無松動。

5.4.2產品部件應有足夠的強度在正常安裝和使用時不應發(fā)生破壞或變形。

5.5功率重復性

產品重復性應不大于1.5%。

5.6功率穩(wěn)定性

產品穩(wěn)定性應不大于2%。

5.7可靠性

產品首次故障前工作時間應不小于1000h。

5.8安全

5.8.1絕緣電阻

產品在正常工作條件下，絕緣電阻應大于20MΩ。

5.8.2介電強度

產品在正常工作條件下，應能承受1500V交流有效值連續(xù)1min的電壓試驗，不應出現飛弧或

擊穿現象。

5.8.3泄漏電流

產品在正常工作條件下，泄漏電流應不大于5mA。

5.9電磁兼容性

應符合GB/T18268.1的規(guī)定，產品在進行靜電放電抗干擾度、電快速瞬變脈沖群抗擾度、浪涌（沖

擊）抗擾度試驗和電壓暫降、短時中斷和電壓變化抗擾度試驗時滿足5.5、5.6的要求。

6試驗方法

6.1外觀

在自然光線下以目測檢驗。

6.2尺寸偏差

用標準的通用量具進行測量。

6.3裝配質量

在自然光線下，通過實際操作，目測手感檢驗。

6.4功率重復性

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在產品處于最佳工作狀態(tài)下，通入相同流量的氣體，連續(xù)10次測量此流量下的設備功率。

2

∑?

√?=1(????)

??1

RSD=×100%·······························································(1)

?

式中：

RSD——相對標準偏差，%；

Ci——測量值，%；

C——測量平均值，%；

n——測量次數。

6.5功率穩(wěn)定性

產品開機穩(wěn)定后，等離子源解體氣體，測量解離率，制作工作曲線，在不小于2h內，間隔15min

以上，重復6次測量，相對標準偏差即穩(wěn)定性。

∑?(???)2

S=√?=1?········································································(2)

??1

式中：

Ci——測量值，%；

C——測量平均值，%；

N——測量次數；

S——標準偏差，%。

6.6可靠性

應在實際使用現場進行，記錄產品自安裝使用開始至首次出現故障的累計工作時間。

6.7安全

6.7.1絕緣電阻

產品在正常工作條件下，絕緣電阻應大于20MΩ。

6.7.2介電強度

產品在正常工作條件下，應能承受1500V交流有效值連續(xù)1min的電壓試驗，不應出現飛弧或

擊穿現象。

6.7.3泄漏電流

產品在正常工作條件下，泄漏電流應不大于5mA。

6.8電磁兼容性

按GB/T17626.2、GB/T17626.4、GB/T17626.5、GB/T17626.11的規(guī)定進行。

7檢驗規(guī)則

8檢驗規(guī)則

8.1檢驗分類

產品檢驗分為出廠檢驗和型式檢驗。

8.2出廠檢驗

每臺產品在出廠前應進行出廠檢驗，出廠檢驗項目如表2所示。

3

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表2檢驗項目

項目名稱出廠檢驗型式檢驗

外觀√√

尺寸片擦√√

裝配質量√√

功率重復性—√

功率穩(wěn)定性—√

可靠性—√

安全—√

電磁兼容性√√

注：“√”表示需要進行檢驗，“—”標識不需要進行檢驗。

8.3型式檢驗

8.3.1型式檢驗項目按表2的規(guī)定。

8.3.2有下列情況之一時，應進行型式檢驗：

a)新產品試制定型鑒定；

b)轉廠生產的試制定型鑒定；

c)產品正式生產后，結構、材料、工藝有較大改變可能影響產品性能；

d)產品停產兩年后恢復生產；

e)出廠檢驗或抽樣檢驗結果與上次型式檢驗有較大差異；

f)國家質量監(jiān)督機構提出進行型式檢驗的要求。

8.4判定規(guī)則

8.4.1每臺出廠檢驗的產品，各項檢驗項目均為合格時，該臺產品判定為合格。

8.4.2型式檢驗的產品各項指標與檢驗項目均合格時，該臺產品判定為合格；若出現不合格項目，應

進行調整或改進，再次進行檢驗，直至合格為止，否則不能投產。

9標志、隨行文件、包裝、運輸和貯存

9.1標志

9.1.1產品應在明顯位置上固定銘牌，銘牌上應有以下標志：

a)產品型號、產品名稱；

b)商標；

c)產品標準編號；

d)制造廠名及地址；

e)計量許可證及編號；

f)制造日期、出廠編號。

9.1.2產品外包裝標志應有以下內容：

a)產品型號、產品名稱；

b)制造廠名；

c)包裝箱體積（長×寬×高）mm、毛重和凈重（kg）；

d)包裝箱序號、數量、出廠日期有“易碎物品，向上，怕雨”標志，應符合G