半導(dǎo)體零部件之閥門行業(yè)市場分析

1、真空閥：真空系統(tǒng)核心零部件，瑞士VAT主導(dǎo)市場

1.1、真空閥：真空系統(tǒng)核心零部件，主要起隔離/控制/傳輸作用

真空的通俗定義指的是空間中的壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力時的狀態(tài)。真

空閥指的是用在真空系統(tǒng)中的閥門，其作用通常為隔離真空區(qū)域（如

工藝腔室）或控制氣體進(jìn)出量。由于真空環(huán)境基本貫穿半導(dǎo)體制造過

程始終，因此真空閥在半導(dǎo)體設(shè)備中也有著普遍而廣泛的應(yīng)用。真空

閥和普通閥門在類型上沒有本質(zhì)區(qū)別，按作用劃分主要有隔離閥、控

制閥（調(diào)節(jié)閥）、傳輸閥、泄壓閥/排氣閥、氣體計量閥、止回閥等，

在半導(dǎo)體設(shè)備的真空系統(tǒng)中尤其是隔離閥、控制閥、傳輸閥應(yīng)用較多；

其中，隔離閥和控制閥根據(jù)工作方式又包括閘閥、角閥、蝶閥、球閥、

擺閥等。

具體來看，隔離閥起隔絕/接通作用，如可用于連接真空泵，在其運(yùn)

作與否時起到禁止/允許氣體進(jìn)入真空泵系統(tǒng)的作用；控制閥主要起

到控制氣體流量和壓力的作用；傳輸閥則可用于晶圓在腔體之間或腔

體和LoadLock之間的傳輸。

ffi3、最常用的具空閥及應(yīng)用

從實際應(yīng)用來看，隔離閥采用最多的主要為角閥和閘閥。閘閥的啟閉

件為閘板，閘板運(yùn)動方向與介質(zhì)流動方向垂直，通過閘板的升降可以

起到隔絕/接通作用，通常只作全開/全閉狀態(tài)，是隔離閥的理想選擇，

而較少用作控制作用。閘閥可用于腔體和真空泵之間。

角閥的氣體通路通常呈直角，主要可用于真空系統(tǒng)中的排氣管路和抽

氣系統(tǒng)等的連接，如用于主泵（通常為分子泵）和前級泵（通常為干

泵）之間（即前級管路）或腔體和前級泵之間（即粗抽或預(yù)真空管路）。

角閥常作為隔離閥，尤其適用于嚴(yán)苛的環(huán)境下，并具有出色的可靠性,

也可具備控制作用。

控制閥用在真空腔體和分子泵之間，起到調(diào)節(jié)流量和壓力的作用?？?/p>

制閥采用最多的主要為擺閥（鐘擺閥），而蝶閥等也可以起到控制作

用。擺閥的啟閉件通過如鐘擺般的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動來實現(xiàn)隔離和控制作用，

