電子級(jí)六氟化硫國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)修訂立項(xiàng)報(bào)告：目的EnglishTitle:AnalysisonthePurpose,Significance,Scope,andMainTechnicalContentoftheNationalStandardRevisi摘要隨著集成電路制造技術(shù)的飛速發(fā)展，尤其是12英寸晶圓制造工藝的普及，對(duì)電子級(jí)六氟化硫(SF?)的純度與質(zhì)量提出了更高要求?，F(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T18867-2014《電子工業(yè)用六氟化硫》已實(shí)施近九年，在技術(shù)指標(biāo)、檢測(cè)方法和適用范圍等方面已難以滿足當(dāng)前產(chǎn)業(yè)需求。本報(bào)告系統(tǒng)闡述了該標(biāo)準(zhǔn)修訂的目的意義、適用范圍及主要技術(shù)內(nèi)容，旨在通過(guò)技術(shù)條款的全面升級(jí)，提升高純電子氣體材料的質(zhì)量水平，強(qiáng)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控能力，推動(dòng)我國(guó)電子材料標(biāo)準(zhǔn)與國(guó)際先進(jìn)水平接軌。修訂工作響應(yīng)了《“十四五”推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)規(guī)劃》等國(guó)家政策，對(duì)支持集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新與可持續(xù)發(fā)展具有重要戰(zhàn)略意義。關(guān)鍵詞：電子級(jí)六氟化硫；標(biāo)準(zhǔn)修訂；集成電路；高純氣體；特種氣體；半導(dǎo)體材料；質(zhì)量控制Keywords:ElectronicGradeSulfurHexafluoride;StandardRevisCircuit;HighPurityGas;SpecialtyGas;Semiconduct正文電子級(jí)六氟化硫是集成電路制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵高純電子氣體材料，廣泛應(yīng)用于蝕刻、清洗、成膜等核心工藝環(huán)節(jié)。由于其具有優(yōu)異的絕緣性能和化學(xué)穩(wěn)定性，在微電子器件制造中發(fā)揮著重要作用。隨著我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)向更先進(jìn)制程節(jié)點(diǎn)發(fā)展，晶圓尺寸已普遍達(dá)到12英寸，制造工藝對(duì)氣體純度、雜質(zhì)控制及一致性提出現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T18867-2014《電子工業(yè)用六氟化硫》自發(fā)布實(shí)施已近九年，其在氣體純度指標(biāo)、雜質(zhì)檢測(cè)方法、采樣規(guī)范等方面已不能完全適應(yīng)當(dāng)前技術(shù)發(fā)展和市場(chǎng)需要。特別是在關(guān)鍵雜質(zhì)組分(如六氟乙烷、八氟丙烷等)的檢測(cè)、氣體采樣代表性與安全性等方面存在明顯不足。因此，對(duì)該標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行系統(tǒng)性修訂具有顯著的現(xiàn)實(shí)緊迫性和行業(yè)共識(shí)。本次修訂積極響應(yīng)國(guó)家政策導(dǎo)向。國(guó)務(wù)院發(fā)布的《“十四五”推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)規(guī)劃》明確提出要加強(qiáng)制造業(yè)高端化領(lǐng)域的材料標(biāo)準(zhǔn)供給；工信部《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2019年版)》也將電子級(jí)六氟化硫列為“特種氣體”類別，屬于國(guó)家鼓勵(lì)發(fā)展的關(guān)鍵戰(zhàn)略材料。