集成電路封裝技術(shù)(第二版)教案3.2 晶圓貼膜_第1頁
集成電路封裝技術(shù)(第二版)教案3.2 晶圓貼膜_第2頁
集成電路封裝技術(shù)(第二版)教案3.2 晶圓貼膜_第3頁
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電子與物聯(lián)網(wǎng)學(xué)院集成電路封裝技術(shù)教案教學(xué)標(biāo)題項(xiàng)目一/放大器芯片塑料封裝前段制程:任務(wù)2晶圓減薄工作原理、參數(shù)設(shè)置、故障排除:膜的介紹、貼膜與揭膜授課班級(jí)集電2302課時(shí)2場地多媒體教室時(shí)間第四周第2次課授課教師教學(xué)設(shè)計(jì)1.項(xiàng)目/任務(wù)價(jià)值掌握集成塑料封裝的封裝流程和封裝工序的工作原理,了解貼膜、揭膜工藝原理及工藝流程,培養(yǎng)主動(dòng)學(xué)習(xí)的工作態(tài)度、團(tuán)結(jié)協(xié)作的合作精神和積極溝通的工作習(xí)慣。2.學(xué)習(xí)目標(biāo)知識(shí)目標(biāo)1.了解晶圓貼膜工藝原理2.掌握晶圓貼膜流程3.掌握晶圓揭膜的方法能力目標(biāo)1.能夠理解晶圓貼膜工藝原理及工藝流程2.能夠?qū)A貼膜機(jī)進(jìn)行操作和參數(shù)設(shè)置3.能夠?qū)A貼膜機(jī)進(jìn)行簡單故障排除素養(yǎng)目標(biāo)1.培養(yǎng)主動(dòng)學(xué)習(xí)的工作態(tài)度、團(tuán)結(jié)協(xié)作的合作精神和積極溝通的工作習(xí)慣3.學(xué)習(xí)內(nèi)容1.任務(wù)描述通過虛擬仿真實(shí)訓(xùn)平臺(tái),能夠進(jìn)行進(jìn)行操作晶圓貼膜能夠設(shè)置貼膜機(jī)參數(shù)2.知識(shí)準(zhǔn)備2.1晶圓貼膜、揭膜工藝原理2.2晶圓貼膜流程2.3晶圓揭膜方法2.4虛擬仿真實(shí)訓(xùn)平臺(tái)演示3.任務(wù)實(shí)施虛擬仿真平臺(tái):對(duì)晶圓進(jìn)行貼膜和揭膜4.教學(xué)重點(diǎn)晶圓貼膜的過程5.教學(xué)難點(diǎn)晶圓貼膜機(jī)的故障排除4.學(xué)習(xí)資源PPT、《集成電路封裝技術(shù)》、網(wǎng)絡(luò)資源、微課等教學(xué)實(shí)施過程教學(xué)環(huán)節(jié)學(xué)生、教師活動(dòng)教學(xué)手段、方法、思政元素、勞動(dòng)教育等時(shí)間分配引入(任務(wù)項(xiàng)目)在封裝廠生產(chǎn)現(xiàn)場,需對(duì)LM358芯片的硅材料晶圓進(jìn)行塑料封裝,晶圓尺寸為6寸,厚度為675微米,要將晶圓減薄300微米,如何操作機(jī)器進(jìn)行貼膜和撕膜操作。研讀任務(wù)書針對(duì)關(guān)鍵問題進(jìn)行解答多媒體PPT、視頻、虛擬仿真、項(xiàng)目教學(xué)法10訓(xùn)練掌握晶圓貼膜和揭膜工藝原理及流程;重點(diǎn)演示虛擬仿真實(shí)訓(xùn)平臺(tái):晶圓貼膜工序查閱資料和老師互動(dòng),并回答老師提出的各項(xiàng)問題講授相關(guān)知識(shí)、提問檢查核實(shí)學(xué)生學(xué)習(xí)情況多媒體PPT、視頻、虛擬仿真、項(xiàng)目教學(xué)法。以高端的減薄工藝為例,引出工匠精神的重要性。40深化各小組討論“放大器芯片塑料封裝前段制程-晶圓減薄時(shí)的貼膜和揭膜”項(xiàng)目設(shè)計(jì)方案,完成任務(wù)計(jì)劃報(bào)告。引導(dǎo)學(xué)生通過網(wǎng)絡(luò)及書籍獲取信息的學(xué)習(xí)方法。分組討論頭腦風(fēng)暴引導(dǎo)學(xué)生多媒體PPT、視頻、虛擬仿真、項(xiàng)目教學(xué)法20歸納提煉小組成員依照行動(dòng)方案,分工合作完成項(xiàng)目任務(wù)。團(tuán)隊(duì)合作各施其職引導(dǎo)學(xué)生多媒體PPT、視頻、虛擬仿真、項(xiàng)目教學(xué)法5總結(jié)總結(jié)任務(wù)完成的關(guān)鍵步驟提出小組完成任務(wù)過程中典型的問題和做得好的地方總結(jié)本次任務(wù)總結(jié)講授提煉多媒體PPT、視頻、虛擬仿真、項(xiàng)目教學(xué)法10課后任務(wù)/作業(yè)完善電子版任務(wù)報(bào)告思政:體現(xiàn)責(zé)任與擔(dān)當(dāng)。學(xué)業(yè)評(píng)價(jià)解讀任務(wù)評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)組織學(xué)生成立評(píng)委小組小組學(xué)生檢查方案是否符合要求,通過現(xiàn)場宣講進(jìn)行評(píng)估教師對(duì)學(xué)生的任務(wù)完成報(bào)告及匯報(bào)過

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