具有設(shè)計緊湊、振動小、啟閉平穩(wěn)、能有效避免產(chǎn)生顆粒的特點(diǎn)，被

廣泛用作控制閥。

9、擺閥的應(yīng)用示例

iran

z被程腔停

3.進(jìn)氣口

4.玉力恃彩林

5.信或齊連接線

6.控答.器和執(zhí)行署

7.連接醫(yī)控H

8.連接電源

9.夏主親

蝶閥的閥瓣呈圓盤形，圍繞其中軸旋轉(zhuǎn)，旋角大小便是閥門的開閉度,

既可作為隔離閥，提供與閘閥同樣可靠的真空隔離的同時對占用空間

要求較低，適用于緊湊空間的隔離；又可作為控制閥，實現(xiàn)快速精確

的調(diào)節(jié)。

此外，球閥的啟閉件是帶有圓形通道的球體，繞垂直于通道的軸線旋

轉(zhuǎn)，球體隨閥桿轉(zhuǎn)動從而達(dá)到啟閉通道的目的。球閥適用的壓力范圍

廣，從高真空到低真空等均可使用，同時在帶有腐蝕性介質(zhì)的或者高

溫的系統(tǒng)中也均可適用。

傳輸閥是用于連接真空腔室的長方形截面的閥門，可將物體（如晶圓）

從一個腔室傳送到另一個腔室，尤其是在傳輸腔和工藝腔之間需要用

到，因此傳輸閥是多腔室系統(tǒng)的理想選擇。

1.2、真空閥要求嚴(yán)苛，瑞士VAT主導(dǎo)市場

1.3、國際龍頭梳理

1?3.1、瑞士VAT公司

瑞士VAT作為全球真空閥龍頭,2022年實現(xiàn)收入11.45億瑞士法郎，

其中閥門產(chǎn)品收入9.33億瑞士法郎，服務(wù)收入2.13億瑞士法郎。閥

門產(chǎn)品收入進(jìn)一步劃分，則半導(dǎo)體為最大下游應(yīng)用，收入為7.17億

瑞士法郎，其余則為先進(jìn)工業(yè)、顯示&太陽能應(yīng)用。

VAT公司擁有全面的隔離閥、控制閥、傳輸閥、快速關(guān)閉閥等產(chǎn)品

組合，可為各種應(yīng)用領(lǐng)域提供最佳解決方案，其真空閘閥、角閥、蝶

閥、擺閥等產(chǎn)品為各領(lǐng)域的真空閥解決方案設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。公司在隔離

閥、控制閥、傳輸閥都有較高的行業(yè)地位，尤其是控制閥和傳輸閥領(lǐng)

域占據(jù)行業(yè)領(lǐng)先份額。

2、流體系統(tǒng)閥門：流體系統(tǒng)核心元件，美廠占據(jù)重要地位

2.1.半導(dǎo)體工藝設(shè)備供氣和氣路系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵元件

除在真空系統(tǒng)中大量應(yīng)用外，閥門同樣是半導(dǎo)體行業(yè)高純流體系統(tǒng)中

核心的系統(tǒng)元件，主要起著流體的開關(guān)截止、流體的流量調(diào)節(jié)、流體

的流向改變等三大作用。在半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備內(nèi)部的氣體管路系統(tǒng)

中和半導(dǎo)體工藝設(shè)備的供氣系統(tǒng)中，均需要大量的高純閥門參與控制。

其中，供氣系統(tǒng)指的是電子氣體由氣源送往工藝設(shè)備端的系統(tǒng)，具體

來看，電子氣體先由氣柜(GasCabinets)出來經(jīng)過分配，然后通過

多功能閥箱/閥盤(ValveMardfoldBoxes/Panels)及二次配閥盤

(Hookup),通往工藝設(shè)備端，在這個過程中的幾個主要環(huán)節(jié)基本

都需要用到閥門產(chǎn)品。

圖21、典型IC制造廠的氣體分配系統(tǒng)

在這里面，氣柜(GasCabinets)為特氣源提供壓力控制和流量監(jiān)測、

并具備更換氣瓶能力，多功能閥箱則是將特氣分配到不同工藝設(shè)備的

裝置，均需用到隔膜閥、單向閥、調(diào)壓閥等閥門。此外，F(xiàn)ab廠中的

大宗氣體系統(tǒng)(BulkGas)、二次配閥盤/盒等也均用到閥門。

而氣體經(jīng)過閥箱/閥盤后，則通過工藝設(shè)備端內(nèi)的氣路系統(tǒng)通入工藝

腔內(nèi)，然后參與各種晶圓工藝反應(yīng)。具體來看，半導(dǎo)體工藝設(shè)備內(nèi)部

的氣路系統(tǒng)主要由GasBox、GasBox至反應(yīng)腔的氣路，以及最終

進(jìn)入反應(yīng)腔之前的閥門構(gòu)成，這一氣路系統(tǒng)內(nèi)同樣會用到高純閥門產(chǎn)

