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半導(dǎo)體技術(shù)開(kāi)發(fā)合同一、合同訂立背景隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)迭代加速,7納米及以下先進(jìn)制程成為市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的核心領(lǐng)域。甲方作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)企業(yè),為突破高端芯片自主化瓶頸,需引入具備國(guó)際先進(jìn)水平的制程技術(shù)與研發(fā)經(jīng)驗(yàn);乙方作為擁有成熟7納米制程解決方案的技術(shù)提供方,致力于通過(guò)技術(shù)合作拓展新興市場(chǎng)。雙方基于《中華人民共和國(guó)合同法》及《半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃(2021-2025年)》政策要求,經(jīng)三年技術(shù)交流與試點(diǎn)合作,現(xiàn)就2025年度半導(dǎo)體技術(shù)聯(lián)合開(kāi)發(fā)達(dá)成一致。甲方具備芯片架構(gòu)設(shè)計(jì)與系統(tǒng)集成能力,擁有12項(xiàng)核心專利及年產(chǎn)能300萬(wàn)片的封裝測(cè)試產(chǎn)線;乙方在FinFET晶體管結(jié)構(gòu)、3D堆疊工藝等領(lǐng)域擁有47項(xiàng)國(guó)際專利,其7納米技術(shù)已通過(guò)某國(guó)際頭部企業(yè)驗(yàn)證,良率穩(wěn)定在92%以上。本次合作旨在通過(guò)技術(shù)轉(zhuǎn)移與聯(lián)合研發(fā),實(shí)現(xiàn)甲方28納米至7納米制程的跨越,預(yù)計(jì)2026年量產(chǎn)芯片將應(yīng)用于人工智能服務(wù)器與自動(dòng)駕駛域控制器,填補(bǔ)國(guó)內(nèi)高端芯片市場(chǎng)空白。二、合同標(biāo)的與內(nèi)容(一)技術(shù)開(kāi)發(fā)標(biāo)的核心技術(shù)轉(zhuǎn)讓乙方提供7納米邏輯芯片全套技術(shù)包,包括:制程工藝文件:涵蓋光刻、蝕刻、離子注入等42道關(guān)鍵工序參數(shù),配套ASMLNXE:3400B光刻機(jī)操作指南;設(shè)計(jì)工具鏈:包含SynopsysDesignCompiler2025版、CadenceInnovus布局布線軟件及專屬PDK(工藝設(shè)計(jì)套件);良率提升方案:提供缺陷檢測(cè)算法與CMP(化學(xué)機(jī)械研磨)工藝優(yōu)化模型,確保流片良率不低于85%。聯(lián)合研發(fā)項(xiàng)目雙方共建“先進(jìn)制程研發(fā)實(shí)驗(yàn)室”,重點(diǎn)攻關(guān):高遷移率溝道材料:開(kāi)發(fā)銦鎵砷(InGaAs)基NMOS晶體管,目標(biāo)電子遷移率提升300%;3DIC集成技術(shù):實(shí)現(xiàn)Chiplet間1.2Tbps高速互聯(lián),功耗控制在0.5pJ/bit以下;車規(guī)級(jí)可靠性設(shè)計(jì):通過(guò)AEC-Q100Grade2認(rèn)證,確保-40℃至125℃環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。(二)技術(shù)指標(biāo)與交付標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)維度具體指標(biāo)驗(yàn)證方式交付物芯片性能主頻3.8GHz,功耗≤12W第三方實(shí)驗(yàn)室(泰克示波器)性能測(cè)試報(bào)告、SPICE模型庫(kù)存儲(chǔ)接口LPDDR5X-8533,帶寬102GB/s信號(hào)完整性仿真(ANSYS)時(shí)序收斂報(bào)告、眼圖測(cè)試數(shù)據(jù)封裝技術(shù)CoWoS封裝,厚度≤0.8mmX-Ray檢測(cè)封裝工藝規(guī)范、可靠性測(cè)試方案(三)開(kāi)發(fā)周期與里程碑PhaseⅠ:技術(shù)導(dǎo)入階段(0-3個(gè)月)完成200人技術(shù)團(tuán)隊(duì)培訓(xùn),考核通過(guò)率≥95%;搭建EDA設(shè)計(jì)環(huán)境,實(shí)現(xiàn)與乙方數(shù)據(jù)庫(kù)實(shí)時(shí)同步。PhaseⅡ:原型設(shè)計(jì)階段(4-9個(gè)月)完成芯片架構(gòu)設(shè)計(jì),通過(guò)DFT(可測(cè)試性設(shè)計(jì))驗(yàn)證;流片3批工程樣片,每批25片,首批良率≥60%。PhaseⅢ:量產(chǎn)準(zhǔn)備階段(10-15個(gè)月)提交車規(guī)認(rèn)證申請(qǐng)材料,通過(guò)ISO26262功能安全ASIL-D級(jí)評(píng)估;建立量產(chǎn)工藝窗口,CP(晶圓測(cè)試)良率穩(wěn)定至90%以上。