───────────────────────────────────────────────────────第頁/共SECTIONPAGES頁電腦顯示屏面板行業(yè)

職業(yè)衛(wèi)生操作規(guī)程

第一章總則1.1目的與依據為預防、控制和消除電腦顯示屏面板制造過程中的職業(yè)病危害，保護從業(yè)人員健康，依據《中華人民共和國職業(yè)病防治法》《工作場所職業(yè)衛(wèi)生管理規(guī)定》及GBZ2.1-2019《工作場所有害因素職業(yè)接觸限值》等法規(guī)標準，結合本行業(yè)特點制定本規(guī)程。1.2適用范圍適用于TFT-LCD/OLED面板制造企業(yè)中涉及ITO鍍膜、光刻、顯影、蝕刻、剝離、清洗、切割、組裝等工序的作業(yè)崗位。1.3行業(yè)特性說明本行業(yè)主要職業(yè)危害包括：含銦錫氧化物（ITO）粉塵、紫外線輻射、強堿性化學品（如TMAH）、有機溶劑（如PGMEA）、高頻噪聲及高溫環(huán)境。需特別關注新型材料帶來的潛在健康風險。第二章粉塵危害因素作業(yè)崗位操作規(guī)程2.1危害識別2.1.1主要粉塵類型?含銦錫氧化物（ITO）粉塵：來自ITO靶材濺射鍍膜后的清潔、研磨或設備維護過程。

?玻璃微塵：來自玻璃基板切割、研磨、拋光工序。

?金屬粉塵：鋁、銅等金屬層蝕刻后殘留顆粒。2.1.2健康危害長期吸入ITO粉塵可能導致“硬金屬肺病”（HardMetalDisease），表現(xiàn)為進行性呼吸困難、肺纖維化；部分研究提示銦暴露可能與肺泡蛋白沉積癥相關。2.2工程控制措施2.2.1密閉化作業(yè)?ITO鍍膜室、刻蝕腔體應保持負壓密閉，配備自動清洗系統(tǒng)，減少人工介入。

?切割機、研磨機設置局部排風罩，風速≥0.5m/s。2.2.2通風除塵系統(tǒng)?排風管道采用不銹鋼材質，防止腐蝕。

?末端配置高效HEPA過濾器（過濾效率≥99.97%@0.3μm），定期更換并記錄。2.3個體防護要求作業(yè)崗位粉塵類型推薦防護用品更換周期ITO鍍膜設備維護含銦粉塵KN100級防塵口罩+防護面罩每班1次玻璃基板切割玻璃微塵KN95級防塵口罩每日1次金屬層研磨金屬粉塵KN95級防塵口罩+護目鏡每日1次表<1>表1面板行業(yè)粉塵作業(yè)呼吸防護選擇標準2.3.2其他防護要求?嚴禁在潔凈室內進食、飲水、吸煙。

?下班前必須在專用淋浴間徹底沖洗面部及暴露皮膚。

?工作服每日清洗，不得帶回家。第三章物理危害因素作業(yè)崗位操作規(guī)程3.1紫外線輻射防護3.1.1危害來源光刻工序使用的紫外曝光機（波長248nm/365nm），長期暴露可導致電光性眼炎、皮膚紅斑甚至增加皮膚癌風險。3.1.2防護措施?曝光機設置聯(lián)鎖式防護罩，開門即自動斷電。

?操作人員佩戴專用UV防護眼鏡（OD≥4@248nm）。

?設備周圍設置黃色警示線，張貼“紫外線傷害”警告標識。3.2噪聲與振動控制3.2.1高噪聲崗位空壓機房、真空泵站、氣動閥組區(qū)域，噪聲可達85~95dB(A)。3.2.2控制措施?安裝隔聲罩或隔聲屏障，降低傳播路徑噪聲。

?個體防護：進入高噪聲區(qū)必須佩戴SNR≥30dB的耳罩。

?實行輪崗制，單次暴露時間≤2小時。第四章放射性危害因素作業(yè)崗位操作規(guī)程4.1行業(yè)現(xiàn)狀說明目前主流TFT-LCD/OLED生產線不使用放射性物質。若企業(yè)使用X射線檢測設備（如AOI自動光學檢測儀改進型）或熒光測厚儀，則需按以下要求管理。4.2X射線裝置安全管理4.2.1設備管理?所有X射線設備須取得《射線裝置安全許可證》。

?設備外殼接地良好，定期檢測泄漏劑量率（應＜0.5μSv/h）。4.2.2區(qū)域劃分?控制區(qū)：設備運行時禁止無關人員進入，設置紅色警示燈。

?監(jiān)督區(qū)：周邊3米范圍內，張貼電離輻射警告標志。4.2.3個人劑量監(jiān)測操作人員佩戴熱釋光個人劑量計（TLD），每月讀取一次，年累積劑量不得超過5mSv。第五章化學危害因素作業(yè)崗位操作規(guī)程5.1主要化學毒物識別5.1.1強堿性化學品?四甲基氫氧化銨（TMAH）：用于正性光刻膠顯影，具有強腐蝕性和神經毒性。

?暴露限值：PC-TWA0.1mg/m3（以TMA作為計）5.1.2有機溶劑?丙二醇甲醚乙酸酯（PGMEA）：用于光刻膠稀釋和清洗，刺激呼吸道和眼睛。

?N-甲基吡咯烷酮（NMP）：剝離液成分，生殖毒性明確。5.2中毒預防與應急處理5.2.1工程控制?顯影、蝕刻、清洗工序應在密閉式濕臺內操作，配備雙層排風系統(tǒng)。

?使用自動加藥系統(tǒng)，避免人工傾倒。5.2.2應急處置事故類型應急措施急救物資TMAH濺入眼睛立即用洗眼器沖洗≥15分鐘，就醫(yī)緊急洗眼器、生理鹽水PGMEA大量吸入轉移至空氣新鮮處，保持呼吸通暢氧氣瓶、呼吸器NMP皮膚接觸脫去污染衣物，清水沖洗10分鐘防護手套、更衣室表<2>表2化學品事故應急處理措施5.2.3個體防護裝備（PPE）?防化手套：丁基橡膠材質（耐TMAH滲透）

?防護圍裙：聚乙烯涂層材質

?面部防護：全面罩（配有機蒸氣濾毒盒）第六章監(jiān)督與應急管理6.1職業(yè)健康監(jiān)護?崗前體檢：重點篩查呼吸系統(tǒng)疾病、皮膚病史

?在崗體檢：每年1次，項目包括肺功能、胸部X光片、肝腎功能、血常規(guī)

?離崗體檢：接觸銦/TMAH/NMP人員必須進行專項檢查6.2空氣監(jiān)測?每季度對