品。在這里面，GasBox作為半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)的核心組成部分之一，其

功能是將各路工藝氣體集成在一個空間環(huán)境內(nèi)，并按工藝需求對不同

氣體進(jìn)行傳輸、分配和混合，對個別關(guān)鍵工藝氣體進(jìn)行精確的流量控

制，根據(jù)工藝不同步驟的設(shè)定實現(xiàn)對工藝氣體進(jìn)行開關(guān)控制等功能。

因此，GasBox的功能決定了其內(nèi)部集成了閥門，包括隔膜閥、單向

閥等。

具體產(chǎn)品來看，流體系統(tǒng)中常用的閥門主要有：隔膜閥，是用橡膠、

PTFE等軟質(zhì)材料制成的隔膜作為啟閉件，把閥體內(nèi)腔和閥蓋內(nèi)腔隔

升的閥門，通過操作機(jī)構(gòu)控制隔膜的移動便可以達(dá)到隔絕和調(diào)節(jié)作用。

隔膜閥的優(yōu)點(diǎn)在于，閥蓋、閥桿等零件與介質(zhì)通路隔開，因此零件不

會受到介質(zhì)侵蝕和沖擊，且不會發(fā)生介質(zhì)內(nèi)漏；同時，隔膜閥結(jié)構(gòu)簡

單，易于維修和更換；且隔膜和閥體均可以采用不同材料，能理想控

制多種工作介質(zhì)，尤其適合帶化學(xué)腐蝕性或懸浮顆粒的介質(zhì)。

圖26、隔膜閥產(chǎn)品圖示

調(diào)壓閥(Regulators)可以把從鋼瓶等來源排出的氣體或液體的壓力

降低到設(shè)備所需的較低值。調(diào)壓閥有一個傳感元件(如活塞或隔膜)，

一側(cè)承受由彈簧或氣壓施加的力，另一側(cè)承受流體系統(tǒng)承受的力。其

中，減壓調(diào)壓閥通過轉(zhuǎn)動閥桿/手柄，對可調(diào)彈簧進(jìn)行調(diào)整來設(shè)定所

需的出口壓力；背壓調(diào)壓閥則可設(shè)定所需的進(jìn)口壓力。

單向閥，也稱止回閥，是一種使流體保持恒定方向流動并防止反向流

動的閥門。流體正向流動時，單向閥的閥瓣被流體壓力推開，但反向

流動時閥瓣在背壓的作用下與閥座緊密接觸以防止回流。

波紋管閥，是以波紋管作為閥桿密封元件的閥門，波紋管和閥桿焊在

一起，隨閥桿而帶動閥頭升降，起到啟閉作用。采用波紋管密封結(jié)構(gòu)

后，可以將介質(zhì)和大氣隔離開來，因此有著極佳的密封性，可避免介

質(zhì)從閥桿處泄露。雖然，隨著晶體管的不斷微縮，制造過程中避免受

到污染顯得至關(guān)重要，流體系統(tǒng)元件逐漸從波紋管閥向結(jié)構(gòu)更簡單、

活動部件更少、零件與介質(zhì)隔開的隔膜閥發(fā)展，但波紋管閥憑借絕佳

的密封性也仍有用武之地。

圖32、波紋管閥產(chǎn)品圖示

?_______」＜4

2.2、流體系統(tǒng)閥門要求更顯嚴(yán)苛，美國廠商占據(jù)重要地位

流體系統(tǒng)對閥門有著極為嚴(yán)苛的要求，包括潔凈度要求高、材質(zhì)純度

要求高、應(yīng)對腐蝕和快速吹掃無殘留要求高、流體控制精度要求高等。

比如，由于半導(dǎo)體工藝設(shè)備需要大量工藝氣體參與反應(yīng)，其中氯化氫、

三氯化硼、浪化氫等均具有強(qiáng)腐蝕性，管路和閥門很容易腐蝕并進(jìn)而

導(dǎo)致泄露等情況，因此對材料的選擇和其表面電化學(xué)的處理都有嚴(yán)格

要求。

再比如，GasBox作為氣路系統(tǒng)的核心部件之一，內(nèi)部包含各種介質(zhì)