三、合同履行與違約責(zé)任(一)費(fèi)用支付與結(jié)算技術(shù)轉(zhuǎn)讓費(fèi):總額人民幣3.2億元,分四期支付:合同生效后15日內(nèi)支付30%(9600萬(wàn)元);技術(shù)文檔交付并驗(yàn)收通過(guò)后支付40%(1.28億元);首批工程樣片流片成功后支付20%(6400萬(wàn)元);量產(chǎn)良率達(dá)標(biāo)后支付10%(3200萬(wàn)元)。研發(fā)經(jīng)費(fèi):年度預(yù)算1.8億元,甲方承擔(dān)60%(1.08億元),乙方承擔(dān)40%(7200萬(wàn)元),每月5日前按實(shí)際支出結(jié)算,逾期支付按日息萬(wàn)分之五計(jì)收滯納金。(二)雙方權(quán)利與義務(wù)甲方責(zé)任提供3000㎡潔凈車間及配套設(shè)備,滿足ISO14644-1Class5標(biāo)準(zhǔn);每月5日前提交研發(fā)進(jìn)展報(bào)告,包含關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)Gantt圖與風(fēng)險(xiǎn)預(yù)警清單;未經(jīng)乙方書(shū)面許可,不得將技術(shù)用于軍工領(lǐng)域或向第三方反向工程。乙方責(zé)任派駐15人專家團(tuán)隊(duì)現(xiàn)場(chǎng)支持,響應(yīng)時(shí)間≤2小時(shí);免費(fèi)提供3次技術(shù)迭代升級(jí),包括EUV光刻膠配方優(yōu)化方案;若因技術(shù)包缺陷導(dǎo)致流片失敗,乙方承擔(dān)全部重投費(fèi)用(單次上限800萬(wàn)美元)。(三)違約責(zé)任技術(shù)延遲交付:每逾期1日,乙方支付違約金50萬(wàn)元,累計(jì)不超過(guò)合同總額5%;指標(biāo)不達(dá)標(biāo):性能未達(dá)約定值的,按差距比例扣除對(duì)應(yīng)技術(shù)轉(zhuǎn)讓費(fèi)(如良率每降低1%扣減100萬(wàn)元);保密違約:泄露7納米光刻參數(shù)等核心機(jī)密的,違約方賠償直接損失及預(yù)期利潤(rùn)(按市場(chǎng)份額30%計(jì)算)。四、知識(shí)產(chǎn)權(quán)與保密條款(一)知識(shí)產(chǎn)權(quán)歸屬原有技術(shù):乙方保留專利號(hào)US11234567B2(FinFET結(jié)構(gòu))等23項(xiàng)基礎(chǔ)專利的所有權(quán),甲方獲得全球范圍內(nèi)非獨(dú)占使用權(quán);衍生成果:聯(lián)合研發(fā)產(chǎn)生的15項(xiàng)預(yù)期專利,雙方共有權(quán)利,甲方享有中國(guó)大陸地區(qū)優(yōu)先實(shí)施權(quán),乙方享有海外市場(chǎng)獨(dú)家代理權(quán);商標(biāo)使用:可標(biāo)注“基于XX(乙方)7nm技術(shù)平臺(tái)聯(lián)合開(kāi)發(fā)”,但不得單獨(dú)使用乙方商號(hào)。(二)保密義務(wù)保密范圍:涵蓋工藝參數(shù)、流片數(shù)據(jù)、客戶信息等,特別約定對(duì)EUV掩模版缺陷修復(fù)方案永久保密;人員管理:接觸機(jī)密人員需簽署《競(jìng)業(yè)限制協(xié)議》,離職后2年內(nèi)不得入職競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手企業(yè);泄密追責(zé):若甲方工程師私自向臺(tái)積電披露技術(shù),需承擔(dān)5000萬(wàn)元違約金,并移送司法機(jī)關(guān)處理。五、合同終止與爭(zhēng)議解決(一)終止條件法定終止:因地震、戰(zhàn)爭(zhēng)等不可抗力導(dǎo)致研發(fā)中斷超6個(gè)月,雙方可書(shū)面解除合同,已支付費(fèi)用不予退還;違約終止:乙方技術(shù)包存在欺詐(如偽造良率數(shù)據(jù)),甲方有權(quán)終止合同并索賠雙倍技術(shù)轉(zhuǎn)讓費(fèi);協(xié)議終止:項(xiàng)目完成后自動(dòng)轉(zhuǎn)為技術(shù)維護(hù)合同,乙方提供5年有償支持(年費(fèi)2000萬(wàn)元)。(二)爭(zhēng)議解決協(xié)商優(yōu)先:產(chǎn)生爭(zhēng)議后30日內(nèi)通過(guò)項(xiàng)目管理委員會(huì)(由雙方高管組成)協(xié)商解決;仲裁條款:協(xié)商未果的,提交中國(guó)國(guó)際經(jīng)濟(jì)貿(mào)易仲裁委員會(huì)(CIETAC)仲裁,適用《半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)糾
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