蚊子翅膀不用噴金也能看？解析掃描電鏡的這次技術(shù)升級做過電鏡的朋友大概都有過這種糾結(jié)：想看高分子材料或生物樣品的真實形貌，不噴金是最好的，但直接看很容易荷電，圖像甚至會漂；一旦降低加速電壓（比如降到1kV），荷電是沒了，可分辨率也跟著掉了，畫面肉肉的，細節(jié)全無?！笆潜Ｕ鎸崳€是保清晰？”以前這似乎是個單選題。但在CEM3000A最近的一次功能升級中，我們試圖打破這個僵局。這次升級主要針對成像質(zhì)量（特別是低電壓）、測量精度和操作手感這三個老大難問題進行了底層優(yōu)化。今天，我們就從技術(shù)角度，拆解一下這次升級的含金量。1、鏡筒內(nèi)加減速：低電壓下的無損觀測這是本次升級最大的亮點之一。我們在鏡筒設(shè)計上引入了鏡筒內(nèi)加減速技術(shù)，并配合復(fù)合透鏡設(shè)計。簡單來說，就是讓電子束在鏡筒內(nèi)保持高速飛行以維持高質(zhì)量，但在抵達樣品前的最后時刻進行“減速”。這就好比給賽車裝了強力剎車，既能跑得快，又能停得穩(wěn)。這就解決了一個核心痛點：極大增強了全電壓下的極限分辨率，特別是低電壓下的成像效果。來看實測對比。（1）靜電紡絲對于靜電紡絲這類不導電樣品，以前不開加減速時，畫面噪點多，纖維邊緣模糊；開啟加減速后，即便在低壓下，纖維的堆疊層次、單根纖維的表面平滑度都清晰可見。（2）生物蚊蟲對于生物領(lǐng)域的蚊子翅膀樣品，我們在2kV低電壓且未噴金的狀態(tài)下直接觀測，翅膀表面的微觀紋理、絨毛細節(jié)毫發(fā)畢現(xiàn)。這意味著，以后做紡織纖維或生物切片，你可以省去繁瑣的噴金步驟，直接通過低電壓還原樣品的原始狀態(tài)。2、讓電鏡回歸測量工具的嚴謹掃描電鏡不僅僅是照相機，對很多半導體和金相客戶來說，它更是精密尺子。但很多電鏡在低倍率下存在場曲（邊緣模糊），或者X/Y軸比例不一致（正交畸變），導致測出來的數(shù)據(jù)不可信。CEM3000A此次升級算法校準：（1）正交畸變校準：我們引入了外層線圈補償，將旋轉(zhuǎn)式補償標定電壓鎖定在90±0.2°。這意味著你的圖像在X/Y方向上不再有拉伸畸變，不管是測孔徑還是測線寬，橫著測豎著測，數(shù)據(jù)都過硬。（2）場曲校準：解決了低倍率（尤其是200X下）畫面中心清晰、四周模糊的問題?，F(xiàn)在，全視野范圍內(nèi)都是清晰的測量區(qū)。（3）動態(tài)聚焦功能：針對大傾角樣品（如引線鍵合、斷口分析），我們升級了動態(tài)聚焦功能。它能實現(xiàn)畫面Y方向的電子束線性或?qū)ΨQ線性聚焦，哪怕樣品是斜著放的，也能保證從上到下都在焦平面上，不用來回調(diào)焦距。3、新手也能絲滑上手操作除了硬指標，操作的順手程度也是這次升級的重點。以前調(diào)像散像動一下像散旋鈕，畫面就跑偏了?，F(xiàn)在CEM3000A加入了FocusWobble（聚焦擺動）+像散線圈對中功能。（1）體驗提升：在調(diào)節(jié)像散的過程中，畫面位移被大幅減少。配合軟件聯(lián)控，調(diào)節(jié)過程更輕松，不用再考驗操作員的微操手感。（2）自動消磁流程：這是一個很貼心的細節(jié)。切換電壓及工作距離時，消磁流程會自動介入，保證圖像保持清晰，無需重新尋找焦距。（3）結(jié)合燈絲快換設(shè)計，這一系列輔助功能的加入，讓復(fù)雜的電鏡操作變得更加標準化、傻瓜化。4、寫在最后從低電壓下清晰度的提升，到畸變校準的死磕，再到操作細節(jié)的優(yōu)化，CEM3000A的這次升級，與其說是功能的疊加，不如說是對用戶真實應(yīng)用場景的一次深