的控制氣路，其內(nèi)工藝氣體的響應(yīng)時間、流量控制對工藝都起到至關(guān)

重要的作用，因此內(nèi)部需要可靠穩(wěn)定的流體系統(tǒng)元件，高純閥門需要

滿足體積緊湊、滿足SEMI標(biāo)準(zhǔn)的泄露率和潔凈度要求等，部分應(yīng)用

下還需要能耐環(huán)境高溫。且，制程演進(jìn)帶來的變化是需要使用更多新

材料、特殊氣體，對GasBox提出了小型化（尺寸不變情況下具備

更多氣路）、靈活性（氣體管路進(jìn)出口位置有更多選擇）的要求，這

其中也離不開對閥門的更高要求。

再比如，ALD（AtomicLayerDeposition,原子層沉積）作為當(dāng)下及

未來制程節(jié)點(diǎn)微縮及復(fù)雜器件幾何形狀上沉積薄層材料的關(guān)鍵技術(shù),

對流體系統(tǒng)元件也提出了新的挑戰(zhàn)。部分龍頭廠商如Swagelok甚至

專門推出了ALD閥門系列，以應(yīng)對ALD對壽命、耐高溫等方面的要

求。且隨著越來越多的Highk材料的引入，ALD工藝需要系統(tǒng)更低

的壓力，更高的溫度，未來需要更大的流量（例如閥門CV要求普遍

在目前流量的2-3倍），也會需要高純特殊合金材料來應(yīng)用于閥體。

細(xì)分市場規(guī)模方面，據(jù)LPinformation統(tǒng)計，2022年全球半導(dǎo)體閥

門（含真空閥，但不含調(diào)壓閥regulators）市場規(guī)模約20.9億美元,

其中隔膜閥市場占比較大，規(guī)模約5.2億美元，而如前所述各類真空

閥市場規(guī)模約10億美元，其余則為單向閥等產(chǎn)品。若在加上流體系

統(tǒng)中應(yīng)用較多的調(diào)壓閥的市場，則全球半導(dǎo)體閥（含調(diào)壓閥）會比

20.9億美元要再高出不少。而在行業(yè)的主要參與者方面，除了VAT、

MKS等廠商在真空閥市占率較高外，Swagelok（美國）、Fujikin（H

本）、ParkerHannifin（美國）等廠商在流體系統(tǒng)中的隔膜閥、調(diào)壓

閥等產(chǎn)品有著較高的市場地位。

2.3、全球龍頭廠商梳理

2.3.1>Swagelok

美國Swagelok（世偉洛克）公司成立于1947年，目前是一家年銷

售額約20億美元的私營企業(yè)，致力于為泊氣、化工、半導(dǎo)體、清潔

能源等各個行業(yè)提供流體系統(tǒng)產(chǎn)品、組裝和服務(wù)。公司提供閥門、調(diào)

壓閥、接頭、軟管、卡套管及卡套管附件、壓力表和其他測量裝置、

過濾器、焊接系統(tǒng)、檢漏液、潤滑劑、密封劑、快速接頭、機(jī)械密封

支持系統(tǒng)、取樣系統(tǒng)、分析子系統(tǒng)以及微型模塊化系統(tǒng)等產(chǎn)品。

圖35、Swagelok提供產(chǎn)品圖示

針對半導(dǎo)體行業(yè)，Swagelok可提供閥門、調(diào)壓閥、接頭、軟管和柔

性卡套管、過濾器、焊接系統(tǒng)、彎管器等產(chǎn)品和服務(wù)。尤其是在半導(dǎo)

體制造所需的超高純（UHP）閥門方面，Swagelok具備多種型號的

隔膜閥、波紋管密封閥、單向閥、調(diào)壓閥、ALD閥等產(chǎn)品，為半導(dǎo)