通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)修訂，將進(jìn)一步提升我國(guó)在高純電子氣體領(lǐng)域的自主保障能力，推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同發(fā)展，增強(qiáng)我國(guó)電子材料在國(guó)際市場(chǎng)中的競(jìng)爭(zhēng)力和話語(yǔ)權(quán)，有效支撐國(guó)家電子信息產(chǎn)業(yè)安二、范圍與主要技術(shù)內(nèi)容本標(biāo)準(zhǔn)修訂文件規(guī)定了電子級(jí)六氟化硫產(chǎn)品的技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、試驗(yàn)方法以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸及貯存等方面的內(nèi)容，適用于以硫與氟直接反應(yīng)并經(jīng)精制純化，或以工業(yè)級(jí)六氟化硫?yàn)樵线M(jìn)一步提純制備的電子級(jí)別六氟化硫產(chǎn)品。產(chǎn)品主要面向集成電路、平板顯示、太陽(yáng)能電池等微電子工業(yè)領(lǐng)域。與2014版標(biāo)準(zhǔn)相比，本次修訂主要包括以下技術(shù)內(nèi)容的更新與完善：1.標(biāo)準(zhǔn)名稱與結(jié)構(gòu)優(yōu)化：更改標(biāo)準(zhǔn)名稱使其更準(zhǔn)確反映產(chǎn)品高端電子氣體屬性；結(jié)構(gòu)調(diào)整更符合GB/T1.1-2020的編寫要求。2.規(guī)范性引用文件更新：根據(jù)行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀更新引用的基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)與檢測(cè)方法標(biāo)準(zhǔn)。3.新增術(shù)語(yǔ)和定義章節(jié)：明確“電子級(jí)六氟化硫”“雜質(zhì)組分”等關(guān)鍵術(shù)語(yǔ)，避4.修訂技術(shù)要求：提高氣體純度指標(biāo)，加強(qiáng)對(duì)新興雜質(zhì)組分的限制要求，如六氟乙烷(C?F?)和八氟丙烷(C?F?)等。5.新增采樣章節(jié)：規(guī)范采樣操作流程，確保樣品代表性與檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確性。6.優(yōu)化純度與雜質(zhì)測(cè)定方法：一更新氧+氬、氮、四氟化碳等常規(guī)雜質(zhì)的分析方法，引入更先進(jìn)的氣相色譜-質(zhì)譜一新增六氟乙烷和八氟丙烷的定量檢測(cè)方法；一修訂可水解氟化物的測(cè)定方法，提升檢測(cè)靈敏度和準(zhǔn)確性。7.完善檢驗(yàn)規(guī)則與包裝貯運(yùn)要求：明確型式檢驗(yàn)與出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目，補(bǔ)充安全信息8.刪除過(guò)時(shí)附錄、新增安全與參考文獻(xiàn)：刪除2014版中原附錄A,新增“安全信息”附錄及參考文獻(xiàn)列表，提高標(biāo)準(zhǔn)全面性與規(guī)范性。三、介紹修訂的主要單位本次標(biāo)準(zhǔn)修訂工作主要由中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院(CESI)牽頭組織。該院是工業(yè)和信息化部直屬事業(yè)單位，長(zhǎng)期從事電子信息技術(shù)領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)化科研、標(biāo)準(zhǔn)制修訂、檢測(cè)認(rèn)證等工作，在半導(dǎo)體材料、電子氣體、微電子制造工藝等領(lǐng)域具有深厚的研究基礎(chǔ)和權(quán)威地位。研究院聯(lián)合了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的電子氣體生產(chǎn)企業(yè)、集成電路制造企業(yè)、檢測(cè)機(jī)構(gòu)及高?？蒲袉挝还餐瑓⑴c，確保標(biāo)準(zhǔn)修訂內(nèi)容的科學(xué)性、先進(jìn)性和可操作性。其在多項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂中發(fā)揮核心作用，有力推動(dòng)了我國(guó)電子材料標(biāo)準(zhǔn)的體系化建設(shè)與國(guó)際化對(duì)接。結(jié)論電子級(jí)六氟化硫國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的修訂是適應(yīng)集成電路技術(shù)快速發(fā)展的必然要求，也是貫徹落實(shí)國(guó)家新材料戰(zhàn)略與標(biāo)準(zhǔn)化發(fā)展戰(zhàn)略的重要舉措。通過(guò)系統(tǒng)性地提升技術(shù)指標(biāo)、優(yōu)化檢測(cè)方法、完善標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，本標(biāo)準(zhǔn)的修訂將有效指導(dǎo)國(guó)內(nèi)高純六氟化硫的