體流體系統(tǒng)提供全面高質(zhì)量的解決方案，是半導(dǎo)體流體系統(tǒng)閥門的全

球領(lǐng)先供應(yīng)商之一。

232、Fujikin

日本Fujikin（富士金）公司成立于1930年，在以閥門為核心的超精

密流體控制系統(tǒng)方面處于行業(yè)領(lǐng)先地位，涵蓋半導(dǎo)體、太空開發(fā)、氫

能利用、制藥和食品、鋰電池等多個領(lǐng)域。公司截至2022年3月31

日的財年收入約為1707億日元（約合人民幣80+億元）。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，F(xiàn)ujikin可提供的產(chǎn)品主要包括：閥門產(chǎn)品，如隔膜閥、

單向閥、波紋管閥等各種閥門；接頭產(chǎn)品；流體系統(tǒng)，包括IGS

（IntegratedGasSystem,集成氣體系統(tǒng)）、FCS（FlowControl

System,流量控制系統(tǒng)）等。

圖38、Fujikin產(chǎn)品

次世代半耳體

ZT口七久用

3、國產(chǎn)替代緊迫性凸顯，優(yōu)質(zhì)廠商有望突破放量

3.1＞國產(chǎn)設(shè)備廠商成長空間巨大，零部件國產(chǎn)替代正當(dāng)時

存儲廠短期擴(kuò)產(chǎn)部分受限，中長期產(chǎn)能提升空間巨大。美國在2022

年10月公布了對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步制裁，其中重點(diǎn)新增限制

了存儲先進(jìn)制程的制造能力。長江存儲和長鑫存儲是國內(nèi)在存儲芯片

3DNAND.DRAM領(lǐng)域各自的代表廠商，經(jīng)過多年的技術(shù)積累后，

長江存儲已經(jīng)實現(xiàn)232L3DNAND工藝的量產(chǎn)，長鑫存儲已經(jīng)實現(xiàn)

19rlmDRAM工藝的量產(chǎn)，其中，尤其主要是長江存儲在被限制后短

期擴(kuò)產(chǎn)確實受到一定影響。但國內(nèi)存儲廠商產(chǎn)能在全球占比依然極小,

和國內(nèi)市場需求嚴(yán)重不匹配，中長期來看產(chǎn)能提升空間十分巨大。

邏輯先進(jìn)制程擴(kuò)產(chǎn)受限，成熟制程擴(kuò)產(chǎn)確定性依然較強(qiáng)。中芯國際自

2020年被美國加入實體清單后，戰(zhàn)略方向逐漸向成熟制程擴(kuò)產(chǎn)傾斜，

本次限制節(jié)點(diǎn)對其并無進(jìn)一步影響。中芯國際2021年以來先后發(fā)布

公告將分別在北京、深圳、上海、天津加大投資進(jìn)行成熟制程擴(kuò)產(chǎn)，

且2022年業(yè)績說明會上重申了擴(kuò)產(chǎn)的意志和決心，對2023年資本

開支也給出了和2022年高基數(shù)相當(dāng)?shù)闹敢?，因此預(yù)計中芯國際未來

2-3年擴(kuò)產(chǎn)節(jié)奏和資本開支依然會較為樂觀。

自主可控持續(xù)推進(jìn)，國產(chǎn)化比例有望快速提升。美國不斷加深對國內(nèi)

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的限制，并拉攏日本和荷蘭也跟進(jìn)限制，但從目前限制的

實際范圍和力度來看不必過于悲觀。以尤為關(guān)鍵的光刻機(jī)環(huán)節(jié)為例，

據(jù)ASML官網(wǎng)公布，在具體細(xì)則出臺之前，公司自己將會受到出口

管制的“最先進(jìn)工具”定義為TWINSCANNXT：2000i及之后的浸沒式

光刻機(jī)，而不被限制的1980Di已經(jīng)可以滿足邏輯成熟制程和

3DNAND先進(jìn)制程需求。而且，限制的不斷加深進(jìn)一步凸顯了自主

可控的重要性和緊迫性，國內(nèi)晶圓廠存儲廠近年在擴(kuò)產(chǎn)過程中正逐漸

提升產(chǎn)線中設(shè)備的國產(chǎn)化比例，預(yù)計未來會進(jìn)一步較快提升。因此,

國產(chǎn)設(shè)備廠商國產(chǎn)化空間依然較大，在國產(chǎn)化加速下仍有望保持較快

增長。

2021年全球千億美元的半導(dǎo)體設(shè)備市場中，中國大陸地區(qū)市場規(guī)模

約為296億美元，但其中有較多來自于外資企業(yè)。我們預(yù)計，隨著

大陸本土晶圓廠持續(xù)快速擴(kuò)產(chǎn)，以及外資晶圓廠由于各種因素導(dǎo)致在

大陸擴(kuò)產(chǎn)投資趨于萎縮，中長期來看大陸地區(qū)的設(shè)備市場規(guī)模將主要

由本土晶圓廠采購形成，且自主可控大勢所趨下設(shè)備整體國產(chǎn)化率有

望達(dá)到顯著較高級別，對應(yīng)設(shè)備國產(chǎn)化空間巨大。

圖40、全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模地區(qū)結(jié)構(gòu)

更為重要的是，國內(nèi)設(shè)備廠商在快速成長的同時，也在積極尋求上游

供應(yīng)鏈的自主可控，零部件國產(chǎn)替代浪潮已然掀起。目前半導(dǎo)體零部

件供應(yīng)格局以海外廠商為主，國內(nèi)自給率較低，既因產(chǎn)業(yè)壁壘高、市

場碎片化，也因為國內(nèi)下游半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)不發(fā)達(dá)，國內(nèi)零部件廠商

缺乏技術(shù)基礎(chǔ)、發(fā)展性價比不高。

3.2、半導(dǎo)體閥門國產(chǎn)替代方興未艾，尤其流體閥門國產(chǎn)化空間極大

當(dāng)前趨勢下美國不斷加大對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的限制，尤其是半導(dǎo)體設(shè)

備進(jìn)口受到明顯影響，而作為半導(dǎo)體設(shè)備上游的零部件環(huán)節(jié)，其供應(yīng)

穩(wěn)定性也在逐漸面臨越來越大的風(fēng)險，因此設(shè)備廠商對于零部件自主

可控的緊迫性也愈發(fā)凸顯。而從當(dāng)前的國產(chǎn)化情況來看，目前國內(nèi)晶

圓廠產(chǎn)線中半導(dǎo)體閥門的采購仍較大程度上依賴于海外廠商。具體來

看，真空閥市場主要由瑞士VAT主導(dǎo)，流體閥主要由美國Swagelok、

美國ParkerHannifin>口本Fujikin等廠商主導(dǎo)，相對來說流體閥要

求更為嚴(yán)苛、且美廠主導(dǎo)格局下國產(chǎn)替代緊迫性尤為明顯。而國內(nèi)已

有廠商具備良好國產(chǎn)替代基礎(chǔ)，如新萊應(yīng)材已在閘閥等多種真空閥產(chǎn)

品對國內(nèi)主流客戶實現(xiàn)國產(chǎn)化供應(yīng)，在隔膜閥等氣體閥也已實現(xiàn)銷售

突破并迎來快速放量。

3.3、優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)廠商梳理

3.3.1.新萊應(yīng)材

新萊應(yīng)材十1991年成立于中國臺灣，十2000年總部it至昆山，2011

年深交所上市。公司最初主營業(yè)務(wù)為應(yīng)用于食品、生物醫(yī)藥、泛半導(dǎo)

體領(lǐng)域的潔凈應(yīng)用材料和高純及超高純應(yīng)用材料業(yè)務(wù)，其后通過外延

并購方式拓展了應(yīng)用于食品飲料領(lǐng)域的無菌包材及灌裝機(jī)業(yè)務(wù)。

公司業(yè)務(wù)按下游可以劃分為三個主要領(lǐng)域：泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，產(chǎn)品為高

純及超高純應(yīng)用材料，主要包括真空系統(tǒng)（高/超高真空的法蘭、管

件、閥、腔體等）和氣體系統(tǒng)（超高純管道管件、閥等）；生物醫(yī)藥

領(lǐng)域，產(chǎn)品包含管路系統(tǒng)、無菌閥門、無菌泵、管式換熱器、過濾器

等；食品安全領(lǐng)域，產(chǎn)品分為無菌包材、無菌紙盒灌裝機(jī)、潔凈材料

（如管路系統(tǒng)、衛(wèi)生級閥門、衛(wèi)生級泵）等。

圖44、新萊應(yīng)材主要下游

目前公司下游應(yīng)用中食品類占比最高，2022Hl高達(dá)50.5%,其中無

菌包材和食品設(shè)備分別占38.7%和6.3%,其余產(chǎn)品則主要為潔凈應(yīng)

用材料；而醫(yī)藥類（產(chǎn)品主要為潔凈應(yīng)用材料）占比23.6%；泛半導(dǎo)

體業(yè)務(wù)（產(chǎn)品為高純及超高純應(yīng)用材料?）占比25.9%。

新萊應(yīng)材在半導(dǎo)體領(lǐng)域的業(yè)務(wù)主要包括真空產(chǎn)品（真空法蘭、管件、

閥、腔體等）和氣體產(chǎn)品（管道管件、接頭、閥等），具體來看：公

司真空系列的品牌名為“AdvanTord,產(chǎn)品主要包括高真空和超高真

空的法蘭、管件、鋼瓶、傳輸閥、鋁合金間閥、閘閥、角閥、腔體、

加熱帶、視窗、無氧銅墊片等。公司產(chǎn)品選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料，可用

于半導(dǎo)體、顯示、LED、薄膜太陽能電池、氫能源、鋰電、科研機(jī)構(gòu)

等領(lǐng)域，主要應(yīng)用于薄膜技術(shù)（蒸發(fā)、濺射、PECVD、MOCVD.

ALD等），并覆蓋表面分析技術(shù)和離子注入系統(tǒng)。

而在氣體產(chǎn)品，公司“Nan。Pure”品牌產(chǎn)品主要包括超高純管道&管

件、面密封接頭（VCR）、微型管道、卡套接頭、減壓閥、超高純隔

膜閥、卸荷閥、微粒過濾器、止回閥、針閥、球閥等，并在積極拓展

新產(chǎn)品。

半導(dǎo)體真空系統(tǒng)和氣體系統(tǒng)均是國產(chǎn)化率較低、競爭格局較好的細(xì)分

行業(yè)，新萊應(yīng)材作為國內(nèi)在兩個行業(yè)都處于領(lǐng)先地位的優(yōu)質(zhì)廠商，在

行業(yè)有著多年的積累和經(jīng)驗，產(chǎn)品品類齊全，客戶方面更是和AMAT、

LamResearch＞北方華創(chuàng)等海內(nèi)外設(shè)備龍頭以及長江存儲、長鑫存

儲等海內(nèi)外知名fab廠都有多年的良好合作關(guān)系。公司在真空閥領(lǐng)域

己實現(xiàn)較好的國產(chǎn)替代基礎(chǔ)，而對部分氣體閥等產(chǎn)品的供應(yīng)屬國內(nèi)稀

缺，，預(yù)計將是細(xì)分領(lǐng)域國產(chǎn)替代的排頭兵，未來成長空間巨大c此

外，新萊應(yīng)材還積極拓展開發(fā)新產(chǎn)品，在真空系統(tǒng)方面開拓真空泵產(chǎn)

品，在氣體系統(tǒng)方面開發(fā)MFC、過濾器等產(chǎn)